JP7446432B2 - 光源装置 - Google Patents
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Description
図1および図2を用いて実施の形態1の光源装置100の概略構成を説明する。図1はYZ平面を-X軸側から観察した図を示し、図2はZX平面を+Y軸方向側から観察した図を示している。図1および図2に示されるように光源装置100は、光源群1、光偏向素子2および平行化レンズ3を備え、光源群1と平行化レンズ3との間に光偏向素子2が配置されている。光偏向素子2は、光偏向用の光学面21および22が光出射側に設けられており、当該光学面21および22は、平行化レンズ3の中心を通る光軸C1に向けて共に傾斜している。光源群1は、図1に示されるようにY軸方向に配列された光源1aおよび光源1bを有している。
本実施の形態では、説明を容易にするために、以下に示す図においてXYZ座標を用い、+Z軸方向に光が進行するものとする。また、X軸中心の右回りの回転を+RX、Y軸中心の右回りの回転を+RY、Z軸中心の右回りの回転を+RZとする。
光源1aおよび光源1bはX軸方向の発散角とY軸方向の発散角が異なる固体光源であり、例えば、レーザーダイオードである。ここで、光源1aおよび光源1bのXY平面を発光面とし、Y軸方向の辺がX軸方向の辺より長く、Y軸方向の発散角(±RX方向の角度)は、X軸方向の発散角(±RY方向の角度)より小さいものとする。例えば、光源1aおよび1bのY軸方向の長さは70μmであり、X軸方向の長さは1μmである。以下、発散角の小さいY軸方向を第1の方向、X軸方向を第2の方向とも呼ぶ。
光源1aおよび光源1bから出射される光の配光特性を図3に示す。図3において縦軸は相対光強度(任意単位)を示し、横軸は、光の発散角度(°)を示す。実線で示す特性301は、X軸方向(±RY方向)に発散する光の配光特性を示しており、一点鎖線で示す特性302は、Y軸方向(±RX方向)に発散する光の配光特性を示している。上述したように、Y軸方向の発散角は、X軸方向の発散角よりも小さい。
光源1aおよび光源1bは、例えば、中心波長638nmの赤色の光を発する。複数の光源を隣接配置して高出力化を行う際に、中心波長が例えば、450nmの青色の光を発する光源および中心波長が例えば、525nmの緑色の光を発する光源と比較して、赤色の光を発する光源は、温度に対して感度が高く、温度が高くなると発光効率の低下および波長シフトが発生する。従って、冷却を考慮すると、光源1aと光源1bの配列間隔、すなわち配列方向の間隔、本実施の形態ではY軸方向の間隔は、広い方が好ましい。しかし、一般的に光源1aと光源1bの配列間隔が拡がるに従って、光軸C1上の光利用効率が低下するため、光利用効率を向上させるためには、光源1aおよび光源1bは光軸C1の近くに配置されることが好ましい。
光偏向素子2を配置しない場合、つまり、光源群1と平行化レンズ3のみの場合、光源1aから出射した光と光源1bから出射した光は、平行化レンズ3で屈折後、光軸C1を境に徐々に離れていく。そのため、平行化レンズ3の後段で集光レンズを配置し、複数の光源装置100から出射した光を光軸C1上に集光する際に、集光レンズの光軸C1上に集光する光の効率が低くなる。
図5は光偏向素子2の作用を説明する概念図であり、図5を用いて光偏向素子2の特徴を説明する。光偏向素子2を光源1aと平行化レンズ3(図1)の間に配置することによって、光偏向素子2の偏向作用により光源1aの中央部から出射した光線501ccが光軸C1に対して+Y軸方向に角度α1を有して平行化レンズ3に入射させることが可能となる。角度α1で+Z軸方向に進行した光線が平行化レンズ3で光軸C1に対して平行な光線となって出射することにより、光軸C1上の光利用効率の低下を抑制できる。光源1bに対しても光軸C1を線対称にして同様に作用する。すなわち、光偏向素子2を配置することによって、光源1aおよび光源1bの中央部から出射した光軸C1と平行な光線を、屈折後に+Y軸方向および-Y軸方向に偏向させることにより、光軸C1から±Y軸方向に離れて配置された光源を光軸C1上あるいは、光軸C1方向に平行移動した位置に配置されたかのような振る舞いをさせることが可能となる。
