JP7467882B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るターボ分子ポンプの模式的正面図である。図2は、図1のターボ分子ポンプのA-A線断面図である。図1に示すように、ターボ分子ポンプ100は、電源装置1、冷却器2、第1の断熱板3、接続板4、第2の断熱板5、ポンプ本体6およびヒータ7を備える。
図4は、本発明の第2の実施の形態に係るターボ分子ポンプ100の模式的正面図である。図5は、図4のターボ分子ポンプ100のB-B線断面図である。図4のターボ分子ポンプ100が図1のターボ分子ポンプ100と異なるのは以下の点である。
(a)図7は、ターボ分子ポンプ100の他の例を示す一部の拡大断面図である。図7のターボ分子ポンプ100が、図3のターボ分子ポンプ100と異なるのは以下の点である。図7のターボ分子ポンプ100には、冷却器2の上面2uに嵌め込み領域2d(環状の凹部)が形成される。嵌め込み領域2dには、第1の断熱板3の下面が嵌め込まれる。また、ポンプ本体6の下面6dに嵌め込み領域6c(環状の凹部)が形成される。嵌め込み領域6cには、第2の断熱板5の上面が嵌め込まれる。
ターボ分子ポンプ100のポンプ本体6の外周面6bの温度変化を比較するために以下に示すシミュレーションおよび実機試験を行った。実施例1では、図6のターボ分子ポンプ100を用いた。実施例2では、図7のターボ分子ポンプ100を用いた。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明する。上記実施の形態では、ターボ分子ポンプ100が真空ポンプの例であり、嵌め込み領域2dおよび嵌め込み領域4aが第1の嵌め込み領域の例であり、嵌め込み領域6cおよび嵌め込み領域4bが第2の嵌め込み領域の例であり、隙間GP1が第1の隙間の例であり、隙間GP2が第2の隙間の例であり、ポンプ本体6の下面6dが第1面の例であり、冷却器2の上面2uが対向面または第2面の例であり、平面視が第1の方向視の例である。
上述した複数の例示的な実施の形態は以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
ポンプ本体と、
前記ポンプ本体に設けられたヒータと、
前記ポンプ本体に電力を供給する電源装置と、
前記ポンプ本体と前記電源装置との間に設けられた冷却器と、
前記ポンプ本体と前記冷却器との間に設けられた接続板と、
前記冷却器と前記接続板との間に配置された第1の断熱板と、
前記ポンプ本体と前記接続板との間に配置された第2の断熱板とを備えてもよい。
前記冷却器および前記接続板のうち少なくとも一方は、前記第1の断熱板が嵌め込まれる第1の嵌め込み領域を有し、
前記冷却器と前記接続板との間に第1の隙間が形成され、
前記第1の断熱板の厚みは前記第1の隙間の厚みよりも大きくてもよい。
前記ポンプ本体および前記接続板のうち少なくとも一方は、前記第2の断熱板が嵌め込まれる第2の嵌め込み領域を有し、
前記ポンプ本体と前記接続板との間に第2の隙間が形成され、
前記第2の断熱板の厚みは前記第2の隙間の厚みよりも大きくてもよい。
前記ポンプ本体は、前記接続板に対向する第1面を有するとともに外周面を有し、
前記冷却器は、前記接続板に対向する第2面を有し、
前記接続板は、前記第1面に垂直な第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面から外方に突出する突出部を有し、
前記第1の断熱板は、前記突出部と前記冷却器の前記第2面との間に配置されてもよい。
前記突出部は、前記第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面を少なくとも部分的に取り囲むように形成され、
前記第1の断熱板は、前記第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面を少なくとも部分的に取り囲むように連続的または断続的に設けられ、
前記第2の断熱板は、前記第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面に沿って連続的または断続的に設けられてもよい。
ポンプ本体と、
前記ポンプ本体に設けられたヒータと、
前記ポンプ本体に電力を供給する電源装置と、
前記ポンプ本体と前記電源装置との間に設けられた冷却器と、
前記ポンプ本体と前記冷却器との間に設けられた接続板と、
前記冷却器と前記接続板との間に配置された第1の断熱板とを備え、
前記冷却器および前記接続板のうち少なくとも一方は、前記第1の断熱板が嵌め込まめる第1の嵌め込み領域を有し、
前記冷却器と前記接続板との間に第1の隙間が形成され、
前記第1の断熱板の厚みは前記第1の隙間の厚みよりも大きくてもよい。
前記ポンプ本体は外周面を有し、
前記冷却器は、前記接続板に対向する対向面を有し、
前記接続板は、前記対向面に垂直な第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面から外方に突出するように形成された突出部を有し、
前記第1の嵌め込み領域は、前記冷却器および前記突出部のうち少なくとも一方に設けられ、
前記第1の断熱板は、前記第1の嵌め込み領域に嵌め込まれるように前記冷却器と前記突出部との間に配置されてもよい。
前記突出部は、前記第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面を少なくとも部分的に取り囲むように形成され、
前記第1の嵌め込み領域は、前記第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面を少なくとも部分的に取り囲むように、前記冷却器および前記突出部のうち少なくとも一方に連続的または断続的に設けられ、
前記第1の断熱板は、前記第1の嵌め込み領域に嵌め込まれるように前記冷却器と前記突出部との間に配置されてもよい。
