JP7456633B2 - ワーク端面クリーンローラ装置 - Google Patents

Description

特許法第３０条第２項適用 ２０１６年４月２５日 インテルコーポレーションに納入

この発明は、ワーク端面クリーンローラ装置に関する。

従来のワーク端面クリーンローラ装置には、たとえば、特許文献１、特許文献２に示すように、載置板と押圧板とを備えるものがある。このようなワーク端面クリーンローラ装置は、載置板と押圧板とでワーク（パネル材）の中央部分を挟み込んで保持し、粘着ラバーロールを移動させて粘着ラバーロールでワークの端面に付着している塵埃を吸着除去する。

特開２００１－１２１３８０号公報 特開２００１－２０５２１０号公報

ところが、従来のワーク端面クリーンローラ装置は、載置板と押圧板とでワークの中央部分を挟み込んで保持するものであるから、ワークの端面に近い縁部が載置板と押圧板とで挟み込まれて保持されていない。このため、従来のワーク端面クリーンローラ装置は、ワークの厚さが、たとえば、約０．１～０．２５ｍｍと、薄いと、粘着ラバーロールをワークの端面に押し付けた際に、ワークが垂れたり歪んだりしてしまい、ワークの縁部の位置が垂れや歪みのないものに比較してずれる場合がある。この場合においては、粘着ラバーロールの押圧力が一定とはならず、厚さが薄いワークの端面の塵埃を確実に除去することが難しい。

また、従来のワーク端面クリーンローラ装置は、ワークを載置板と押圧板とで挟み込んだ際に、ワークが所定もしくは正規の位置に対してずれたり傾いたりする場合があり、また、加工誤差などによりワークの端面が設計通りに加工されていない場合がある。この場合においては、ワークが所定もしくは正規の位置にあるものとして、粘着ラバーロールを移動させても、粘着ラバーロールの押圧力が一定とはならず、塵埃を粘着ラバーロールで確実に除去することが難しい。

この発明が解決しようとする課題は、厚さが薄いワークの端面の塵埃を確実に除去することができるワーク端面クリーンローラ装置を提供することにある。

また、この発明が解決しようとする課題は、ずれたり傾いたりしている状態で保持されているワークの端面、あるいは、加工誤差があるワークの端面に付着した塵埃を確実に除去することができるワーク端面クリーンローラ装置を提供することにある。

この発明のワーク端面クリーンローラ装置は、フィルム状もしくはシート状のワークの端面の塵埃を除去するワーク端面クリーンローラ装置であって、ワークの２つの平面のうち少なくともいずれか一方の平面には、接触禁止範囲が形成されていて、ワークの接触禁止範囲以外の範囲であって、少なくともワークの縁部が、接触可能範囲であり、ワークの接触可能範囲に接触してワークを、ワークの平面もしくはほぼ平面方向に搬送する搬送部を有する搬送装置と、搬送装置の搬送部により搬送されたワークの接触可能範囲を、ワークの平面に対して垂直もしくはほぼ垂直方向に挟み込んで保持する保持装置と、保持装置により保持されたワークの１辺に沿って移動してワークの端面に付着した塵埃を除去するクリーニング装置と、を備え、保持装置が、ワークの上平面の接触可能範囲に当接する第１当接面を有する第１保持部材と、ワークの下平面の接触可能範囲に当接する第２当接面を有する第２保持部材と、を有し、第２保持部材のうち、搬送装置の搬送部に対応する箇所には、空所部が設けられている、ことを特徴とする。

この発明のワーク端面クリーンローラ装置は、クリーニング装置が、ワーク端面クリーンローラ装置の前側に装備されている前側のクリーニング装置と、ワーク端面クリーンローラ装置の後側に装備されている後側のクリーニング装置と、ワーク端面クリーンローラ装置の左側に装備されている左側のクリーニング装置と、ワーク端面クリーンローラ装置の右側に装備されている右側のクリーニング装置と、を有し、前側のクリーニング装置と後側のクリーニング装置とが、搬送装置の上側を跨ぐように立体交差的に設けられていて、左側のクリーニング装置と右側のクリーニング装置とが、搬送装置の左側と右側とに、搬送装置と並列に設けられている、ことが好ましい。

この発明のワーク端面クリーンローラ装置は、接触可能範囲が、ワークの２つの平面の４辺の縁部からなる範囲であり、または、ワークの２つの平面の４辺の縁部と、ワークの２つの平面の中央の十字部と、からなるワークの２つの平面の田の字の範囲であり、クリーニング装置が、４個装備されていて、ワークの４つの端面の塵埃を４個同時に除去する、ことが好ましい。

この発明のワーク端面クリーンローラ装置は、搬送装置と、検出部と、制御部と、を備え、搬送装置が、ワークを搬入する搬入機構と、ワークを搬出する搬出機構と、搬入機構と搬出機構との間に配置されていて、搬送部を有する中間搬送機構と、を有し、検出部が、中間搬送機構の搬送部の駆動により搬送されたワークを検出し、制御部が、検出部からの検出信号により中間搬送機構の搬送部の駆動を停止させて、ワークをワークの平面もしくはほぼ平面方向の所定位置に位置させる、ことが好ましい。

この発明のワーク端面クリーンローラ装置は、保持装置と、制御部と、を備え、保持装置が、第１保持部材をワークの平面に対して垂直もしくはほぼ垂直方向に移動させる第１アクチュエータと、第２保持部材をワークの平面に対して垂直もしくはほぼ垂直方向に移動させる第２アクチュエータと、を有し、制御部が、第１保持部材をワークの平面に対して垂直もしくはほぼ垂直方向の所定位置に位置させ、かつ、所定位置を変動させるように第１アクチュエータを制御し、第２保持部材を所定位置近傍に位置させて、第２当接面をワークの他平面の接触可能範囲に当接させ、かつ、ワークの一平面の接触可能範囲を第１当接面に当接させて、第１保持部材と第２保持部材とによりワークの接触可能範囲を挟み込んで保持するように第２アクチュエータを制御する、ことが好ましい。

この発明のワーク端面クリーンローラ装置は、クリーニング装置と、検出部と、制御部と、を備え、クリーニング装置が、第１移動部と、第１移動部をワークの１辺に対して平行もしくはほぼ平行方向に移動可能にガイドする第１ガイド部と、第１移動部を第１ガイド部に沿って移動させる第１駆動部と、ワークの端面に付着した塵埃（いわゆる、ゴミ）を取る塵埃取ロール（いわゆる、ゴミ取ロール）を有する第２移動部と、第２移動部を第１移動部に、ワークの１辺に対して垂直もしくはほぼ垂直方向に移動可能に取り付けると共にガイドする第２ガイド部と、第２移動部を第２ガイド部に沿って移動させる第２駆動部と、を有し、検出部が、保持装置により保持されたワークの端面を検出し、制御部が、検出部からの検出信号に基づいてワークの１辺の基準辺に対する傾斜を演算し、かつ、演算結果に基づいて第１駆動部および第２駆動部を制御して、塵埃取ロールを傾斜しているワークの１辺に沿って移動させる、ことが好ましい。