図5に示されるように、光線501cuは光源1aの中央部から角度α2=-5°で出射した光線の軌跡を示し、光線501ccは光源1aの中央部から角度0°で出射した光線、すなわち、光軸C1と平行な光線の軌跡を示し、光線501cdは光源1aの中央部から角度α5=+5°で出射した光線の軌跡を示す。
ここで、光偏向素子2の出射面のXY平面に対するY軸方向(+RX方向)の傾き角度α8を+18.81°とすると、角度α1は以下の数式(2)で算出される。なお、角度は絶対値で計算する。
上記数式(2)より|α1|=10.43°となり、出射方向を考慮するとα1=-10.43°となる。なお、屈折率および角度を四捨五入により概略値として算出しているため、算出した角度において、誤差は生じる。
上記数式(3)より|α3|=3.3°となり、出射方向を考慮するとα3=-3.3°となる。
数式(4)に既知の角度を代入すると以下の数式(5)となる。
数式(5)より|α4|=15.96°となり、出射方向を考慮するとα4=-15.96°となる。
数式(6)より|α6|=3.3°となり、出射方向を考慮すると、α6=+3.3°となる。
数式(7)に既知の角度を代入すると以下の数式(8)となる。
数式(8)より|α7|=5.09°となり、出射方向を考慮すると、α7=-5.09°となる。
光線501cu、光線501ccおよび光線501cdより、光源1aの中央部から出射した光線が平行化レンズ3に進行する際の光軸C1に対する角度を算出した。すなわち、平行化レンズ3に進行する光線501cu、光線501ccおよび光線501cdに関して、光偏向素子2を配置せずに同様の光線が出射されたと仮定した場合の-Z軸方向における光線の振る舞いを、図5においては光線502cu、光線502ccおよび光線502cdで表している。つまり、光線501cu、光線501ccおよび光線501cdに関して、-Z軸方向の構成をブラックボックス化した際の-Z軸方向での光線の振る舞いを光線502cu、光線502ccおよび光線502cdで表している。この処理により、光源1aの中央部が図5中のP54の位置に移動した場合と同様の光線の振る舞いをしていることが判る。
例えば、図5に示す構成では、隣接する光源の端部間距離(間隔y1c)を140μmとしたが、間隔y1cを70μmとしても同様の効果が得られる。その場合、間隔D1を350μmから150μmとすることができる。
ここで、例えば、光偏向素子2と同等の機能を2枚のミラーを用いて実現することができる。この場合、α1=10.43°とすると、ミラーを、光軸C1に対して±10.43/2≒5.22°傾ける。より具体的には、+Y軸側に配置される光源1aの光に対しては-5.22°、-Y軸側に配置される光源1bの光に対しては+5.22°傾ける。
図6は、実施の形態2として光偏向素子2をミラーで代用する場合の概略構成を示す。便宜上、図5と同様に光源1aの光線の振る舞いのみを示す。光源1aのY軸方向長さy1aは70μm、光源1aの中央部と光軸C1とのY軸方向の間隔y1acは105μmとし、図5の例と同一とする。角度α2、角度α5も図5の例と同様である。なお、ミラーMの傾き角α9は-8°とした。
例えば、間隔y1ac=105μm、ミラーMの傾き角α9=-8°の場合、光源1aの中央部とミラーMの反射面との間隔D4は、約381μmとなる。なお、実装される間隔D4は例えば、381μm±10%(38μm)の誤差が許容される。
実施の形態1において平行化レンズ3は、光偏向素子2から出射した光を光軸C1に対して平行な光とする。平行化レンズ3は例えば、非球面形状で形成されている。非球面形状は、X軸方向とY軸方向で形状が異なるトロイダル形状とすることができる。また、光入射面は凸形状とすることもでき、凹形状とすることもできる。
図7は実施の形態1における光源1aから出射した光線の光線追跡結果を示す図である。図7においては光源群1および光偏向素子2を含む領域“B”の拡大図と、平行化レンズ3の出射面の領域“C”の拡大図を併せて示している。なお、光源1aから光偏向素子2の位置関係等は図5に準じる。また、光偏向素子2の+Z軸方向側に平行化レンズ3を配置している。平行化レンズの焦点距離は約6.5mmである。
