JP7446765B2 - Collet removal device - Google Patents

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Description

本発明は、コレットをコレットホルダから取り外すためのコレット取外装置に関する。 The present invention relates to a collet removal device for removing a collet from a collet holder.

コレットは、ダイやフリップチップなどの半導体部品を基板上に搭載するときに使用される吸着治具である。このようなコレットは、コレットホルダの先端（下端）に着脱可能に保持して使用するが、使用に伴いコレットに塵が付着したりコレット自体に傷が付いたりすることから、定期的又は随時にコレットをコレットホルダから取り外して交換する必要がある。 A collet is a suction jig used when mounting semiconductor components such as dies and flip chips on a substrate. Such collets are used by being removably held at the tip (lower end) of the collet holder, but dust may adhere to the collet or the collet itself may become scratched during use, so it must be removed periodically or from time to time. The collet must be removed from the collet holder and replaced.

コレットをコレットホルダから取り外す技術としては、例えば特許文献１に開示されているように、複数の固定爪又は可動爪をコレットに係合させる技術が知られている。 As a technique for removing a collet from a collet holder, a technique is known in which a plurality of fixed pawls or movable pawls are engaged with the collet, as disclosed in Patent Document 1, for example.

しかし、このように単に複数の固定爪又は可動爪をコレットに係合させるだけの技術では、コレットのサイズが変更になると、そのコレットのサイズに応じて固定爪又は可動爪の位置や形状などを変更する必要があり、同一の装置によってサイズの異なるコレットを取り外すことは困難であった。 However, with this technique of simply engaging multiple fixed claws or movable claws with a collet, when the size of the collet changes, the position and shape of the fixed claws or movable claws must be adjusted according to the size of the collet. It was difficult to remove collets of different sizes with the same equipment.

特許第６０８６６８０号公報Patent No. 6086680

本発明が解決しようとする課題は、サイズの異なるコレットを容易に取り外すことのできるコレット取外装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a collet removal device that can easily remove collets of different sizes.

本発明の一観点によれば、次のコレット取外装置が提供される。
コレットをコレットホルダから取り外すためのコレット取外装置であって、
コレットを挿通可能な開口部と、この開口部へ突出可能な複数の可動爪と、前記開口部を含む固定ブロックと、この固定ブロックに回転可能に設けられた回転ブロックとを備え、
前記複数の可動爪は、前記固定ブロックの上面に設けた支点ピンを回転中心として回転可能であり、かつ前記複数の可動爪は案内溝を有し、この案内溝に前記回転ブロックの上面に設けた案内ピンが挿通され、
前記回転ブロックは案内溝を有し、この案内溝に前記支点ピンが挿通され、
前記回転ブロックを一方向に回転させることにより、前記複数の可動爪が前記支点ピンを回転中心として回転し、かつ前記支点ピンが前記回転ブロックの案内溝に沿って案内されると共に前記案内ピンが前記複数の可動爪の案内溝に沿って案内されることにより、前記複数の可動爪が前記開口部へ突出し、
更に、前記回転ブロックの前記一方向への回転を止めるためのストッパを前記回転ブロックとは別部材として備え、このストッパの位置を変更することにより、前記複数の可動爪の前記開口部への突出代の上限を変更する、コレット取外装置。 According to one aspect of the present invention, the following collet removal device is provided.
A collet removal device for removing a collet from a collet holder,
comprising an opening through which a collet can be inserted, a plurality of movable claws capable of protruding into the opening , a fixed block including the opening, and a rotation block rotatably provided on the fixed block ,
The plurality of movable claws are rotatable about a fulcrum pin provided on the upper surface of the fixed block, and each of the plurality of movable claws has a guide groove, and the plurality of movable claws has a guide groove provided in the upper surface of the rotating block. the guide pin is inserted,
The rotating block has a guide groove, and the fulcrum pin is inserted into the guide groove,
By rotating the rotary block in one direction, the plurality of movable claws rotate about the fulcrum pin, and the fulcrum pin is guided along the guide groove of the rotary block, and the guide pin The plurality of movable claws protrude into the opening by being guided along the guide grooves of the plurality of movable claws,
Furthermore, a stopper for stopping rotation of the rotary block in the one direction is provided as a separate member from the rotary block, and by changing the position of the stopper, the plurality of movable claws can protrude into the opening. Collet removal device that changes the upper limit of the collet .