この発明のワーク端面クリーンローラ装置は、フィルム状もしくはシート状のワークの端面の塵埃を除去するワーク端面クリーンローラ装置であって、ワークを、ワークの平面もしくはほぼ平面方向に搬送する搬送装置と、搬送装置により搬送されたワークの縁部を、ワークの平面に対して垂直もしくはほぼ垂直方向に挟み込んで保持する保持装置と、保持装置により保持されたワークの１辺に沿って移動してワークの端面に付着した塵埃を除去するクリーニング装置と、を備え、クリーニング装置が、ワーク端面クリーンローラ装置の前側に装備されている前側のクリーニング装置と、ワーク端面クリーンローラ装置の後側に装備されている後側のクリーニング装置と、ワーク端面クリーンローラ装置の左側に装備されている左側のクリーニング装置と、ワーク端面クリーンローラ装置の右側に装備されている右側のクリーニング装置と、を有し、前側のクリーニング装置と後側のクリーニング装置とが、搬送装置の上側を跨ぐように立体交差的に設けられていて、左側のクリーニング装置と右側のクリーニング装置とが、搬送装置の左側と右側とに、搬送装置と並列に設けられている、ことを特徴とする。

この発明のワーク端面クリーンローラ装置は、厚さが薄いワークの端面の塵埃を確実に除去することができる。また、この発明のワーク端面クリーンローラ装置は、ずれたり傾いたりしている状態で保持されているワークの端面、あるいは、加工誤差があるワークの端面に付着した塵埃を確実に除去することができる。

図１は、この発明にかかるワーク端面クリーンローラ装置の実施形態を示す要部の概略断面図である。 図２は、ワークと保持装置との相対位置関係を示す説明図（図１におけるＩＩ－ＩＩ線矢視図）である。 図３は、ワークの接触可能範囲と接触禁止範囲とを示す説明図である。 図４は、保持装置の第１保持部材の第１当接面と第２保持部材の第２当接面とを示す説明図である。 図５は、４個のクリーニング装置でワークの４つの端面を同時にクリーニングする状態を示す概略正面図である。 図６は、４個のクリーニング装置でワークの４つの端面を同時にクリーニングする状態を示す概略正面図（図５におけるＶＩ矢視図）である。 図７は、ワークが中間搬送機構上の所定位置に停止している状態を示す概略側面図である。 図８は、第１保持部材が所定位置に位置している状態を示す概略側面図である。 図９は、ワークが保持装置により保持されている状態を示す概略側面図である。 図１０は、ワークの端面の基準辺に対する傾斜の演算の一例を示す説明図である。 図１１は、塵埃取ロールを傾斜しているワークの端面に沿って移動させる状態を示す説明図である。 図１２は、ワークが中間搬送機構上の所定位置に停止している状態を示す概略側面図（図７、図８に対応する側面図）である。 図１３は、ワークが第２保持部材により中間搬送機構上から持ち上げられている状態を示す概略側面図（図９に対応する側面図）である。 図１４は、中間搬送機構を示す概略平面図（図１３におけるＸＩＶ－ＸＩＶ線矢視図）である。 図１５は、クリーニング装置を示す概略側面図である。 図１６は、クリーニング装置を示す概略平面図（図１５におけるＸＶＩ矢視図）である。 図１７は、搬送装置、保持装置、４個のクリーニング装置を示す概略側面図である。 図１８は、搬送装置、保持装置、４個のクリーニング装置を示す概略平面図（図１７におけるＸＶＩＩＩ矢視図）である。 図１９は、検出部、制御部、駆動部を示すブロック図である。

以下、この発明にかかるワーク端面クリーンローラ装置の実施形態（実施例）の１例を図面に基づいて詳細に説明する。図において、符号「Ｆ」は、ワーク端面クリーンローラ装置１の前側であって、ワークＷの搬送方向の上流側である。「Ｂ」は、ワーク端面クリーンローラ装置１の後側であって、ワークＷの搬送方向の下流側である。「Ｕ」、「Ｄ」、「Ｌ」、「Ｒ」は、それぞれ、ワーク端面クリーンローラ装置１の上側、下側、左側、右側である。

（実施形態の構成の説明）
以下、この実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１の構成について説明する。この実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、ワークＷの端面に付着した塵埃を除去する。

（ワークＷの説明）
ワークＷは、金属、ガラス、樹脂などの材料からなり、たとえば、電子部品が実装されている基板や液晶パネルなどの各種の基板、あるいは、基板の原料となるフィルム状やシート状の部材等であり、具体的には、銅箔や薄いガラス板である。ワークＷの厚さは、たとえば、約０．１～０．２５ｍｍと薄い。なお、図面では、ワークＷの厚さを厚く図示する。

ワークＷは、図１～図３、図５～図１３に示すように、２つの平面Ｗ１と、４つの端面Ｗ４と、を有する。ワークＷの２つの平面Ｗ１のうち少なくともいずれか一方の平面Ｗ１には、電子部品が実装されたり、回路パターン等が形成されている。そのような電子部品が実装されたり回路パターン等が形成されている範囲は、他の物が接触してはならない接触禁止範囲である。一方、接触禁止範囲以外の範囲は、他の物が接触することができる接触可能範囲である。この例のワークＷにおいて、接触禁止範囲は、図３中の格子状のハッチングが施されている範囲である。一方、接触可能範囲は、図３中の白地の範囲であって、「田」の字の範囲である。すなわち、接触可能範囲は、ワークＷの４辺の縁部と、ワークＷの中央の「十字」部と、からなる。

（ワーク端面クリーンローラ装置１の説明）
ワーク端面クリーンローラ装置１は、図１７、図１８および図１９に示すように、搬送装置２と、保持装置３と、４個のクリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）と、検出部５１、５２、５３、５４と、制御部６と、を備える。ワーク端面クリーンローラ装置１は、ワークＷの４つの端面Ｗ４に付着した塵埃を除去する。ワーク端面クリーンローラ装置１は、搬送装置２、保持装置３、クリーニング装置４、制御部６を保持する保持枠材１０を有する。