図8は、実際に光源1aから出射される光線の光軸C1に対する傾き角度を説明する図である。なお、平行化レンズ3は仮想の薄肉レンズ703とし、焦点距離F7は6.5mmである。光源1aの中央部が光軸C1に位置するように光源1aを移動した場合を仮定している。図8では、光源1aの+Y軸方向端部から出射した光線701uおよび光源1aの-Y軸方向端部から出射した光線701dの光線の振る舞いを示す。薄肉レンズ703を出射した光線701uおよび光線701dの光軸C1に対する角度βuおよび角度-βdは、以下の数式(10)で表される。
=atan(35μm/6500μm)
≒0.31°・・・(10)
角度βuおよび角度βdの結果から、光源1aの中央部から出射した光線が角度0°、光源1aの+Y軸方向端部から出射した光線701uおよび-Y軸方向端部から出射した光線701dが、角度0.31°で平行化レンズ3を出射する場合、光源1aが光軸C1から出射していると仮定できる。
図10は、平行化レンズ3の+Z軸方向から光軸C1と平行な光線を入射させた場合の逆光線追跡結果を示す図である。図10においては光源群1を含む領域“F”の拡大図を併せて示している。図10に示されるように、平行化レンズ3の集光点P80は、光源1aより+Z軸方向側かつ光軸C1より+Y軸方向側であることが判る。また、平行化レンズ3の焦点位置P80fは、集光点P80より-Z軸方向側であることが判る。焦点位置P80fが光源1aより+Z軸側に位置するのは、光学素子である光偏向素子2の影響により、平行化レンズ3のバックフォーカスが短くなるからである。また、光線を偏向したことによる角度α1の影響もあると考えられる。なお、図10の例では集光点P80と焦点位置P80fのZ軸方向の間隔は約140μmである。
図6に示した実施の形態2のミラーMを用いた構成の逆光線追跡を行った結果を図13に示す。図13においては光源群1およびミラーMを含む領域“G”の拡大図と、平行化レンズ3の出射面の領域“F”の拡大図を併せて示している。
実施の形態1の図5の構成を用いて逆光線追跡を行った結果である図9、および実施の形態2の図6の構成を用いて逆光線追跡を行った結果である図13において、光源1aから2000mm遠方における評価面(XY平面)における、光源1aから出射した光の照度分布を図14~図16に示す。なお、光源1aの発散角は、図3より、X軸方向(RY方向)の1/e2は±約37°、Y軸方向(RX方向)の1/e2は±約5°とした。図14~図16においては、横軸にX軸(mm)を、縦軸にY軸(mm)を示し、光の強度を5階調に分けて表している。なお、最も明るい白色が強度100%を表している。
図14の照度分布によれば、Y軸方向の照度範囲は20%以上の光強度の領域から+側が+10.7mmに少し収まっていないが、-側は-10.7mmに収まっている。また、80%以上の光強度の領域が±10.7mmに収まっており、20%以上の光強度の領域に対する80%の光強度の領域のY軸方向の範囲の比率を考慮すると光軸C1上に光源1aがある場合と概ね同等の結果が得られていると考えられる。
図20は実施の形態3の光源装置2101の概略構成を示す図である。図1の光源装置100とは光偏向素子2の構成および平行化レンズ3のZ軸方向位置が異なる点以外は実施の形態1と同様のため、説明を適宜省略する。実施の形態3の光偏向素子212においては、入射した光を偏向する光偏向用の光学面2121および2122を-Z軸方向側に有している点で図1の構成と異なる。光学面2121および2122は、平行化レンズ3の中心を通る光軸C1に向けて共に傾斜している。
光偏向素子212の作用を説明する概念図を図21に示す。光源1a、光源1b、間隔y1d、間隔y1ac、間隔y1c、長さy1a、長さy1bは図5と同様のため説明を省略する。光偏向素子212の最小部分の厚みT1は、図5と同じ280μmとする。また、光源1aと光偏向素子212の凹部との間隔D1aは、520μmとする。ここで、光偏向素子212の材質は例えば、HOYA株式会社のBSC7であり、波長638nmでの屈折率は約1.515である。