本発明のコレット取外装置によれば、可動爪の突出代の上限（以下、「可動爪の突出代の上限」のことを単に「可動爪の突出代」という。）が可変であることから、コレットのサイズに応じて可動爪の突出代を変更することで、サイズの異なるコレットを容易に取り外すことができる。 According to the collet removal device of the present invention, the upper limit of the protrusion distance of the movable claw (hereinafter, the "upper limit of the protrusion range of the movable claw" is simply referred to as "the protrusion range of the movable claw") is variable. By changing the protrusion of the movable claw according to the size of the collet, collets of different sizes can be easily removed.

本発明の一実施形態であるコレット取外装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ断面図。1 shows a collet removal device that is an embodiment of the present invention, in which (a) is a plan view and (b) is a sectional view taken along line AA in (a). 図１のコレット取外装置において、可動爪を開口部へ突出させた状態を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing a movable claw protruding into an opening in the collet removal device of FIG. 1;

図１に、本発明の一実施形態であるコレット取外装置１００を示している。
このコレット取外装置１００は、固定ブロック１０と、固定ブロック１０に回転可能に設けられた回転ブロック２０と、固定ブロック１０に回転可能に軸支された複数（本実施形態では４つ）の可動爪３０とを備えている。 FIG. 1 shows a collet removal device 100 that is an embodiment of the present invention.
This collet removal device 100 includes a fixed block 10, a rotating block 20 rotatably provided on the fixed block 10, and a plurality of (four in this embodiment) movable blocks rotatably supported on the fixed block 10. A claw 30 is provided.

可動爪３０は具体的には、固定ブロック１０の上面に設けた支点ピン１１に軸支されており、この支点ピン１１を回転中心として回転可能である。また、可動爪３０は案内溝３１を有しており、この案内溝３１に、回転ブロック２０の上面に設けた案内ピン２１が挿通されている。このような構成により、図１（ａ）の状態から回転ブロック２０を時計回り方向に回転させると、可動爪３０も時計回り方向に回転し、図２に示すように、可動爪３０が開口部４０へ突出した状態となる。また、図２の状態から回転ブロック２０を反時計回り方向に回転させると、可動爪３０も反時計回り方向に回転し、図１（ａ）に示すように、可動爪３０が開口部４０へ突出しない状態となる。 Specifically, the movable claw 30 is pivotally supported by a fulcrum pin 11 provided on the upper surface of the fixed block 10, and is rotatable about this fulcrum pin 11 as a rotation center. Further, the movable claw 30 has a guide groove 31, and a guide pin 21 provided on the upper surface of the rotating block 20 is inserted into the guide groove 31. With this configuration, when the rotating block 20 is rotated clockwise from the state shown in FIG. 1(a), the movable claw 30 also rotates clockwise, and as shown in FIG. It becomes a state where it protrudes to 40. Furthermore, when the rotating block 20 is rotated counterclockwise from the state shown in FIG. 2, the movable claw 30 also rotates counterclockwise, and as shown in FIG. It will not stand out.

なお、本実施形態において開口部４０は回転ブロック２０に含まれている。また、開口部４０はコレットＣを挿通可能な大きさを有している。そして、図２に示すように可動爪３０を開口部４０へ突出させることにより、可動爪３０がコレットＣに係合する。 Note that in this embodiment, the opening 40 is included in the rotation block 20. Further, the opening 40 has a size that allows the collet C to be inserted therethrough. Then, as shown in FIG. 2, the movable claw 30 is engaged with the collet C by protruding into the opening 40.

