JP7461151B2 - 外観検査装置 - Google Patents

Description

この発明は、生産ライン等で製造される被作業体であるワーク等、例えば、樹脂成型部品のキズ、変形、変質、欠落、異物混入等の有無または表面状態等の確認、寸法測定等を行う外観検査装置に関する。

特許文献１では、直交３軸方向に移動する軸ロボットの先端に回転３自由度の回転機構を搭載し、回転機構に光切断プローブを搭載して光切断プローブを任意の角度に制御し、パターン光の像の撮像信号から取得した画像データを用いて形状測定を行う形状測定装置が提案されている。

特許文献２では、垂直多関節ロボットの先端に被作業体を搭載して、固定したカメラと照明の前に被作業体を位置決めして外観検査を行う物品検査方法が提案されている。
特許文献３では、複数台のカメラと照明を配置した外観検査装置が提案されている。

特開２０１３－６４６４４号公報 特開２０１７－２６４４１号公報 特許第３５８３４５０号公報

従来から、カメラを直交ステージによりＸＹ平面上でＸＹ軸方向に移動させて、被作業体を上方から検査する外観検査装置がある。この外観検査装置において、被作業体の種類によっては照明の種類または照明を当てる方向によって見えやすさが変わるケースがあり、照明とカメラの配置は検査結果に影響を与える大きな要因となる。照明とカメラの最適な配置を決めるには、例えば、被作業体に対して照明を一定方向から当てた上で、カメラを様々な位置、方向から撮影し、事前に欠陥の判別が可能な画像を探し出す必要がある。そのためには、特許文献１、２に提案されているような、カメラおよび被作業体を様々な角度に位置決めする機構が求められる。

しかし、特許文献１のような、一般的な垂直多関節ロボットの手首関節と同じ構成である回転機構を用いた外観検査装置では、被作業体に対して様々な位置・方向から撮影するために先端の姿勢を少し変更させる場合だけでも、回転機構の一部もしくは全体が大きく動いてしまい、動作速度が遅くなるといった課題があった。または特許文献２の垂直多関節ロボットを使用した外観検査装置では、被作業体に対して様々な位置・方向から撮影するために先端の姿勢を少し変更させる場合だけでも、先端の回転機構もしくは垂直多関節ロボットの一部もしくは全体が大きく動いてしまい、動作速度が遅くといった課題があった。さらに、特許文献１もしくは特許文献２のような外観検査装置では、カメラの視野内に被作業体を様々な姿勢で配置するためには、被作業体もしくはカメラ、照明を大きく移動させる必要があり、外観検査装置全体が大きくなるといった課題があった。

また、特許文献３のような複数台のカメラと照明を配置した外観検査装置では、検査ポイント数が増えるたびに配置するカメラおよび照明の個数を増やす必要がある。そのため、装置全体のコストが高くなるだけでなく、型番変更時等の段取り替え時には配置したカメラおよび照明の位置を調整しなければいけないため、段取りに時間がかかるといった課題があった。

この発明の目的は、装置サイズがコンパクトで、被作業体に対して様々な角度からカメラによる検査対象の撮影を高速に実現できる外観検査装置を提供することである。

この発明の外観検査装置は、被作業体に対しリンク作動装置により相対的にカメラおよび照明具を位置決めして前記被作業体の外観検査を行う外観検査装置であって、
前記リンク作動装置は、基端側のリンクハブに対し先端側のリンクハブが３組以上のリンク機構を介して姿勢を変更可能に連結され、前記各リンク機構が、それぞれ前記基端側のリンクハブおよび前記先端側のリンクハブに一端が回転可能に連結された基端側および先端側の端部リンク部材と、これら基端側および先端側の端部リンク部材の他端に両端がそれぞれ回転可能に連結された中央リンク部材とを有し、前記３組以上のリンク機構のうちの２組以上のリンク機構に、前記基端側のリンクハブに対する前記先端側のリンクハブの姿勢を任意に変更させる姿勢制御用アクチュエータが設けられ、
前記基端側のリンクハブに前記カメラと前記照明具が設置され、
前記リンク作動装置は、前記先端側のリンクハブによって、前記被作業体を前記リンク作動装置の前記３組以上のリンク機構で囲まれる内部空間で前記カメラおよび前記照明具に対して位置決め可能である。

この構成によると、基端側のリンクハブにカメラおよび照明具が設置され、先端側のリンクハブによって、被作業体をリンク作動装置の内部空間でカメラおよび照明具に対して位置決め可能であるため、被作業体を大きく移動させることなく、被作業体に対して最大で半球面方向からカメラ、照明具を相対的に位置決めできる。したがって、非常にコンパクトな構成で外観検査装置を構築でき、従来の垂直多関節ロボットに比べて、被作業体に対して様々な角度からカメラによる検査対象の撮影を高速に実現できる。被作業体が、例えば、立方体または直方体の場合、立方体または直方体の５面に対して外観検査を実施できる。

前記リンク作動装置は、前記基端側のリンクハブの中心軸と前記先端側のリンクハブの中心軸との折れ角の最大値である最大折れ角をθmax、基端側の球面リンク中心と先端側の球面リンク中心との間の距離である球面リンク中心間距離をＬ、前記中央リンク部材の内側端の軌道円の直径をＤとした場合、次式の関係が成り立つようにしてもよい。

前記構成のリンク作動装置では、中央リンク部材は、リンク作動装置の姿勢が変わっても、常に先端側の球面リンク中心と基端側の球面リンク中心とを結ぶ直線を中心に同じ直径の軌道円上を動く。前記リンク作動装置の姿勢が変わるとは、基端側のリンクハブに対する先端側のリンクハブの姿勢が変化することを意味する。
上記式の関係が成り立つリンク作動装置を使用すると、中央リンク部材の内側端が基端側のリンクハブの中心軸と先端側のリンクハブの中心軸との交点と交差しない。このため、前記交点と交差する位置に被作業体を配置しても、中央リンク部材と被作業体が接触しにくくなり、リンク作動装置が広い可動範囲をとれるようになる。
なお前記「中央リンク部材の内側端」とは、中央リンク部材における旋回軌道の中心に最も近い部位を言う。