光線2101uuは光源1aの+Y軸方向端部から角度α2=-5°で出射した光線の軌跡を示し、光線2101ucは光源1aの+Y軸方向端部から角度0°で出射した光線、すなわち、光軸C1と平行な光線の軌跡を示し、光線2101udは光源1aの+Y軸方向端部から角度α5=+5°で出射した光線の軌跡を示す。
光線2101uu、光線2101duの軌跡において、光線2101cuの光線が光偏向素子212に入射して進行する角度α2a、また、光偏向素子212を出射して進行する角度α2bが等しいため、光線2101cuの光の軌跡に関してのみ説明する。また、光線2101uc、光線2101dcは光線2101ccの光線が光偏向素子212に入射して進行する角度α1a、また、光偏向素子212を出射して進行する角度α1bが等しいため、光線2101ccの光の軌跡に関してのみ説明する。そして、光線2101ud、光線2101ddは、光線2101cdの光線が光偏向素子212に入射して進行する角度α5a、また、光偏向素子212を出射して進行する角度α5bが等しいため、光線2101cdの光の軌跡に関してのみ説明する。
光線2101cuは、光源1aの中央部から角度α2=-5°で出射した後、光偏向素子212で屈折してα2aで+Z軸方向に進行する。角度α2aはスネルの法則を用いると、以下の数式(12)で算出される。なお、角度は絶対値で計算する。
α8を例えば、+18.81°とすると、α2a=-9.74°となる。なお、計算誤差が生じること等は実施の形態1と同じであり、以下の計算においても同じである。
α2a=-9.74°として計算すると、α2b=-14.85°となる。
光線2101ccは、光源1aの中央部から角度0°で出射した後、光偏向素子212で屈折してα1aで+Z軸方向に進行する。α1aは以下の数式(14)で算出される。なお、角度は絶対値で計算する。
α8を例えば、+18.81°とすると、α1a=-6.52°となる。
α1a=-6.52°として計算すると、α1b=-9.91°となる。
光線2101cdは、光源1aの中央部から角度α5=+5°で出射した後、光偏向素子212で屈折してα5aで+Z軸方向に進行する。α5aは以下の数式(16)で算出される。なお、角度は絶対値で計算する。
α8を例えば、+18.81°とすると、α5a=-3.36°となる。
α5a=-3.36°として計算すると、α5b=-5.09°となる。
光線2101cu、光線2101ccおよび光線2101cdより、光源1aの中央部から出射した光線が平行化レンズ3に進行する際の光軸C1に対する角度を算出した。ここで、平行化レンズ3に進行する光線2101cu、光線2101ccおよび光線2101cdに関して、光偏向素子212を配置せずに同様の光線が出射されたと仮定した場合の-Z軸方向における光線の振る舞いを、図21においては破線で表している。つまり、光線2101cu、光線2101ccおよび光線2101cdに関して、-Z軸方向の構成をブラックボックス化した際の-Z軸方向での光線の振る舞いを破線で表している。光源1aの+Y軸方向端部から出射した光線2101uu、光線2101uc、光線2101udに関しても同様である。また、光源1aの-Y軸方向端部から出射した光線2101du、光線2101dc、光線2101ddに関しても同様である。この処理により、光源1aの中央部が図21中のP21cの位置に移動した場合、光源1aの+Y軸方向端部が図21中のP21uの位置に移動した場合、光源1aの-Y軸方向端部が図21中のP21dの位置に移動した場合、と同様の光線の振る舞いをしていることが判る。
図22に実施の形態3の光源装置2101の逆光線追跡結果を示す。図22においては光源群1および光偏向素子212を含む領域“I”の拡大図と、平行化レンズ3の出射面の領域“J”の拡大図を併せて示している。ここでは、平行化レンズ3の+Z軸方向から-Z軸方向に進行する光線の逆光線追跡を行い、結像位置を確認する。