（検出部５１、５２、５３、５４の説明）
検出部５１、５２、５３、５４は、ワークＷを検出するセンサであって、この例では、透過式の光センサである。光が遮蔽されることにより、ワークＷが検出される。なお、検出部５１、５２、５３、５４としては、ワークＷを検出するセンサであれば、透過式の光センサ以外のセンサでも良い。

（搬送装置２の説明）
搬送装置２は、図７～図９、図１７、図１８に示すように、ワークＷを、ワークＷの平面もしくはほぼ平面方向（以下、「ワークＷの平面方向」と称する）に、ワーク端面クリーンローラ装置１の前側Ｆから後側Ｂに搬送する。搬送装置２は、搬入機構２０、搬出機構２１と、中間搬送機構２２と、備える。

（搬入機構２０の説明）
搬入機構２０は、ワーク端面クリーンローラ装置１の前側Ｆすなわち上流側に配置されている。搬入機構２０は、図１８に示すように、ワーク端面クリーンローラ装置１の前側Ｆから後側Ｂに配置されている複数枚（この例では３枚）のフレーム２００を有する。フレーム２００には、複数本（この例では６本）の回転軸２０１が回転可能に軸支されている。回転軸２０１には、搬送ローラ２０２と補助搬送ローラ２０３とが設けられている。搬送ローラ２０２には、搬送ベルト（図示せず）が掛け回されている。搬送ローラ２０２の搬送ベルトは、ワークＷの接触可能範囲に接触してワークＷを搬送する。なお、搬送ベルトが掛け回されず、搬送ローラ２０２が直接ワークＷの接触可能範囲に接触してワークＷを搬送する場合がある。補助搬送ローラ２０３は、薄いワークＷが搬送中に自重で垂れ下がった際に、ワークＷを支えて、ワークＷの接触禁止範囲が他の物に接触するのを防ぐ。回転軸２０１は、駆動部２０４の駆動力が駆動力伝達機構（図示せず）を介して伝達される。駆動部２０４は、この例では、ステッピングモータを使用する。なお、駆動部２０４としては、ステッピングモータ以外のものを使用しても良い。搬入機構２０の後側Ｂには、検出部（第１検出部、待機側検出部）５１が設けられている（図７参照）。検出部５１は、搬入機構２０により搬入されたワークＷの前端を検出する。

（搬出機構２１の説明）
搬出機構２１は、ワーク端面クリーンローラ装置１の後側Ｂすなわち下流側に配置されている。搬出機構２１は、図１８に示すように、フレーム２１０と、回転軸２１１と、搬送ローラ２１２と、補助搬送ローラ２１３と、駆動部２１４と、を有する。搬出機構２１のフレーム２１０、回転軸２１１、搬送ローラ２１２、補助搬送ローラ２１３、駆動部２１４の構成は、搬入機構２０のフレーム２００、回転軸２０１、搬送ローラ２０２、補助搬送ローラ２０３、駆動部２０４の構成と同様もしくはほぼ同様であるから、説明を省略する。

（中間搬送機構２２の説明）
中間搬送機構２２は、搬入機構２０と搬出機構２１との間に配置されている。中間搬送機構２２は、図１２～図１４に示すように、ワーク端面クリーンローラ装置１の前側Ｆから後側Ｂに配置されている複数枚（この例では５枚。なお、図１４においては、左側と右側と中間の３枚を図示）のフレーム２２０を有する。フレーム２２０の下側の部分には、複数本（この例では８本）の回転軸２２１が回転可能に軸支されている。回転軸２２１には、駆動ローラ２２５が設けられている。また、フレーム２２０の上側の部分であって、回転軸２２１に対応する箇所（８箇所）には、搬送ローラ２２２と補助搬送ローラ２２３とが回転可能に設けられている。なお、補助搬送ローラ２２３が設けられているフレーム２２０の図示は、省略されている。補助搬送ローラ２２３は、搬入機構２０の補助搬送ローラ２０３、搬出機構２１の補助搬送ローラ２１３と同様に、薄いワークＷが搬送中に自重で垂れ下がった際に、ワークＷを支えて、ワークＷの接触禁止範囲が他の物に接触するのを防ぐ。

上側の搬送ローラ２２２と下側の駆動ローラ２２５とは、ワーク端面クリーンローラ装置１の左側Ｌと右側Ｒと中間とにおいて、それぞれ、８個ずつ有する。上側の搬送ローラ２２２と下側の駆動ローラ２２５とには、それぞれ、搬送ベルト２２６が掛け回されている。ワーク端面クリーンローラ装置１の左側Ｌと右側Ｒとにおける隣り合う２個の駆動ローラ２２５には、それぞれ、駆動ベルト２２７が掛け回されている。駆動ベルト２２７は、ワーク端面クリーンローラ装置１の左側Ｌ（図１４参照）と右側Ｒ（図１４参照）とにおいて、互い違いに配置されている。左側Ｌの駆動ベルト２２７は、図１２、図１３中破線にて示されていて、右側Ｒの駆動ベルト２２７は、図１２、図１３中実線にて示されている。１本の回転軸２２１には、駆動部２２４が連結されている。これにより、駆動部２２４の駆動力は、回転軸２２１、駆動ローラ２２５、駆動ベルト２２７、搬送ベルト２２６、搬送ローラ２２２にそれぞれ伝達される。搬送ベルト２２６は、ワークＷの接触可能範囲に接触してワークＷを搬送する。また、駆動部２２４は、搬入機構２０の駆動部２０４、搬出機構２１の駆動部２１４と同様に、ステッピングモータを使用する。なお、駆動部２２４としては、ステッピングモータ以外のものを使用しても良い。

中間搬送機構２２の後側Ｂ、前側Ｆには、検出部（第２検出部、後側検出部、下流側検出部）５２、（第３検出部、前側検出部、上流側検出部）５３が設けられている（図７参照）。検出部５２は、中間搬送機構２２により搬送されたワークＷの前端を検出し、検出部５３は、中間搬送機構２２により搬送されたワークＷの後端を検出する。

（保持装置３の説明）
保持装置３は、図１、図２、図４～図１４、図１７、図１８に示すように、搬送装置２により搬送されたワークＷの縁部を、ワークＷの平面に対して垂直もしくはほぼ垂直方向（以下、「ワークＷの垂直方向」と称する）に挟み込んで保持する。保持装置３は、第１保持部材（上テーブル）３０と、第１アクチュエータ３１と、第２保持部材（下テーブル）３２と、第２アクチュエータ３３と、を備える。

（第１保持部材３０の説明）
第１保持部材３０は、図１、図２、図４、に示すように、第１当接面３００を有する。第１当接面３００は、ワークＷの一平面（一方の平面であって、以下、「上平面」と称する）Ｗ１の接触可能範囲内にワークＷの垂直方向（この例では、上下方向）に当接する（図２を参照）。第１当接面３００は、図２中の破線、図４に示すように、ワークＷの接触可能範囲よりも一回り小さい「田」の字形状をなす。