前記カメラの視野の短辺をＡ、前記基端側のリンクハブの中心軸と前記先端側のリンクハブの中心軸との折れ角の最大値である最大折れ角をθmax、基端側の球面リンク中心と先端側の球面リンク中心との間の距離である球面リンク中心間距離をＬとした場合、次式の関係が成り立つ前記カメラを使用してもよい。

前記カメラの被写界深度をＦ、前記基端側のリンクハブの中心軸と前記先端側のリンクハブの中心軸との折れ角の最大値である最大折れ角をθmax、基端側の球面リンク中心と先端側の球面リンク中心との間の距離である球面リンク中心間距離をＬとした場合、次式の関係が成り立つ前記カメラを使用してもよい。

前記基端側のリンクハブに、前記カメラの少なくとも一部または前記照明具の少なくとも一部を貫通させる貫通孔が設けられていてもよい。基端側のリンクハブに貫通孔を設けた場合、カメラの少なくとも一部または照明具の少なくとも一部を貫通孔に貫通させて設置できる。このため、カメラまたは照明具を配置し易くなるだけでなく、それらのケーブルを貫通孔から外部空間に取り出すことができる。

前記先端側のリンクハブに貫通孔が設けられ、前記被作業体を前記貫通孔を通して前記内部空間に搬入し、前記被作業体を前記内部空間から前記貫通孔を通して搬出する搬送装置を備え、この搬送装置が前記先端側のリンクハブに設けられていてもよい。この場合、搬送装置を用いて被作業体をリンク作動装置の内部空間に入れて外観検査を実施する。このため、被作業体の搬送工程の中にリンク作動装置を設置するだけで被作業体の外観検査も実施できるようになり、生産工程を大幅に変更することなく外観検査工程を追加することができる。そのため、設備全体のより一層のコンパクト化およびコスト低減を図れる。

前記搬送装置は、前記被作業体を把持する把持部を含む把持機構と、前記把持部の向きを変更する把持部方向変更機構とを有するとよい。この場合、把持部方向変更機構により、リンク作動装置の外部空間方向と内部空間方向に把持部の向きを変更できるため、外部空間での被作業体の把持作業と、内部空間での被作業体の位置決め作業を両方実施することができる。把持機構に把持部方向変更機構を設けるだけで複数の作業を実施できるため、外観検査装置全体のコンパクト化を実現できる。

前記搬送装置は、前記基端側のリンクハブに対する前記先端側のリンクハブの姿勢に応じて、前記被作業体の位置を調整する被作業***置調整手段を有するとよい。基端側と先端側の球面リンク中心と回転中心までの距離は、リンク作動装置の折れ角に応じて変わる。そのため、その距離の変化量に対して搬送装置の被作業***置調整手段により被作業体の位置を調整すれば、常にピントの合った画像を取得できるようになる。また、被作業体の搬送を行う搬送装置を用いて被作業体の位置を調整するため、位置調整用の別の機構を設ける必要がなく、外観検査装置全体のコンパクト化およびコスト低減を図れる。

この発明の外観検査装置は、被作業体に対しリンク作動装置により相対的にカメラおよび照明具を位置決めして前記被作業体の外観検査を行う外観検査装置であって、前記リンク作動装置は、基端側のリンクハブに対し先端側のリンクハブが３組以上のリンク機構を介して姿勢を変更可能に連結され、前記各リンク機構が、それぞれ前記基端側のリンクハブおよび前記先端側のリンクハブに一端が回転可能に連結された基端側および先端側の端部リンク部材と、これら基端側および先端側の端部リンク部材の他端に両端がそれぞれ回転可能に連結された中央リンク部材とを有し、前記３組以上のリンク機構のうちの２組以上のリンク機構に、前記基端側のリンクハブに対する前記先端側のリンクハブの姿勢を任意に変更させる姿勢制御用アクチュエータが設けられ、前記基端側のリンクハブに前記カメラと前記照明具が設置され、前記リンク作動装置は、前記先端側のリンクハブによって、前記被作業体を前記リンク作動装置の前記３組以上のリンク機構で囲まれる内部空間で前記カメラおよび前記照明具に対して位置決め可能である。このため、装置サイズがコンパクトで、被作業体に対して様々な角度からカメラによる検査対象の撮影を高速に実現できる。

この発明の第１の実施形態に係る外観検査装置の正面図である。 同外観検査装置のリンク作動装置の斜視図である。 同リンク作動装置の２つのリンク機構を省略した正面図である。 図３のIV-IV線の一部断面図である。 同リンク作動装置の１つのリンク機構を直線で表現した図である。 同リンク作動装置の中央リンク部材の軌道円を説明する図である。 図６のVII-VII線断面図である。 異なる姿勢の同リンク作動装置の中央リンク部材の軌道円を説明する図である。 図８のIX-IX線断面図である。 同リンク作動装置と被作業体の干渉回避方法を説明する図である。 同リンク作動装置に設けられたカメラの被写界深度と視野等を説明する図である。 同リンク作動装置の基端側のリンクハブに設けられたカメラの視野および被写界深度を示す図である。 同リンク作動装置の基端側のリンクハブに設けられたカメラの視野および被写界深度を示す図である。 同外観検査装置の搬送装置を表す図である。 同外観検査装置における他の状態の正面図である。 同外観検査装置におけるさらに他の状態の正面図である。 同外観検査装置におけるさらに他の状態の正面図である。 この発明の他の実施形態に係る外観検査装置の正面図である。 同外観検査装置におけるリンク作動装置等の斜視図である。 この発明のさらに他の実施形態に係る外観検査装置のリンク作動装置等の斜視図である。

［第１の実施形態］：リンク作動装置と搬送装置とを組み合わせた外観検査装置を図１ないし図１７と共に説明する。
＜外観検査装置の概略構造＞
図１に示すように、外観検査装置１は、被作業体２に対しリンク作動装置７により相対的にカメラＣｒおよび照明具Ｌｅを位置決めして被作業体２の外観検査を行う。リンク作動装置７の後述する基端側のリンクハブ１２に、カメラＣｒおよび照明具Ｌｅが設置されている。リンク作動装置７は、後述する先端側のリンクハブ１３によって、被作業体２をこのリンク作動装置７の内部空間ＮａでカメラＣｒおよび照明具Ｌｅに対して位置決め可能である。内部空間Ｎａは、リンク作動装置７の姿勢にかかわらず各リンク部材に干渉しない空間となる。前記内部空間Ｎａのうち、リンク作動装置７の姿勢にかかわらず各リンク部材に干渉しない範囲に被作業体２が位置決め可能であることが望ましい。