本実施形態において回転ブロック２０は案内溝２２を有しており、この案内溝２２に支点ピン１１が挿通されている。 In this embodiment, the rotating block 20 has a guide groove 22, into which the fulcrum pin 11 is inserted.

本実施形態においてコレット取外装置１００は、カバープレート５０を更に備えている。このカバープレート５０はリング状であり、固定ブロック１０及び回転ブロック２０の上面を覆うように設けられている。また、カバープレート５０は案内溝５１を有しており、この案内溝５１に案内ピン２１が挿通されている。
なお、図１（ａ）及び図２では、カバープレート５０を取り外した状態を示しており、案内溝５１のみを破線で示している。 In this embodiment, the collet removal device 100 further includes a cover plate 50. This cover plate 50 has a ring shape and is provided so as to cover the upper surfaces of the fixed block 10 and the rotating block 20. Further, the cover plate 50 has a guide groove 51, into which the guide pin 21 is inserted.
Note that FIGS. 1A and 2 show a state in which the cover plate 50 is removed, and only the guide groove 51 is shown by a broken line.

本実施形態においてコレット取外装置１００は、回転ブロック２０を回転させるためのアクチュエータとしてエアシリンダ６０を更に備えている。このエアシリンダ６０は、そのシリンダロッド６１の先端が接続治具６２を介して回転ブロック２０に接続されている。そして、シリンダロッド６１を前進させると回転ブロック２０は、図１（ａ）において時計回り方向に回転する。一方、シリンダロッド６１を後退させると回転ブロック２０は、反時計回り方向に回転する。 In this embodiment, the collet removal device 100 further includes an air cylinder 60 as an actuator for rotating the rotation block 20. The air cylinder 60 has a cylinder rod 61 whose tip end is connected to the rotating block 20 via a connecting jig 62. Then, when the cylinder rod 61 is advanced, the rotation block 20 rotates clockwise in FIG. 1(a). On the other hand, when the cylinder rod 61 is moved backward, the rotation block 20 rotates counterclockwise.

本実施形態においてコレット取外装置１００は、２つのストッパ７１，７２を更に備えている。このうちストッパ７１は、回転ブロック２０の時計回り方向の回転、すなわち可動爪３０を開口部４０へ突出させる方向の回転を止める。具体的には、図２に示すように回転ブロック２０に設けた当接ピン２３がストッパ７１に当接することで、可動爪３０を開口部４０へ突出させる方向の回転ブロック２０の回転を止める。したがって、このストッパ７１の位置を変更することにより、可動爪３０の開口部４０への突出代を変更することができる。
一方、ストッパ７２は、回転ブロック２０の反時計回り方向の回転、すなわち可動爪３０を開口部４０へ突出させない方向の回転を止める。 In this embodiment, the collet removal device 100 further includes two stoppers 71 and 72. Among these, the stopper 71 stops the clockwise rotation of the rotation block 20, that is, the rotation in the direction of protruding the movable claw 30 into the opening 40. Specifically, as shown in FIG. 2, the contact pin 23 provided on the rotating block 20 comes into contact with the stopper 71, thereby stopping the rotation of the rotating block 20 in the direction in which the movable claw 30 is projected into the opening 40. Therefore, by changing the position of this stopper 71, the amount of protrusion of the movable claw 30 into the opening 40 can be changed.
On the other hand, the stopper 72 stops the rotation of the rotation block 20 in the counterclockwise direction, that is, the rotation in a direction that prevents the movable claw 30 from protruding into the opening 40.