図23は、平行化レンズ3の+Z軸方向から光軸C1と平行な光線を入射させた場合の逆光線追跡結果を示す図である。図23においては光源群1を含む領域“K”の拡大図を併せて示している。図23に示されるように、平行化レンズ3の焦点位置P240fは、光源1aより-Z軸方向側であることが判る。それに対し、図10の平行化レンズ3の焦点位置P80fが光源1aより+Z軸側に位置する点でも実施の形態1と異なる。後述するが、これは、平行化レンズ3の形状は実施の形態1と同様であるが、-Z軸方向に100μm移動させているためである。なお、図23の光源1aの発光面と焦点位置P240fとのZ軸方向の間隔D24は33μmであり、図10の光源1aの発光面と焦点位置P80fとのZ軸方向の間隔は67μmである。つまり、焦点位置を100μm移動させていることとなる。図22に示す逆光線追跡におけるY軸方向の集光位置を光源1aの発光面付近に合わせるため平行化レンズ3を-Z軸方向に100μm移動させている。
図24に光偏向素子212を用いて光源1aおよび光源1bの両方を点灯させた場合の光源1aおよび光源1bから2000mm遠方における評価面(XY平面)における光の照度分布を示す。なお、光源1aおよび光源1bの発散角は、何れも図3より、X軸方向(RY方向)の1/e2は±約37°、Y軸方向(RX方向)の1/e2は±約5°とした。図24においては、横軸にX軸(mm)を、縦軸にY軸(mm)を示し、光の強度を5階調に分けて表している。なお、最も明るい白色が強度100%を表している。
図25および図26を用いて光源群1と平行化レンズ3の位置関係を説明する。図25は、実施の形態1で示した図7と同様の図であり、光源1aの+Y軸方向端部、中心および-Y軸方向端部から±5°の拡がりをもって+Z軸方向に光線が進行した場合の光線追跡結果を示す。また、図26は、実施の形態3の光源1aの+Y軸方向端部、中心および-Y軸方向端部から±5°の拡がりをもって+Z軸方向に光線が進行した場合の光線追跡結果を示す。
図27に実施の形態1のX軸方向の逆光線追跡結果を示す。図27では光源1aを含む領域“L”の拡大図として、図25に示したY軸方向位置が間隔y26b1に相当する光軸C1から+Y軸方向に0.5mmの高さで光線が入射する場合と、Y軸方向位置が間隔y26t1に相当する光軸C1から+Y軸方向に1.8mmの高さで光線が入射する場合の拡大図を示す。図27より、間隔y26b1の場合には、集光位置の範囲は、光源1aの発光面に対して、-Z軸方向側にDz1m=41.9μm、+Z軸方向側にDz1p=47.3μm、つまり-41.9μm~+47.3μmの範囲内に集光することが判る。また、間隔y26t1の場合には、集光位置の範囲は、光源1aの発光面に対して、-Z軸方向側にDz2m=9.8μm、+Z軸方向側にDz2p=14.6μm、つまり-9.8μm~+14.6μmの範囲内に集光することが判る。Y軸方向位置が低いと集光範囲が広くなることが確認できる。また、平均で考えると集光位置が+Z軸方向に少しずれていることが確認できる。
図28に実施の形態3のX軸方向の逆光線追跡結果を示す。図28では光源1aを含む領域“M”の拡大図として、図26に示したY軸方向位置が間隔y26b2に相当する光軸C1から+Y軸方向に0.5mmの高さで光線が入射する場合と、Y軸方向位置が間隔y26t2に相当する光軸C1から+Y軸方向に1.7mmの高さで光線が入射する場合の拡大図を示す。図28より、間隔y26b2の場合には、集光位置の範囲は、光源1aの発光面に対して、-Z軸方向側にDz3m=142μm、Dz3p=52.8μm、つまり-142μm~-52.8μmの範囲内に集光することが判る。また、間隔y26t2の場合には、集光位置の範囲は、光源1aの発光面に対して、-Z軸方向側にDz4m=111.9μm、Dz4p=85.7μm、つまり-111.9μm~-85.7μmの範囲内に集光することが判る。Y軸方向位置が低いと集光範囲が広くなることが確認できる。また、平均で考えると集光位置が光源1aの発光面に対して、-Z軸方向に50μm以上、約98μm移動した位置になっていることが判る。-Z軸方向に約98μm集光位置が移動していることから、光源1aの中心からX軸方向に拡がって出射した光線が平行化レンズ3を出射後に、実施の形態1より角度を有して、すなわち平行度が低く出射することが、図24に示すようにX軸方向に照度分布が拡がる要因であると考えられる。