またこの実施形態では、先端側のリンクハブ１３に搬送装置Ｔｄが設置され、この搬送装置Ｔｄにより被作業体２が内部空間Ｎａに搬入され内部空間Ｎａから搬出される。リンク作動装置７と搬送装置Ｔｄは、同じコントローラＣｔに接続されており、このコントローラＣｔにより同期制御する構成である。なおリンク作動装置７と搬送装置Ｔｄのコントローラを個別に設け、リンク作動装置７と搬送装置Ｔｄを非同期で制御する構成にしてもよい。

＜リンク作動装置７について＞
リンク作動装置７は、例えば、架台６０に、このリンク作動装置７の後述する基端部材６が水平に支持された吊り下げ状態で設置されている。
図２および図３に示すように、リンク作動装置７は、搬送装置Ｔｄ（図１）の把持部６４ａを介して被作業体２を姿勢変更可能に支持するパラレルリンク機構９と、このパラレルリンク機構９を作動させる姿勢制御用アクチュエータ１０とを備える。

＜パラレルリンク機構９＞
パラレルリンク機構９は、基端側のリンクハブ１２に対し先端側のリンクハブ１３を３組のリンク機構１４を介して姿勢変更可能に連結したものである。リンク機構１４の組数は４組以上であってもよい。なお図１、図３では、１組のリンク機構１４のみが示され、残りの２つのリンク機構が省略されている。

各リンク機構１４は、基端側の端部リンク部材１５、先端側の端部リンク部材１６、および中央リンク部材１７を有し、４つの回転対偶からなる４節連鎖のリンク機構をなす。
図２～図４に示すように、基端側および先端側の端部リンク部材１５，１６はＬ字形状であり、一端がそれぞれ基端側のリンクハブ１２および先端側のリンクハブ１３に回転自在に連結されている。中央リンク部材１７は、両端に基端側および先端側の端部リンク部材１５，１６の他端がそれぞれ回転自在に連結されている。

パラレルリンク機構９は、２つの球面リンク機構を組み合わせた構造である。基端側のリンクハブ１２と基端側の端部リンク部材１５の各回転対偶、および基端側の端部リンク部材１５と中央リンク部材１７の各回転対偶の中心軸が、基端側の球面リンク中心ＰＡで交差している。同様に、先端側のリンクハブ１３と先端側の端部リンク部材１６の各回転対偶、および先端側の端部リンク部材１６と中央リンク部材１７の各回転対偶の中心軸が、先端側の球面リンク中心ＰＢで交差している。

また、基端側のリンクハブ１２の回転対偶の中心と基端側の球面リンク中心ＰＡ間の距離と、基端側の端部リンク部材１５の回転対偶の中心と基端側の球面リンク中心ＰＡ間の距離とは互いに同じである。基端側の端部リンク部材１５の回転対偶の中心と基端側の球面リンク中心ＰＡ間の距離と、中央リンク部材１７の回転対偶の中心と基端側の球面リンク中心ＰＡ間の距離とは互いに同じである。同様に、先端側のリンクハブ１３の回転対偶の中心と先端側の球面リンク中心ＰＢ間の距離と、先端側の端部リンク部材１６の回転対偶の中心と先端側の球面リンク中心ＰＢ間の距離とは互いに同じである。先端側の端部リンク部材１６の回転対偶の中心と先端側の球面リンク中心ＰＢ間の距離と、中央リンク部材１７の回転対偶の中心と先端側の球面リンク中心ＰＢ間の距離とは互いに同じである。基端側および先端側の端部リンク部材１５，１６と中央リンク部材１７との各回転対偶の中心軸は、ある交差角γを持っていてもよいし、平行であってもよい。

図４に、基端側のリンクハブ１２と基端側の端部リンク部材１５の各回転対偶の中心軸Ｏ１と、球面リンク中心ＰＡとの関係が示されている。先端側のリンクハブ１３（図３）および先端側の端部リンク部材１６（図３）の形状ならびに位置関係も、図示しないが図４と同様である。図４では、基端側のリンクハブ１２と基端側の端部リンク部材１５との各回転対偶の中心軸Ｏ１と、基端側の端部リンク部材１５と中央リンク部材１７との各回転対偶の中心軸Ｏ２とが成す角度αが９０°となっている。但し、前記角度αは９０°以外であってもよい。

３組のリンク機構１４は、幾何学的に同一形状をなす。幾何学的に同一形状とは、図５に示すように、各リンク部材１５，１６，１７を直線で表現した幾何学モデル、すなわち各回転対偶と、これら回転対偶間を結ぶ直線とで表現したモデルが、どのような姿勢をとっていても、中央リンク部材１７の中央部に対する基端側部分と先端側部分が対称を成す形状であることを言う。図５は、１組のリンク機構１４を直線で表現した図である。この実施形態のパラレルリンク機構９は回転対称タイプで、基端側のリンクハブ１２および基端側の端部リンク部材１５と、先端側のリンクハブ１３および先端側の端部リンク部材１６との位置関係が、中央リンク部材１７の中心線Ｃに対して回転対称となる位置関係になっている。各中央リンク部材１７の中央部は、共通の軌道円Ｄ上に位置している。

基端側のリンクハブ１２と先端側のリンクハブ１３と３組のリンク機構１４とで、基端側のリンクハブ１２に対し先端側のリンクハブ１３が直交２軸周りに回転自在な２自由度機構が構成されている。言い換えると、基端側のリンクハブ１２に対して先端側のリンクハブ１３を、回転が２自由度で姿勢変更自在な機構としている。この２自由度機構は、コンパクトでありながら、基端側のリンクハブ１２に対する先端側のリンクハブ１３の可動範囲を広くとれる。

例えば、基端側および先端側の球面リンク中心ＰＡ，ＰＢを通り、基端側および先端側のリンクハブ１２，１３と基端側および先端側の端部リンク部材１５，１６の各回転対偶の中心軸Ｏ１（図４）と直角に交わる直線を基端側および先端側のリンクハブ１２，１３の中心軸ＱＡ，ＱＢとした場合、基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡと先端側のリンクハブ１３の中心軸ＱＢとの折れ角θの最大値を約±９０°とすることができる。また、基端側のリンクハブ１２に対する先端側のリンクハブ１３の旋回角φを０°～３６０°の範囲に設定できる。折れ角θは、基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡに対して先端側のリンクハブ１３の中心軸ＱＢが傾斜した垂直角度のことである。一方、旋回角φは、基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡに対して先端側のリンクハブ１３の中心軸ＱＢが傾斜した水平角度のことである。

