JP7398032B2

JP7398032B2 - 工業炉

Info

Publication number: JP7398032B2
Application number: JP2020032978A
Authority: JP
Inventors: 保孝大西
Original assignee: Shimadzu Industrial Systems Co Ltd
Current assignee: Shimadzu Industrial Systems Co Ltd
Priority date: 2020-02-28
Filing date: 2020-02-28
Publication date: 2023-12-14
Anticipated expiration: 2040-02-28
Also published as: JP2021135017A

Description

本発明は、工業炉に関する。

従来、金属または磁性材料などからなる被処理物が真空または加圧環境下で熱処理されている。たとえば、下記の特許文献１は、真空チャンバ、その真空チャンバの中の断熱容器、その断熱容器の中の加熱ヒーターを備える。断熱容器の中に被処理物を配置する。加熱ヒーターで断熱容器の内部空間を昇温し、被処理物が処理される。

国際公開番号 WO２０１６／１５８０２９

被処理物を脱脂すると、被処理物からガス状のバインダー、粒子状のダスト、またはその両方を含む放出物が放出される。放出物が真空チャンバの内壁に付着すると、その付着した放出物を取り除く必要がある。真空チャンバと断熱容器との間の隙間が狭く、放出物を取り除きにくい。

そこで本発明の目的は、放出物を簡単に除去できる工業炉を提供することにある。

以上の課題を解決すべく、本発明に係る工業炉は、以下に述べるような構成を有する。

本発明の工業炉は、内壁および外壁を備えた容器状の圧力容器と、前記圧力容器の内部空間に配置され、断熱体本体および該断熱体本体を開閉する断熱体蓋を備えた断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、ガス源と、前記ガス源から圧力容器の内部空間または断熱体の内部空間をつなぐ供給パイプとを備え、前記断熱体本体の断熱体蓋を開けた状態でガス源から圧力容器の内部空間および断熱体の内部空間にガスを供給し、ヒーターが加熱される。

断熱扉を開けた状態でヒーターが加熱されるため、内壁に付着した放出物を直接加熱し、溶融させることができる。溶融した放出物は圧力容器の下部に流れ落ちる。集まった放出物を除去することで、簡単に放出物を除去できる。

本発明の工業炉の構成を示す図である。圧力容器等の断面を示す図である。電力供給回路の構成を示す図である。圧力容器の内部空間の上方に断熱体をずらした構成を示す図である。圧力容器の下部に凹部を設けた図である。

本発明の工業炉について図面を参照して説明する。複数の実施形態を説明するが、異なる実施形態であっても同じ手段には同一の符号を付して説明を省略する場合がある。

[実施形態１]
図１に示す本願の工業炉１０は、容器状の圧力容器１２、その圧力容器１２の内部空間１４に配置された断熱体１６、その断熱体１６の内部空間１８に配置されたヒーター２０、被処理物２２が収容されるタイトボックス（インナーケース）２４、ガス源２６、そのガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８をつなぐ供給パイプ３０、排気ポンプ３２、その排気ポンプ３２とタイトボックス２４の内部空間２８をつなぐ第１排気パイプ３４、排気ポンプ３２と圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８をつなぐ第２排気パイプ３６、第１排気パイプ３４の途中に設けられた捕捉装置３８を備える。

工業炉１０は、焼結、半焼結、焼成、脱脂、ろう付け、メタライズ、焼き入れ、容体化処理、焼戻し、焼きなましまたは時効熱処理などをおこなうための炉である。

[圧力容器]
圧力容器１２は容器本体４０および容器蓋４２を備える。容器本体４０は円筒形状になっている（図２）。容器蓋４２は容器本体４０の両端を開閉するものである。容器本体４０の両端を容器蓋４２で閉じると、圧力容器１２の内部空間１４は気密にされた空間になる。圧力容器１２の内部空間１４は減圧されたり、加圧されたりする。圧力容器１２の耐圧はたとえば約１０ＭＰａであり、各種設計によって変更できる。

圧力容器１２は内壁４４と外壁４６からなる二重構造であり、内壁４４と外壁４６の間を冷却液が流れる。工業炉１０は、冷却液を吐出する給液ポンプ４８、給液ポンプ４８から内壁４４と外壁４６の間に取り付けられた給液パイプ５０、内壁４４と外壁４６の間に取り付けられた排液パイプ５２、給液パイプ５０に設けられたバルブ５４を備える。