（第１アクチュエータ３１の説明）
第１アクチュエータ３１は、保持枠材１０に保持されている。第１アクチュエータ３１は、第１保持部材３０をワークＷの垂直方向に移動させて、第１当接面３００をワークＷの上平面Ｗ１の接触可能範囲内にワークＷの垂直方向に当接させる。第１アクチュエータ３１は、この例では、エアシリンダを使用する。なお、第１アクチュエータ３１としては、エアシリンダ以外のアクチュエータを使用しても良い。

（第２保持部材３２の説明）
第２保持部材３２は、図１、図２、図４、図１２～図１４に示すように、第２当接面３２０を有する。第２当接面３２０は、ワークＷの他平面（他方の平面であって、以下、「下平面」と称する）Ｗ１の接触可能範囲内にワークＷの垂直方向に当接する（図２を参照）。第２当接面３２０は、第１当接面３００と同様に図２中の破線、図４に示すように、ワークＷの接触可能範囲よりも一回り小さい「田」の字形状をなす。図１４に示すように、テーブル形状の第２保持部材３２のうち、中間搬送機構２２の搬送ローラ２２２、補助搬送ローラ２２３に対応する箇所には、空所部、すなわち、切欠き３２１や透孔３２２が設けられていて、中間搬送機構２２の搬送作用の妨げとならないように構成されている。このために、第２当接面３２０のうち前後方向（ワークＷの搬送方向）の第２当接面３２０は、上下方向に凹凸形状をなしている。

（第２アクチュエータ３３の説明）
第２アクチュエータ３３は、保持枠材１０に保持されている。第２アクチュエータ３３は、第２保持部材３２をワークＷの垂直方向に移動させて、第２当接面３２０をワークＷの下平面Ｗ１の接触可能範囲内にワークＷの垂直方向に当接させる。第２アクチュエータ３３は、第１アクチュエータ３１と同様に、エアシリンダを使用する。なお、第２アクチュエータ３３としては、エアシリンダ以外のアクチュエータを使用しても良い。

（クリーニング装置４の説明）
クリーニング装置４は、保持装置３により保持されたワークＷの１辺に沿って移動してワークＷの端面Ｗ４に付着した塵埃を除去する。クリーニング装置４は、図５、図６、図１１、図１５～図１８に示すように、第１移動部４０と、第１ガイド部４１と、第１駆動部４２と、第２移動部４３と、第２ガイド部４４と、第２駆動部４５と、第３ガイド部４６と、第３駆動部４７と、検出部５４と、塵埃取ロール７と、回転保持部材８０、８１と、を備える。

クリーニング装置４は、保持枠材１０に、この例では、４個装備されている。すなわち、ワーク端面クリーンローラ装置１の前側Ｆに装備されて前後方向に移動するクリーニング装置４、４Ｆと、ワーク端面クリーンローラ装置１の後側Ｂに装備されて前後方向に移動するクリーニング装置４、４Ｂと、ワーク端面クリーンローラ装置１の左側Ｌに装備されて左右方向に移動するクリーニング装置４、４Ｌと、ワーク端面クリーンローラ装置１の右側Ｒに装備されて左右方向に移動するクリーニング装置４、４Ｒと、である。なお、図５においては、左側のクリーニング装置４、４Ｌと、右側のクリーニング装置４、４Ｒとの図示は、省略してある。また、図１７においては、前側のクリーニング装置４、４Ｆと、左側のクリーニング装置４、４Ｌとの図示は、省略してある。さらに、図１８において、前側のクリーニング装置４、４Ｆの第１ガイド部４１などと、後側のクリーニング装置４、４Ｂの第１ガイド部４１などとの図示は、省略してある。図１８は、４個のクリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）がワークＷの４つの端面Ｗ４をクリーニングする前の待機位置に位置している状態（この状態の時には、塵埃取ロール７は、ワークＷの４つの端面Ｗ４に接触していない）を示す平面図である。

４本の第１ガイド部４１は、保持装置３により保持されているワークＷの４辺に対して平行もしくはほぼ平行に敷設されている。また、４本の第１ガイド部４１には、４個の第１移動部４０が保持装置３により保持されているワークＷの４辺に対して平行もしくはほぼ平行方向（図６、図１０中のＹ方向であって、以下、「Ｙ方向」と称する）に移動可能にガイドされている。なお、４本の第１ガイド部４１のうち、前側の第１ガイド部４１と後側の第１ガイド部４１とは、搬送装置２の搬入機構２０と搬出機構２１とのワークＷの搬入搬出の妨げとならないように、それらの上側を跨ぐように立体交差的に敷設されている。このために、前側の第１移動部４０と後側の第１移動部４０とは、第１ガイド部４１から吊り下げられている。一方、左側の第１ガイド部４１と右側の第１ガイド部４１とは、搬送装置２のワークＷの搬送の妨げとならないように、搬送装置２の左側と右側とに、搬送装置２と並列に敷設されている。このために、左側の第１移動部４０と右側の第１移動部４０とは、第１ガイド部４１上に載置されている。

４個の第１移動部４０には、第１駆動部４２がそれぞれ装備されている。第１駆動部４２は、第１移動部４０を第１ガイド部４１に沿って移動させる。第１駆動部４２は、この例では、サーボモータを使用する。なお、第１駆動部４２としては、サーボモータ以外のアクチュエータを使用しても良い。また、４個の第１移動部４０には、第２移動部４３がそれぞれ第２ガイド部４４を介してワークＷの１辺に対して垂直もしくはほぼ垂直方向（図１０中のＸ方向であって、以下、「Ｘ方向」と称する）に移動可能に取り付けられていると共にガイドされている。

４個の第２移動部４３には、第２駆動部４５がそれぞれ装備されている。第２駆動部４５は、第２移動部４３を第２ガイド部４４に沿って移動させる。第２駆動部４５は、第１駆動部４２と同様に、この例では、サーボモータを使用する。なお、第２駆動部４５としては、サーボモータ以外のアクチュエータを使用しても良い。また、４個の第２移動部４３は、それぞれ、検出部５４と、塵埃取ロール７と、回転保持部材８０、８１と、を有する。検出部５４は、第２移動部４３のうちワークＷの端面Ｗ４に対向する箇所に設けられていて、ワークＷの端面Ｗ４（辺）を検出する。

