JP7463032B2 - 被加工物の保持機構及び加工装置 - Google Patents
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Description
4 :基台
4a :開口
6 :X軸移動テーブル
8 :防塵防滴カバー
10 :チャックテーブル
10a :保持面
12 :切削ユニット(加工ユニット、加工手段)
14 :支持構造
16 :切削ユニット移動機構
18 :Y軸ガイドレール
20 :Y軸移動プレート
22 :Y軸ボールネジ
24 :Y軸パルスモータ
26 :Z軸ガイドレール
28 :Z軸移動プレート
30 :Z軸ボールネジ
32 :Z軸パルスモータ
34 :切削ブレード
36 :ノズル
38 :カメラ
40 :搬入側テーブル(ロードテーブル)
40a :保持面
42 :搬入側テーブル移動機構
44 :ガイドレール
46 :搬出側テーブル(アンロードテーブル)
46a :保持面
46b :流路
46c :バルブ
46d :吸引源
48 :搬出側テーブル移動機構
50 :ガイドレール
52 :搬送ユニット(搬送手段)
54 :保持機構(保持手段)
56 :直動機構(移動手段)
58 :ノズル
60 :保持基台
60a :保持面
60b :開口
62 :磁石
64 :リリース機構(リリース手段)
66 :カバーシート
66a :面
66b :凸部(凹凸構造)
68 :固定枠
70a :第1流路
70b :第2流路
72 :流体供給源(流体供給部)
74a :第1バルブ
74b :第2バルブ
76 :エジェクタ(アスピレータ)
76a :吸引口
76b :供給口
76c :排出口
78 :圧力計
86 :カバーシート
86a :面
86b :層
11 :被加工物
13 :粘着テープ
Claims (6)
- 強磁性を示す材料を含む被加工物に対応する形状及び大きさの保持面を有する保持基台と、
該保持基台の該保持面に設置され、該被加工物との間に引力を生じさせる磁石と、
該磁石との間に生じる引力によって該保持基台の該保持面側に保持される該被加工物に対して、該保持面から離れる向きの力を加えるリリース手段と、を備え、
該リリース手段は、
該保持面を覆うカバーシートと、
該保持面と該カバーシートとの間に流体を供給する流体供給部と、を有し、
該カバーシートの該保持面とは反対側の面には、複数のチップへと分割された後の該被加工物の該カバーシートによる吸着を抑制し、該チップの大きさの5%~50%の大きさを持つ凹凸構造、又は該カバーシートからの該被加工物の剥離を促進させる剥離促進剤を含む層が設けられており、
該カバーシートを介して該磁石との間に生じる引力によって該被加工物を保持するとともに、該流体供給部から供給される流体で該カバーシートを膨らませることによって該保持面から離れる向きの力を生じさせる被加工物の保持機構。 - 該凹凸構造の高低差は、50μm~500μm(ただし、50μmを除く)である請求項1に記載の被加工物の保持機構。
- 該リリース手段は、
該保持面と該流体供給部とを接続する第1流路と、
該第1流路に設けられたバルブと、
該バルブを介して該第1流路から分岐された第2流路と、
該第1流路の該バルブより該保持面側に接続される吸引口と、該第2流路に接続される供給口と、該供給口から供給された流体が排出される排出口と、を有するエジェクタと、を更に有し、
該バルブは、該第1流路を通じて該保持面と該カバーシートとの間に流体が供給される第1状態と、該第2流路を通じて該エジェクタの該供給口に流体が供給され該吸引口に負圧を発生させる第2状態と、に切り替えられる請求項1又は請求項2に記載の被加工物の保持機構。 - 強磁性を示す材料を含む被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該チャックテーブルに該被加工物を搬入し、又は該チャックテーブルから該被加工物を搬出する搬送手段と、を備え、
該搬送手段は、
該被加工物に対応する形状及び大きさの保持面を有する保持基台と、
該保持基台の該保持面に設置され、該被加工物との間に引力を生じさせる磁石と、
該磁石との間に生じる引力によって該保持基台の該保持面側に保持される該被加工物に対して、該保持面から離れる向きの力を加えるリリース手段と、を備え、
該リリース手段は、
該保持面を覆うカバーシートと、
該保持面と該カバーシートとの間に流体を供給する流体供給部と、を有し、
該カバーシートの該保持面とは反対側の面には、複数のチップへと分割された後の該被加工物の該カバーシートによる吸着を抑制し、該チップの大きさの5%~50%の大きさを持つ凹凸構造、又は該カバーシートからの該被加工物の剥離を促進させる剥離促進剤を含む層が設けられており、
該搬送手段は、該カバーシートを介して該磁石との間に生じる引力によって該被加工物を保持するとともに、該流体供給部から供給される流体で該カバーシートを膨らませることによって該保持面から離れる向きの力を生じさせる加工装置。 - 該凹凸構造の高低差は、50μm~500μm(ただし、50μmを除く)である請求項4に記載の加工装置。
- 該リリース手段は、
該保持面と該流体供給部とを接続する第1流路と、
該第1流路に設けられたバルブと、
該バルブを介して該第1流路から分岐された第2流路と、
該第1流路の該バルブより該保持面側に接続される吸引口と、該第2流路に接続される供給口と、該供給口から供給された流体が排出される排出口と、を有するエジェクタと、を更に有し、
該バルブは、該第1流路を通じて該保持面と該カバーシートとの間に流体が供給される第1状態と、該第2流路を通じて該エジェクタの該供給口に流体が供給され該吸引口に負圧を発生させる第2状態と、に切り替えられる請求項4又は請求項5に記載の加工装置。
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