[断熱体]
断熱体１６は圧力容器１２の内部空間１４に配置されている。断熱体１６は断熱体本体５６および断熱体蓋５８を備える。断熱体本体５６は筒状になっている。断熱体蓋５８は断熱体本体５６の両端を開閉するものである。容器蓋４２が閉じた状態で断熱体蓋５８が開閉できるように、断熱体蓋５８の開閉装置（図示省略）を備える。断熱体１６はグラファイトフェルトまたはグラファイトフォイルなどの耐熱性材料で構成される。

[ヒーター]
断熱体１６の内部空間１８にヒーター２０が配置されている。ヒーター２０としてグラファイト製のロッドヒーターが挙げられる。ヒーター２０はタイトボックス２４に対して平行に配置されている。また、タイトボックス２４の周囲を回るように複数のヒーター２０が配置されている（図２）。

ヒーター２０に電力を供給するための電力供給回路６０は図３のようになっている。電力供給回路６０は三相交流の電力をヒーターに供給する。三相交流の３つの端子はＲ、Ｓ、Ｔである。電力供給回路６０は各端子Ｒ、Ｓ、Ｔにつながる配線６２、その配線６２に流れる電流を測定する電流計６４、電力供給する配線６２を選択するスイッチ６６、電力変換するトランス６８、スイッチ６６をオン・オフ制御する制御装置７０を備える。スイッチ６６はサイリスタなどの素子を使用できる。

制御装置７０はＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＰＬＣ（Programmable Logic Controller）などを備えた回路である。スイッチ６６がオンになるとトランス６８を介してヒーター２０に電力供給される。制御装置７０には電流計６４で測定された電流値および第１温度計７２で測定された温度が入力される。第１温度計７２は断熱体１６の内部空間１８の温度を計測する。断熱体１６の内部空間１８の温度が所定温度になるように制御装置７０がスイッチ６６のオン・オフを制御する。

[タイトボックス]
断熱体１６の内部空間１８の中にタイトボックス２４が配置されている。タイトボックス２４はグラファイトなどで構成されている。タイトボックス２４はタイトボックス本体７４とタイトボックス蓋７６を備える。タイトボックス本体７４は筒状になっている。タイトボックス蓋７６はタイトボックス本体７４の両端を開閉する。タイトボックス蓋７６が開閉できるように、タイトボックス蓋７６の開閉装置（図示省略）を備える。タイトボックス本体７４の両端をタイトボックス蓋７６で閉じることで、タイトボックス２４の内部空間２８が密閉される。

[被処理物]
タイトボックス２４の内部空間２８に被処理物２２が配置される。被処理物２２の材料は、超硬金属、鉄系金属、非鉄金属、磁性材料、セラミックス、グラファイト、ハイス鋼、ダイス鋼または低合金鋼などであり、金属は合金を含む。被処理物２２は、粉体または所定形状を有した固体である。

タイトボックス２４の中に被処理物２２が収容されることで、被処理物２２を脱脂処理したときに被処理物２２から放出される放出物がタイトボックス２４の外に放出されるのを低減させる。なお、タイトボックス２４を完璧に密閉することはできず、多少はタイトボックス２４の外に放出物が放出される。その放出物が内壁４４と断熱体１６の表面に付着する。工業炉１０を繰り返し使用すると放出物が内壁４４と断熱隊１６に積層される。積層された放出物の除去するための構成は後述する。

[ガス源]
ガス源２６は窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどを貯蔵、生成またはその両方をおこなう。ガス源２６と圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８は供給パイプ３０で接続されている。供給パイプ３０は分岐しており、それぞれにバルブ７８、８０が設けられている。バルブ７８、８０の開閉によってガスの流量を制御できる。ガス源２６から供給パイプ３０を介して圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスが導入される。ガス源２６を複数にして、複数種のガスを圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に供給してもよい。供給パイプ３０を複数設け、複数種のガスが供給されるようにする。なお、断熱体１６は完全に気密にされていないため、圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８の一方にガスを導入することで、他方にもガスを導入することができる。

上記ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に供給されるガスは、放出物に対して直接熱伝導して加熱し、放出物を溶融させる。高温になったガスが放出物を加熱して溶融させることで、圧力容器１２の下部に溶融した放出物が流れ落ちる。