本実施形態においてコレット取外装置１００は、回転ブロック２０が原点位置（図１の位置）に位置することを検出するためのセンサとしてドグセンサ８０を更に備えている。このドグセンサ８０は、固定ブロック１０側に設けた発光部８１及び受光部８２と、回転ブロック２０側に設けた遮光プレート８３とを有する。そして遮光プレート８３は、回転ブロック２０が原点位置に位置するときに発光部８１と受光部８２との間に位置し、発光部８１から受光部８２へ向けた光を遮る。これにより、回転ブロック２０が原点位置に位置することを検出することができる。 In this embodiment, the collet removal device 100 further includes a dog sensor 80 as a sensor for detecting that the rotation block 20 is located at the origin position (the position shown in FIG. 1). This dog sensor 80 includes a light emitting section 81 and a light receiving section 82 provided on the fixed block 10 side, and a light shielding plate 83 provided on the rotating block 20 side. The light-shielding plate 83 is located between the light-emitting section 81 and the light-receiving section 82 when the rotation block 20 is located at the origin position, and blocks light directed from the light-emitting section 81 to the light-receiving section 82 . Thereby, it is possible to detect that the rotation block 20 is located at the origin position.

次に、このコレット取外装置１００によってコレットをコレットホルダから取り外す方法について、図１及び図２を参照しつつ説明する。なお、図１及び図２においてコレットホルダは図示を省略している。 Next, a method for removing a collet from a collet holder using this collet removal device 100 will be described with reference to FIGS. 1 and 2. Note that the collet holder is not shown in FIGS. 1 and 2.

まず、図１に示すように、コレットホルダに保持されたコレットＳを開口部４０へ挿通可能とするために、回転ブロック２０を原点位置に位置させる。具体的には、エアシリンダ６０のシリンダロッド６１を後退させて、回転ブロック２０に設けた当接ピン２３がストッパ７２に当接する状態とする。この原点位置では、可動爪３０は開口部４０へ突出していないので、コレットホルダに保持されたコレットＳを開口部４０へ挿通することができる。なお、回転ブロック２０が原点位置に位置することは、上述のとおりドグセンサ８０によって確認することができる。 First, as shown in FIG. 1, the rotation block 20 is positioned at the original position so that the collet S held by the collet holder can be inserted into the opening 40. Specifically, the cylinder rod 61 of the air cylinder 60 is moved backward so that the contact pin 23 provided on the rotation block 20 contacts the stopper 72 . At this origin position, the movable claw 30 does not protrude into the opening 40, so the collet S held by the collet holder can be inserted into the opening 40. Note that the position of the rotation block 20 at the origin position can be confirmed by the dog sensor 80 as described above.

ドグセンサ８０によって、回転ブロック２０が原点位置に位置することを確認した後、コレットホルダに保持されたコレットＳを開口部４０へ挿通する。そして、エアシリンダ６０のシリンダロッド６１を前進させて、回転ブロック２０に設けた当接ピン２３がストッパ７１に当接する状態とする。そうすると、図２に示すように、可動爪３０が開口部４０へ突出し、コレットＳと係合可能な状態となる。この状態でコレットホルダを上昇させると可動爪３０がコレットＳの上面に係合し、更にコレットホルダを上昇させると、コレットＳがコレットホルダから外れ、開口部４０の下方に設置された廃コレット収納ボックス（図示省略）へ落下する。 After confirming that the rotation block 20 is located at the original position using the dog sensor 80, the collet S held by the collet holder is inserted into the opening 40. Then, the cylinder rod 61 of the air cylinder 60 is advanced so that the contact pin 23 provided on the rotation block 20 contacts the stopper 71. Then, as shown in FIG. 2, the movable claw 30 protrudes into the opening 40 and becomes capable of engaging with the collet S. When the collet holder is raised in this state, the movable claw 30 engages with the upper surface of the collet S, and when the collet holder is further raised, the collet S is removed from the collet holder, and the waste collet storage installed below the opening 40 It falls into a box (not shown).

