JP7446136B2 - Control system, control method, and substrate processing equipment - Google Patents

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Description

本開示は、制御システム、制御方法、及び基板処理装置に関する。 The present disclosure relates to a control system, a control method, and a substrate processing apparatus.

特許文献１には、半導体製造装置を操作制御する複数の端末のうち、排他要求を送信した一の端末のみの操作制御を半導体製造装置が受け付ける専有状態に設定するシステムが開示されている。特許文献１によると、操作者の操作上の混乱を低減できる。 Patent Document 1 discloses a system that sets a semiconductor manufacturing apparatus to an exclusive state in which it accepts operation control of only one terminal that has transmitted an exclusive request among a plurality of terminals that operate and control a semiconductor manufacturing apparatus. According to Patent Document 1, it is possible to reduce operational confusion for the operator.

特開２００３－０３７０４８号公報Japanese Patent Application Publication No. 2003-037048

本開示は、装置に対する操作を適切に行うことができる技術を提供する。 The present disclosure provides a technique that can appropriately perform operations on a device.

本開示の一態様による制御システムは、基板を処理する基板処理装置を制御する制御システムであって、前記基板処理装置と同じ場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第１端末、及び第２端末と、前記基板処理装置とは異なる場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第３端末と、前記基板処理装置の異常が検知された場合、前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする制御装置と、前記第２端末及び前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする第１スイッチと、前記第１端末及び前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする第２スイッチと、を有し、前記制御装置は、前記第１スイッチが前記第２スイッチよりも先に操作された場合、前記第１端末による前記基板処理装置に対する制御を有効とし、前記第２端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とし、前記第２スイッチが操作された場合、前記第１スイッチが先に操作されていることを示す情報をユーザに報知する。 A control system according to one aspect of the present disclosure is a control system that controls a substrate processing apparatus that processes a substrate, the control system being located at the same location as the substrate processing apparatus, and receiving control instructions for the substrate processing apparatus from a user. a third terminal that is located at a different location from the substrate processing apparatus and receives control instructions for the substrate processing apparatus from a user; and when an abnormality in the substrate processing apparatus is detected; a control device that disables control of the substrate processing apparatus by the third terminal; a first switch that disables control of the substrate processing apparatus by the second terminal and the third terminal; a second switch that disables control of the substrate processing apparatus by a third terminal, and when the first switch is operated before the second switch, the control device controls the first terminal. control of the substrate processing apparatus by the second terminal is enabled, control of the substrate processing apparatus by the second terminal is disabled, and when the second switch is operated, the first switch is operated first. Announce information to users .

本開示によれば、装置に対する操作を適切に行うことができる。 According to the present disclosure, it is possible to appropriately operate the device.

実施形態に係る制御システムの構成例を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a control system according to an embodiment. 実施形態に係る制御装置のハードウェア構成例を示す図である。It is a diagram showing an example of the hardware configuration of a control device according to an embodiment. 実施形態に係る基板処理装置の一例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an example of a substrate processing apparatus according to an embodiment. 実施形態に係る制御装置の機能構成の一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a functional configuration of a control device according to an embodiment. 実施形態に係る制御システムの処理の一例を示すシーケンス図である。FIG. 2 is a sequence diagram illustrating an example of processing of the control system according to the embodiment. 実施形態に係るメイン端末、サブ端末、及びリモート端末の表示画面の一例について説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of display screens of a main terminal, a sub terminal, and a remote terminal according to the embodiment. 実施形態に係るハンディ端末の表示画面の一例について説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a display screen of the handy terminal according to the embodiment.

以下、本開示の実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。尚、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く場合がある。 Embodiments of the present disclosure will be described below with reference to the accompanying drawings. Note that in this specification and the drawings, substantially the same constituent elements may be given the same reference numerals to omit redundant explanation.

＜システム構成＞
図１は、実施形態に係る制御システム１の構成例を示す図である。実施形態に係る制御システム１によれば、装置に対する操作を適切に行うことができる。以下では、制御システム１が、フラットパネルディスプレイ（Flat Panel Display：ＦＰＤ）用の基板を処理する基板処理装置を制御する例について説明する。なお、開示の制御システム１は、各種の装置を制御できる。 <System configuration>
FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a control system 1 according to an embodiment. According to the control system 1 according to the embodiment, the device can be operated appropriately. An example in which the control system 1 controls a substrate processing apparatus that processes a substrate for a flat panel display (FPD) will be described below. Note that the disclosed control system 1 can control various devices.

図１において、制御システム１は、メイン端末１０Ａ（「第１端末」の一例。）、サブ端末１０Ｂ（「第２端末」の一例。）、ハンディ端末１０Ｃ（「第４端末」の一例。）、リモート端末１０Ｄ（「第３端末」の一例。）、制御装置２０、及び基板処理装置３０を有する。なお、以下で、メイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、ハンディ端末１０Ｃ、及びリモート端末１０Ｄのそれぞれについて、区別する必要がない場合は、単に「端末１０」とも称する。 In FIG. 1, the control system 1 includes a main terminal 10A (an example of a "first terminal"), a sub-terminal 10B (an example of a "second terminal"), and a handy terminal 10C (an example of a "fourth terminal"). , a remote terminal 10D (an example of a “third terminal”), a control device 20, and a substrate processing device 30. Note that, hereinafter, the main terminal 10A, the sub-terminal 10B, the handy terminal 10C, and the remote terminal 10D will also be simply referred to as "terminal 10" if there is no need to distinguish them.

また、制御システム１は、図示しない第１スイッチ４０Ａ、第２スイッチ４０Ｂ、第３スイッチ４０Ｃ（以下で、区別する必要がない場合は、単に「スイッチ４０」とも称する）も有する。端末１０と制御装置２０、及び制御装置２０とスイッチ４０は、それぞれ、ネットワークＮを介して接続されてもよい。なお、メイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、ハンディ端末１０Ｃ、及びリモート端末１０Ｄの数は、図１の例に限定されない。 The control system 1 also includes a first switch 40A, a second switch 40B, and a third switch 40C (hereinafter also simply referred to as "switch 40" if there is no need to distinguish them), which are not shown. The terminal 10 and the control device 20, and the control device 20 and the switch 40 may be connected via a network N, respectively. Note that the number of main terminal 10A, sub terminal 10B, handy terminal 10C, and remote terminal 10D is not limited to the example in FIG. 1.

端末１０は、基板処理装置３０を制御するための操作をユーザ（保守員、エンジニア等）から受け付ける装置である。端末１０は、コンピュータを有してもよい。 The terminal 10 is a device that receives operations for controlling the substrate processing apparatus 30 from a user (maintenance worker, engineer, etc.). Terminal 10 may include a computer.

また、端末１０は、コンピュータを有しなくてもよい。この場合、端末１０は、制御装置２０から受信した表示画面の情報を表示するモニタまたはタッチパネルディスプレイを有してもよい。また、端末１０は、ユーザからの操作を受け付けるキーボードとマウス、またはタッチパネルディスプレイを有してもよい。 Further, the terminal 10 does not need to have a computer. In this case, the terminal 10 may have a monitor or a touch panel display that displays the information on the display screen received from the control device 20. Further, the terminal 10 may have a keyboard and a mouse, or a touch panel display that accepts operations from the user.

（メイン端末１０Ａについて）
メイン端末１０Ａ、及びサブ端末１０Ｂは、例えば、基板処理装置３０と同じ場所（現場、ローカル）に設置（配置）されてもよい。この場合、基板処理装置３０と同じ場所として、例えば、メイン端末１０Ａ、及びサブ端末１０Ｂは、例えば、基板処理装置３０が設置される工場等の施設内に設定されてもよい。また、基板処理装置３０と同じ場所として、メイン端末１０Ａ、及びサブ端末１０Ｂは、例えば、基板処理装置３０が設置されるクリーンルーム内に設定されてもよい。 (About main terminal 10A)
The main terminal 10A and the sub-terminal 10B may be installed (arranged) at the same location (on-site, local) as the substrate processing apparatus 30, for example. In this case, the main terminal 10A and the sub-terminal 10B may be set at the same location as the substrate processing apparatus 30, for example, within a facility such as a factory where the substrate processing apparatus 30 is installed. Moreover, the main terminal 10A and the sub-terminal 10B may be set in the same place as the substrate processing apparatus 30, for example, in a clean room where the substrate processing apparatus 30 is installed.

メイン端末１０Ａは、例えば、制御装置２０の付近に設置されてもよい。メイン端末１０Ａは、コンピュータを有さず、キーボードとマウス、及びタッチパネルディスプレイを有してもよい。この場合、メイン端末１０Ａのキーボードとマウスは、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）ケーブルにより制御装置２０と接続されてもよい。また、メイン端末１０Ａのタッチパネルディスプレイは、例えば、ＤＶＩ（Digital Visual Interface）ケーブル、またはアナログＲＧＢコンポーネント映像信号を伝送するＶＧＡケーブル等のディスプレイケーブルにより制御装置２０から受信した表示画面の情報を表示し、ユーザから入力された情報をＲＳ－２３２Ｃケーブルにより制御装置２０に伝送してもよい。 The main terminal 10A may be installed near the control device 20, for example. The main terminal 10A may not include a computer but may include a keyboard, a mouse, and a touch panel display. In this case, the keyboard and mouse of the main terminal 10A may be connected to the control device 20 via a USB (Universal Serial Bus) cable. Further, the touch panel display of the main terminal 10A displays information on the display screen received from the control device 20 via a display cable such as a DVI (Digital Visual Interface) cable or a VGA cable that transmits an analog RGB component video signal, for example. Information input by the user may be transmitted to the control device 20 via an RS-232C cable.

（サブ端末１０Ｂについて）
サブ端末１０Ｂは、例えば、当該施設内でメイン端末１０Ａとは離れた場所に設置されてもよい。サブ端末１０Ｂは、コンピュータを有さず、タッチパネルディスプレイを有してもよい。この場合、サブ端末１０Ｂのタッチパネルディスプレイと制御装置２０とは、例えば、アナログRGBコンポーネント映像信号を伝送するＶＧＡケーブルと、ユーザから入力された情報（入力信号）を伝送するＲＳ－２３２Ｃケーブル、当該映像信号及び当該入力信号をＩＰネットワークに伝送する装置、及びＬＡＮ（Local Area Network）等により接続されてもよい。 (About sub-terminal 10B)
For example, the sub-terminal 10B may be installed at a location away from the main terminal 10A within the facility. The sub-terminal 10B may not have a computer but may have a touch panel display. In this case, the touch panel display of the sub-terminal 10B and the control device 20 are, for example, a VGA cable that transmits analog RGB component video signals, an RS-232C cable that transmits information (input signals) input by the user, and the video The signal may be connected to a device that transmits the input signal to an IP network, a LAN (Local Area Network), or the like.