[排気ポンプ]
排気ポンプ３２は圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に対して排気をおこなう。排気ポンプ３２とタイトボックス２４の内部空間２８は第１排気パイプ３４で接続されている。排気ポンプ３２と圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８は第２排気パイプ３６で接続されている。排気ポンプ３２によって、圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８が減圧される。第１排気パイプ３４と第２排気パイプ３６にはそれぞれバルブ８２、８４が備えられていて、バルブ８２、８４の開閉によっても排気を制御することができる。なお、断熱体１６は完全に気密にされていないため、圧力容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８の一方からガスを排気することで、他方もガスが排気される。

[捕捉装置]
被処理物２２が脱脂された際に、被処理物２２から放出されたガス状のバインダー、粒子状のダスト、またはその両方を含む放出物が放出される。第１排気パイプ３４に放出物を捕捉する捕捉装置３８が備えられている。捕捉装置３８はワックスタンク８６およびワックスフィルター８８を含む。ワックスタンク８６はバインダーを液状にして溜める装置である。ワックスフィルター８８は粒子状のダストを集塵する装置である。放出物が排気ポンプ３２まで到達されない。

[給液ポンプ]
給液ポンプ４８は圧力容器１２の内壁４４と外壁４６の間に冷却液を供給する。給液ポンプ４８から内壁４４と外壁４６の間に給液パイプ５０が接続されている。給液ポンプ４８から給液パイプ５０を介して内壁４４と外壁４６の間に冷却液が供給できる。内壁４４と外壁４６の間から排液パイプ５２を通して冷却液が排液される。内壁４４と外壁４６の間を冷却液が流れ、圧力容器１２を冷却することができる。排液パイプ５２の途中に冷却装置９０を取り付けて冷却液を冷却し、再び給液ポンプ４８によって内壁４４と外壁４６の間に供給されてもよい。

[バルブ]
給液パイプ５０にバルブ５４が取り付けられている。バルブ５４の開閉によって内壁４４と外壁４６の間への冷却液の供給を制御する。バルブ５４は通常開けられており、制御装置７０から信号が入力されることで閉じられる。制御装置７０が故障してバルブ５４に信号を送信できなくなった場合、バルブ５４が開けられていることで圧力容器１２の温度上昇を抑え、圧力容器１２を保護できる。

[第２温度計]
圧力容器１２に第２温度計９２が取り付けられている。第２温度計９２は熱電対を備えた温度計である。第２温度計９２は複数備えられてもよい。第２温度計９２は圧力容器１２の温度、冷却液の温度またはその両方を測定する。圧力容器１２の温度は外壁４６、内壁４４またはその両方を測定する。冷却液の温度を計測する場合、バルブ５４が閉じられていれば内壁４４と外壁４６の間に溜まった冷却液の温度を計測し、バルブ５４が開けられていれば内壁４４と外壁４６の間を流れる冷却液の温度を計測する。圧力容器１２の温度または冷却液の温度を計測することで、圧力容器１２の温度が上昇しすぎないように監視することができる。

第２温度計９２は圧力容器１２の上部において、圧力容器１２の温度、内壁４４と外壁４６の間の冷却液の温度またはその両方の温度を計測する。圧力容器１２の温度は外壁４６、内壁４４またはその両方を測定する。熱が上方に移動しやすいためであり、圧力容器１２の下部の温度よりも上部の方の温度が高くなるためである。温度が高くなっている部分の温度を計測することで圧力容器１２の損傷を防止する。

さらに第２温度計９２は圧力容器１２の容器本体４０が容器蓋４２で閉じられる部分（フランジ）９４またはその部分９４の付近において、圧力容器１２の温度、内壁４４と外壁４６の間の冷却液の温度またはその両方の温度を計測する。圧力容器１２の温度は外壁４６、内壁４４またはその両方を測定する。上記部分９４は圧力容器１２を密閉するためにオーリングなどの弾性体が使用されており、その弾性体の付近の温度を計測する。弾性体が溶融しないように温度を監視する。

制御装置７０は第２温度計９２の温度が入力される。第２温度計９２の温度が所定値未満であれば、バルブ５４に信号を送信し、バルブ５４を閉じる。第２温度計９２の温度が所定値以上であればバルブ５４に信号を送信せず、バルブ５４を開けた状態にする。圧力容器１２の温度が安全な温度に維持されるようにする。