前記第1の方向視において、前記第1の断熱板の幅は、前記突出部の最小幅の2分の1以下であってもよい。
前記第1の方向視において、前記第1の断熱板の内縁部と前記ポンプ本体の前記外周面との間の距離は、前記突出部の前記最小幅の2分の1以上であってもよい。
Claims (10)
- ポンプ本体と、
前記ポンプ本体に設けられたヒータと、
前記ポンプ本体に電力を供給する電源装置と、
前記ポンプ本体と前記電源装置との間で、前記電源装置に設けられ、前記電源装置を冷却する冷却器と、
前記ポンプ本体と前記冷却器との間に設けられた、前記ポンプ本体と前記冷却器とを接続するための金属製の板状の接続板と、
前記冷却器と前記接続板との間に配置された第1の断熱板と、
前記ポンプ本体と前記接続板との間に配置された第2の断熱板とを備える、真空ポンプ。 - 前記冷却器および前記接続板のうち少なくとも一方は、前記第1の断熱板が嵌め込まれる第1の嵌め込み領域を有し、
前記冷却器と前記接続板との間に第1の隙間が形成され、
前記第1の断熱板の厚みは前記第1の隙間の厚みよりも大きい、請求項1記載の真空ポンプ。 - 前記ポンプ本体および前記接続板のうち少なくとも一方は、前記第2の断熱板が嵌め込まれる第2の嵌め込み領域を有し、
前記ポンプ本体と前記接続板との間に第2の隙間が形成され、
前記第2の断熱板の厚さは前記第2の隙間の厚さよりも大きい、請求項1または2記載の真空ポンプ。 - ポンプ本体と、
前記ポンプ本体に設けられたヒータと、
前記ポンプ本体に電力を供給する電源装置と、
前記ポンプ本体と前記電源装置との間で、前記電源装置に設けられ、前記電源装置を冷却する冷却器と、
前記ポンプ本体と前記冷却器との間に設けられた板状の接続板と、
前記冷却器と前記接続板との間に配置された第1の断熱板と、
前記ポンプ本体と前記接続板との間に配置された第2の断熱板とを備え、
前記ポンプ本体は、前記接続板に対向する第1面を有するとともに外周面を有し、
前記冷却器は、前記接続板に対向する第2面を有し、
前記接続板は、前記第1面に垂直な第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面から外方に突出する突出部を有し、
前記第1の断熱板は、前記突出部と前記冷却器の前記第2面との間に配置された、真空ポンプ。 - 前記突出部は、前記第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面を少なくとも部分的に取り囲むように形成され、
前記第1の断熱板は、前記第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面を少なくとも部分的に取り囲むように連続的または断続的に設けられ、
前記第2の断熱板は、前記第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面に沿って連続的または断続的に設けられた、請求項4記載の真空ポンプ。 - ポンプ本体と、
前記ポンプ本体に設けられたヒータと、
前記ポンプ本体に電力を供給する電源装置と、
前記ポンプ本体と前記電源装置との間で、前記電源装置に設けられ、前記電源装置を冷却する冷却器と、
前記ポンプ本体と前記冷却器との間に設けられた、前記ポンプ本体と前記冷却器とを接続するための金属製の板状の接続板と、
前記冷却器と前記接続板との間に配置された第1の断熱板とを備え、
前記冷却器および前記接続板のうち少なくとも一方は、前記第1の断熱板が嵌め込まめる第1の嵌め込み領域を有し、
前記冷却器と前記接続板との間に第1の隙間が形成され、
前記第1の断熱板の厚みは前記第1の隙間の厚みよりも大きい、真空ポンプ。 - ポンプ本体と、
前記ポンプ本体に設けられたヒータと、
前記ポンプ本体に電力を供給する電源装置と、
前記ポンプ本体と前記電源装置との間で、前記電源装置に設けられ、前記電源装置を冷却する冷却器と、
前記ポンプ本体と前記冷却器との間に設けられた板状の接続板と、
前記冷却器と前記接続板との間に配置された第1の断熱板とを備え、
前記冷却器および前記接続板のうち少なくとも一方は、前記第1の断熱板が嵌め込まめる第1の嵌め込み領域を有し、
前記冷却器と前記接続板との間に第1の隙間が形成され、
前記第1の断熱板の厚みは前記第1の隙間の厚みよりも大きく、
前記ポンプ本体は外周面を有し、
前記冷却器は、前記接続板に対向する対向面を有し、
前記接続板は、前記対向面に垂直な第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面から外方に突出するように形成された突出部を有し、
前記第1の嵌め込み領域は、前記冷却器および前記突出部のうち少なくとも一方に設けられ、
前記第1の断熱板は、前記第1の嵌め込み領域に嵌め込まれるように前記冷却器と前記突出部との間に配置された、真空ポンプ。 - 前記突出部は、前記第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面を少なくとも部分的に取り囲むように形成され、
前記第1の嵌め込み領域は、前記第1の方向視において、前記ポンプ本体の前記外周面を少なくとも部分的に取り囲むように、前記冷却器および前記突出部のうち少なくとも一方に連続的または断続的に設けられ、
前記第1の断熱板は、前記第1の嵌め込み領域に嵌め込まれるように前記冷却器と前記突出部との間に配置された、請求項7記載の真空ポンプ。 - 前記第1の方向視において、前記第1の断熱板の幅は、前記突出部の最小幅の2分の1以下である、請求項4、5、7または8記載の真空ポンプ。
- 前記第1の方向視において、前記第1の断熱板の内縁部と前記ポンプ本体の前記外周面との間の距離は、前記突出部の前記最小幅の2分の1以上である、請求項9記載の真空ポンプ。
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