基端側のリンクハブ１２に対する先端側のリンクハブ１３の姿勢変更は、基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡと先端側のリンクハブ１３の中心軸ＱＢとの交点Ｏを回転中心として行われる。図６は、基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡと先端側のリンクハブ１３の中心軸ＱＢが同一線上にある状態を示し、図８は、基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡに対して先端側のリンクハブ１３の中心軸ＱＢが或る作動角をとった状態を示す。図５に示すように、基端側のリンクハブ１２に対する先端側のリンクハブ１３の姿勢が変化しても、基端側と先端側の球面リンク中心ＰＡ，ＰＢ間の距離Ｌは変化しない。

図４および図５に示すように、このパラレルリンク機構９において、以下の条件１～４をすべて満たすとき、中央リンク部材１７の対称面に対して、中央リンク部材１７と基端側および先端側の端部リンク部材１５，１６との角度位置関係を基端側と先端側とで同じにすれば、幾何学的対称性から基端側のリンクハブ１２および基端側の端部リンク部材１５と、先端側のリンクハブ１３および先端側の端部リンク部材１６とは同じに動く。

（条件１）各リンク機構１４における基端側および先端側のリンクハブ１２，１３と基端側および先端側の端部リンク部材１５，１６の回転対偶の中心軸Ｏ１の角度および基端側および先端側の球面リンク中心ＰＡ，ＰＢからの長さが互いに等しい。
（条件２）各リンク機構１４の基端側および先端側のリンクハブ１２，１３と基端側および先端側の端部リンク部材１５，１６の回転対偶の中心軸Ｏ１、および基端側および先端側の端部リンク部材１５，１６と中央リンク部材１７の回転対偶の中心軸Ｏ２が、基端側および先端側において基端側および先端側の球面リンク中心ＰＡ，ＰＢと交差する。
（条件３）基端側の端部リンク部材１５と先端側の端部リンク部材１６の幾何学的形状が等しい。
（条件４）中央リンク部材１７についても基端側と先端側とで形状が等しい。

図２（ａ）および図３に示すように、基端側のリンクハブ１２は、平板状の基端部材６と、この基端部材６と一体に設けられた３個の回転軸連結部材２１とを有する。図４に示すように、基端部材６は中央部に円形の貫通孔６ａを有し、この貫通孔６ａの周囲に３個の回転軸連結部材２１が円周方向に等間隔で配置されている。図３および図４に示すように、貫通孔６ａの中心は、基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡ上に位置する。各回転軸連結部材２１には、軸心が基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡと交差する回転軸２２が回転自在に連結されている。この回転軸２２に、基端側の端部リンク部材１５の一端が連結されている。

図４に示すように、回転軸２２は、軸方向に沿って順次、大径部２２ａ、小径部２２ｂ、および雄ねじ部２２ｃを有し、小径部２２ｂで２個の軸受２３を介して回転軸連結部材２１に回転自在に支持されている。軸受２３は、例えば深溝玉軸受、アンギュラ玉軸受等の玉軸受である。これらの軸受２３は、回転軸連結部材２１に設けられた内径溝に外輪外周面が嵌合状態で設置され固定されている。他の回転対偶部に設けられる軸受の種類および設置方法も同様である。

回転軸２２は、大径部２２ａで後述の減速機構５２の出力軸５２ａに同心軸上に配置されている。回転軸２２には、この回転軸２２と一体に回転するように、基端側の端部リンク部材１５の一端が連結されている。基端側の端部リンク部材１５の一端に切欠き部２５が形成され、この切欠き部２５の両側部分が内外一対の回転軸支持部２６，２７を構成している。これら一対の回転軸支持部２６，２７に貫通孔がそれぞれ形成されている。回転軸連結部材２１が切欠き部２５内に配置され、回転軸２２の小径部２２ｂが前記貫通孔および軸受２３の内輪内周面に挿通されている。回転軸２２の雄ねじ部２２ｃは、内側の回転軸支持部２７よりも内側に突出している。

回転軸２２の大径部２２ａの外周にスペーサ２８が嵌合され、このスペーサ２８を介して基端側の端部リンク部材１５と減速機構５２の出力軸５２ａとがボルト２９で固定されている。さらに、回転軸２２の雄ねじ部２２ｃにナットが螺着されている。軸受２３の内輪端面と一対の回転軸支持部２６，２７との間に、スペーサが介在されており、前記ナットの螺着時に軸受２３に予圧が付与される。

基端側の端部リンク部材１５の他端には、中央リンク部材１７の一端に回転自在に連結された回転軸３５が連結されている。この回転軸３５は、基端側のリンクハブ１２の回転軸２２と同様に、大径部３５ａ、小径部３５ｂ、および雄ねじ部３５ｃを有し、小径部３５ｂで２個の軸受３６を介して中央リンク部材１７の一端に回転自在に支持されている。基端側の端部リンク部材１５の他端に切欠き部３７が形成され、この切欠き部３７の両側部分が内外一対の回転軸支持部３８、３９を構成している。これら回転軸支持部３８、３９に貫通孔がそれぞれ形成されている。雄ねじ部３５ｃは、内側の回転軸支持部３９よりも内側に突出している。

切欠き部３７内に中央リンク部材１７の一端が配置され、前記小径部３５ｂが前記貫通孔および軸受３６の内輪内周面に挿通されている。さらに、雄ねじ部３５ｃにナットが螺着されている。軸受３６の内輪端面と一対の回転軸支持部３８，３９との間に、スペーサが介在されており、前記ナットの螺着時に軸受３６に予圧が付与される。

図２（ａ）および図６に示すように、先端側のリンクハブ１３は、平板状の先端部材４０と、この先端部材４０の底面に円周方向等配で設けられた３個の回転軸連結部材４１とを有する。各回転軸連結部材４１が配置される円周の中心は、先端側のリンクハブ１３の中心軸ＱＢ上に位置する。各回転軸連結部材４１には、軸心が先端側のリンクハブ１３の中心軸ＱＢと交差する回転軸４３が回転自在に連結されている。この回転軸４３に、先端側の端部リンク部材１６の一端が連結されている。先端側の端部リンク部材１６の他端には、中央リンク部材１７の他端に回転自在に連結された回転軸４５が連結されている。