[ファン]
圧力容器１２の内部空間１４にファン９６が備えられる。ファン９６は、容器蓋４２が閉じられ、断熱体蓋５８が開けられたときに回転する。圧力容器１２の内部空間１４および断熱体１６の内部空間１８をガスが循環する。タイトボックス蓋７６が開けられる場合もある。ファン９６を回転させるためのモーター９８が容器蓋４２に取り付けられている。

断熱体本体５６からファン９６につながるガイド１００を設けてもよい。ガイド１００によって循環するガスの方向を定める。ガスの方向を定められればガイド１００の形状は限定されない。圧力容器１２は二重構造になっており、その内部に冷却液が流れるため、その冷却液によって循環するガスが冷却される。ファン９６と断熱体１６の間に水冷式の熱交換器１０２を配置し、その熱交換器１０２でもガスを冷却してもよい。

[熱処理]
次に本願の工業炉１０を使用した熱処理について説明する。なお、説明する熱処理は一例であり、被処理物２２の種類および処理方法に応じて適宜変更される。

（１）タイトボックス２４の内部空間２８に被処理物２２を収容し、タイトボックス蓋７６、断熱体蓋５８および容器蓋４２を閉じる。

（２）排気ポンプ３２により排気をおこない、圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８を所定の圧力に制御する。この排気と同時に、ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスを導入し、それらの空間１４、１８、２８を所定のガスで満たす。

（３）制御装置７０がスイッチ６６を制御してヒーター２０に電力供給し、断熱体１６の内部空間１８を昇温させる。断熱体１６の内部空間１８に配置されたタイトボックス２４が加熱され、さらに被処理物２２が加熱される。

タイトボックス２４の内部空間２８にある被処理物２２の温度が上昇し、被処理物２２が脱脂される。脱脂するときに、排気ポンプ３２を駆動させ、被処理物２２から生じた放出物は第１排気パイプ３４の途中にあるワックスタンク８６とワックスフィルター８８に溜められる。必要に応じてガス源２６からタイトボックス２４の内部空間２８にガスを供給する。吸気と排気によってタイトボックス２４の内部空間２８を所定の圧力にする。タイトボックス２４の内部空間２８以外に圧力容器１２の内部空間１４と断熱体１６の内部空間１８にもガス源２６からガスを供給してもよい。

熱膨張によってタイトボックス２４が完全に密閉されない。そのため、一部の放出物がタイトボックス２４の外に放出される。放出物は内壁４４および断熱体１６に付着する。

（４）被処理物２２の脱脂が完了した後、ヒーター２０に流す電流の値を変えて、断熱体１６の内部空間１８の温度を変える。たとえば、ヒーター２０に流れる電流を増加させ、被処理物２２の温度を高める。たとえば、約１５００℃以上で被処理物２２を熱処理する。

（５）被処理物２２が熱処理された後、被処理物２２を冷却する。断熱体蓋５８とタイトボックス蓋７６を開ける。ファン９６を回転させてガスを循環させ、被処理物２２を冷却させる。冷却する際、ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスを導入してもよい。

また、給液ポンプ４８を駆動させる。内壁４４と外壁４６の間に冷却液を供給し、圧力容器１２を冷却する。圧力容器１２が冷却されることで、圧力容器１２の内壁４４に触れたガスが冷却される。熱交換器１０２によって循環するガスを冷却してもよい。ガスが冷却されることで、被処理物２２がガスに触れて冷却される。

被処理物２２が冷却されれば、容器蓋４２、断熱体蓋５８およびタイトボックス蓋７６を開け、被処理物２２を取り出す。

以上の工程で被処理物２２に対する熱処理が完了する。熱処理を繰り返すと、内壁４４および断熱体１６に付着した放出物の厚みが厚くなる。特に内壁４４は冷却液によって冷却されるため、放出物の厚みが厚くなりやすい。次に、その放出物の除去方法について説明する。