（ハンディ端末１０Ｃについて）
ハンディ端末１０Ｃは、例えば、基板処理装置３０が設置される工場等の施設内で利用可能な可搬型の端末でもよい。ハンディ端末１０Ｃは、例えば、ＬＡＮケーブル、ＰＬＣ（Power Line Communications）用ケーブル、及びＲＳ－２３２Ｃケーブル等のケーブル（有線）により基板処理装置３０に接続され、基板処理装置３０を介して制御装置２０と通信を行う。なお、ハンディ端末１０Ｃは、無線ＬＡＮ、ＢＬＥ（Bluetooth（登録商標） Low Energy）及びＮＦＣ（Near field communication）等の近距離無線通信により、基板処理装置３０に接続され、基板処理装置３０を介して制御装置２０と通信を行うようにしてもよい。 (About handy terminal 10C)
The handy terminal 10C may be, for example, a portable terminal that can be used within a facility such as a factory where the substrate processing apparatus 30 is installed. The handy terminal 10C is connected to the substrate processing device 30 by a cable (wired) such as a LAN cable, a PLC (Power Line Communications) cable, and an RS-232C cable, and communicates with the control device 20 via the substrate processing device 30. communicate. Note that the handy terminal 10C is connected to the substrate processing apparatus 30 by short-range wireless communication such as wireless LAN, BLE (Bluetooth (registered trademark) Low Energy), and NFC (near field communication), and is connected to the substrate processing apparatus 30 via the substrate processing apparatus 30. It may also be configured to communicate with the control device 20.

（リモート端末１０Ｄについて）
リモート端末１０Ｄは、例えば、基板処理装置３０とは異なる場所（リモート）に設置されてもよい。この場合、基板処理装置３０とは異なる場所として、例えば、リモート端末１０Ｄは、例えば、基板処理装置３０が設置される工場等の施設外に設定されてもよい。この場合、リモート端末１０Ｄは、例えば、ユーザのオフィス等に設置されてもよい。リモート端末１０Ｄは、例えば、ノートＰＣ（Personal Computer）等の情報処理装置でもよい。この場合、リモート端末１０Ｄと制御装置２０とは、例えば、アナログRGBコンポーネント映像信号を伝送するＶＧＡケーブルと、キーボードとマウスによりユーザから入力された情報（入力信号）を伝送するＵＳＢケーブル、当該映像信号及び当該入力信号をＩＰネットワークに伝送する装置、及びＬＡＮ（Local Area Network）等により接続されてもよい。 (About remote terminal 10D)
The remote terminal 10D may be installed at a different location (remote) from the substrate processing apparatus 30, for example. In this case, as a location different from the substrate processing apparatus 30, for example, the remote terminal 10D may be set outside a facility such as a factory where the substrate processing apparatus 30 is installed. In this case, the remote terminal 10D may be installed, for example, in the user's office. The remote terminal 10D may be, for example, an information processing device such as a notebook PC (Personal Computer). In this case, the remote terminal 10D and the control device 20 include, for example, a VGA cable that transmits analog RGB component video signals, a USB cable that transmits information (input signals) input by the user using a keyboard and mouse, and the video signal. and a device that transmits the input signal to an IP network, and may be connected by a LAN (Local Area Network) or the like.

（スイッチ４０について）
第１スイッチ４０Ａは、サブ端末１０Ｂ及びリモート端末１０Ｄによる基板処理装置３０に対する制御を無効とするためのスイッチである。第１スイッチ４０Ａがオンに設定されている場合、メイン端末１０Ａのみから基板処理装置３０を制御できるようになる。なお、第１スイッチ４０Ａがオンに設定されている場合であっても、ハンディ端末１０Ｃが基板処理装置３０に接続されている場合は、メイン端末１０Ａによる基板処理装置３０の少なくとも一部に対する制御が無効となり、ハンディ端末１０Ｃからのみ基板処理装置３０の当該少なくとも一部を制御できる。また、第１スイッチ４０Ａがオフに設定されると、第２スイッチ４０Ｂ若しくは第３スイッチ４０Ｃをオンにすることにより、サブ端末１０Ｂ若しくはリモート端末１０Ｄによる基板処理装置３０に対する制御を有効とすることができる。 (About switch 40)
The first switch 40A is a switch for disabling control of the substrate processing apparatus 30 by the subterminal 10B and the remote terminal 10D. When the first switch 40A is set to ON, the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the main terminal 10A. Note that even if the first switch 40A is set to on, if the handy terminal 10C is connected to the substrate processing apparatus 30, the main terminal 10A cannot control at least a part of the substrate processing apparatus 30. It becomes invalid, and at least a part of the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the handy terminal 10C. Further, when the first switch 40A is set to OFF, the control of the substrate processing apparatus 30 by the sub terminal 10B or the remote terminal 10D can be enabled by turning on the second switch 40B or the third switch 40C. can.

第１スイッチ４０Ａは、例えば、メイン端末１０Ａの付近に設置されてもよい。第１スイッチ４０Ａは、ユーザにより押下されてオンに設定された場合、その旨を示す信号（メイン切替信号）を制御装置２０に送信する。制御装置２０の切替部２４は、当該信号を受信すると、サブ端末１０Ｂ、及びリモート端末１０Ｄからの入力を無効とする。なお、第１スイッチ４０Ａは、メイン端末１０Ａ等の表示画面に表示されるボタン等でもよい。ただし、安全上の観点からは、表示画面に表示されるソフトウェアで制御されるボタンではなく、ハード的なスイッチの方が望ましい。この場合、メイン端末１０Ａは、当該ボタン等がユーザにオンに設定されると、その旨を示す情報と、メイン端末１０Ａの識別情報とを制御装置２０に送信してもよい。 The first switch 40A may be installed near the main terminal 10A, for example. When the first switch 40A is pressed and turned on by the user, it transmits a signal (main switching signal) indicating this to the control device 20. Upon receiving the signal, the switching unit 24 of the control device 20 disables inputs from the sub-terminal 10B and the remote terminal 10D. Note that the first switch 40A may be a button or the like displayed on a display screen of the main terminal 10A or the like. However, from a safety standpoint, a hardware switch is preferable to a software-controlled button displayed on a display screen. In this case, when the button or the like is turned on by the user, the main terminal 10A may transmit information indicating this and identification information of the main terminal 10A to the control device 20.

第２スイッチ４０Ｂは、メイン端末１０Ａ及びリモート端末１０Ｄによる基板処理装置３０に対する制御を無効とするためのスイッチである。第２スイッチ４０Ｂがオンに設定されている場合、サブ端末１０Ｂのみから基板処理装置３０を制御できるようになる。なお、第２スイッチ４０Ｂがオンに設定されている場合であっても、ハンディ端末１０Ｃが基板処理装置３０に接続されている場合は、サブ端末１０Ｂによる基板処理装置３０の少なくとも一部に対する制御が無効となり、ハンディ端末１０Ｃからのみ基板処理装置３０の当該少なくとも一部を制御できる。また、第２スイッチ４０Ｂがオフに設定されると、第１スイッチ４０Ａ若しくは第３スイッチ４０Ｃをオンにすることにより、メイン端末１０Ａ若しくはリモート端末１０Ｄによる基板処理装置３０に対する制御を有効とすることができる。 The second switch 40B is a switch for disabling control of the substrate processing apparatus 30 by the main terminal 10A and the remote terminal 10D. When the second switch 40B is set to on, the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the subterminal 10B. Note that even if the second switch 40B is set to on, if the handy terminal 10C is connected to the substrate processing apparatus 30, the sub-terminal 10B cannot control at least a part of the substrate processing apparatus 30. It becomes invalid, and at least a part of the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the handy terminal 10C. Further, when the second switch 40B is set to OFF, the control of the substrate processing apparatus 30 by the main terminal 10A or the remote terminal 10D can be enabled by turning on the first switch 40A or the third switch 40C. can.

第２スイッチ４０Ｂは、例えば、サブ端末１０Ｂの付近に設置されてもよい。第２スイッチ４０Ｂは、ユーザによりオンに設定された場合、その旨を示す信号（サブ切替信号）を制御装置２０に送信する。制御装置２０の切替部２４は、当該信号を受信すると、メイン端末１０Ａ、及びリモート端末１０Ｄからの入力を無効とする。なお、第２スイッチ４０Ｂは、サブ端末１０Ｂ等の表示画面に表示されるボタン等でもよい。ただし、安全上の観点からは、表示画面に表示されるソフトウェアで制御されるボタンではなく、ハード的なスイッチの方が望ましい。この場合、サブ端末１０Ｂは、当該ボタン等がユーザにオンに設定されると、その旨を示す情報と、サブ端末１０Ｂの識別情報とを制御装置２０に送信してもよい。 The second switch 40B may be installed near the sub-terminal 10B, for example. When the second switch 40B is turned on by the user, it transmits a signal (sub switching signal) indicating this to the control device 20. Upon receiving the signal, the switching unit 24 of the control device 20 disables inputs from the main terminal 10A and the remote terminal 10D. Note that the second switch 40B may be a button or the like displayed on a display screen of the sub-terminal 10B or the like. However, from a safety standpoint, a hardware switch is preferable to a software-controlled button displayed on a display screen. In this case, when the button or the like is turned on by the user, the sub-terminal 10B may transmit information indicating this and identification information of the sub-terminal 10B to the control device 20.

第３スイッチ４０Ｃは、メイン端末１０Ａ及びサブ端末１０Ｂによる基板処理装置３０に対する制御を無効とするためのスイッチである。また、ハンディ端末１０Ｃが基板処理装置３０に接続されていても、第３スイッチ４０Ｃはハンディ端末１０Ｃによる基板処理装置３０に対する制御を無効とする。第３スイッチ４０Ｃがオンに設定されている場合、リモート端末１０Ｄのみから基板処理装置３０を制御できるようになる。また、第３スイッチ４０Ｃがオフに設定されると、第１スイッチ４０Ａ若しくは第２スイッチ４０Ｂをオンにすることにより、メイン端末１０Ａ若しくはサブ端末１０Ｂによる基板処理装置３０に対する制御を有効とすることができる。 The third switch 40C is a switch for disabling control of the substrate processing apparatus 30 by the main terminal 10A and the sub-terminal 10B. Further, even if the handy terminal 10C is connected to the substrate processing apparatus 30, the third switch 40C disables the control of the handy terminal 10C over the substrate processing apparatus 30. When the third switch 40C is set to ON, the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the remote terminal 10D. Further, when the third switch 40C is set to OFF, the control of the substrate processing apparatus 30 by the main terminal 10A or the sub-terminal 10B can be enabled by turning on the first switch 40A or the second switch 40B. can.

