JP7446765B2 - Collet removal device - Google Patents
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Description
本発明は、コレットをコレットホルダから取り外すためのコレット取外装置に関する。 The present invention relates to a collet removal device for removing a collet from a collet holder.
コレットは、ダイやフリップチップなどの半導体部品を基板上に搭載するときに使用される吸着治具である。このようなコレットは、コレットホルダの先端(下端)に着脱可能に保持して使用するが、使用に伴いコレットに塵が付着したりコレット自体に傷が付いたりすることから、定期的又は随時にコレットをコレットホルダから取り外して交換する必要がある。 A collet is a suction jig used when mounting semiconductor components such as dies and flip chips on a substrate. Such collets are used by being removably held at the tip (lower end) of the collet holder, but dust may adhere to the collet or the collet itself may become scratched during use, so it must be removed periodically or from time to time. The collet must be removed from the collet holder and replaced.
コレットをコレットホルダから取り外す技術としては、例えば特許文献1に開示されているように、複数の固定爪又は可動爪をコレットに係合させる技術が知られている。 As a technique for removing a collet from a collet holder, a technique is known in which a plurality of fixed pawls or movable pawls are engaged with the collet, as disclosed in Patent Document 1, for example.
しかし、このように単に複数の固定爪又は可動爪をコレットに係合させるだけの技術では、コレットのサイズが変更になると、そのコレットのサイズに応じて固定爪又は可動爪の位置や形状などを変更する必要があり、同一の装置によってサイズの異なるコレットを取り外すことは困難であった。 However, with this technique of simply engaging multiple fixed claws or movable claws with a collet, when the size of the collet changes, the position and shape of the fixed claws or movable claws must be adjusted according to the size of the collet. It was difficult to remove collets of different sizes with the same equipment.
本発明が解決しようとする課題は、サイズの異なるコレットを容易に取り外すことのできるコレット取外装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a collet removal device that can easily remove collets of different sizes.
本発明の一観点によれば、次のコレット取外装置が提供される。
コレットをコレットホルダから取り外すためのコレット取外装置であって、
コレットを挿通可能な開口部と、この開口部へ突出可能な複数の可動爪と、前記開口部を含む固定ブロックと、この固定ブロックに回転可能に設けられた回転ブロックとを備え、
前記複数の可動爪は、前記固定ブロックの上面に設けた支点ピンを回転中心として回転可能であり、かつ前記複数の可動爪は案内溝を有し、この案内溝に前記回転ブロックの上面に設けた案内ピンが挿通され、
前記回転ブロックは案内溝を有し、この案内溝に前記支点ピンが挿通され、
前記回転ブロックを一方向に回転させることにより、前記複数の可動爪が前記支点ピンを回転中心として回転し、かつ前記支点ピンが前記回転ブロックの案内溝に沿って案内されると共に前記案内ピンが前記複数の可動爪の案内溝に沿って案内されることにより、前記複数の可動爪が前記開口部へ突出し、
更に、前記回転ブロックの前記一方向への回転を止めるためのストッパを前記回転ブロックとは別部材として備え、このストッパの位置を変更することにより、前記複数の可動爪の前記開口部への突出代の上限を変更する、コレット取外装置。
According to one aspect of the present invention, the following collet removal device is provided.
A collet removal device for removing a collet from a collet holder,
comprising an opening through which a collet can be inserted, a plurality of movable claws capable of protruding into the opening , a fixed block including the opening, and a rotation block rotatably provided on the fixed block ,
The plurality of movable claws are rotatable about a fulcrum pin provided on the upper surface of the fixed block, and each of the plurality of movable claws has a guide groove, and the plurality of movable claws has a guide groove provided in the upper surface of the rotating block. the guide pin is inserted,
The rotating block has a guide groove, and the fulcrum pin is inserted into the guide groove,
By rotating the rotary block in one direction, the plurality of movable claws rotate about the fulcrum pin, and the fulcrum pin is guided along the guide groove of the rotary block, and the guide pin The plurality of movable claws protrude into the opening by being guided along the guide grooves of the plurality of movable claws,
Furthermore, a stopper for stopping rotation of the rotary block in the one direction is provided as a separate member from the rotary block, and by changing the position of the stopper, the plurality of movable claws can protrude into the opening. Collet removal device that changes the upper limit of the collet .