このようにコレット取外装置１００においては、可動爪３０を開口部４０へ突出させてコレットに係合させることにより、コレットをコレットホルダから取り外すが、可動爪３０の開口部４０への突出代は、上述のとおりストッパ７１の位置を変更することにより可変である。したがって、コレットのサイズに合わせて、可動爪３０の開口部４０への突出代を変更することで、サイズの異なるコレットを容易に取り外すことができる。 In this manner, in the collet removal device 100, the collet is removed from the collet holder by protruding the movable claw 30 into the opening 40 and engaging the collet, but the extent of the protrusion of the movable claw 30 into the opening 40 is limited. , can be changed by changing the position of the stopper 71 as described above. Therefore, collets of different sizes can be easily removed by changing the amount of protrusion of the movable claw 30 into the opening 40 in accordance with the size of the collet.

１００ コレット取外装置
１０ 固定ブロック
１１ 支点ピン
２０ 回転ブロック
２１ 案内ピン
２２ 案内溝
２３ 当接ピン
３０ 可動爪
３１ 案内溝
４０ 開口部
５０ カバープレート
５１ 案内溝
６０ エアシリンダ
６１ シリンダロッド
７１，７２ ストッパ
８０ ドグセンサ
８１ 発光部
８２ 受光部
８３ 遮光プレート
Ｃ コレット 100 Collet removal device 10 Fixed block 11 Fulcrum pin 20 Rotating block 21 Guide pin 22 Guide groove 23 Contact pin 30 Movable claw 31 Guide groove 40 Opening 50 Cover plate 51 Guide groove 60 Air cylinder 61 Cylinder rod 71, 72 Stopper 80 Dog sensor 81 Light emitting part 82 Light receiving part 83 Light shielding plate C collet

Claims (1)

コレットをコレットホルダから取り外すためのコレット取外装置であって、
コレットを挿通可能な開口部と、この開口部へ突出可能な複数の可動爪と、前記開口部を含む固定ブロックと、この固定ブロックに回転可能に設けられた回転ブロックとを備え、
前記複数の可動爪は、前記固定ブロックの上面に設けた支点ピンを回転中心として回転可能であり、かつ前記複数の可動爪は案内溝を有し、この案内溝に前記回転ブロックの上面に設けた案内ピンが挿通され、
前記回転ブロックは案内溝を有し、この案内溝に前記支点ピンが挿通され、
前記回転ブロックを一方向に回転させることにより、前記複数の可動爪が前記支点ピンを回転中心として回転し、かつ前記支点ピンが前記回転ブロックの案内溝に沿って案内されると共に前記案内ピンが前記複数の可動爪の案内溝に沿って案内されることにより、前記複数の可動爪が前記開口部へ突出し、
更に、前記回転ブロックの前記一方向への回転を止めるためのストッパを前記回転ブロックとは別部材として備え、このストッパの位置を変更することにより、前記複数の可動爪の前記開口部への突出代の上限を変更する、コレット取外装置。 A collet removal device for removing a collet from a collet holder,
comprising an opening through which a collet can be inserted, a plurality of movable claws capable of protruding into the opening , a fixed block including the opening, and a rotation block rotatably provided on the fixed block ,
The plurality of movable claws are rotatable about a fulcrum pin provided on the upper surface of the fixed block, and each of the plurality of movable claws has a guide groove, and the plurality of movable claws has a guide groove provided in the upper surface of the rotating block. the guide pin is inserted,
The rotating block has a guide groove, and the fulcrum pin is inserted into the guide groove,
By rotating the rotary block in one direction, the plurality of movable claws rotate about the fulcrum pin, and the fulcrum pin is guided along the guide groove of the rotary block, and the guide pin The plurality of movable claws protrude into the opening by being guided along the guide grooves of the plurality of movable claws,
Furthermore, a stopper for stopping rotation of the rotary block in the one direction is provided as a separate member from the rotary block, and by changing the position of the stopper, the plurality of movable claws can protrude into the opening. Collet removal device that changes the upper limit of the collet .
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