第３スイッチ４０Ｃは、例えば、基板処理装置３０が設置される工場等の施設内に設置されてもよい。これにより、現場での操作により、基板処理装置３０を制御可能な端末１０をリモート端末１０Ｄに切り替えることができる。この場合、第３スイッチ４０Ｃは、例えば、メイン端末１０Ａの付近に設置されてもよい。この場合、第３スイッチ４０Ｃは、メイン端末１０Ａの筐体上に設けられていてもよい。第３スイッチ４０Ｃは、ユーザによりオンに設定された場合、その旨を示す信号を制御装置２０に送信する。なお、第３スイッチ４０Ｃは、メイン端末１０Ａ等の表示画面に表示されるボタン等でもよい。ただし、安全上の観点からは、表示画面に表示されるソフトウェアで制御されるボタンではなく、ハード的なスイッチの方が望ましい。この場合、メイン端末１０Ａは、当該ボタン等がユーザにオンに設定されると、その旨を示す情報と、メイン端末１０Ａの識別情報とを制御装置２０に送信してもよい。 The third switch 40C may be installed, for example, in a facility such as a factory where the substrate processing apparatus 30 is installed. Thereby, the terminal 10 capable of controlling the substrate processing apparatus 30 can be switched to the remote terminal 10D by an operation at the site. In this case, the third switch 40C may be installed near the main terminal 10A, for example. In this case, the third switch 40C may be provided on the casing of the main terminal 10A. When the third switch 40C is turned on by the user, it transmits a signal indicating this to the control device 20. Note that the third switch 40C may be a button or the like displayed on a display screen of the main terminal 10A or the like. However, from a safety standpoint, a hardware switch is preferable to a software-controlled button displayed on a display screen. In this case, when the button or the like is turned on by the user, the main terminal 10A may transmit information indicating this and identification information of the main terminal 10A to the control device 20.

なお、複数のスイッチ４０に対してオンに設定する操作（例えば、押下等）がされた場合、制御装置２０は、当該複数のスイッチ４０のうち、先にオンに設定する操作がされたスイッチ４０のみをオンに設定し、他方のスイッチ４０は強制的にオフに設定してもよい。また、制御装置２０は、強制的にオフに設定されているスイッチ４０が操作された場合、他のスイッチ４０が先に操作されていることを示す情報をユーザに報知してもよい。この場合、例えば、第１スイッチ４０Ａが先に押下されてオンに設定された後、第２スイッチ４０Ｂが押下された場合、第１スイッチ４０Ａが先に操作されていることがユーザに報知される。 Note that when a plurality of switches 40 are operated to be turned on (for example, pressed), the control device 20 selects the switch 40 that is operated to be turned on first among the plurality of switches 40. Only one switch 40 may be set to on, and the other switch 40 may be forcibly set to off. Furthermore, when the switch 40 that is forcibly set to OFF is operated, the control device 20 may notify the user of information indicating that another switch 40 has been operated first. In this case, for example, if the second switch 40B is pressed after the first switch 40A is pressed and turned on, the user is notified that the first switch 40A is operated first. .

この場合、制御装置２０は、例えば、第２スイッチ４０Ｂがオンに設定された場合は第２スイッチ４０Ｂに対応付けられているランプを緑色に点灯させてもよい。そして、第１スイッチ４０Ａが先にオンに操作されたために第２スイッチ４０Ｂが強制的にオフに設定されている場合であり、基板処理装置３０に異常が発生していない場合には、第２スイッチ４０Ｂが押下されると、第２スイッチ４０Ｂに対応付けられているランプを所定期間、黄色に点灯させてもよい。 In this case, the control device 20 may, for example, turn on the lamp associated with the second switch 40B in green when the second switch 40B is set to on. In this case, the second switch 40B is forcibly set to off because the first switch 40A was turned on first, and if no abnormality has occurred in the substrate processing apparatus 30, the second switch 40A is turned on first. When the switch 40B is pressed, a lamp associated with the second switch 40B may be lit in yellow for a predetermined period of time.

また、第１スイッチ４０Ａが先にオンに操作されたために第２スイッチ４０Ｂが強制的にオフに設定されている場合であり、基板処理装置３０に異常が発生している場合には、第２スイッチ４０Ｂが押下されると、第２スイッチ４０Ｂに対応付けられているランプを所定期間、黄色で点滅（一定周期での点灯と無点灯との繰り返し）をさせてもよい。これにより、例えば、ユーザは、第２スイッチ４０Ｂの押下が無効とされている理由を把握することができる。 Furthermore, if the second switch 40B is forcibly set to off because the first switch 40A is turned on first, and an abnormality has occurred in the substrate processing apparatus 30, the second switch 40B When the switch 40B is pressed, the lamp associated with the second switch 40B may blink in yellow for a predetermined period of time (repetition of lighting and non-lighting at a constant cycle). Thereby, for example, the user can understand the reason why pressing the second switch 40B is invalidated.

なお、第３スイッチ４０Ｃを、ローカルの端末、即ちメイン端末１０Ａとサブ端末１０Ｂのいずれかの端末による制御と、リモートの端末、即ちリモート端末１０Ｄによる制御とを切り替えるローカル／リモート切り替えスイッチとして構成してもよく、第１スイッチ４０Ａと第２スイッチ４０Ｂを統合してメイン端末１０Ａによる制御とサブ端末１０Ｂによる制御とを切り替えるメイン／サブ切り替えスイッチとして構成してもよい。この場合、ローカル／リモート切り替えスイッチは、オンの設定とオフの設定との選択ではなく、ローカル端末による制御とリモート端末による制御との選択を行い、メイン／サブ切り替えスイッチについても同様に、メイン端末１０Ａによる制御とサブ端末１０Ｂによる制御との選択を行う。ローカル／リモート切り替えスイッチによりローカル端末を選択した場合、メイン／サブ切り替えスイッチにより選択されているメイン端末１０Ａ若しくはサブ端末１０Ｂによる制御が行われることになる。 Note that the third switch 40C is configured as a local/remote changeover switch that switches between control by a local terminal, that is, either the main terminal 10A or the sub-terminal 10B, and control by a remote terminal, that is, the remote terminal 10D. Alternatively, the first switch 40A and the second switch 40B may be integrated to form a main/sub changeover switch that switches between control by the main terminal 10A and control by the sub terminal 10B. In this case, the local/remote changeover switch does not select between on and off settings, but between control by the local terminal and control by the remote terminal, and similarly for the main/sub changeover switch, the main A selection is made between control by 10A and control by subterminal 10B. When a local terminal is selected by the local/remote changeover switch, control is performed by the main terminal 10A or subterminal 10B selected by the main/sub changeover switch.

（制御装置２０について）
制御装置２０は、端末１０から受信した情報（信号）に基づいて、基板処理装置３０を制御する。また、基板処理装置３０の各種センサにより測定された情報等を、各端末１０に表示させる。これにより、基板処理装置３０のユーザは、基板に対する処理状況、及び基板処理装置３０の各部の異常の有無等、基板処理装置３０の各種の状態を、リモート端末１０Ｄによりオフィス等からも監視できる。 (About the control device 20)
The control device 20 controls the substrate processing device 30 based on information (signals) received from the terminal 10. Further, information etc. measured by various sensors of the substrate processing apparatus 30 are displayed on each terminal 10. Thereby, the user of the substrate processing apparatus 30 can monitor various states of the substrate processing apparatus 30, such as the processing status of substrates and the presence or absence of abnormalities in each part of the substrate processing apparatus 30, from an office or the like using the remote terminal 10D.

制御装置２０は、基板処理装置３０に異常が発生した場合、基板処理装置３０に対する制御を行うことができる端末１０を、ローカルに設置されている端末１０（メイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、及びハンディ端末１０Ｃのいずれか）のみに制限する。これにより、ユーザは、基板処理装置３０が正常に動作している場合は、現場、及びオフィス等から、基板処理装置３０の監視、及び操作を行うことができる。そして、ユーザは、基板処理装置３０に異常が発生している場合は、基板処理装置３０に対する操作は現場からのみに制限し、基板処理装置３０の監視は、現場、及びオフィス等から行うことができる。そのため、例えば、現場で復旧作業を行っているユーザが、リモートからの他のユーザの操作により混乱させられること等を低減できる。また、現場の状況を確認せずにリモートから操作されることを防止できる。 When an abnormality occurs in the substrate processing apparatus 30, the control apparatus 20 controls the terminals 10 capable of controlling the substrate processing apparatus 30 from locally installed terminals 10 (main terminal 10A, sub terminal 10B, and handheld terminals 10A, 10B, and 10B). terminal 10C). Thereby, when the substrate processing apparatus 30 is operating normally, the user can monitor and operate the substrate processing apparatus 30 from the site, office, or the like. If an abnormality occurs in the substrate processing apparatus 30, the user can limit the operation of the substrate processing apparatus 30 only from the site, and monitor the substrate processing apparatus 30 from the site, office, etc. can. Therefore, for example, it is possible to reduce the possibility that a user performing restoration work on site is confused by operations performed by other users remotely. Additionally, it is possible to prevent remote operations without checking the on-site situation.

また、制御装置２０は、メイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、及びリモート端末１０Ｄに対して、同一の表示画面を表示させてもよい。この場合、制御装置２０は、メイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、及びリモート端末１０Ｄに対して、同一の映像信号を送信してもよい。 Further, the control device 20 may display the same display screen on the main terminal 10A, the sub-terminal 10B, and the remote terminal 10D. In this case, the control device 20 may transmit the same video signal to the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the remote terminal 10D.

また、制御装置２０は、ハンディ端末１０Ｃに対し、ハンディ端末１０Ｃによる操作が可能な各機器を制御するための表示画面、及び各種センサにより測定された当該各機器に関する情報を通知するための表示画面を表示させてもよい。 The control device 20 also provides the handy terminal 10C with a display screen for controlling each device that can be operated by the handy terminal 10C, and a display screen for notifying the handy terminal 10C of information regarding each device measured by various sensors. may be displayed.