本発明のコレット取外装置によれば、可動爪の突出代の上限(以下、「可動爪の突出代の上限」のことを単に「可動爪の突出代」という。)が可変であることから、コレットのサイズに応じて可動爪の突出代を変更することで、サイズの異なるコレットを容易に取り外すことができる。 According to the collet removal device of the present invention, the upper limit of the protrusion distance of the movable claw (hereinafter, the "upper limit of the protrusion range of the movable claw" is simply referred to as "the protrusion range of the movable claw") is variable. By changing the protrusion of the movable claw according to the size of the collet, collets of different sizes can be easily removed.
図1に、本発明の一実施形態であるコレット取外装置100を示している。
このコレット取外装置100は、固定ブロック10と、固定ブロック10に回転可能に設けられた回転ブロック20と、固定ブロック10に回転可能に軸支された複数(本実施形態では4つ)の可動爪30とを備えている。
FIG. 1 shows a
This
可動爪30は具体的には、固定ブロック10の上面に設けた支点ピン11に軸支されており、この支点ピン11を回転中心として回転可能である。また、可動爪30は案内溝31を有しており、この案内溝31に、回転ブロック20の上面に設けた案内ピン21が挿通されている。このような構成により、図1(a)の状態から回転ブロック20を時計回り方向に回転させると、可動爪30も時計回り方向に回転し、図2に示すように、可動爪30が開口部40へ突出した状態となる。また、図2の状態から回転ブロック20を反時計回り方向に回転させると、可動爪30も反時計回り方向に回転し、図1(a)に示すように、可動爪30が開口部40へ突出しない状態となる。
Specifically, the
なお、本実施形態において開口部40は回転ブロック20に含まれている。また、開口部40はコレットCを挿通可能な大きさを有している。そして、図2に示すように可動爪30を開口部40へ突出させることにより、可動爪30がコレットCに係合する。
Note that in this embodiment, the
本実施形態において回転ブロック20は案内溝22を有しており、この案内溝22に支点ピン11が挿通されている。
In this embodiment, the
本実施形態においてコレット取外装置100は、カバープレート50を更に備えている。このカバープレート50はリング状であり、固定ブロック10及び回転ブロック20の上面を覆うように設けられている。また、カバープレート50は案内溝51を有しており、この案内溝51に案内ピン21が挿通されている。
なお、図1(a)及び図2では、カバープレート50を取り外した状態を示しており、案内溝51のみを破線で示している。
In this embodiment, the
Note that FIGS. 1A and 2 show a state in which the
本実施形態においてコレット取外装置100は、回転ブロック20を回転させるためのアクチュエータとしてエアシリンダ60を更に備えている。このエアシリンダ60は、そのシリンダロッド61の先端が接続治具62を介して回転ブロック20に接続されている。そして、シリンダロッド61を前進させると回転ブロック20は、図1(a)において時計回り方向に回転する。一方、シリンダロッド61を後退させると回転ブロック20は、反時計回り方向に回転する。
In this embodiment, the
本実施形態においてコレット取外装置100は、2つのストッパ71,72を更に備えている。このうちストッパ71は、回転ブロック20の時計回り方向の回転、すなわち可動爪30を開口部40へ突出させる方向の回転を止める。具体的には、図2に示すように回転ブロック20に設けた当接ピン23がストッパ71に当接することで、可動爪30を開口部40へ突出させる方向の回転ブロック20の回転を止める。したがって、このストッパ71の位置を変更することにより、可動爪30の開口部40への突出代を変更することができる。
一方、ストッパ72は、回転ブロック20の反時計回り方向の回転、すなわち可動爪30を開口部40へ突出させない方向の回転を止める。
In this embodiment, the
On the other hand, the
本実施形態においてコレット取外装置100は、回転ブロック20が原点位置(図1の位置)に位置することを検出するためのセンサとしてドグセンサ80を更に備えている。このドグセンサ80は、固定ブロック10側に設けた発光部81及び受光部82と、回転ブロック20側に設けた遮光プレート83とを有する。そして遮光プレート83は、回転ブロック20が原点位置に位置するときに発光部81と受光部82との間に位置し、発光部81から受光部82へ向けた光を遮る。これにより、回転ブロック20が原点位置に位置することを検出することができる。
In this embodiment, the
次に、このコレット取外装置100によってコレットをコレットホルダから取り外す方法について、図1及び図2を参照しつつ説明する。なお、図1及び図2においてコレットホルダは図示を省略している。
Next, a method for removing a collet from a collet holder using this
まず、図1に示すように、コレットホルダに保持されたコレットSを開口部40へ挿通可能とするために、回転ブロック20を原点位置に位置させる。具体的には、エアシリンダ60のシリンダロッド61を後退させて、回転ブロック20に設けた当接ピン23がストッパ72に当接する状態とする。この原点位置では、可動爪30は開口部40へ突出していないので、コレットホルダに保持されたコレットSを開口部40へ挿通することができる。なお、回転ブロック20が原点位置に位置することは、上述のとおりドグセンサ80によって確認することができる。