塵埃取ロール７は、回転軸と、ラバーロール体と、から構成されていて、ラバーロール体で、ワークＷの端面Ｗ４に付着した塵埃を取る。回転軸は、第２移動部４３に回転可能に支持されている。ラバーロール体は、回転軸の外側に回転軸の軸心方向に所定の長さに亘って設けられている。ラバーロール体は、表面側に、たとえば、シリコンゴムなどの塵埃を取る性能に優れている材質から構成されている層が設けられ、ワークＷの端面Ｗ４に付着した塵埃を取ることができる。塵埃取ロール７は、第２駆動部４５の駆動により、ワークＷの端面Ｗ４に所定の押し付け力で押し付けられる。

回転保持部材８０、８１は、第２移動部４３に第３ガイド部４６を介して第２ガイド部４４のガイド方向と同方向、すなわち、Ｘ方向に移動可能に取り付けられていると共にガイドされている。回転保持部材８０、８１は、粘着テープロール８を第２移動部４３に回転可能にかつ着脱可能に保持するものである。粘着テープロール８は、中空の円筒形状のコアと、そのコアの外側に多数枚巻回した粘着テープと、から構成されている。回転保持部材は、ホルダ８０と、回転軸８１と、から構成されている。ホルダ８０は、粘着テープロール８のコアに着脱可能に取り付けられている。回転軸８１の一端は、ホルダ８０に回転可能にかつ着脱可能に取り付けられている。回転軸８１の他端は、第２移動部４３に回転可能にかつ着脱可能に取り付けられている。この結果、粘着テープロール８は、回転保持部材のホルダ８０および回転軸８１を介して、第２移動部４３に回転可能にかつ着脱可能に保持される。

４個の第２移動部４３には、第３駆動部４７がそれぞれ装備されている。第３駆動部４７は、回転保持部材のホルダ８０および回転軸８１を介して粘着テープロール８を第３ガイド部４６に沿って移動させる。すなわち、粘着テープロール８を塵埃取ロール７に所定の押圧力で押圧させる。第３駆動部４７は、この例では、エアシリンダを使用する。なお、第３駆動部４７としては、エアシリンダ以外のアクチュエータを使用しても良い。

（制御部６の説明）
制御部６は、たとえば中央演算装置やメモリなどを備えている。制御部６は、メモリに記憶されているプログラムやデータなどに基づいて、検出部５１からの検出信号（搬入機構２０により搬入されたワークＷの前端を検出した信号）により搬入機構２０の駆動部２０４の駆動を停止させるように制御する。すなわち、制御部６は、中間搬送機構２２により搬送されたワークＷの４つの端面Ｗ４が４個のクリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）によりそれぞれクリーニングされている間、搬入機構２０により搬入されたワークＷを中間搬送機構２２に搬入させずに搬入機構２０にて待機させるように制御する。

制御部６は、検出部５２からの検出信号（中間搬送機構２２により搬送されたワークＷの前端を検出した信号）により中間搬送機構２２の駆動部２２４の駆動を一旦停止させてかつ駆動部２２４を逆駆動させてワークＷを若干逆搬送（ワーク端面クリーンローラ装置１の後側Ｂから前側Ｆに搬送）させ、検出部５３からの検出信号（中間搬送機構２２により逆搬送されたワークＷの後端を検出した信号）により中間搬送機構２２の駆動部２２４の駆動を停止させるように制御する。制御部６は、中間搬送機構２２により搬送されたワークＷをワークＷの平面方向（この例では、前後方向）の所定の位置（４個のクリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）がワークＷの４つの端面Ｗ４をクリーニングする位置）に停止させる制御を行う。

また、制御部６は、第１保持部材３０をワークＷの垂直方向の所定位置（４個のクリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）がワークＷの４つの端面Ｗ４をクリーニングする位置であって、中間搬送機構２２よりも上側の位置）に位置させ、かつ、その所定位置をワークＷの垂直方向に変動させるように第１アクチュエータ３１の駆動を制御する。また、制御部６は、第２保持部材３２をワークＷの垂直方向の所定位置近傍に位置させて、第２当接面３２０をワークＷの下平面の縁部に当接させ、かつ、ワークＷの上平面の縁部を第１当接面３００に当接させて、第１保持部材３０と第２保持部材３２とによりワークＷの縁部を挟み込んで保持するように第２アクチュエータ３３の駆動を制御する。

制御部６は、検出部５４からの検出信号（ワークＷの端面Ｗ４を検出した信号）に基づいてワークＷの１辺の基準辺に対する傾斜を演算し、かつ、演算結果に基づいてクリーニング装置４の第１駆動部４２および第２駆動部４５を制御して、塵埃取ロール７を傾斜しているワークＷの１辺に沿って移動させる。すなわち、ワークＷは、搬入機構２０のガイド（図示せず）により搬入方向の前後方向に対して左右方向にずれないようにガイドされながら中間搬送機構２２に搬入されるが、実際には、中間搬送機構２２に搬入された時点で左右方向に若干ずれている。また、ワークＷは、切断加工されるが、切断加工の誤差を有する。このため、保持装置３により保持されているワークＷの４つの端面Ｗ４（辺）は、基準辺に対して傾斜している。ここで、塵埃取ロール７を基準辺に沿って移動させて基準辺に対して傾斜している端面Ｗ４に押し付けた場合、塵埃取ロール７の端面Ｗ４に対する押し付け力は、端面Ｗ４全体に亘って均一ではない。これにより、基準辺に沿って移動させる塵埃取ロール７で基準辺に対して傾斜している端面Ｗ４に付着している塵埃を確実に取って除去することが難しい。そこで、制御部６は、保持装置３により保持されているワークＷの４つの端面Ｗ４の基準辺に対する傾斜を求め、かつ、塵埃取ロール７を傾斜しているワークの端面Ｗ４に沿って移動させるように第１駆動部４２および第２駆動部４５を制御する。

以下、図１０を参照して、クリーニング装置４の検出部５４および制御部６によるワークＷの１辺の基準辺に対する傾斜の演算について説明する。まず、検出部５４を原点０に位置させる。ここで、原点０は、４個のクリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）が図１８に示す待機位置に位置するときの検出部５４が位置する箇所である。次に、検出部５４を第１駆動部４２によりＹ方向に第１検出位置Ｙ１まで移動させる。続いて、検出部５４を第２駆動部４５によりＸ方向に検出部５４がワークＷの端面Ｗ４を検出する位置Ｘ１まで移動させる。それから、検出部５４を第１検出位置Ｙ１まで戻してかつＹ方向に第２検出位置Ｙ２まで移動させる。続いて、検出部５４をＸ方向に検出部５４がワークＷの端面Ｗ４を検出する位置Ｘ２まで移動させる。これにより、原点０から第１検出位置Ｙ１までの距離Ｙ１と、第１検出位置Ｙ１からワークＷの端面Ｗ４の第１検出位置Ｘ１までの距離Ｘ１と、原点０から第２検出位置Ｙ２までの距離Ｙ２と、第２検出位置Ｙ２からワークＷの端面Ｗ４の第２検出位置Ｘ２までの距離Ｘ２と、がそれぞれサーボモータの第１駆動部４２および第２駆動部４５の駆動量により計測される。制御部６は、計測された距離Ｘ１、Ｘ２、Ｙ１、Ｙ２からワークＷの１辺の基準辺に対する傾斜を演算（すなわち、Ｙ２－Ｙ１／Ｘ２－Ｘ１）する。なお、ワークＷの他の辺についても、同様にして計測演算を行う。

