JP7452992B2 - プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の運転方法 - Google Patents
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
101…真空容器、
102…放電部、
103…試料台、
104…処理室、
105…IRランプユニット、
106…通路
107…石英チャンバー、
108…ICPコイル、
109…整合器、
110…高周波電源、
201…冷媒流路、
202…電極板、
203…溝、
204…試料台基材、
205…チラー、
206…静電吸着膜、
207…DC電源、
208…サセプタリング、
209…バルブ、
210…伝熱ガス源、
1011…プラズマ、
1012…分光器、
1013…制御器、
1014…天板、
1015…ガス源、
1016…マスフローコントローラー、
1017…真空ポンプ、
1018…調圧バルブ、
1019…ウエハ、
1020…IRランプ、
1021…反射板、
1022…IR光透過窓、
1023…ランプ用電源、
1024…高周波カットフィルタ。
Claims (10)
- 真空容器内部の処理室内に配置されその上面に処理対象のウエハが載置される試料台と、前記処理室上方で前記試料台の上面の中心を上下方向に通る軸の周りにこれを囲んで配置され前記試料台上面に載せられた前記ウエハを加熱する電磁波を放射するヒータとを備え、前記処理室内に供給されたラジカルによって前記ウエハ上面に形成された反応層を前記電磁波を用いた加熱により除去するプラズマ処理装置であって、前記処理室内の前記試料台の上面の下方で当該試料台を囲んで配置され前記ヒータからの電磁波を反射して前記試料台の側壁を構成する部材に照射する反射部材を備えたプラズマ処理装置。
- 請求項1に記載のプラズマ処理装置であって、前記反射部材の前記電磁波を反射する面の上端が前記試料台の上面より下方に配置されたプラズマ処理装置。
- 請求項1に記載のプラズマ処理装置であって、前記試料台の上部で前記試料台の上面を囲んで配置された誘電体製のリング状部材を備え、前記反射部材の前記電磁波を反射する面の上端が前記リング状部材の外周側壁面の上端より下方に配置されたプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至3の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、前記ヒータが前記反射部材の前記電磁波を反射する面が前記試料台の上面の中心を上下方向に通る軸の周りでこれを囲む少なくとも1つのリング状の放射体を備え、前記反射部材の前記電磁波を反射する面が前記少なくとも1つのリング状の放射体に対して凹まされた曲面を備えたプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至3の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、前記ウエハを加熱して前記反応層を除去する工程が終了した後、前記ヒータから電磁波を放射させて前記試料台またはリング状部材の側壁面を加熱して当該側壁面に付着した付着物を除去する工程を実施するプラズマ処理装置。
- 真空容器内部の処理室内に配置された試料台の上面に処理対象のウエハを載置し、前記処理室上方で前記試料台の上面の中心を上下方向に通る軸の周りにこれを囲んで配置されたヒータから電磁波を放射して前記試料台上面に載せられた前記ウエハを加熱して前記処理室内に供給されたラジカルによって前記ウエハ上面に形成された反応層を前記電磁波を用いた加熱により除去するプラズマ処理装置の運転方法であって、前記処理室内の前記試料台の上面の下方で当該試料台を囲んで配置された反射部材により前記ヒータからの電磁波を反射して前記試料台の側壁を構成する部材に照射する工程を備えたプラズマ処理装置の運転方法。
- 請求項6に記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、前記反射部材の前記電磁波を反射する面の上端が前記試料台の上面より下方に配置されたプラズマ処理装置の運転方法。
- 請求項6に記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、前記試料台の上部で前記試料台の上面を囲んで配置された誘電体製のリング状部材を備え、前記反射部材の前記電磁波を反射する面の上端が前記リング状部材の外周側壁面の上端より下方に配置されたプラズマ処理装置の運転方法。
- 請求項6乃至8の何れかに記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、
前記ヒータが前記反射部材の前記電磁波を反射する面が前記試料台の上面の中心を上下方向に通る軸の周りでこれを囲む少なくとも1つのリング状の放射体を備え、前記反射部材の前記電磁波を反射する面が前記少なくとも1つのリング状の放射体に対して凹まされた曲面を備えたプラズマ処理装置の運転方法。 - 請求項6乃至8の何れかに記載のプラズマ処理装置の運転方法であって、前記ウエハを加熱して前記反応層を除去する工程が終了した後、前記ヒータから電磁波を放射させて前記試料台またはリング状部材の側壁面を加熱して当該側壁面に付着した付着物を除去する工程を実施するプラズマ処理装置の運転方法。
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