（Ａ）容器蓋４２を閉じ、断熱体蓋５８を開けた状態でヒーター２０に電力供給する。圧力容器１２の内部空間１４と断熱体１６の内部空間１８を昇温させる。このとき、制御装置７０からバルブ５４に信号を送り、バルブ５４を閉じる。冷却液が内壁４４と外壁４６の間を循環しないようにする。圧力容器１２が冷却されず、少なくとも圧力容器１２の内壁４４が昇温される。

ガス源２６から圧力容器１２の内部空間１４および断熱体１６の内部空間１８にガスを供給してもよい。供給するガスは圧力容器１２、断熱体１６およびタイトボックス２４などを腐食させないガスが良い。供給するガスは窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどである。ファン９６を回転させて圧力容器１２の内部空間１４でガスを循環させてもよい。

（Ｂ）圧力容器１２の内部空間１４と断熱体１６の内部空間１８が昇温されることで、放出物が溶融する。さらに、ガスがヒーター２０で加熱されて放出物に直接熱伝導することで、放出物が溶融される。溶融した放出物は重力によって圧力容器１２の内壁４４の下部に集まる。

断熱体蓋５８が開けられ、かつ冷却液の供給を停止しているため、圧力容器１２の内部空間１４の温度が上昇する。圧力容器１２が所定温度以上にならないようにする。たとえば、圧力容器１２の容器本体４０が容器蓋４２で閉じられる部分９４の温度が所定温度以上にならないようにして、その部分９４に使用されている弾性体が溶融しないようにする。所定温度は弾性体の溶融温度よりも低くする。第２温度計９２で計測された温度が所定温度以上になっていれば、バルブ５４を開けて冷却液を流す。

（C）ヒーター２０への電力供給を停止する。制御装置７０からバルブ５４に信号を送信する。圧力容器１２が冷却されれば、容器蓋４２を開ける。圧力容器１２の内壁４４の下部に集まった放出物を圧力容器１２の外に棒等で掻き出すことで、放出物を除去する。

以上のように、本願は圧力容器１２の内壁４４などに付着した放出物を溶融させて除去しやすくしている。

[実施形態２]
第２温度計９２は圧力容器１２の上部において、圧力容器１２、冷却液またはその両方を測定する以外に、圧力容器１２の他の部分で圧力容器１２、冷却液またはその両方を測定してもよい。圧力容器１２の複数の部分で温度を測定して最も温度の高い値に基づいて制御装置７０がバルブ５４の開閉を制御する。

[実施形態３]
放出物を除去するために、制御装置７０はヒーター２０に流れる電流を制御してもよい。制御装置７０に入力された温度および電流値に応じてスイッチ６６のオン・オフを制御する。第２温度計９２で計測される温度が所定値以上にならないようにヒーター２０に供給する電力を制御する。なお、第２温度計９２で計測される温度が所定値以上になった場合、制御装置７０からバルブ５４に信号を送信してバルブ５４を開けてもよい。

[実施形態４]
バルブ５４の制御は上述した方法に限定されない。制御装置７０からバルブ５４に信号を送信することでバルブ５４を開けてもよい。バルブ５４は所定温度以上で開けられ、所定温度未満で閉じられれば、バルブ５４の制御方法は限定されない。

[実施形態５]
バルブ５４の開閉以外に、給液ポンプ４８の駆動と停止によって冷却液の供給を制御してもよい。冷却液を供給するときに給液ポンプ４８が駆動される。バルブ５４を省略してもよい。給液ポンプ４８の駆動は制御装置７０によって制御される。

[実施形態６]
図４に示すように、断熱体本体５６を圧力容器１２の内部空間１４の上部にずれるように配置してもよい。圧力容器１２の内部空間１４の下部において、内壁４４と断熱体本体５６の隙間が大きくなり、放出物を除去しやすくなる。

図５に示すように、圧力容器１２の下部に凹部１１０を設け、放出物が凹部１１０に溜まるようにしてもよい。凹部１１０に傾斜を設け、一か所に放出物が集まるようにしてもよい。

（第１項）一態様に係る工業炉は、内壁および外壁を備えた容器状の圧力容器と、前記圧力容器の内部空間に配置され、断熱体本体および該断熱体本体を開閉する断熱体蓋を備えた断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、ガス源と、前記ガス源から圧力容器の内部空間または断熱体の内部空間をつなぐ供給パイプとを備え、前記断熱体の断熱体蓋を開けた状態でガス源から圧力容器の内部空間および断熱体の内部空間にガスを供給し、ヒーターが加熱される。