（基板処理装置３０について）
基板処理装置３０は、ＦＰＤ用の基板に対し、各種の処理を行う装置である。なお、ＦＰＤには、例えば、液晶ディスプレイ（Liquid Crystal Display: ＬＣＤ）、エレクトロルミネセンス（Electro Luminescence: ＥＬ）、プラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel;ＰＤＰ）等が含まれてもよい。なお、ＦＰＤは、例えば、テレビ、モニタ、スマートフォン、及びタブレット端末に用いられてもよい。なお、ＦＰＤ用の基板の材料としては、ガラス、または合成樹脂等が用いられてもよい。 (About the substrate processing apparatus 30)
The substrate processing apparatus 30 is an apparatus that performs various processes on FPD substrates. Note that the FPD may include, for example, a liquid crystal display (LCD), an electroluminescence (EL), a plasma display panel (PDP), and the like. Note that FPDs may be used in, for example, televisions, monitors, smartphones, and tablet terminals. Note that glass, synthetic resin, or the like may be used as the material for the FPD substrate.

基板処理装置３０は、例えば、基板に対し、エッチング処理や、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法を用いた成膜処理等を行い、薄膜トランジスター（Thin Film Transistor：ＴＦＴ）等を基板上に形成してもよい。この場合、基板処理装置３０は、例えば、基板Ｇの上に、ゲート電極やゲート絶縁膜、半導体層などをパターニングしながら順次積層していくことにより、ＴＦＴを形成してもよい。なお、基板処理装置３０は、空気清浄度が確保されたクリーンルーム内に設置されてもよい。 The substrate processing apparatus 30 performs, for example, an etching process or a film forming process using a CVD (Chemical Vapor Deposition) method on a substrate to form a thin film transistor (TFT) or the like on the substrate. Good too. In this case, the substrate processing apparatus 30 may form a TFT by, for example, sequentially stacking a gate electrode, a gate insulating film, a semiconductor layer, etc. on the substrate G while patterning them. Note that the substrate processing apparatus 30 may be installed in a clean room where air cleanliness is ensured.

＜ハードウェア構成＞
《制御装置２０》
図２Ａは、実施形態に係る制御装置２０のハードウェア構成例を示す図である。なお、端末１０がコンピュータを有する場合は、当該コンピュータのハードウェア構成は、図２Ａの制御装置２０のハードウェア構成と同様でもよい。 <Hardware configuration>
<<Control device 20>>
FIG. 2A is a diagram showing an example of the hardware configuration of the control device 20 according to the embodiment. Note that when the terminal 10 has a computer, the hardware configuration of the computer may be the same as the hardware configuration of the control device 20 in FIG. 2A.

図２Ａの制御装置２０は、それぞれバスＢで相互に接続されているドライブ装置２００、補助記憶装置２０２、メモリ装置２０３、ＣＰＵ２０４、及びインタフェース装置２０５等を有する。 The control device 20 in FIG. 2A includes a drive device 200, an auxiliary storage device 202, a memory device 203, a CPU 204, an interface device 205, etc., which are interconnected via a bus B.

制御装置２０での処理を実現するプログラムは、記録媒体２０１によって提供されてもよい。この場合、プログラムを記録した記録媒体２０１がドライブ装置２００にセットされると、プログラムが記録媒体２０１からドライブ装置２００を介して補助記憶装置２０２にインストールされる。プログラムのインストールは必ずしも記録媒体２０１より行う必要はなく、ネットワークを介して他のコンピュータよりダウンロードするようにしてもよい。補助記憶装置２０２は、インストールされたプログラムを格納すると共に、必要なファイルやデータ等を格納する。 A program that implements processing in the control device 20 may be provided by the recording medium 201. In this case, when the recording medium 201 on which the program is recorded is set in the drive device 200, the program is installed from the recording medium 201 to the auxiliary storage device 202 via the drive device 200. The program does not necessarily need to be installed from the recording medium 201, but may be downloaded from another computer via a network. The auxiliary storage device 202 stores installed programs as well as necessary files, data, and the like.

メモリ装置２０３は、プログラムの起動指示があった場合に、補助記憶装置２０２からプログラムを読み出して格納する。ＣＰＵ２０４は、メモリ装置２０３に格納されたプログラムに従って制御装置２０に係る機能を実現する。インタフェース装置２０５は、ネットワークに接続するためのインタフェースとして用いられる。 The memory device 203 reads the program from the auxiliary storage device 202 and stores it when there is an instruction to start the program. The CPU 204 implements functions related to the control device 20 according to programs stored in the memory device 203. The interface device 205 is used as an interface for connecting to a network.

なお、記録媒体２０１の一例としては、ＣＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤディスク、又はＵＳＢメモリ等の可搬型の記録媒体が挙げられる。また、補助記憶装置２０２の一例としては、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）又はフラッシュメモリ等が挙げられる。記録媒体２０１及び補助記憶装置２０２のいずれについても、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に相当する。 Note that an example of the recording medium 201 is a portable recording medium such as a CD-ROM, a DVD disk, or a USB memory. Furthermore, examples of the auxiliary storage device 202 include an HDD (Hard Disk Drive), a flash memory, and the like. Both the recording medium 201 and the auxiliary storage device 202 correspond to computer-readable recording media.

《基板処理装置３０》
図２Ｂは、実施形態に係る基板処理装置３０の一例を示す図である。実施形態に係る基板処理装置３０は、基板毎に各種の処理を行うプロセスモジュール（プロセスチャンバー、処理室）が複数結合されているクラスタツールでもよい。図２Ｂの例では、基板処理装置３０は、複数のプロセスチャンバーを有するマルチチャンバー型である。 <<Substrate processing apparatus 30>>
FIG. 2B is a diagram showing an example of the substrate processing apparatus 30 according to the embodiment. The substrate processing apparatus 30 according to the embodiment may be a cluster tool in which a plurality of process modules (process chambers, processing chambers) that perform various types of processing for each substrate are combined. In the example of FIG. 2B, the substrate processing apparatus 30 is a multi-chamber type having a plurality of process chambers.

図２Ｂの例では、基板処理装置３０は、各チャンバーとして、トランスファーモジュール（搬送チャンバー）３１、ロードロックモジュール（ロードロックチャンバー）３２、プロセスモジュール３３Ａ、プロセスモジュール３３Ｂ、プロセスモジュール３３Ｃ（以下で、区別する必要がない場合は、単に「プロセスモジュール３３」と称する）を有している。（一例として、これらのチャンバーのうち、いずれかを第１チャンバーとし、他のいずれかを第２チャンバーと称することもできる。） In the example of FIG. 2B, the substrate processing apparatus 30 includes a transfer module (transfer chamber) 31, a load lock module (load lock chamber) 32, a process module 33A, a process module 33B, and a process module 33C (hereinafter, differentiated) as each chamber. If there is no need to do so, the process module 33 is simply referred to as a "process module 33." (As an example, any one of these chambers may be referred to as the first chamber, and the other one may be referred to as the second chamber.)

ロードロックモジュール３２、及び各プロセスモジュール３３は、それぞれ、ゲートバルブを介してトランスファーモジュール３１に接続されている。 The load lock module 32 and each process module 33 are each connected to the transfer module 31 via a gate valve.

ロードロックモジュール３２は、トランスファーモジュール３１に基板を供給する装置である。ロードロックモジュール３２は、例えば、二段に積層され、各層において、基板を保持するラック、及び基板の位置調節を行うポジショナー等が設けられてもよい。また、ロードロックモジュール３２は、常圧と真空との間で内部の圧力を切り替えることができるように構成されており、載置された多数の基板Ｇを搬送するキャリア（搬送装置）との間で基板の受け渡しを行ってもよい。この場合、ロードロックモジュール３２が真空に制御された後、同様に真空に制御されているトランスファーモジュール３１との間のゲートバルブが開かれ、ロードロックモジュール３２からトランスファーモジュール３１に対して基板が供給されてもよい。 The load lock module 32 is a device that supplies substrates to the transfer module 31. The load lock module 32 may be stacked in two layers, for example, and each layer may be provided with a rack that holds the substrate, a positioner that adjusts the position of the substrate, and the like. In addition, the load lock module 32 is configured to be able to switch the internal pressure between normal pressure and vacuum, and is connected to a carrier (transport device) that transports a large number of substrates G mounted thereon. The substrates may be transferred at the same time. In this case, after the load lock module 32 is controlled to a vacuum state, a gate valve between the load lock module 32 and the transfer module 31 which is also controlled to a vacuum state is opened, and the substrate is supplied from the load lock module 32 to the transfer module 31. may be done.

トランスファーモジュール３１は、各プロセスモジュール３３に基板を供給する装置である。トランスファーモジュール３１には、例えば、回転可能であって、かつ、各プロセスモジュール３３側へスライド可能な搬送機構３１１（アーム、ロボット）が搭載されてもよい。当該搬送機構は、ロードロックモジュール３２から供給された基板を、所望のプロセスモジュール３３に供給する。 The transfer module 31 is a device that supplies substrates to each process module 33. The transfer module 31 may be equipped with a transfer mechanism 311 (arm, robot) that is rotatable and slidable toward each process module 33, for example. The transport mechanism supplies the substrate supplied from the load lock module 32 to a desired process module 33.

プロセスモジュール３３は、基板に対して各種の処理を行う装置である。プロセスモジュール３３は、例えば、プラズマを発生させて、ハロゲン系のエッチングガス（例えば、塩素系のエッチングガス）を適用したドライエッチング処理を行ってもよい。 The process module 33 is a device that performs various processes on the substrate. For example, the process module 33 may generate plasma and perform a dry etching process using a halogen-based etching gas (for example, a chlorine-based etching gas).

トランスファーモジュール３１は、各プロセスモジュール３３により、例えば、ＣＶＤ（Chemical Vaper Deposition）処理、及びＰＶＤ（Physical Vaper Deposition）処理等の成膜処理と、エッチング処理とをシーケンシャルに実行させてもよい。この場合、トランスファーモジュール３１は、例えば、まず、プロセスモジュール３３Ａへ基板を供給し、当該基板に対して第１処理を実行させてもよい。そして、トランスファーモジュール３１は、プロセスモジュール３３Ｂへ当該基板を供給し、当該基板に対して第２処理を実行させてもよい。そして、トランスファーモジュール３１は、プロセスモジュール３３Ｃへ当該基板を供給し、当該基板に対して第３処理を実行させてもよい。 The transfer module 31 may cause each process module 33 to sequentially perform a film forming process such as a CVD (Chemical Vaper Deposition) process and a PVD (Physical Vaper Deposition) process, and an etching process. In this case, the transfer module 31 may, for example, first supply the substrate to the process module 33A and cause the substrate to perform the first process. The transfer module 31 may then supply the substrate to the process module 33B, and cause the substrate to undergo the second process. The transfer module 31 may then supply the substrate to the process module 33C and cause the substrate to undergo the third process.

