JP7408356B2 - 表面加工装置 - Google Patents
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Description
図1~図4を参照して、表面加工装置1について説明する。図1及び図2に示されるように、表面加工装置1は、加工対象であるワークWを加工するように構成されている。ワークWは、例えば、シート状の母材(金属薄板など)の打ち抜きに用いられる金型部品であってもよいし、半導体基板、ガラス基板、マスク基板、FPD(Flat Panel Display)基板その他の各種基板であってもよい。ワークWの形状は、例えば、直方体形状、円柱形状、多角柱形状、平板状などであってもよい。
続いて、表面加工装置1の動作について説明する。まず、ワークWをチャック12bの主面S1に載置する。この状態で、コントローラCtrがポンプ14を動作させる。これにより、収容本体12aの内部空間及びチャック12bの細孔を通じて、主面S1側の空気をポンプ14が吸引するので、主面S1上のワークWがチャック12bに吸着保持される。
以上の例によれば、回転しない平面状の砥石工具50がワークWの加工のために用いられるので、ツルーイングやドレッシングといった事前調整作業が不要となる。また、工具保持具22の主面S3を基準として砥石工具50の高さが略一定となるので、ワークWの表面に対する砥石工具50の位置合わせが容易となる。そのため、ワークWの加工前における砥石工具50の準備時間が大幅に短縮化される。したがって、ワークWの加工を効率的に行うことが可能となる。
本明細書における開示はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。特許請求の範囲及びその要旨を逸脱しない範囲において、以上の例に対して種々の省略、置換、変更などが行われてもよい。
例1.表面加工装置(1)の一例は、ワーク(W)を保持するように構成された第1の保持面(S1)を含むワーク保持具(12)と、ワーク保持具(12)に保持されているワーク(W)の表面を研削又は研磨するように構成された平面状の砥石工具(50)とを備えていてもよい。表面加工装置(1)の一例は、第1の保持面(S1)と対面すると共に砥石工具(50)を保持するように構成された第2の保持面(S3)を含む工具保持具(22)と、ワーク保持具(12)及び工具保持具(22)の少なくとも一方を、第1の保持面(S1)又は第2の保持面(S2)に沿って移動させるように構成された駆動機構(13)とをさらに備えていてもよい。この場合、回転しない平面状の砥石工具が用いられるので、ツルーイングやドレッシングといった事前調整作業が不要となる。また、工具保持具の第2の保持面を基準として砥石工具の高さが略一定となるので、ワークの表面に対する砥石工具の位置合わせが容易となる。そのため、ワークの加工前における砥石工具の準備時間が大幅に短縮化される。したがって、ワークの加工を効率的に行うことが可能となる。加えて、この場合、回転しない平面状の砥石工具が用いられるので、砥石工具に対するワークの相対速度が比較的小さくても、ワークを加工できる。そのため、砥石工具とワークとの間に熱が生じ難くなるので、ワークを冷却するための冷却液の供給装置が不要となる。したがって、表面加工装置の小型化及び簡素化を図ることが可能となる。
Claims (4)
- ワークを保持するように構成された第1の保持面を含むワーク保持具と、
前記ワーク保持具に保持されているワークの表面を研削又は研磨するように構成された平面状の砥石工具と、
前記第1の保持面と対面すると共に前記砥石工具を保持するように構成された第2の保持面を含む工具保持具と、
前記砥石工具が前記工具保持具に対して静止した状態において、静止している状態の前記工具保持具の前記第2の保持面に沿って前記ワーク保持具を往復移動させるように構成された駆動機構とを備え、
前記砥石工具は、
平板状の基材と、
水平方向に接触せず且つ鉛直方向に重なり合うことなく、前記基材の表面上に配置された複数の砥粒と、
前記複数の砥粒を前記基材に対して固着させる結合剤とを含む、表面加工装置。 - ワークを保持するように構成された第1の保持面を含むワーク保持具と、
前記ワーク保持具に保持されているワークの表面を研削又は研磨するように構成された平面状の砥石工具と、
前記第1の保持面と対面すると共に前記砥石工具を保持するように構成された第2の保持面を含む工具保持具と、
前記砥石工具が前記工具保持具に対して静止した状態において、静止している状態の前記工具保持具の前記第2の保持面に沿って前記ワーク保持具を往復移動させるように構成された駆動機構とを備え、
前記砥石工具は、
可撓性を有するフィルム状の基材と、
水平方向に接触せず且つ鉛直方向に重なり合うことなく、前記基材の表面上に配置された複数の砥粒と、
前記複数の砥粒を前記基材に対して固着させる結合剤とを含む、表面加工装置。 - 前記砥石工具を所定の方向に沿って搬送するように構成された搬送機構をさらに備える、請求項2に記載の装置。
- 前記ワーク保持具に保持されているワークに対して液体をミスト状に噴霧するように構成された噴霧機構をさらに備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の装置。
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