先端側のリンクハブ１３の回転軸４３および中央リンク部材１７の回転軸４５も、前記回転軸３５（図４）と同じ形状であり、かつ２個の軸受（図示せず）を介して回転軸連結部材４１および中央リンク部材１７の他端にそれぞれ回転自在に連結されている。

＜姿勢制御用アクチュエータ１０＞
図２（ａ）および図４に示すように、姿勢制御用アクチュエータ１０は、減速機構５２を備えたロータリアクチュエータであり、基端側のリンクハブ１２の基端部材６の下面に前記回転軸２２と同軸上に設置されている。姿勢制御用アクチュエータ１０と減速機構５２は一体に設けられ、モータ固定部材５３により減速機構５２が基端部材６に固定されている。この例では、３組のリンク機構１４のすべてに姿勢制御用アクチュエータ１０が設けられているが、３組のリンク機構１４のうち少なくとも２組に姿勢制御用アクチュエータ１０を設ければ、基端側のリンクハブ１２に対する先端側のリンクハブ１３の姿勢を確定することができる。

図４に示すように、減速機構５２はフランジ出力であって、大径の出力軸５２ａを有する。出力軸５２ａの先端面は、出力軸５２ａの中心線と直交する平面状のフランジ面５４となっている。出力軸５２ａは、前記スペーサ２８を介して、基端側の端部リンク部材１５の回転軸支持部２６にボルト２９で接続されている。基端側のリンクハブ１２（図３）と基端側の端部リンク部材１５の回転対偶部を構成する、回転軸２２の大径部２２ａが、減速機構５２の出力軸５２ａに設けられた内径溝５７に嵌っている。

図３および図４に示すように、リンク作動装置７は、各姿勢制御用アクチュエータ１０を回転駆動することで、パラレルリンク機構９が作動する。詳しくは、姿勢制御用アクチュエータ１０が回転駆動すると、その回転が減速機構５２を介して減速して回転軸２２に伝達される。それにより、基端側のリンクハブ１２に対する基端側の端部リンク部材１５の角度が変わり、基端側のリンクハブ１２に対する先端側のリンクハブ１３の姿勢が変更される。

＜カメラおよび照明具について＞
図２（ａ），（ｂ）に示すように、基端側のリンクハブ１２における基端部材６には、この基端部材６の中央を貫通する貫通孔６ａが形成されている。被作業体２を撮影するカメラＣｒは、リンク内部空間Ｎａ側に向くように前記貫通孔６ａにカメラ本体の一部が嵌め込まれた状態で、このカメラＣｒの側面が取付部材６１を介して基端部材６に取付けられている。被作業体２を照らす照明具Ｌｅは、発光部が環状のリング照明であり、カメラＣｒの外周に位置するように基端部材６に支柱Ｌｅａを介して取付けられている。照明具Ｌｅとしては、例えば、発光ダイオード（略称ＬＥＤ：Light Emitting Diode）が適用されるが、蛍光灯または水銀灯等を適用することも可能である。

カメラＣｒの中心軸と、照明具Ｌｅにおける環状の発光部の中心軸とは同心に配置され、これらカメラＣｒおよび照明具Ｌｅの中心軸は、基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡ（図３）と一致している。但し、カメラＣｒおよび照明具Ｌｅの中心軸は、必ずしも基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡ（図３）と一致していなくてもよく、中心軸ＱＡ（図３）と平行であってもよい。なお、基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡ（図３）に対し、カメラＣｒおよび照明具Ｌｅの中心軸が傾いていてもよい。カメラＣｒおよび照明具Ｌｅは、配線を介してカメラ制御システム（図示せず）と繋がっており、前記カメラ制御システムにより撮影時の各種制御が行われる。なお、無線によりカメラＣｒおよび照明具Ｌｅを制御してもよく、またカメラＣｒおよび照明具Ｌｅに対しワイヤレス給電を行ってもよい。

図６～図９には、リンク作動装置７の中央リンク部材１７の軌道円を説明する図を示す。各中央リンク部材１７は、リンク作動装置７の姿勢が変わっても、基端側と先端側の球面リンク中心ＰＡ，ＰＢを結ぶ直線を中心として常に一定の直径の軌道円Ｃｏ上を移動する。ここでいう軌道円Ｃｏとは、中央リンク部材１７における旋回軌道の中心に最も近い部位である内側端１７ａの内接円を示す。図６、図７では基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡと先端側のリンクハブ１３の中心軸ＱＢとの折れ角θが０°の時の軌道円Ｃｏ、図８、図９では折れ角θが９０°の時の軌道円Ｃｏを示す。どちらの例でも、軌道円Ｃｏの中心は基端側と先端側の球面リンク中心ＰＡ，ＰＢを結ぶ直線上にあり、軌道円Ｃｏの直径も同じである。また、基端側と先端側で幾何学的に対称となる平面上に中央リンク部材１７の軌道円Ｃｏが存在している。

＜リンク作動装置と被作業体の干渉回避方法＞
図１０（ａ）は、リンク作動装置７と被作業体２の干渉回避方法の説明図（折れ角０°の状態）であり、図１０（ｂ）は、同干渉回避方法の他の説明図（最大折れ角９０°の状態）である。図１０の例では、リンク作動装置７が作業中に動作する最大折れ角をθmax、球面リンク中心間距離をＬ、中央リンク部材１７の軌道円Ｃｏ（図７）の直径をＤとした場合、Ｄ＞Ｌｔａｎ（θmax／２）の関係を満たすリンク作動装置７を示す。この例のリンク作動装置７の最大折れ角θmaxは９０°である。

上記関係式を満たすことで、リンク作動装置７がどのような姿勢になった場合でも、中央リンク部材１７の内側端面が基端側のリンクハブ１２の中心軸ＱＡと先端側のリンクハブ１３の中心軸ＱＢとの交点Ｏと交差しない。このため、図１０（ｂ）のように、前記交点Ｏと交差する位置に被作業体２を配置しても、中央リンク部材１７と被作業体２が接触しにくくなる。実際には、被作業体２のワークサイズを考慮しながら上記関係式を満たすようなリンク作動装置７を使用するとよい。この例では、リンク作動装置７の折れ角に応じて、搬送装置Ｔｄ（図１）により被作業体２を上下方向（Ｚ方向）に動かしているが、被作業体２の位置を固定してもよく、また径方向に移動させてもよい。

