JP7417835B2 - 導通検査装置、プローバ - Google Patents
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Description
図1は、ウェハテストシステム9の概略図である。以下、図中の上下方向であるZ軸方向の上方及び上面を適宜「上方」及び「上面」といい、Z軸方向の下方及び下面を適宜「下方」及び「下面」という。
図2は、チャックリード線40及び追加回路42を説明するための説明図である。図2に示すように、チャックリード線40は、本発明の配線に相当するものであり、支持面16aとテスタ30(テスタ本体31)とを電気的に接続する。このチャックリード線40は、支持面16aに電気的に接続される一端部40aと、一端部40aとは反対側の他端部40bであって且つ後述のコネクタ44に電気的に接続される他端部40bと、を有する。なお、チャックリード線40(配線)の種類は特に限定はされない。
リード線52とは、支持面16aを介して電気的に接続される。また、追加リード線52の一端部52aと反対側の他端部52bには、第2リレー54が電気的に接続されている。なお、追加リード線52(配線)の種類は特に限定はされない。また、本実施形態では、チャックリード線40及び追加リード線52の双方の一部がケーブル(登録商標)ベア64内に収納されている。
図6は、上記構成の追加回路42によるウェハチャック16の除電、チャックリード線40の導通検査、及び各リレー46,54の自己診断の処理の流れを示すフローチャートである。
図6に示すように、追加回路制御部76は、導通検査を実行する任意のタイミングで或いは操作部70への導通検査開始操作の入力を受けて(ステップS1でYES)、各リレー46,54の双方をオンさせると共に(ステップS2)、電源58をオンさせる(ステップS3)。一方、検出回路60は、電源58のオンに合わせて第2抵抗56の電圧検出を開始し、第2抵抗56の電圧検出結果を判定部80へ出力する(ステップS4)。
ていると判定する(ステップS5)。そして、判定部80は、判定結果を表示部72に出力する。これにより、表示部72にて、チャックリード線40の導通の有無の判定結果が表示される(ステップS6)。
追加回路制御部76は、除電を実行する任意のタイミングで或いは操作部70への除電開始操作の入力を受けて(ステップS1でNO、ステップS7でYES)、第1リレー46をオンさせる(ステップS8)。これにより、第1抵抗48を介して、ウェハチャック16に帯電した電荷が接地側に放電されるため、ウェハチャック16が除電される。
追加回路制御部76は、各リレー46,54の自己診断を実行する任意のタイミングで或いは操作部70への自己診断開始操作の入力を受けて(ステップS1及びステップS7の双方でNO)、電源58をオンさせる(ステップS9)。また、この電源58のオンに合わせて、検出回路60が、第2抵抗56の電圧検出を開始し、その電圧検出結果を自己診断部82へ出力する(ステップS10)。
以上のように本実施形態の追加回路42によれば、追加リード線52等により電流ループCRを形成し、この電流ループCRに電流Isが流れるか否か、すなわち検出回路60による第2抵抗56の電圧検出結果が「V/2」になるかを検出するだけで、チャックリード線40の導通の有無を判定することができる。そして、この追加回路42は、既知のリレー46,54、抵抗48,56、電源58、及び検出回路60(電圧計等)を組み合わるだけで簡単に構築することができる。その結果、チャックリード線40の導通の有無を自動且つ簡単に検査することができる。
上記実施形態では、追加リード線52(他端部52b)に対して、第2リレー54、第2抵抗56、及び電源58の順番で接続されているが、第2リレー54のオンオフに応じて電流ループCRへの電流Isの供給をオンオフ可能であれば、その順番は特に限定はされない。また、上記実施形態では、除電回路50によるリーク電流を最小に抑えるために、コネクタ44に対して第1リレー46及び第1抵抗48の順番で接続しているが、リーク電流を考慮する必要が無い場合にはコネクタ44に対して第1抵抗48及び第1リレー46の順番で接続してもよい。
10…プローバ,
16…ウェハチャック,
16a…支持面,
30…テスタ,
40…チャックリード線,
42…追加回路,
44…コネクタ,
46…第1リレー,
48…第1抵抗,
50…除電回路,
52…追加リード線,
54…第2リレー,
56…第2抵抗,
58…電源,
60…検出回路,
62…統括制御部,
80…判定部,
82…自己診断部
Claims (2)
- ウェハの裏面に形成された半導体チップの裏面電極に接触するプローバのウェハチャックの導電性の支持面に対して電気的に接続される配線の導通検査装置において、
前記支持面に接続される前記配線の一端部とは反対側の他端部に接続されたリレーであって且つ接地されたリレーと、
前記支持面に接続された追加配線と、
前記追加配線に接続された電流ループ形成部であって、少なくとも電源を備え、且つ前記配線、前記追加配線、前記リレー、及び前記電源を少なくとも含む電流ループを形成する電流ループ形成部と、
前記電源からの電流が前記電流ループを流れるか否かの判定を行う判定部と、
を備える導通検査装置。 - 半導体チップが複数形成されたウェハを保持するウェハチャックであって、且つ前記ウェハの裏面に形成された前記半導体チップの裏面電極に接触する導電性の支持面を有するウェハチャックと、
前記ウェハの表面に形成された前記半導体チップの表面電極に接触するプローブと、
請求項1に記載の導通検査装置と、
を備えるプローバ。
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