また、図２Ｂに示すように、プロセスモジュール３３Ａ、プロセスモジュール３３Ｂ、プロセスモジュール３３Ｃ、及びロードロックモジュール３２の外部（外側）には、それぞれ、ハンディ端末１０Ｃを接続するためのポート３０１Ａ（「第１ポート」の一例。）、ポート３０１Ｂ（「第２ポート」の一例。）、ポート３０１Ｃ、及びポート３０１Ｄ（以下で、区別する必要がない場合は、単に「ポート３０１」と称する）が設けられている。各ポート３０１は、例えば、ＬＡＮ等により、制御装置２０と接続されている。なお、第１のポート及び第２のポートの例はこれに限られず、いずれのポート３０１が第１のポートとなり、第２のポートとなってもよい。また、トランスファーモジュール３１にもハンディ端末１０Ｃを接続するためのポートを設けてもよい。 Further, as shown in FIG. 2B, a port 301A (“first ), port 301B (an example of "second port"), port 301C, and port 301D (hereinafter simply referred to as "port 301" if there is no need to distinguish). There is. Each port 301 is connected to the control device 20 via, for example, a LAN. Note that the example of the first port and the second port is not limited to this, and either port 301 may be the first port or the second port. Further, the transfer module 31 may also be provided with a port for connecting the handy terminal 10C.

＜機能構成＞
図３を参照し、実施形態に係る制御装置２０の機能構成について説明する。図３は、実施形態に係る制御装置２０の機能構成の一例を示す図である。 <Functional configuration>
With reference to FIG. 3, the functional configuration of the control device 20 according to the embodiment will be described. FIG. 3 is a diagram showing an example of the functional configuration of the control device 20 according to the embodiment.

制御装置２０は、異常検知部２１、異常時切替部２２、受付部２３、切替部２４、及び制御部２５を有する。これら各部は、制御装置２０にインストールされた１以上のプログラムと、制御装置２０のＣＰＵ２０４等のハードウェアとの協働により実現されてもよい。また、これら各部は、一又は複数の回路によって実現することも可能である。ここで、当該回路は、例えば、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ＤＳＰ（digital signal processor）、ＦＰＧＡ（field programmable gate array）、及びリレーで構成される回路等により実現されてもよい。また、例えば、これら各部のうちの一部（例えば、制御部２５）は、制御装置２０にインストールされた１以上のプログラムと、制御装置２０のＣＰＵ２０４等のハードウェアとの協働により実現され、他部（例えば、異常検知部２１、異常時切替部２２、受付部２３、及び切替部２４）は、ＡＳＩＣ等の回路により実現されてもよい。 The control device 20 includes an abnormality detection section 21 , an abnormality switching section 22 , a reception section 23 , a switching section 24 , and a control section 25 . Each of these units may be realized by cooperation between one or more programs installed in the control device 20 and hardware such as the CPU 204 of the control device 20. Moreover, each of these parts can also be realized by one or more circuits. Here, the circuit may be realized by, for example, a circuit including an ASIC (Application Specific Integrated Circuit), a DSP (digital signal processor), an FPGA (field programmable gate array), and a relay. Further, for example, some of these units (for example, the control unit 25) are realized by cooperation between one or more programs installed in the control device 20 and hardware such as the CPU 204 of the control device 20, Other parts (for example, the abnormality detection part 21, the abnormality switching part 22, the reception part 23, and the switching part 24) may be realized by a circuit such as an ASIC.

異常検知部２１は、基板処理装置３０の各種のセンサにより測定された情報等に基づき、基板処理装置３０における各種の異常を検知する。 The abnormality detection unit 21 detects various abnormalities in the substrate processing apparatus 30 based on information etc. measured by various sensors of the substrate processing apparatus 30.

異常時切替部２２は、異常検知部２１により異常が検知された場合に、基板処理装置３０に対する制御を行うことができる端末１０を、ローカルに設置されている端末１０（メイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、及びハンディ端末１０Ｃのいずれか）のみに制限する。 The abnormality switching unit 22 switches the terminal 10 that can control the substrate processing apparatus 30 to a locally installed terminal 10 (main terminal 10A, sub-terminal 10B or 10C).

受付部２３は、スイッチ４０のオン、及びオフ等の操作をユーザから受け付ける。 The reception unit 23 receives operations such as turning on and off the switch 40 from the user.

切替部２４は、受付部２３により受け付けたユーザの操作に応答して、ユーザから指定された端末１０のみから基板処理装置３０を制御できるようする。 The switching unit 24 allows the substrate processing apparatus 30 to be controlled only from the terminal 10 specified by the user in response to the user's operation accepted by the receiving unit 23.

制御部２５は、基板処理装置３０の各種のセンサにより測定された情報等に基づく表示画面を、端末１０に表示させる。また、制御部２５は、異常時切替部２２、または切替部２４により決定された端末１０からの指示に従い、基板処理装置３０の各部を制御する。 The control unit 25 causes the terminal 10 to display a display screen based on information measured by various sensors of the substrate processing apparatus 30. Further, the control unit 25 controls each unit of the substrate processing apparatus 30 according to instructions from the terminal 10 determined by the abnormality switching unit 22 or the switching unit 24.

＜処理＞
図４から図５Ｂを参照し、実施形態に係る制御システム１の処理の一例について説明する。図４は、実施形態に係る制御システム１の処理の一例を示すシーケンス図である。図５Ａは、実施形態に係るメイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、及びリモート端末１０Ｄの表示画面の一例について説明する図である。図５Ｂは、実施形態に係るハンディ端末１０Ｃの表示画面の一例について説明する図である。 <Processing>
An example of the processing of the control system 1 according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 4 to 5B. FIG. 4 is a sequence diagram showing an example of processing of the control system 1 according to the embodiment. FIG. 5A is a diagram illustrating an example of the display screen of the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the remote terminal 10D according to the embodiment. FIG. 5B is a diagram illustrating an example of the display screen of the handy terminal 10C according to the embodiment.

ステップＳ１において、制御装置２０の切替部２４は、ユーザの指示に従い、リモート端末１０Ｄからの操作のみを有効（入力可能）とする。ここで、制御装置２０は、例えば、ユーザにより、第１スイッチ４０Ａ、及び第２スイッチ４０Ｂがオフに設定されており、第３スイッチ４０Ｃがオンに設定された場合、リモート端末１０Ｄからの操作のみを有効としてもよい。これにより、リモート端末１０Ｄのみから基板処理装置３０を制御できる。そのため、例えば、それぞれ異なる場所にいる複数のユーザが、各端末１０から同時に基板処理装置３０を制御することにより混乱が生じることを低減できる。 In step S1, the switching unit 24 of the control device 20 enables only the operation from the remote terminal 10D (input is possible) according to the user's instruction. Here, for example, when the first switch 40A and the second switch 40B are set to OFF by the user and the third switch 40C is set to ON, the control device 20 can only be operated from the remote terminal 10D. may be enabled. Thereby, the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the remote terminal 10D. Therefore, for example, confusion caused by a plurality of users located at different locations controlling the substrate processing apparatus 30 from each terminal 10 at the same time can be reduced.

制御装置２０は、図５Ａのような表示画面５０１を、メイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、及びリモート端末１０Ｄに表示させてもよい。図５Ａの例では、表示画面５０１には、基板処理装置３０の各部を制御するボタン５０２Ａから５０２Ｄ等が表示されている。リモート端末１０Ｄからの操作のみが有効とされている場合、制御装置２０は、リモート端末１０Ｄでボタン５０２Ａから５０２Ｄ等が操作された場合にのみ、押下されたボタンに応じた制御を基板処理装置３０に実行させる。 The control device 20 may display a display screen 501 as shown in FIG. 5A on the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the remote terminal 10D. In the example of FIG. 5A, the display screen 501 displays buttons 502A to 502D for controlling each part of the substrate processing apparatus 30. When only operations from the remote terminal 10D are enabled, the control device 20 controls the substrate processing apparatus 30 according to the pressed button only when the buttons 502A to 502D, etc. are operated on the remote terminal 10D. have it executed.

リモート端末１０Ｄからの操作のみが有効とされている場合に、メイン端末１０Ａ、及びサブ端末１０Ｂのいずれかからリモート端末１０Ｄでボタン５０２Ａから５０２Ｄ等が操作された場合、制御装置２０は、当該操作を無効にする。 When only operations from the remote terminal 10D are enabled, if buttons 502A to 502D, etc. are operated on the remote terminal 10D from either the main terminal 10A or the sub-terminal 10B, the control device 20 Disable.

続いて、制御装置２０の異常検知部２１は、基板処理装置３０の異常を検知する（ステップＳ２）。ここで、制御装置２０の異常検知部２１は、基板処理装置３０の各種のセンサにより測定された情報等に基づき、基板処理装置３０における各種の異常を検知する。制御装置２０の異常検知部２１は、例えば、プロセスモジュール３３内の真空状態を保持するポンプの故障を検知してもよい。また、制御装置２０の異常検知部２１は、例えば、トランスファーモジュール３１内の搬送機構３１１の動作中に、トランスファーモジュール３１内に進入するためのドアが開状態であることを検知してもよい。 Subsequently, the abnormality detection unit 21 of the control device 20 detects an abnormality in the substrate processing apparatus 30 (step S2). Here, the abnormality detection unit 21 of the control device 20 detects various abnormalities in the substrate processing apparatus 30 based on information etc. measured by various sensors of the substrate processing apparatus 30. The abnormality detection unit 21 of the control device 20 may detect, for example, a failure of a pump that maintains the vacuum state within the process module 33. Further, the abnormality detection unit 21 of the control device 20 may detect, for example, that a door for entering the transfer module 31 is in an open state while the transport mechanism 311 in the transfer module 31 is operating.

制御装置２０の異常検知部２１は、異常を検知した場合、基板処理装置３０の各駆動部を停止させてもよい。また、制御装置２０の異常検知部２１は、異常を検知した場合、基板処理装置３０の各駆動部のうち、異常が発生した箇所に関する各駆動部のみを停止させてもよい。 The abnormality detection unit 21 of the control device 20 may stop each drive unit of the substrate processing apparatus 30 when detecting an abnormality. Further, when detecting an abnormality, the abnormality detection unit 21 of the control device 20 may stop only the drive unit related to the location where the abnormality has occurred among the drive units of the substrate processing apparatus 30.