＜カメラの被写界深度、視野について＞
図１１、図１２および図１３は、カメラＣｒの被写界深度Ｆと視野Ｆｖ等を説明する図である。図１１では、カメラＣｒの被写界深度Ｆと視野Ｆｖに対する被作業体２の位置関係を示している。図１１（ａ）に示すように、カメラＣｒの先端部から被写体までの距離Ｌａに対し、カメラＣｒのピントが合う奥行き方向の範囲を被写界深度Ｆ、径方向寸法を視野Ｆｖと定義している。ここでは、視野Ｆｖを短辺Ａ×長辺Ｂの長方形、ピントの合う領域を視野Ｆｖに対して奥行き方向に伸ばした直方体としている。なお、視野Ｆｖの短辺Ａと長辺Ｂの長さを同じ寸法にした正方形としてもよく、さらに奥行き方向まで視野Ｆｖの一辺と同じ寸法にしてピントの合う領域を立方体にしてもよい。

図１１（ｂ），（ｃ）では、カメラＣｒの視野の短辺をＡ、カメラＣｒの被写界深度をＦとした場合、以下の関係を全て満たすカメラＣｒをリンク作動装置７に搭載し、搬送装置Ｔｄ（図１）により被作業体２の位置を固定した状態で、リンク作動装置７を動かしながら被作業体２の外観検査を行う構成を示す。

そのため、上記の関係を全て満たすカメラＣｒを使用することで、図１１（ｂ），（ｃ）に示すように、被作業体２はカメラＣｒのピントが合う領域内に存在することになり、搬送装置Ｔｄ（図１）により被作業体２の位置を固定した状態でも、被作業体２の５面方向から外観検査を実施できるようになる。視野Ｆｖの短辺をＡもしくはカメラＣｒの被写界深度をＦのいずれか一方の関係式だけを満たすカメラＣｒを選定してもよい。その場合でも、搬送装置Ｔｄ（図１）により被作業体２の移動量を小さくすることができる。したがって、タクトタイムつまり生産性も向上し得る。

＜搬送装置について＞
図１および図１４に示すように、搬送装置Ｔｄには１軸の直動アクチュエータ６７を使用している。搬送装置Ｔｄは先端側のリンクハブ１３に設置されている。搬送装置Ｔｄは、被作業***置調整手段である前記直動アクチュエータ６７と、この直動アクチュエータ６７に支持された把持機構６４と、把持部方向変更機構７０とを備える。直動アクチュエータ６７は、先端側のリンクハブ１３に図示外の固定具を介して固定されたガイド６７ｂと、このガイド６７ｂに沿って案内されるステージ部６７ｃと、ステージ部６７ｃを移動駆動させる駆動源であるモータ６７ａと、このモータ６７ａの回転を直線往復動作に変換するボールねじ等の変換機構（図示せず）とを有する。ガイド６７ｂは、先端部材４０の貫通孔４０ａ（図２（ａ））に所定の隙間を空けて挿通され、且つ、先端部材４０の平面に対し直交する方向に延びるように、先端側のリンクハブ１３に固定されている。

ステージ部６７ｃに、把持部方向変更機構７０を介して、被作業体２を把持する把持部６４ａを含む把持機構６４が支持されている。この把持機構６４は、内径部にエアーを通す通路が設けられたＬ字形状のものを使用しており、エアーの負圧の吸引力で被作業体２をこの把持機構６４の先端部である前記把持部６４ａで吸引して被作業体２を把持する構成（バキュームチャック）を適用しているが、例えば、流体圧シリンダ（図示せず）のロッドの進退動作を、歯車機構等を介して被作業体２を把持するチャックの開閉動作に変換するエアーチャック等他の機構を使用してもよい。

把持機構６４の根本つまり基端部には、把持部６４ａの向きを変更する把持部方向変更機構７０が設けられている。具体的には、ステージ部６７ｃの進行方向における前後方向に把持部６４ａを向けられるように、把持部方向変更機構７０として回転モータを配置している。ステージ部６７ｃの進行方向における前後方向に把持部６４ａを向けられる機構であれば、把持部方向変更機構７０として回転モータ以外の機構を用いてもよい。例えば、把持機構６４の棒状の部分を弾性体にして、把持部方向変更機構７０としてワイヤ等で把持部６４ａの先端を引張る構成等が考えられる。

把持機構６４に把持された被作業体２は、先端部材４０の貫通孔４０ａ（図２（ａ））を通してリンク機構１４の内部空間Ｎａに搬入される。また被作業体２は、前記内部空間Ｎａから貫通孔４０ａ（図２（ａ））を通して外部空間に搬出される。直動アクチュエータ６７は、基端側のリンクハブ１２に対する先端側のリンクハブ１３の姿勢に応じて、把持機構６４で把持された被作業体２の位置を調整してもよい。

＜外観検査装置の流れ（概略）について＞
（１）図１に示すように、リンク作動装置７を下向き（折れ角０°）にして、搬送装置Ｔｄのステージ部６７ｃを下部方向へ移動し、把持部方向変更機構７０により把持機構６４の把持部６４ａを下向きに向ける。
（２）図１５に示すように、ステージ部６７ｃをさらに下部方向に移動し、設置面ＳＦの搬入位置Ｐ_ＩＮに搬入されている被作業体２を把持機構６４により把持する。
（３）図１６に示すように、ステージ部６７ｃを所定距離上方に移動させた状態で、把持部方向変更機構７０を駆動して、把持機構６４の把持部６４ａを上向きにする。