First, as shown in FIG. 1, the
ドグセンサ80によって、回転ブロック20が原点位置に位置することを確認した後、コレットホルダに保持されたコレットSを開口部40へ挿通する。そして、エアシリンダ60のシリンダロッド61を前進させて、回転ブロック20に設けた当接ピン23がストッパ71に当接する状態とする。そうすると、図2に示すように、可動爪30が開口部40へ突出し、コレットSと係合可能な状態となる。この状態でコレットホルダを上昇させると可動爪30がコレットSの上面に係合し、更にコレットホルダを上昇させると、コレットSがコレットホルダから外れ、開口部40の下方に設置された廃コレット収納ボックス(図示省略)へ落下する。
After confirming that the
このようにコレット取外装置100においては、可動爪30を開口部40へ突出させてコレットに係合させることにより、コレットをコレットホルダから取り外すが、可動爪30の開口部40への突出代は、上述のとおりストッパ71の位置を変更することにより可変である。したがって、コレットのサイズに合わせて、可動爪30の開口部40への突出代を変更することで、サイズの異なるコレットを容易に取り外すことができる。
In this manner, in the
100 コレット取外装置
10 固定ブロック
11 支点ピン
20 回転ブロック
21 案内ピン
22 案内溝
23 当接ピン
30 可動爪
31 案内溝
40 開口部
50 カバープレート
51 案内溝
60 エアシリンダ
61 シリンダロッド
71,72 ストッパ
80 ドグセンサ
81 発光部
82 受光部
83 遮光プレート
C コレット
100
Claims (1)
コレットを挿通可能な開口部と、この開口部へ突出可能な複数の可動爪と、前記開口部を含む固定ブロックと、この固定ブロックに回転可能に設けられた回転ブロックとを備え、
前記複数の可動爪は、前記固定ブロックの上面に設けた支点ピンを回転中心として回転可能であり、かつ前記複数の可動爪は案内溝を有し、この案内溝に前記回転ブロックの上面に設けた案内ピンが挿通され、
前記回転ブロックは案内溝を有し、この案内溝に前記支点ピンが挿通され、
前記回転ブロックを一方向に回転させることにより、前記複数の可動爪が前記支点ピンを回転中心として回転し、かつ前記支点ピンが前記回転ブロックの案内溝に沿って案内されると共に前記案内ピンが前記複数の可動爪の案内溝に沿って案内されることにより、前記複数の可動爪が前記開口部へ突出し、
更に、前記回転ブロックの前記一方向への回転を止めるためのストッパを前記回転ブロックとは別部材として備え、このストッパの位置を変更することにより、前記複数の可動爪の前記開口部への突出代の上限を変更する、コレット取外装置。 A collet removal device for removing a collet from a collet holder,
comprising an opening through which a collet can be inserted, a plurality of movable claws capable of protruding into the opening , a fixed block including the opening, and a rotation block rotatably provided on the fixed block ,
The plurality of movable claws are rotatable about a fulcrum pin provided on the upper surface of the fixed block, and each of the plurality of movable claws has a guide groove, and the plurality of movable claws has a guide groove provided in the upper surface of the rotating block. the guide pin is inserted,
The rotating block has a guide groove, and the fulcrum pin is inserted into the guide groove,
By rotating the rotary block in one direction, the plurality of movable claws rotate about the fulcrum pin, and the fulcrum pin is guided along the guide groove of the rotary block, and the guide pin The plurality of movable claws protrude into the opening by being guided along the guide grooves of the plurality of movable claws,
Furthermore, a stopper for stopping rotation of the rotary block in the one direction is provided as a separate member from the rotary block, and by changing the position of the stopper, the plurality of movable claws can protrude into the opening. Collet removal device that changes the upper limit of the collet .
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