図29および図30に、実施の形態3の光源1aおよび光源1bの両方を点灯させた場合の光源1aおよび光源1bから2000mm遠方における評価面における光の照度分布を示す。図29は実施の形態3の平行化レンズ3と光偏向素子212を+Z軸方向に150μm移動させた場合の照度分布を示す。図30は実施の形態3の平行化レンズ3と光偏向素子212を+Z軸方向に100μm移動させた場合の照度分布を示す。なお、光源1aおよび光源1bの発散角は、何れも図3より、X軸方向(RY方向)の1/e2は±約37°、Y軸方向(RX方向)の1/e2は±約5°とした。図29および図30においては、横軸にX軸(mm)を、縦軸にY軸(mm)を示し、光の強度を5階調に分けて表している。なお、最も明るい白色が強度100%を表している。
以上説明したように、入射面に傾斜を有する光偏向素子212を用いた場合は、X軸方向とY軸方向で平行化レンズ3に+Z軸方向から-Z軸方向に光線を入射する逆光線追跡をした際に焦点位置が異なり、Y軸方向の焦点を合わせるとX軸方向が評価面でボケることが判る。X軸方向とY軸方向の焦点位置の差異に関しては、平行化レンズ3の+Z軸方向側の面をZ軸に対して回転対称な非球面ではなく、YZ平面の曲率よりZX平面の曲率を大きくすることにより、X軸方向の焦点位置を+Z軸方向に移動することが可能となり、Y軸方向の焦点位置に近づけることが可能となると想定される。つまり、平行化レンズ3の+Z軸方向側の面をアナモフィック非球面とするとよいと考えられる。例えば、平行化レンズ3の+Z軸方向側の面で、ZX平面において、YZ平面と同様のコーニック定数、非球面係数とし、曲率のみ大きくすればよい。例えば、YZ平面の曲率半径を4.90mm、ZX平面の曲率半径を4.81mmとしてもよい。なお、入射面すなわち-Z軸方向側の面はZ軸中心に回転対称な形状でよい。例えば、曲率半径が43.7mmの球面の凹形状でもよい。
図31は、実施の形態4の光源装置として、平行化レンズ3の+Z軸方向側の面をアナモフィック非球面とした場合の照度分布を示す。すなわち、図31には、平行化レンズ3の+Z軸方向の面において、YZ平面の曲率よりZX平面の曲率を大きくしたアナモフィック非球面、例えばYZ平面の曲率半径を4.90mm、ZX平面の曲率半径を4.81mmとし、光源1aおよび光源1bの両方を点灯させた場合の光源1aおよび光源1bから2000mm遠方における評価面における光の照度分布を示す。なお、光源1aおよび光源1bの発散角は、何れも図3より、X軸方向(RY方向)の1/e2は±約37°、Y軸方向(RX方向)の1/e2は±約5°とした。図31においては、横軸にX軸(mm)を、縦軸にY軸(mm)を示し、光の強度を5階調に分けて表している。なお、最も明るい白色が強度100%を表している。
図32は、実施の形態4の光源装置の変形例として、平行化レンズ3の-Z軸方向側の面をトロイダル面とした場合の照度分布を示す。すなわち、図32には、平行化レンズ3の-Z軸側の面においてYZ平面の曲率半径を43.7mm、ZX平面の曲率半径を70mmとした凹形状のトロイダル面とし、+Z軸方向側の面形状を回転対称の非球面とし、光源1aおよび光源1bの両方を点灯させた場合の光源1aおよび光源1bから2000mm遠方における評価面における光の照度分布を示す。なお、光源1aおよび光源1bの発散角は、何れも図3より、X軸方向(RY方向)の1/e2は±約37°、Y軸方向(RX方向)の1/e2は±約5°とした。図32においては、横軸にX軸(mm)を、縦軸にY軸(mm)を示し、光の強度を5階調に分けて表している。なお、最も明るい白色が強度100%を表している。
実施の形態1の光源装置100の平行化レンズ3を+Z軸方向側の面で、ZX平面において、YZ平面と同様のコーニック定数、非球面係数とし、曲率のみ大きくしてアナモフィック非球面としてもよい。例えば、YZ平面の曲率半径を4.90mm、ZX平面の曲率半径を4.895mmとする。なお、入射面すなわち-Z軸方向側の面はZ軸中心に回転対称な形状でよい。例えば、曲率半径が43.7mmの球面の凹形状でもよい。