（４）図１７に示すように、前記把持部６４ａを上向きにしたままステージ部６７ｃを上部方向へ動かし、先端部材４０の貫通孔４０ａ（図２（ａ））から被作業体２をリンク作動装置７の内部空間Ｎａの検査位置に移動させる。
（５）リンク作動装置７を動かし、被作業体２を動かしながらカメラＣｒから画像を取得し、画像処理によりＯＫ／ＮＧ判定を行う。
・リンク作動装置７は、事前に登録した位置に対して位置決めする場合、または予め作成した動作パターンを実行させる場合等を想定しているが、その限りではない。
・リアルタイムに画像処理を行わず、この段階では画像の取得のみ行い、別工程でＯＫ／ＮＧ（良否）判定を行ってもよい。
・被作業体２は一定の位置に固定したまま、画像を取得する検査または画像の取得および画像処理を行う検査を行ってもよく、搬送装置Ｔｄにより被作業体２を移動させながら画像を取得する検査または画像の取得および画像処理を行う検査を行ってもよい。
（６）図１６に示すように、ステージ部６７ｃを下部方向へ移動させ、前記貫通孔４０ａ（図２（ａ））から被作業体２をリンク作動装置７の外部空間に出す。
（７）図１５に示すように、把持部方向変更機構７０を駆動して把持部６４ａを下向きにして、被作業体２であるワークを搬出位置Ｐ_ＯＵＴに置く。

被作業体２の搬入・搬出位置Ｐ_ＩＮ，Ｐ_ＯＵＴには、作業者が被作業体２を設置し、取り出しを行う。但し、図示外のコンベア等または垂直多関節ロボットのようなもので被作業体２を移動させてもよい。また、被作業体２を搬出する際には、画像処理結果に基づき、被作業体２のＯＫ品とＮＧ品を別々の搬出位置Ｐ_ＯＵＴに置くようにしてもよい。本実施形態ではリンク作動装置７の真下に搬入・搬出位置Ｐ_ＩＮ，Ｐ_ＯＵＴを設けているが、別の場所に設けてもよく、また搬入位置Ｐ_ＩＮと搬出位置Ｐ_ＯＵＴをそれぞれ個別に設けてもよい。

＜作用効果＞
以上説明した外観検査装置１によれば、基端側のリンクハブ１２にカメラＣｒおよび照明具Ｌｅが設置され、先端側のリンクハブ１３によって、被作業体２をリンク作動装置７の内部空間ＮａでカメラＣｒおよび照明具Ｌｅに対して位置決め可能であるため、被作業体２を大きく移動させることなく、被作業体２に対して最大で半球面方向からカメラＣｒ、照明具Ｌｅを相対的に位置決めできる。したがって、非常にコンパクトな構成で外観検査装置１を構築でき、従来の垂直多関節ロボットに比べて、被作業体２に対して様々な角度からカメラＣｒによる撮影を高速に実現できる。

カメラＣｒは、リンク内部空間Ｎａ側に向くように基端部材６の中央を貫通する貫通孔６ａにカメラ本体の一部が嵌め込まれた状態で、このカメラＣｒの側面が取付部材６１を介して基端部材６に取付けられている。このようにカメラＣｒの一部を貫通孔６ａに貫通させて設置できる。このため、カメラＣｒを配置し易くなるだけでなく、そのケーブルを貫通孔６ａから外部空間に取り出すことができる。

先端側のリンクハブ１３に貫通孔４０ａが設けられ、被作業体２を貫通孔４０ａを通して内部空間Ｎａに搬入し、被作業体２を内部空間Ｎａから貫通孔４０ａを通して外部空間に搬出する搬送装置Ｔｄを備えた。この場合、搬送装置Ｔｄを用いて被作業体２をリンク作動装置７の内部空間Ｎａに入れて外観検査を実施する。このため、被作業体２の搬送工程の中にリンク作動装置７を設置するだけで被作業体２の外観検査も実施できるようになり、生産工程を大幅に変更することなく外観検査工程を追加することができる。そのため、設備全体のより一層のコンパクト化およびコスト低減を図れる。

搬送装置Ｔｄは、前記把持部６４ａの向きを変更する把持部方向変更機構７０により、リンク作動装置７の外部空間方向と内部空間方向に前記把持部６４ａの向きを変更できる。このため、外部空間での被作業体２の把持作業と、内部空間Ｎａでの被作業体２の位置決め作業を両方実施することができる。把持機構６４に把持方向変更機構７０を設けるだけで複数の作業を実施できるため、外観検査装置全体のコンパクト化を実現できる。

搬送装置Ｔｄは、基端側のリンクハブ１２に対する先端側のリンクハブ１３の姿勢に応じて、被作業体２の位置を調整する直動アクチュエータ６７を有する。基端側と先端側の球面リンク中心ＰＡ，ＰＢと回転中心までの距離は、リンク作動装置７の折れ角θに応じて変わる。そのため、その距離の変化量に対して搬送装置Ｔｄの直動アクチュエータ６７により被作業体２の位置を調整すれば、常にピントの合った画像を取得できるようになる。また、被作業体２の搬送を行う搬送装置Ｔｄを用いて被作業体２の位置を調整するため、位置調整用の別の機構を設ける必要がなく、外観検査装置全体のコンパクト化およびコスト低減を図れる。

＜他の実施形態について＞
以下の説明においては、各実施の形態で先行して説明している事項に対応している部分には同一の参照符号を付し、重複する説明を略する。構成の一部のみを説明している場合、構成の他の部分は、特に記載のない限り先行して説明している形態と同様とする。同一の構成から同一の作用効果を奏する。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組合せることも可能である。

図１８に示すように、基端部材６に貫通孔が形成されていない基端側のリンクハブ１２に、カメラＣｒおよび照明具Ｌｅが固定され、搬送装置が設けられていない外観検査装置１としてもよい。この外観検査装置１には、内部空間Ｎａに被作業体２を位置させる被作業体支持手段として、被作業体２を把持する把持機構６４が先端部材４０に設けられている。この場合、検査対象の被作業体２を例えば作業者の手により把持機構６４に把持させ得る。なお前記被作業体支持手段として、把持機構６４に代えて、被作業体２を支持する支持台（図示せず）、または前記支持台およびこの支持台に被作業体２を着脱自在に固定する固定具（図示せず）等を適用してもよい。

図１９に示すように、先端部材４０に貫通孔が形成されていない先端側のリンクハブ１３に、被作業体２が着脱自在に固定され、基端部材６に貫通孔が形成されていない基端側のリンクハブ１２に、カメラＣｒおよび照明具Ｌｅが固定される構成であってもよい。