また、制御装置２０の制御部２５は、異常検知部２１により異常が検知された場合、警報（アラーム）の表示画面及び音をメイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、及びリモート端末１０Ｄに報知させてもよい。これにより、ユーザは、オフィス等から現場に移動し、基板処理装置３０の復旧を行うことができる。なお、当該警報には、異常検知部２１により検知された異常の内容を示す情報が含まれてもよい。 Furthermore, when an abnormality is detected by the abnormality detection unit 21, the control unit 25 of the control device 20 may cause the main terminal 10A, sub-terminal 10B, and remote terminal 10D to be notified of an alarm display screen and sound. good. This allows the user to move from the office or the like to the site and restore the substrate processing apparatus 30. Note that the alarm may include information indicating the details of the abnormality detected by the abnormality detection unit 21.

続いて、制御装置２０の異常時切替部２２は、リモート端末１０Ｄからの入力を無効（不可）とし（ステップＳ３）、ローカルの端末１０（メイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、及びハンディ端末１０Ｃのいずれか）からの操作のみを有効とする（ステップＳ４）。これにより、例えば、基板処理装置３０に異常が発生している際に、オフィス等の遠隔からの操作により基板処理装置３０が動作させられることにより復旧作業が阻害されることを低減できる。 Subsequently, the abnormality switching unit 22 of the control device 20 disables (disables) input from the remote terminal 10D (step S3), and disables any input from the local terminal 10 (main terminal 10A, sub terminal 10B, and handy terminal 10C). (step S4). Thereby, for example, when an abnormality occurs in the substrate processing apparatus 30, it is possible to reduce the possibility that recovery work is hindered by operating the substrate processing apparatus 30 by remote operation from an office or the like.

ここで、制御装置２０は、基板処理装置３０の異常が検知されている間は、第３スイッチ４０Ｃを強制的にオフに設定することで第３スイッチ４０Ｃに対する操作を無効とし、ユーザにより第３スイッチ４０Ｃをオンに設定できないように制御してもよい。これにより、例えば、第１スイッチ４０Ａがユーザによりオンに設定された場合は、メイン端末１０Ａのみから基板処理装置３０を制御できるようになる。また、第２スイッチ４０Ｂがユーザによりオンに設定された場合は、サブ端末１０Ｂのみから基板処理装置３０を制御できるようになる。 Here, while an abnormality in the substrate processing apparatus 30 is detected, the control device 20 disables the operation on the third switch 40C by forcibly setting the third switch 40C to OFF, and the third switch 40C is disabled by the user. The switch 40C may be controlled so that it cannot be turned on. Thereby, for example, when the first switch 40A is turned on by the user, the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the main terminal 10A. Furthermore, when the second switch 40B is turned on by the user, the substrate processing apparatus 30 can be controlled only from the sub-terminal 10B.

ここで、制御装置２０は、例えば、ローカルの端末１０による基板処理装置３０に対する制御の結果を示す情報をリモート端末１０Ｄにも表示させてもよい。これにより、ユーザは、リモート端末１０Ｄから基板処理装置３０を操作できない場合であっても、メイン端末１０Ａ、及びサブ端末１０Ｂのいずれかによる操作結果をリモート端末１０Ｄから監視することができる。この場合、制御装置２０は、例えば、リモート端末１０Ｄに対して、メイン端末１０Ａ、及びサブ端末１０Ｂと同一の表示画面を表示させることにより、ローカルの端末１０による操作結果をリモート端末１０Ｄに表示させてもよい。また、ハンディ端末１０Ｃによる操作結果をリモート端末１０Ｄから監視できるようにしてもよい。 Here, the control device 20 may also display information indicating the result of control of the substrate processing apparatus 30 by the local terminal 10 on the remote terminal 10D, for example. Thereby, even if the user cannot operate the substrate processing apparatus 30 from the remote terminal 10D, the user can monitor the operation results from either the main terminal 10A or the sub-terminal 10B from the remote terminal 10D. In this case, the control device 20 causes the remote terminal 10D to display the operation results from the local terminal 10 on the remote terminal 10D, for example, by causing the remote terminal 10D to display the same display screen as the main terminal 10A and the sub-terminal 10B. It's okay. Further, the operation result by the handy terminal 10C may be monitored from the remote terminal 10D.

続いて、基板処理装置３０は、ハンディ端末１０Ｃと接続される（ステップＳ５）。ここで、基板処理装置３０のポート３０１に、ハンディ端末１０Ｃと接続されているケーブルが接続される。 Subsequently, the substrate processing apparatus 30 is connected to the handy terminal 10C (step S5). Here, a cable connected to the handy terminal 10C is connected to the port 301 of the substrate processing apparatus 30.

なお、ユーザは、例えば、プロセスモジュール３３内を目視しながら操作を行えない位置にメイン端末１０Ａ、及びサブ端末１０Ｂ設置されている場合、ハンディ端末１０Ｃをもってプロセスモジュール３３の付近に移動する。そして、ユーザは、ハンディ端末１０Ｃを、プロセスモジュール３３の外側に設けられているポート３０１に接続する。 Note that, for example, if the main terminal 10A and the sub-terminal 10B are installed in a position where it is impossible to operate the process module 33 while visually viewing the inside, the user moves to the vicinity of the process module 33 with the handy terminal 10C. The user then connects the handy terminal 10C to the port 301 provided on the outside of the process module 33.

続いて、基板処理装置３０は、ハンディ端末１０Ｃと接続したことの通知（接続通知）を制御装置２０に送信する（ステップＳ６）。ここで、ハンディ端末１０Ｃが接続された基板処理装置３０のポート３０１は、当該ポート３０１の識別情報（ポートＩＤ）と、ハンディ端末１０Ｃと接続した旨を示す情報とを含む接続通知を制御装置２０に送信してもよい。 Subsequently, the substrate processing apparatus 30 transmits a notification (connection notification) that it has been connected to the handy terminal 10C to the control device 20 (step S6). Here, the port 301 of the substrate processing apparatus 30 to which the handy terminal 10C is connected sends a connection notification to the control device 20 including identification information (port ID) of the port 301 and information indicating that it is connected to the handy terminal 10C. You may also send it to

続いて、制御装置２０の切替部２４は、基板処理装置３０の各部のうち、ハンディ端末１０Ｃが接続されているポート３０１に応じた各部について、ハンディ端末１０Ｃからの操作のみを有効とする（ステップＳ７）。これにより、例えば、プロセスモジュール３３の付近で復旧作業を行っているユーザが、プロセスモジュール３３から離れた位置からの他のユーザの操作により混乱させられること等を低減できる。また、これにより、ユーザは、例えば、プロセスモジュール３３内を目視しながらハンディ端末１０Ｃからプロセスモジュール３３内の各部と、プロセスモジュール３３に関連するトランスファーモジュール３１内の各部等とを操作することができる。そのため、ユーザは、例えば、プロセスモジュール３３内におけるポンプの故障状況、及びトランスファーモジュール３１内における進入ドアの開状態を目視で確認しながら操作することができる。 Next, the switching section 24 of the control device 20 enables only the operation from the handy terminal 10C for each section of the substrate processing apparatus 30 that corresponds to the port 301 to which the handy terminal 10C is connected (step S7). Thereby, for example, it is possible to reduce the possibility that a user performing recovery work near the process module 33 is confused by operations performed by other users from a position away from the process module 33. Further, this allows the user to operate each part in the process module 33 and each part in the transfer module 31 related to the process module 33 from the handy terminal 10C while visually viewing the inside of the process module 33, for example. . Therefore, the user can perform the operation while visually checking, for example, the failure status of the pump in the process module 33 and the open state of the entrance door in the transfer module 31.

ここで、制御装置２０は、例えば、プロセスモジュール３３Ａの外側に設けられているポート３０１Ａにハンディ端末１０Ｃが接続された場合、制御装置２０は、例えば、プロセスモジュール３３Ａ、及びトランスファーモジュール３１内の各部について、ハンディ端末１０Ｃからの操作のみを有効としてもよい。なお、ポート３０１Ａにハンディ端末１０Ｃが接続された場合、制御装置２０は、例えば、ロードロックモジュール３２内の各部についても、ハンディ端末１０Ｃからの操作のみを有効としてもよい。プロセスモジュール３３Ｂ、プロセスモジュール３３Ｃ等についても同様である。 Here, for example, when the handy terminal 10C is connected to a port 301A provided outside the process module 33A, the control device 20 controls each part of the process module 33A and the transfer module 31. Regarding this, only the operation from the handy terminal 10C may be valid. Note that when the handy terminal 10C is connected to the port 301A, the control device 20 may enable only the operation from the handy terminal 10C for each part in the load lock module 32, for example. The same applies to the process module 33B, process module 33C, etc.

また、制御装置２０は、例えば、ロードロックモジュール３２の外側に設けられているポート３０１Ｄにハンディ端末１０Ｃが接続された場合、制御装置２０は、例えば、ロードロックモジュール３２、及びトランスファーモジュール３１内の各部について、ハンディ端末１０Ｃからの操作のみを有効としてもよい。 Further, when the handy terminal 10C is connected to the port 301D provided outside the load lock module 32, the control device 20 controls the load lock module 32 and the transfer module 31, for example. For each part, only the operation from the handy terminal 10C may be valid.