実施の形態1の光源装置100の平行化レンズ3を+Z軸側の面形状をZ軸中心に回転対称な非球面形状とし、-Z軸方向の面に対して、ZX平面の曲率をYZ平面の曲率より大きくしてトロイダル面としてもよい。例えば、+Z軸側の面は、+Z軸側の面の曲率半径を4.90mmとしたZ軸中心に回転対称な非球面とし、-Z軸側の面は、-Z軸側の面のYZ平面の曲率半径を43.7mm、ZX平面の曲率半径を50mmとした凹形状のトロイダル面でもよい。-Z軸側の面形状は凹面、すなわち負の曲率のため、曲率は、YZ平面よりZX平面の方が大きい。
図20に示した実施の形態3の光源装置2101の光偏向素子212の-Z軸方向側の傾斜面が平面ではなく曲面の場合は、例えば、光軸C1より+Y軸方向側の曲面が、光源1aの中心部より+Y軸方向に曲率中心が位置する球面あるいは非球面となり、光源1aから出射した光線を+Y軸方向に偏向して出射することとなる。この際、曲率が大きいほど偏向による影響が強くなる。この対策の一例として、平行化レンズ3出射後の光線を光軸C1と平行とするために、例えば、平行化レンズ3において、光軸C1より+Y軸方向側の曲面に対して、平行化レンズ3の曲率中心を-Y軸方向とすることで、+Y軸方向に進行していた光線を-Y軸方向に偏向させることにより、光軸C1と平行な光線とすることが可能となる。
図35は実施の形態5の光源装置100Aの概略構成を示す図である。図35に示されるように、光源の数を3つ以上にすることが可能である。図35に示す例では、光軸C1に対して対象に配置される光源14a(第1の光源)、光源14b(第2の光源)に加えて、光軸C1上にさらに光源14c(第3の光源)を配置している。このような光源群14を用いる場合、図35に示すような光偏向素子20を用いることができる。図35に示す光偏向素子20は、光軸C1上に光軸C1と垂直な基準平面(XY平面)に対して傾斜を有しない第1の光学面20cと、その両側に、規準平面に対して傾斜を有する第2の光学面20aおよび第3の光学面20bを含んでいる。第1の光学面20cは、光源14cから出射した光線を同一の角度で光偏向素子20から+Z軸方向に出射する。第2の光学面20aは、光源14aから出射した光線を例えば、図5の光線501ccのように+Y軸方向に角度を有して+Z軸方向に出射する。第3の光学面20bは、光源14bから出射した光線を-Y軸方向に角度を有して+Z軸方向に出射する。なお、第2の光学面20aにより、光源14aの仮想的な集光点は+Z軸方向に移動し、第3の光学面20bにより、光源14bの仮想的な集光点は、+Z軸方向に移動する。従って、両者の仮想的な集光点にZ軸方向位置を合わせるように次のような調整をしてもよい。すなわち、第1の光学面20cを+Z軸方向に移動させて、空気換算長を調整してもよい。また、光源14cを+Z軸方向に移動させてもよい。
Claims (10)
- X軸、Y軸およびZ軸を含むXYZ座標系におけるZ軸方向の照射対象に光を照射する光源装置であって、
前記XYZ座標系におけるY軸方向に離間して配置され、前記Y軸方向の発散角が前記XYZ座標系におけるX軸方向の発散角よりも小さい光を発する第1光源および第2光源を含み、光束を発する光源群と、
前記光源群が発する前記光束を平行化する平行化レンズと、
前記Z軸方向において前記光源群と前記平行化レンズとの間に配置され、前記第1光源が発する光を偏向する平面の第1光学面および前記第2光源が発する前記光を偏向する平面の第2光学面を用いて前記Z軸方向の前記照射対象に向けて凹型に構成され、前記光源群から発せられた前記光束を偏向して前記平行化レンズに入射させる光偏向素子と、を備え、前記第1光源は、前記Z軸方向で前記第1光学面に対向するように配置され、前記第2光源は、前記Z軸方向で前記第2光学面に対向するように配置される、光源装置。 - 前記光偏向素子は、