図２０に示すように、先端部材４０に貫通孔が形成されていない先端側のリンクハブ１３に、被作業体２が着脱自在に固定され、基端部材６に貫通孔６ａが形成されている基端側のリンクハブ１２に、カメラＣｒおよび照明具Ｌｅが固定される構成であってもよい。この場合、カメラＣｒは、内部空間Ｎａ側に向くように前記貫通孔６ａにカメラ本体の一部が嵌め込まれた状態で、このカメラＣｒの側面が取付部材６１を介して基端部材６に取付けられている。

基端側のリンクハブの基端部材に、カメラおよび照明具が固定して設置されているが、参考提案例として、カメラおよび照明具を１つもしくは複数の直動アクチュエータに搭載し、前記直動アクチュエータによりカメラ、照明具の少なくともいずれか一方の位置を微小に変化させてもよい。
基端側のリンクハブの基端部材に、カメラおよび照明具が固定して設置されているが、参考提案例として、カメラおよび照明具のいずれか一方を基端部材に搭載し、他方を架台等の別の場所に設置して使用してもよい。その他、参考提案例として、カメラおよび照明具を架台６０等に設置してもよい。
基端側のリンクハブの基端部材に、カメラおよび照明具が固定して設置されているが、参考提案例として、例えば、ディスペンサのような他のエンドエフェクタを基端部材に設置してもよい。
図１８～図２０では、先端側のリンクハブ１３に、被作業体２が着脱自在に固定されているが、参考提案例として、例えば、垂直多関節ロボットのような搬送装置を別の場所におき、リンク機構１４間の隙間から搬送装置により被作業体２を搬入・搬出しても良い。

搬送装置は１軸の直動アクチュエータを備えているが、複数の直動アクチュエータを使用してもよい。また、リンク作動装置の内部空間に被作業体を引き込める構成であれば、他の機構を使用してもよい。
基端側のリンクハブ１２における基端部材６の貫通孔６ａに、カメラＣｒの全体が嵌め込まれていてもよい。前記基端部材６の貫通孔６ａに、照明具Ｌｅの一部が嵌め込まれていてもよく、照明具Ｌｅの全体が嵌め込まれていてもよい。

以上、実施形態に基づいてこの発明を実施するための形態を説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。この発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１…外観検査装置、２…被作業体、６ａ…貫通孔、７…リンク作動装置、１０…姿勢制御用アクチュエータ、１２…基端側のリンクハブ、１３…先端側のリンクハブ、１４…リンク機構、１５…基端側の端部リンク部材、１６…先端側の端部リンク部材、１７…中央リンク部材、６４…把持機構、６４ａ…把持部、６７…直動アクチュエータ（被作業***置調整手段）、７０…把持部方向変更機構、Ｃｒ…カメラ、Ｌｅ…照明具、Ｎａ…内部空間、ＰＡ…基端側の球面リンク中心、ＰＢ…先端側の球面リンク中心、Ｔｄ…搬送装置

Claims (8)

1. 被作業体に対しリンク作動装置により相対的にカメラおよび照明具を位置決めして前記被作業体の外観検査を行う外観検査装置であって、
   前記リンク作動装置は、基端側のリンクハブに対し先端側のリンクハブが３組以上のリンク機構を介して姿勢を変更可能に連結され、前記各リンク機構が、それぞれ前記基端側のリンクハブおよび前記先端側のリンクハブに一端が回転可能に連結された基端側および先端側の端部リンク部材と、これら基端側および先端側の端部リンク部材の他端に両端がそれぞれ回転可能に連結された中央リンク部材とを有し、前記３組以上のリンク機構のうちの２組以上のリンク機構に、前記基端側のリンクハブに対する前記先端側のリンクハブの姿勢を任意に変更させる姿勢制御用アクチュエータが設けられ、
   前記基端側のリンクハブに前記カメラと前記照明具が設置され、
   前記リンク作動装置は、前記先端側のリンクハブによって、前記被作業体を前記リンク作動装置の前記３組以上のリンク機構で囲まれる内部空間で前記カメラおよび前記照明具に対して位置決め可能である外観検査装置。
2. 請求項１に記載の外観検査装置において、前記リンク作動装置は、前記基端側のリンクハブの中心軸と前記先端側のリンクハブの中心軸との折れ角の最大値である最大折れ角をθmax、基端側の球面リンク中心と先端側の球面リンク中心との間の距離である球面リンク中心間距離をＬ、前記中央リンク部材の内側端の軌道円の直径をＤとした場合、次式の関係が成り立つ外観検査装置。
   

   
3. 請求項１または請求項２に記載の外観検査装置において、前記カメラの視野の短辺をＡ、前記基端側のリンクハブの中心軸と前記先端側のリンクハブの中心軸との折れ角の最大値である最大折れ角をθmax、基端側の球面リンク中心と先端側の球面リンク中心との間の距離である球面リンク中心間距離をＬとした場合、次式の関係が成り立つ前記カメラを使用する外観検査装置。
   

   
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の外観検査装置において、前記カメラの被写界深度をＦ、前記基端側のリンクハブの中心軸と前記先端側のリンクハブの中心軸との折れ角の最大値である最大折れ角をθmax、基端側の球面リンク中心と先端側の球面リンク中心との間の距離である球面リンク中心間距離をＬとした場合、次式の関係が成り立つ前記カメラを使用する外観検査装置。
   

   
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の外観検査装置において、前記基端側のリンクハブに、前記カメラの少なくとも一部または前記照明具の少なくとも一部を貫通させる貫通孔が設けられている外観検査装置。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の外観検査装置において、前記先端側のリンクハブに貫通孔が設けられ、前記被作業体を、前記先端側のリンクハブに設けられた前記貫通孔を通して前記内部空間に搬入し、前記被作業体を前記内部空間から前記先端側のリンクハブに設けられた前記貫通孔を通して搬出する搬送装置を備え、この搬送装置が前記先端側のリンクハブに設けられている外観検査装置。
7. 請求項６に記載の外観検査装置において、前記搬送装置は、前記被作業体を把持する把持部を含む把持機構と、前記把持部の向きを変更する把持部方向変更機構とを有する外観検査装置。
8. 請求項６または請求項７に記載の外観検査装置において、前記搬送装置は、前記基端側のリンクハブに対する前記先端側のリンクハブの姿勢に応じて、前記被作業体の位置を調整する被作業***置調整手段を有する外観検査装置。

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