第１項に記載の工業炉によれば、断熱体蓋を開けた状態でヒーターが加熱されるため、内壁に付着した放出物を直接加熱し、溶融させることができる。溶融した放出物は圧力容器の下部に流れ落ちる。集まった放出物を除去することで、簡単に放出物を除去できる。

（第２項）前記ガスは前記圧力容器または前記断熱体に付着した放出物を直接加熱し、溶融させるガスである。

第２項に記載の工業炉によれば、圧力容器または断熱体に付着した放出物を溶融させることで、放出物を除去できる。

（第３項）冷却液を吐出する給液ポンプと、前記給液ポンプから前記圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液を導く給液パイプとを備える。

第３項に記載の工業炉によれば、圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液を流し、圧力容器を冷却することができる。

（第４項）前記圧力容器、冷却液またはその両方の温度を測定する温度計を備え、前記温度計で測定された温度が所定以上の場合に、給液ポンプから圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液が導かれる。

第４項に記載の工業炉によれば、圧力容器が所定温度以上にならないようにすることで、圧力容器を保護できる。

（第５項）前記温度計が圧力容器の上部の温度、圧力容器の上部の内壁と外壁の間にある冷却液の温度、またはその両方を測定する。

第５項に記載の工業炉によれば、圧力容器の温度が上昇しやすい部分の温度を測定することで、圧力容器の温度が所定温度を超えないように制御することができる。

（第６項）前記圧力容器の内部空間にファンを備える。

第６項に記載の工業炉によれば、圧力容器内のガスを循環させて、均一に放出物を加熱することができる。

その他、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。説明した各実施形態は独立したものではなく、当業者の知識に基づき適宜組み合わせて実施できるものである。

１０：工業炉
１２：圧力容器
１４：圧力容器の内部空間
１６：断熱体
１８：断熱体の内部空間
２０：ヒーター
２２：被処理物
２４：タイトボックス
２６：ガス源
２８：タイトボックスの内部空間
３２：排気パイプ
４４：圧力容器の内壁
４６：圧力容器の外壁
４８：給液ポンプ
５０：給液パイプ
５４：バルブ

Claims

被処理物を熱処理する工業炉であって、
内壁、外壁および容器蓋を備えた容器状の圧力容器と、
前記圧力容器の内部空間に配置され、断熱体本体および該断熱体本体を開閉する断熱体蓋を備えた断熱体と、
前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、
ガス源と、
前記ガス源から圧力容器の内部空間または断熱体の内部空間をつなぐ供給パイプと、
を備え、
前記容器蓋を閉じ、前記断熱体本体の断熱体蓋を開けた状態でガス源から圧力容器の内部空間および断熱体の内部空間にガスを供給し、ヒーターが加熱され、前記圧力容器の内部空間が昇温されることにより、前記被処理物が熱処理されるときに被処理物から放出された放出物であって前記圧力容器の内壁又は前記断熱体の表面に積層された放出物を溶解する、工業炉。
前記ガスは前記圧力容器または前記断熱体に付着した放出物を直接加熱し、溶融させるガスである請求項１の工業炉。
冷却液を吐出する給液ポンプと、
前記給液ポンプから前記圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液を導く給液パイプと、
を備えた請求項１または２の工業炉。
前記圧力容器、冷却液のいずれか、またはその両方の温度を測定する温度計を備え、
前記温度計で測定された温度が所定以上の場合に、給液ポンプから圧力容器の内壁と外壁の間に冷却液が導かれる請求項３の工業炉。
前記温度計が圧力容器の上部の温度、圧力容器の上部の内壁と外壁の間にある冷却液の温度のいずれか、またはその両方を測定する請求項４の工業炉。
前記圧力容器の内部空間にファンを備えた請求項１から５のいずれかの工業炉。
前記被処理物が取り出されており、前記容器蓋を閉じ、前記断熱体本体の断熱体蓋を開けた状態でガス源から圧力容器の内部空間および断熱体の内部空間にガスを供給し、ヒーターが加熱され、前記圧力容器の内部空間が昇温されることにより、前記被処理物が熱処理されるときに被処理物から放出された放出物であって前記圧力容器の内壁又は前記断熱体の表面に積層された放出物を溶解する、請求項１に記載の工業炉。