以下、図１１を参照して、制御部６による演算結果に基づくクリーニング装置４の第１駆動部４２のサーボモータおよび第２駆動部４５のサーボモータの制御について説明する。まず、第１駆動部４２のサーボモータおよび第２駆動部４５のサーボモータを駆動させて塵埃取ロール７を座標（Ｘ１、Ｙ１）の点においてワークＷの端面Ｗ４に押し付ける。次に、第１駆動部４２のサーボモータおよび第２駆動部４５のサーボモータを駆動させて塵埃取ロール７を座標（Ｘ１、Ｙ１）の点から座標（Ｘ２、Ｙ２）の点までの間を傾斜しているワークＷの１辺に沿って移動させる。塵埃取ロール７の移動は、第１駆動部４２のサーボモータによるＹ方向の単位移動量と、第２駆動部４５のサーボモータによるＸ方向の単位移動量と、の組み合わせにより行われる。なお、図１１中の鋸刃形状の塵埃取ロール７の移動は、イメージであって、実際の塵埃取ロール７の移動は、図１１中の実線矢印に示すように、ほぼ直線移動である。

（実施形態の作用の説明）
この実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、以上のごとき構成からなり、以下、その作用について説明する。

ワーク端面クリーンローラ装置１は、制御部６の制御により作動する。まず、ワークＷを搬入機構２０により中間搬送機構２２に搬入させ、かつ、中間搬送機構２２に搬入されたワークＷをワークＷの平面方向の所定位置に停止させる（図７参照）。次に、中間搬送機構２２上の所定位置に停止するワークＷを保持装置３により保持する。すなわち、第１保持部材３０をワークＷの垂直方向の所定位置に位置させる（図８参照）。それから、第２保持部材３２をワークＷの垂直方向の所定位置近傍に位置させて、第１保持部材３０と第２保持部材３２とによりワークＷの縁部を挟み込んで保持する（図９参照）。このとき、図１、図２に示すように、第１保持部材３０の第１当接面３００と第２保持部材３２の第２当接面３２０とは、ワークＷの縁部の接触可能範囲に当接していて、ワークＷの接触禁止範囲には当接していない。

それから、４個のクリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）によりワークＷの４つの端面Ｗ４の基準辺に対する傾斜を同時に演算する。次に、４個のクリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）の塵埃取ロール７を演算結果に基づいて傾斜しているワークＷの４つの端面Ｗ４に沿って同時に移動させる。すると、４個の塵埃取ロール７は、ワークＷの４つの端面Ｗ４に付着している塵埃を同時に取って除去する。塵埃取ロール７で取られた塵埃は、塵埃取ロール７に所定の押圧力で当接している粘着テープロール８に粘着（粘着転写）される。

ワークＷの４つの端面Ｗ４のクリーニングが完了した時点で、第２保持部材３２を下降させてワークＷを中間搬送機構２２上に載置させる。なお、第１保持部材３０は、上昇して初期位置に位置する。クリーニングが完了したワークＷを、中間搬送機構２２から搬出機構２１に搬送し、搬出機構２１からワーク端面クリーンローラ装置１の外部に搬出させる。一方、クリーニングが完了したワークＷが中間搬送機構２２から搬出機構２１に搬送された時点で、搬入機構２０において待機しているワークＷが搬入機構２０から中間搬送機構２２に搬入される。以下、同様にして、ワークＷの４つの端面Ｗ４をクリーニングする。

（実施形態の効果の説明）
この実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、以上のごとき構成および作用からなり、以下、その効果について説明する。

本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、搬送装置２と、保持装置３と、クリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）と、備え、保持装置３が搬送装置２により搬送されたワークＷの縁部を挟み込んで保持するので、クリーニング装置４を厚さが薄いワークＷの端面Ｗ４に押し付けても、ワークＷが垂れたり歪んだりすることが無く、ワークＷの縁部の位置ずれが無い。この結果、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、クリーニング装置４の押圧力が一定となり、厚さが薄いワークＷの端面Ｗ４の塵埃を確実に除去することができる。

本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、搬送装置２と、保持装置３と、クリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）と、備え、保持装置３により保持されたワークＷが所定もしくは正規の位置に位置していなくとも、クリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）が所定もしくは正規の位置に位置していないワークＷの１辺に沿って移動する。この結果、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、クリーニング装置４の押圧力が一定となり、所定もしくは正規の位置に位置していないワークＷの端面Ｗ４に付着した塵埃を確実に除去することができる。

本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、第２保持部材３２のうち、搬送装置２の搬送部（搬送ローラ２０２の搬送ベルト、搬送ローラ２０２、搬送ベルト２２６）に対応する箇所には、切欠き３２１や透孔３２２が設けられているものである。この結果、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、搬送装置２のワークＷの搬送作用の妨げとならない。

本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、ワーク端面クリーンローラ装置１の前側Ｆに装備されている前側のクリーニング装置４（４Ｆ）と、ワーク端面クリーンローラ装置１の後側Ｂに装備されている後側のクリーニング装置４（４Ｂ）と、ワーク端面クリーンローラ装置１の左側Ｌに装備されている左側のクリーニング装置４（４Ｌ）と、ワーク端面クリーンローラ装置１の右側Ｒに装備されている右側のクリーニング装置４（４Ｒ）と、を有し、前側のクリーニング装置４（４Ｆ）と後側のクリーニング装置４（４Ｂ）とが、搬送装置２の上側Ｕを跨ぐように立体交差的に設けられていて、左側のクリーニング装置４（４Ｌ）と右側のクリーニング装置４（４Ｒ）とが、搬送装置２の左側Ｌと右側Ｒとに、搬送装置２と並列に設けられているものである。この結果、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、搬送装置２のワークＷの搬送の妨げとならない。