ここで、制御装置２０は、図５Ｂのような表示画面５１１を、ハンディ端末１０Ｃに表示させてもよい。図５Ｂの例では、表示画面５１１には、基板処理装置３０の各部のうち、ハンディ端末１０Ｃが接続されているポート３０１に応じた各部を制御するボタン５１２Ａから５１２Ｆ等が表示されている。図５Ｂにおいて網掛けで示されているボタン５１２Ｅに対応するモジュールと、ボタン５１２Ｆに対応するモジュールとは操作不能であることを示す。例えば、図５Ｂのボタン５１２Ｄに対応する「Ｐ／Ｃ－１」がプロセスモジュール３３Ａであるとした場合、図５Ｂはプロセスモジュール３３Ａのポート３０１Ａにハンディ端末１０Ｃが接続された状態を示し、「Ｐ／Ｃ－１」は制御可能であるが他のプロセスモジュールである「Ｐ／Ｃ－２」及び「Ｐ／Ｃ－３」は制御できないことを意味する。ここで、「Ｐ／Ｃ－１」に対応するボタン５１２Ｄを押下することにより、「Ｐ／Ｃ－１」の各部を制御する下位のメニュー画面に移行し、「Ｐ／Ｃ－１」に関する各種操作が可能となる。 Here, the control device 20 may display a display screen 511 as shown in FIG. 5B on the handy terminal 10C. In the example of FIG. 5B, the display screen 511 displays buttons 512A to 512F, etc., for controlling each part of the substrate processing apparatus 30 that corresponds to the port 301 to which the handy terminal 10C is connected. The module corresponding to the button 512E and the module corresponding to the button 512F, which are shaded in FIG. 5B, are inoperable. For example, if "P/C-1" corresponding to the button 512D in FIG. 5B is the process module 33A, FIG. 5B shows a state in which the handy terminal 10C is connected to the port 301A of the process module 33A, /C-1" means that it can be controlled, but other process modules "P/C-2" and "P/C-3" cannot be controlled. Here, by pressing the button 512D corresponding to "P/C-1", the screen moves to a lower menu screen that controls each part of "P/C-1", and various information regarding "P/C-1" is displayed. Operation becomes possible.

また、制御装置２０は、ハンディ端末１０Ｃが接続されているポート３０１を示す情報をメイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、及びリモート端末１０Ｄに表示させてもよい。また、制御装置２０は、ハンディ端末１０Ｃからの操作のみが有効とされている基板処理装置３０の各部であって、基板処理装置３０の各部のうち、ハンディ端末１０Ｃが接続されているポート３０１に応じた各部を示す情報を、メイン端末１０Ａ、サブ端末１０Ｂ、及びリモート端末１０Ｄに表示させてもよい。これにより、ユーザは、ハンディ端末１０Ｃが接続されている部位、及びメイン端末１０Ａ等から操作できない各部について、ハンディ端末１０Ｃ以外の各端末１０から把握することができる。 Further, the control device 20 may display information indicating the port 301 to which the handy terminal 10C is connected on the main terminal 10A, the sub terminal 10B, and the remote terminal 10D. Moreover, the control device 20 is each part of the substrate processing apparatus 30 to which only operations from the handy terminal 10C are valid, and among the parts of the substrate processing apparatus 30, the control device 20 is connected to a port 301 to which the handy terminal 10C is connected. Information indicating the corresponding parts may be displayed on the main terminal 10A, sub terminal 10B, and remote terminal 10D. Thereby, the user can understand from each terminal 10 other than the handy terminal 10C the parts to which the handy terminal 10C is connected and the parts that cannot be operated from the main terminal 10A or the like.

続いて、制御装置２０の切替部２４は、基板処理装置３０の各部のうち、ハンディ端末１０Ｃが接続されたポート３０１に応じた各部以外の各部、例えば、図５Ｂにおいては、ボタンが網掛けされた「Ｐ／Ｃ－２」及び「Ｐ／Ｃ－３」について、メイン端末１０Ａ及びサブ端末１０Ｂのいずれかからの操作のみを有効とする（ステップＳ８）。 Subsequently, the switching section 24 of the control device 20 selects each section of the substrate processing apparatus 30 other than the section corresponding to the port 301 to which the handy terminal 10C is connected, for example, in FIG. 5B, buttons are shaded. Regarding "P/C-2" and "P/C-3", only operations from either the main terminal 10A or the sub-terminal 10B are valid (step S8).

（ハンディ端末１０Ｃが切断された場合について）
なお、ハンディ端末１０Ｃが切断された場合、制御装置２０の切替部２４は、各端末１０からの制御について、ハンディ端末１０Ｃが接続される前の状態に戻す。この場合、ハンディ端末１０Ｃのケーブルがポート３０１から抜かれる等によりハンディ端末１０Ｃと基板処理装置３０との接続が解除（切断）された場合、当該ポート３０１、ハンディ端末１０Ｃと切断したことの通知（切断通知）を制御装置２０に送信する。ここで、当該切断通知には、当該ポート３０１の識別情報（ポートＩＤ）と、ハンディ端末１０Ｃと切断した旨を示す情報とが含まれてもよい。そして、制御装置２０は、当該ポート３０１に応じた各部についても、ローカルの端末１０であるメイン端末１０Ａ及びサブ端末１０Ｂのいずれかからの操作のみを有効とする。 (In case the handy terminal 10C is disconnected)
Note that when the handy terminal 10C is disconnected, the switching unit 24 of the control device 20 returns the control from each terminal 10 to the state before the handy terminal 10C was connected. In this case, if the connection between the handy terminal 10C and the substrate processing apparatus 30 is canceled (disconnected) due to the cable of the handy terminal 10C being unplugged from the port 301, etc., a notification indicating that the handy terminal 10C has been disconnected from the port 301 ( A disconnection notification) is sent to the control device 20. Here, the disconnection notification may include identification information (port ID) of the port 301 and information indicating that the handy terminal 10C has been disconnected. The control device 20 also enables only operations from either the main terminal 10A or the sub-terminal 10B, which are the local terminals 10, for each unit corresponding to the port 301.

（基板処理装置３０が復旧した場合について）
なお、基板処理装置３０が復旧した場合、各端末１０からの制御について、異常が発生するよりも前の状態に戻せるようにしてもよい。この場合、異常検知部２１により異常が検知されなくなった場合、制御装置２０の異常時切替部２２は、第３スイッチ４０Ｃを強制的にオフに設定する機能を停止（解除）してもよい。これにより、基板処理装置３０が復旧した場合、ユーザにより第１スイッチ４０Ａ、及び第２スイッチ４０Ｂがオフに設定され、第３スイッチ４０Ｃがオンに設定されると、リモート端末１０Ｄからの操作のみを有効（入力可能）とすることができる。 (About the case where the substrate processing apparatus 30 is restored)
Note that when the substrate processing apparatus 30 is restored, the control from each terminal 10 may be returned to the state before the abnormality occurred. In this case, when the abnormality detection unit 21 no longer detects an abnormality, the abnormality switching unit 22 of the control device 20 may stop (cancel) the function of forcibly setting the third switch 40C to OFF. As a result, when the substrate processing apparatus 30 is restored, if the user sets the first switch 40A and the second switch 40B to OFF, and sets the third switch 40C to ON, only operations from the remote terminal 10D can be performed. It can be enabled (input possible).

また、異常検知部２１により異常が検知されなくなった場合、制御装置２０は、第３スイッチ４０Ｃを強制的にオフに設定する機能を停止するとともに、第３スイッチ４０Ｃに対応付けられている報知装置（例えば、回転灯）を動作させる等により、第３スイッチ４０Ｃをオンに設定可能（操作が有効）となったことをユーザに報知してもよい。そして、制御装置２０は、第３スイッチ４０Ｃがユーザによりオンに設定された場合、当該報知装置の動作を停止させてもよい。これにより、例えば、復旧後に第３スイッチ４０Ｃをオンに設定することをユーザが失念したまま現場のクリーンルームから出てしまうことを低減できる。この場合、当該報知装置は、例えば、メイン端末１０Ａの筐体上に設けられていてもよい。 Further, when the abnormality is no longer detected by the abnormality detection unit 21, the control device 20 stops the function of forcibly setting the third switch 40C to OFF, and also stops the notification device associated with the third switch 40C. The user may be notified that the third switch 40C can be turned on (the operation is valid) by operating a rotating light (for example, a revolving light) or the like. Then, when the third switch 40C is turned on by the user, the control device 20 may stop the operation of the notification device. Thereby, for example, it is possible to reduce the possibility that the user leaves the clean room at the site without forgetting to turn on the third switch 40C after restoration. In this case, the notification device may be provided, for example, on the casing of the main terminal 10A.

＜変形例＞
端末１０、及び制御装置２０の各機能部は、例えば１以上のコンピュータにより提供されるクラウドコンピューティングにより実現されていてもよい。また、端末１０、制御装置２０、及び基板処理装置３０のうちの複数の装置を一体の装置としてもよい。この場合、例えば、制御装置２０と基板処理装置３０とは、一体の装置として構成されてもよい。また、例えば、メイン端末１０Ａまたはサブ端末１０Ｂ（以下で、「メイン端末１０Ａ等」とも称する。）と制御装置２０とは、一体の装置として構成されてもよい。また、例えば、メイン端末１０Ａ等と制御装置２０と基板処理装置３０とは、一体の装置として構成されてもよい。 <Modified example>
Each functional unit of the terminal 10 and the control device 20 may be realized, for example, by cloud computing provided by one or more computers. Further, a plurality of devices among the terminal 10, the control device 20, and the substrate processing device 30 may be integrated into one device. In this case, for example, the control device 20 and the substrate processing device 30 may be configured as an integrated device. Further, for example, the main terminal 10A or the sub-terminal 10B (hereinafter also referred to as "main terminal 10A, etc.") and the control device 20 may be configured as an integrated device. Further, for example, the main terminal 10A, etc., the control device 20, and the substrate processing device 30 may be configured as an integrated device.

また、端末１０、制御装置２０、及び基板処理装置３０の各装置を複数の装置により実現してもよい。この場合、例えば、制御装置２０の各機能部のうち、異常検知部２１、及び異常時切替部２２を、他の機能部とは別体の装置としてもよい。 Moreover, each device of the terminal 10, the control device 20, and the substrate processing device 30 may be realized by a plurality of devices. In this case, for example, among the functional units of the control device 20, the abnormality detection unit 21 and the abnormality switching unit 22 may be separate devices from other functional units.

上記実施形態に挙げた構成等に対し、その他の構成要素が組み合わされるなどした他の実施形態であってもよく、また、本開示はここで示した構成に何等限定されるものではない。この点に関しては、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で変更することが可能であり、その応用形態に応じて適切に定めることができる。 There may be other embodiments in which other components are combined with the configurations listed in the above embodiments, and the present disclosure is not limited to the configurations shown here. In this regard, changes can be made without departing from the spirit of the present disclosure, and can be determined appropriately depending on the application form.