前記第1光源および前記第2光源の各々から発せられた前記光を透過し、屈折させて前記平行化レンズの前記Z軸方向から離れる方向に偏向する、請求項1記載の光源装置。 - 前記Y軸方向に拡がりを有して前記第1光源および前記第2光源を出射した前記光は、前記Y軸方向に拡がりを有して前記光偏向素子を出射し、
前記Y軸方向に拡がりを有して前記平行化レンズに入射した前記光は、前記平行化レンズにより前記Z軸方向に対して平行となり出射する、請求項1または請求項2記載の光源装置。 - 前記光偏向素子は、
前記第1光源および前記第2光源の各々から発せられた前記光を反射させて前記平行化レンズの前記Z軸方向から離れる方向に偏向する、請求項1記載の光源装置。 - 前記光偏向素子は光の反射面を有し、
前記第1光源および前記第2光源の中の1つの光源の中央部と前記Z軸との距離を間隔y1acとし、
前記1つの光源の前記中央部と前記反射面との距離を間隔D4とし、
前記反射面の前記Z軸に対する傾き角をα9とした場合に、
前記間隔D4は、
y1ac/D4=sin(2×|α9|)の関係式に基づいて設定され、
前記間隔D4は、±10%の誤差が許容される、請求項4記載の光源装置。 - 前記Z軸に沿った方向において前記第1光源および前記第2光源とは反対側から前記平行化レンズに平行光を入射した場合に、前記平行化レンズおよび前記光偏向素子を含む光学系による前記平行光の集光位置が、前記第1光源および前記第2光源と前記光偏向素子の間に位置する、請求項4または請求項5記載の光源装置。
- 前記平行化レンズの前記第1光源および前記第2光源側の焦点位置より、前記平行化レンズ側の位置において、リング状の照度分布を有する請求項1または請求項6記載の光源装置。
- 前記Z軸上に配置される第3の光源をさらに含み、
前記光偏向素子は、
前記第1光源および前記第2光源の前記Y軸方向において、前記第1光源および前記第2光源の各々から発せられた前記光を前記Z軸から離れる方向に偏向する、請求項1から請求項7の何れか1項に記載の光源装置。 - 入射光を平行化する平行化レンズと、
前記平行化レンズの光軸から離れる方向に互いに離間して配置される複数の光源を含み、全体として互いに直交する前記光軸から離れる方向に平行な第1の方向と第2の方向とで発散角が異なる光束を発する光源群と、
前記光軸の方向において前記光源群と前記平行化レンズとの間に配置され、前記第1の方向および前記第2の方向のうち、前記光源群の前記発散角が小さい前記第1の方向において、前記複数の光源の各々から発せられた光を前記光軸から離れる方向に偏向して前記平行化レンズに入射させる光偏向素子と、を備え、
前記光偏向素子は、
光の反射面を有し、
前記複数の光源の各々から発せられた前記光を反射させて前記光軸から離れる方向に偏向し、
前記複数の光源の中の1つの光源の中央部と前記光軸との距離を間隔y1acとし、
前記1つの光源の前記中央部と前記反射面との距離を間隔D4とし、
前記反射面の前記光軸に対する傾き角をα9とした場合に、
前記間隔D4は、
y1ac/D4=sin(2×|α9|)の関係式に基づいて設定され、
前記間隔D4は、±10%の誤差が許容される、光源装置。 - 入射光を平行化する平行化レンズと、
前記平行化レンズの光軸から離れる方向に互いに離間して配置される複数の光源を含み、全体として互いに直交する前記光軸から離れる方向に平行な第1の方向と第2の方向とで発散角が異なる光束を発する光源群と、
前記光軸の方向において前記光源群と前記平行化レンズとの間に配置され、前記第1の方向および前記第2の方向のうち、前記光源群の前記発散角が小さい前記第1の方向において、前記複数の光源の各々から発せられた光を前記光軸から離れる方向に偏向して前記平行化レンズに入射させる光偏向素子と、を備え、
前記光偏向素子は、
光の反射面を有し、
前記複数の光源の各々から発せられた前記光を反射させて前記光軸から離れる方向に偏向し、
前記光軸に沿った方向において前記光源群とは反対側から前記平行化レンズに平行光を入射した場合に、前記平行化レンズおよび前記光偏向素子を含む光学系による前記平行光の集光位置が、前記複数の光源と前記光偏向素子の間に位置する、光源装置。
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