本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、接触可能範囲が、ワークＷの２つの平面Ｗ１の４辺の縁部からなる範囲であり、または、ワークＷの２つの平面Ｗ１の４辺の縁部と、ワークＷの２つの平面Ｗ１の中央の十字部と、からなるワークＷの２つの平面Ｗ１の田の字の範囲であり、クリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）が、４個装備されていて、ワークＷの４つの端面Ｗ４の塵埃を４個同時に除去するものである。この結果、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、厚さが薄いワークＷの端面Ｗ４の塵埃を確実に除去することができる。

また、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、搬送装置２と、検出部５２、５３と、制御部６と、を備え、搬送装置２が、搬入機構２０と、搬出機構２１と、中間搬送機構２２と、を有し、検出部５２、５３が、中間搬送機構２２の駆動により搬送されたワークＷを検出し、制御部６が、検出部５２、５３からの検出信号により中間搬送機構２２の駆動を停止させて、ワークＷをワークＷの平面方向の所定位置に位置させる。この結果、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、中間搬送機構２２の所定位置に位置するワークＷの縁部を保持装置３により確実に挟み込んで保持するので、厚さが薄いワークＷの端面Ｗ４の塵埃を確実に除去することができ、また、所定もしくは正規の位置に位置していないワークＷの端面Ｗ４に付着した塵埃を確実に除去することができる。

また、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、保持装置３と、制御部６と、を備え、保持装置３が、第１保持部材３０と、第１アクチュエータ３１と、第２保持部材３２と、第２アクチュエータ３３と、を有し、制御部６が、第１保持部材３０を所定位置に位置させ、第２保持部材３２を所定位置近傍に位置させて、第１保持部材３０と第２保持部材３２とによりワークＷの縁部を挟み込んで保持する。この結果、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、保持装置３の第１保持部材３０と第２保持部材３２とによりワークＷの縁部を確実に挟み込んで保持するので、厚さが薄いワークＷの端面Ｗ４の塵埃を確実に除去することができ、また、所定もしくは正規の位置に位置していないワークＷの端面Ｗ４に付着した塵埃を確実に除去することができる。

また、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、第１保持部材３０と第２保持部材３２とによりワークＷの縁部を挟み込んで保持する位置を変動させるので、厚さが薄いワークＷの端面Ｗ４のエッジにより、クリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）特に塵埃取ロール７へのダメージ集中を避けることができ、クリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）特に塵埃取ロール７の耐久性を向上させることができる。

また、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、第１保持部材３０がワークＷの一平面の縁部に当接する第１当接面３００を有し、第２保持部材３２がワークＷの他平面の縁部に当接する第２当接面３２０を有するので、第１保持部材３０の第１当接面３００と第２保持部材３２の第２当接面３２０とがワークＷの縁部であって、接触可能範囲に当接し、接触禁止範囲に当接しない。これにより、ワークＷ上に実装されている電子部品への接触負荷（ストレス）を抑制することができる。

また、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、クリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）と、検出部５４と、制御部６と、を備え、クリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）が、第１移動部４０と、第１ガイド部４１と、第１駆動部４２と、塵埃取ロール７を有する第２移動部４３と、第２ガイド部４４と、第２駆動部４５と、を有し、検出部５４が、保持装置３により保持されたワークＷの端面Ｗ４を検出し、制御部６が、検出部５４からの検出信号に基づいてワークＷの１辺の基準辺に対する傾斜を演算し、かつ、演算結果に基づいて第１駆動部４２および第２駆動部４５を制御して、塵埃取ロール７を傾斜しているワークＷの１辺に沿って移動させるので、所定もしくは正規の位置に位置していないワークＷの端面Ｗ４に付着した塵埃を確実に除去することができる。

さらに、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、フィルム状もしくはシート状のワークＷの端面Ｗ４の塵埃を除去するワーク端面クリーンローラ装置１であって、搬送装置２と、保持装置３と、クリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）と、を備え、クリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）が、ワーク端面クリーンローラ装置１の前側Ｆに装備されている前側のクリーニング装置４（４Ｆ）と、ワーク端面クリーンローラ装置１の後側Ｂに装備されている後側のクリーニング装置４（４Ｂ）と、ワーク端面クリーンローラ装置１の左側Ｌに装備されている左側のクリーニング装置４（４Ｌ）と、ワーク端面クリーンローラ装置１の右側Ｒに装備されている右側のクリーニング装置４（４Ｒ）と、を有し、前側のクリーニング装置４（４Ｆ）と後側のクリーニング装置４（４Ｂ）とが、搬送装置２の上側Ｕを跨ぐように立体交差的に設けられていて、左側のクリーニング装置４（４Ｌ）と右側のクリーニング装置４（４Ｒ）とが、搬送装置２の左側Ｌと右側Ｒとに、搬送装置２と並列に設けられているものである。この結果、本実施形態にかかるワーク端面クリーンローラ装置１は、搬送装置２のワークＷの搬送の妨げとならない。

（実施形態以外の例の説明）
なお、前記の実施形態においては、ワークＷの接触可能範囲が図３中の白地の範囲に示す「田」の字の範囲である。しかしながら、この発明においては、ワークＷの接触可能範囲を特に限定しない。ただし、ワークＷの接触可能範囲は、少なくとも、ワークＷの縁部であって、第１保持部材３０の第１当接面３００と第２保持部材３２の第２当接面３２０とが当接する箇所には必要である。

また、前記の実施形態においては、４個のクリーニング装置４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）を備えるものである。しかしながら、この発明においては、１個、２個、もしくは３個のクリーニング装置４を備えるものであっても良い。そして、より少数のクリーニング装置４によって、ワークＷの複数の端面Ｗ４を除塵するようにしても良い。

さらに、前記の実施形態においては、搬入機構２０により搬入されたワークＷの前端を検出する検出部５１と、中間搬送機構２２により搬送されたワークＷの前端を検出する検出部５２と、中間搬送機構２２により搬送されたワークＷの後端を検出する検出部５３と、を有するものである。しかしながら、この発明においては、少なくとも、検出部５２を有すれば良い。