１ 制御システム
１０Ａ メイン端末
１０Ｂ サブ端末
１０Ｃ ハンディ端末
１０Ｄ リモート端末
２０ 制御装置
２１ 異常検知部
２２ 異常時切替部
２３ 受付部
２４ 切替部
２５ 制御部
３０ 基板処理装置
３１ トランスファーモジュール
３２ ロードロックモジュール
３３Ａ プロセスモジュール
３３Ｂ プロセスモジュール
３３Ｃ プロセスモジュール
４０Ａ 第１スイッチ
４０Ｂ 第２スイッチ
４０Ｃ 第３スイッチ
３０１Ａ ポート
３０１Ｂ ポート
３０１Ｃ ポート
３０１Ｄ ポート 1 Control system 10A Main terminal 10B Sub terminal 10C Handy terminal 10D Remote terminal 20 Control device 21 Abnormality detection section 22 Abnormality switching section 23 Reception section 24 Switching section 25 Control section 30 Substrate processing device 31 Transfer module 32 Load lock module 33A Process module 33B Process module 33C Process module 40A First switch 40B Second switch 40C Third switch 301A Port 301B Port 301C Port 301D Port

Claims (9)

基板を処理する基板処理装置を制御する制御システムであって、
前記基板処理装置と同じ場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第１端末、及び第２端末と、
前記基板処理装置とは異なる場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第３端末と、
前記基板処理装置の異常が検知された場合、前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする制御装置と、
前記第２端末及び前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする第１スイッチと、
前記第１端末及び前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする第２スイッチと、を有し、
前記制御装置は、
前記第１スイッチが前記第２スイッチよりも先に操作された場合、前記第１端末による前記基板処理装置に対する制御を有効とし、前記第２端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とし、前記第２スイッチが操作された場合、前記第１スイッチが先に操作されていることを示す情報をユーザに報知する、
制御システム。 A control system for controlling a substrate processing apparatus that processes a substrate, the control system comprising:
a first terminal and a second terminal that are arranged at the same location as the substrate processing apparatus and receive instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user;
a third terminal located at a different location from the substrate processing apparatus, and receiving instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user;
a control device that disables control of the substrate processing apparatus by the third terminal when an abnormality of the substrate processing apparatus is detected;
a first switch that disables control of the substrate processing apparatus by the second terminal and the third terminal;
a second switch that disables control of the substrate processing apparatus by the first terminal and the third terminal ;
The control device includes:
When the first switch is operated before the second switch, the control of the substrate processing apparatus by the first terminal is enabled, the control of the substrate processing apparatus by the second terminal is disabled, and the control of the substrate processing apparatus by the first terminal is disabled. When two switches are operated, the user is notified of information indicating that the first switch is operated first;
control system. 基板を処理する基板処理装置を制御する制御システムであって、
前記基板処理装置と同じ場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第１端末、及び第２端末と、
前記基板処理装置とは異なる場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第３端末と、
前記基板処理装置の異常が検知された場合、前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする制御装置と、
前記第１端末及び前記第２端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする第３スイッチと、
前記第３スイッチに対応付けられた報知装置と、を有し、
前記制御装置は、
前記基板処理装置の異常が検知された場合、前記第３スイッチの操作を無効とし、
前記基板処理装置の異常が復旧された場合、前記第３スイッチの操作が有効となったことを前記報知装置によりユーザに報知する、
制御システム。 A control system for controlling a substrate processing apparatus that processes a substrate, the control system comprising:
a first terminal and a second terminal that are arranged at the same location as the substrate processing apparatus and receive instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user;
a third terminal located at a different location from the substrate processing apparatus, and receiving instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user;
a control device that disables control of the substrate processing apparatus by the third terminal when an abnormality of the substrate processing apparatus is detected;
a third switch that disables control of the substrate processing apparatus by the first terminal and the second terminal;
and a notification device associated with the third switch ,
The control device includes:
If an abnormality in the substrate processing apparatus is detected, disabling the operation of the third switch,
When the abnormality in the substrate processing apparatus is recovered, the notification device notifies the user that the operation of the third switch has become effective;
control system. 前記制御装置は、
前記基板処理装置の異常が復旧された場合、前記第３スイッチの操作が有効となったことを前記報知装置によりユーザに報知し、前記第３スイッチがユーザに操作された場合、前記報知装置による報知を停止する、
請求項２に記載の制御システム。 The control device includes:
When the abnormality in the substrate processing apparatus is recovered, the notification device notifies the user that the operation of the third switch has become effective, and when the third switch is operated by the user, the notification device notifies the user that the third switch is activated. stop notification,
The control system according to claim 2 . 基板を処理する基板処理装置を制御する制御システムであって、
前記基板処理装置と同じ場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第１端末、及び第２端末と、
前記基板処理装置とは異なる場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第３端末と、
前記基板処理装置の異常が検知された場合、前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする制御装置と、
前記基板処理装置に有線及び近距離無線の少なくとも一方により接続され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第４端末と、を有し、
前記制御装置は、
前記基板処理装置に含まれる第１チャンバーの外側に設けられた第１ポートに前記第４端末が接続された場合、前記基板処理装置の各部のうち、前記第１ポートに応じた各部に対し、前記第４端末による制御のみを有効とし、前記第１ポートに応じた各部以外の各部に対し、前記第１端末若しくは前記第２端末のいずれかによる制御のみを有効とし、
前記基板処理装置に含まれる第２チャンバーの外側に設けられた第２ポートに前記第４端末が接続された場合、前記基板処理装置の各部のうち、前記第２ポートに応じた各部に対し、前記第４端末による制御のみを有効とし、前記第２ポートに応じた各部以外の各部に対し、前記第１端末若しくは前記第２端末のいずれかによる制御のみを有効とする、
制御システム。 A control system for controlling a substrate processing apparatus that processes a substrate, the control system comprising:
a first terminal and a second terminal that are arranged at the same location as the substrate processing apparatus and receive instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user;
a third terminal located at a different location from the substrate processing apparatus, and receiving instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user;
a control device that disables control of the substrate processing apparatus by the third terminal when an abnormality of the substrate processing apparatus is detected;
a fourth terminal connected to the substrate processing apparatus by at least one of a wired and short-range wireless connection, and receiving instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user ;
The control device includes:
When the fourth terminal is connected to a first port provided outside a first chamber included in the substrate processing apparatus, for each part of the substrate processing apparatus corresponding to the first port, Only the control by the fourth terminal is valid, and the control by either the first terminal or the second terminal is valid for each unit other than each unit corresponding to the first port,
When the fourth terminal is connected to a second port provided outside a second chamber included in the substrate processing apparatus, for each part of the substrate processing apparatus corresponding to the second port, Validating only the control by the fourth terminal, and validating only the control by either the first terminal or the second terminal for each unit other than each unit corresponding to the second port;
control system. 前記制御装置は、
前記第１ポートに前記第４端末が接続された場合、前記基板処理装置の各部のうち、前記第４端末による制御のみが有効とされている、前記第１ポートに応じた各部を示す情報を、前記第１端末、前記第２端末、及び前記第３端末に表示させる、
請求項４に記載の制御システム。 The control device includes:
When the fourth terminal is connected to the first port, information indicating which parts of the substrate processing apparatus are controlled only by the fourth terminal according to the first port is provided. , displayed on the first terminal, the second terminal, and the third terminal,
The control system according to claim 4 . 前記制御装置は、
前記基板処理装置の異常が検知された場合、前記第１端末、及び前記第２端末のいずれか一方による前記基板処理装置に対する制御を有効とする、
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の制御システム。 The control device includes:
When an abnormality in the substrate processing apparatus is detected, enabling control of the substrate processing apparatus by either the first terminal or the second terminal;
A control system according to any one of claims 1 to 5 . 前記制御装置は、
前記第１端末、及び前記第２端末の少なくとも一方による前記基板処理装置に対する制御の結果を示す情報を前記第３端末に表示させる、
請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の制御システム。 The control device includes:
displaying information indicating a result of control of the substrate processing apparatus by at least one of the first terminal and the second terminal on the third terminal;
A control system according to any one of claims 1 to 6 . 基板を処理する基板処理装置と同じ場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第１端末、及び第２端末と、前記基板処理装置とは異なる場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第３端末とのいずれかから入力された情報に基づいて前記基板処理装置を制御する制御システムが、
前記基板処理装置の異常が検知された場合、前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とし、
前記第２端末及び前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする第１スイッチが前記第１端末及び前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする第２スイッチよりも先に操作された場合、前記第１端末による前記基板処理装置に対する制御を有効とし、前記第２端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とし、前記第２スイッチが操作された場合、前記第１スイッチが先に操作されていることを示す情報をユーザに報知する、
制御方法。 A first terminal and a second terminal are arranged at the same location as a substrate processing apparatus that processes the substrate and receive control instructions for the substrate processing apparatus from a user, and a second terminal is arranged at a different location from the substrate processing apparatus and A control system that controls the substrate processing apparatus based on information input from either a third terminal that receives instructions for controlling the processing apparatus from a user,
If an abnormality in the substrate processing apparatus is detected, disabling control of the substrate processing apparatus by the third terminal ;
A first switch that disables control of the substrate processing apparatus by the second terminal and the third terminal is placed before a second switch that disables control of the substrate processing apparatus by the first terminal and the third terminal. When the second switch is operated, the control of the substrate processing apparatus by the first terminal is enabled, and the control of the substrate processing apparatus by the second terminal is disabled, and when the second switch is operated, the first switch Notify the user of information indicating that is being operated first;
Control method. 基板を処理する基板処理装置であって、
前記基板処理装置と同じ場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第１端末、及び第２端末と、前記基板処理装置とは異なる場所に配置され、前記基板処理装置に対する制御の指示をユーザから受け付ける第３端末とのいずれかから入力された情報に基づいて、前記基板処理装置の各部を制御し、
前記基板処理装置の異常が検知された場合、前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とし、
前記第２端末及び前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする第１スイッチが前記第１端末及び前記第３端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とする第２スイッチよりも先に操作された場合、前記第１端末による前記基板処理装置に対する制御を有効とし、前記第２端末による前記基板処理装置に対する制御を無効とし、前記第２スイッチが操作された場合、前記第１スイッチが先に操作されていることを示す情報をユーザに報知する、
基板処理装置。
 A substrate processing apparatus that processes a substrate,
A first terminal and a second terminal are arranged at the same location as the substrate processing apparatus and receive instructions for controlling the substrate processing apparatus from a user; controlling each part of the substrate processing apparatus based on information input from either a third terminal that receives control instructions from a user;
If an abnormality in the substrate processing apparatus is detected, disabling control of the substrate processing apparatus by the third terminal ;
A first switch that disables control of the substrate processing apparatus by the second terminal and the third terminal is placed before a second switch that disables control of the substrate processing apparatus by the first terminal and the third terminal. When the second switch is operated, the control of the substrate processing apparatus by the first terminal is enabled, and the control of the substrate processing apparatus by the second terminal is disabled, and when the second switch is operated, the first switch Notify the user of information indicating that is being operated first;
Substrate processing equipment.
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