なお、この発明は、前記の実施形態により限定されるものではない。

１…ワーク端面クリーンローラ装置、１０…保持枠材、２…搬送装置、２０…搬入機構、２００…フレーム、２０１…回転軸、２０２…搬送ローラ、２０３…補助搬送ローラ、２０４…駆動部、２１…搬出機構、２１０…フレーム、２１１…回転軸、２１２…搬送ローラ、２１３…補助搬送ローラ、２１４…駆動部、２２…中間搬送機構、２２０…フレーム、２２１…回転軸、２２２…搬送ローラ、２２３…補助搬送ローラ、２２４…駆動部、２２５…駆動ローラ、２２６…搬送ベルト、２２７…駆動ベルト、３…保持装置、３０…第１保持部材、３００…第１当接面、３１…第１アクチュエータ、３２…第２保持部材、３２０…第２当接面、３２１…切欠き、３２２…透孔、４（４Ｆ、４Ｂ、４Ｌ、４Ｒ）…クリーニング装置、４０…第１移動部、４１…第１ガイド部、４２…第１駆動部、４３…第２移動部、４４…第２ガイド部、４５…第２駆動部、４６…第３ガイド部、４７…第３駆動部、５１、５２、５３、５４…検出部、６…制御部、７…塵埃取ロール、８…粘着テープロール、８０…ホルダ、８１…回転軸、Ｂ…後側（下流側）、Ｄ…下側、Ｆ…前側（上流側）、Ｌ…左側、Ｒ…右側、Ｕ…上側、Ｗ…ワーク、Ｗ１…平面、Ｗ４…端面、Ｘ…ワークＷの４辺に対して垂直もしくはほぼ垂直方向、Ｙ…ワークＷの４辺に対して平行もしくはほぼ平行方向、０…原点。

Claims (6)

1. フィルム状もしくはシート状のワーク（パネル材を除く）の端面の塵埃を除去するワーク端面クリーンローラ装置であって、
   前記ワークの２つの平面のうち少なくともいずれか一方の平面には、接触禁止範囲が形成されていて、
   前記ワークの前記接触禁止範囲以外の範囲であって、少なくとも前記ワークの縁部は、接触可能範囲であり、
   前記ワークの前記接触可能範囲に接触して前記ワークを、前記ワークの平面もしくはほぼ平面方向に搬送する搬送部を有する搬送装置と、
   前記搬送装置の前記搬送部により搬送された前記ワークの前記接触可能範囲のうち、少なくとも前記ワークの縁部を、前記ワークの平面に対して垂直もしくはほぼ垂直方向に挟み込んで保持する保持装置と、
   前記保持装置により保持された前記ワークの１辺に沿って移動して前記ワークの端面に付着した塵埃を除去するクリーニング装置と、
   を備え、
   前記保持装置は、
   前記ワークの上平面の前記接触可能範囲に当接する第１当接面を有する第１保持部材と、
   前記ワークの下平面の前記接触可能範囲に当接する第２当接面を有する第２保持部材と、
   を有し、
   前記第２保持部材のうち、前記搬送装置の前記搬送部に対応する箇所には、空所部が設けられている、
   ことを特徴とするワーク端面クリーンローラ装置。
2. 前記クリーニング装置は、前記ワーク端面クリーンローラ装置の前側に装備されている前側のクリーニング装置と、前記ワーク端面クリーンローラ装置の後側に装備されている後側のクリーニング装置と、前記ワーク端面クリーンローラ装置の左側に装備されている左側のクリーニング装置と、前記ワーク端面クリーンローラ装置の右側に装備されている右側のクリーニング装置と、を有し、
   前記前側のクリーニング装置と前記後側のクリーニング装置とは、前記搬送装置の上側を跨ぐように立体交差的に設けられていて、
   前記左側のクリーニング装置と前記右側のクリーニング装置とは、前記搬送装置の左側と右側とに、前記搬送装置と並列に設けられている、
   ことを特徴とする請求項１に記載のワーク端面クリーンローラ装置。
3. 前記接触可能範囲は、前記ワークの２つの平面の４辺の縁部からなる範囲であり、または、前記ワークの２つの平面の４辺の縁部と、前記ワークの２つの平面の中央の十字部と、からなる前記ワークの２つの平面の田の字の範囲であり、
   前記クリーニング装置は、４個装備されていて、前記ワークの４つの端面の塵埃を４個同時に除去する、
   ことを特徴とする請求項１または２に記載のワーク端面クリーンローラ装置。
4. 前記搬送装置と、検出部と、制御部と、を備え、
   前記搬送装置は、
   前記ワークを搬入する搬入機構と、
   前記ワークを搬出する搬出機構と、
   前記搬入機構と前記搬出機構との間に配置されていて、前記搬送部を有する中間搬送機構と、
   を有し、
   前記検出部は、前記中間搬送機構の前記搬送部の駆動により搬送された前記ワークを検出し、
   前記制御部は、前記検出部からの検出信号により前記中間搬送機構の前記搬送部の駆動を停止させて、前記ワークを前記ワークの平面もしくはほぼ平面方向の所定位置に位置させる、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のワーク端面クリーンローラ装置。
5. 前記保持装置と、制御部と、を備え、
   前記保持装置は、
   前記第１保持部材を前記ワークの平面に対して垂直もしくはほぼ垂直方向に移動させる第１アクチュエータと、
   前記第２保持部材を前記ワークの平面に対して垂直もしくはほぼ垂直方向に移動させる第２アクチュエータと、
   を有し、
   前記制御部は、前記第１保持部材を前記ワークの平面に対して垂直もしくはほぼ垂直方向の所定位置に位置させ、かつ、前記所定位置を変動させるように前記第１アクチュエータを制御し、前記第２保持部材を前記所定位置近傍に位置させて、前記第２当接面を前記ワークの他平面の前記接触可能範囲に当接させ、かつ、前記ワークの一平面の前記接触可能範囲を前記第１当接面に当接させて、前記第１保持部材と前記第２保持部材とにより前記ワークの前記接触可能範囲を挟み込んで保持するように前記第２アクチュエータを制御する、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のワーク端面クリーンローラ装置。
6. 前記クリーニング装置と、検出部と、制御部と、を備え、
   前記クリーニング装置は、
   第１移動部と、
   前記第１移動部を前記ワークの１辺に対して平行もしくはほぼ平行方向に移動可能にガイドする第１ガイド部と、
   前記第１移動部を前記第１ガイド部に沿って移動させる第１駆動部と、
   前記ワークの端面に付着した塵埃を取る塵埃取ロールを有する第２移動部と、
   前記第２移動部を前記第１移動部に、前記ワークの１辺に対して垂直もしくはほぼ垂直方向に移動可能に取り付けると共にガイドする第２ガイド部と、
   前記第２移動部を前記第２ガイド部に沿って移動させる第２駆動部と、
   を有し、
   前記検出部は、前記保持装置により保持された前記ワークの端面を検出し、
   前記制御部は、前記検出部からの検出信号に基づいて前記ワークの１辺の基準辺に対する傾斜を演算し、かつ、演算結果に基づいて前記第１駆動部および前記第２駆動部を制御して、前記塵埃取ロールを傾斜している前記ワークの１辺に沿って移動させる、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のワーク端面クリーンローラ装置。

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