JP7397590B2 - 粉体の成形体、及び、フィラー粉体 - Google Patents
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Description
要件1:-200℃~1200℃における少なくとも一つの温度T1で前記粉体の|dA(T)/dT|が10ppm/℃以上を満たす。
Aは(前記粉体中の結晶のa軸(短軸)の格子定数)/(前記粉体中の結晶のc軸(長軸)の格子定数)であり、各前記格子定数は前記粉体のX線回折測定から得られる。
Aは(前記粉体中の結晶のa軸(短軸)の格子定数)/(前記粉体中の結晶のc軸(長軸)の格子定数)であり、各前記格子定数は前記粉体のX線回折測定から得られる。
本実施形態にかかる粉体の成形体は、以下の要件1~要件3を満たす。
Aは(前記粉体中の結晶のa軸(短軸)の格子定数)/(前記粉体中の結晶のc軸(長軸)の格子定数)であり、各前記格子定数は前記粉体のX線回折測定から得られる。
Aの定義における格子定数は、粉末X線回折測定により特定される。解析法としてはRietveld法や、最小二乗法によるフィッティングによる解析がある。
ここで、本明細書においては、|dA(T)/dT|は、以下の式により定義される。
|dA(T)/dT|=|A(T+50)-A(T)|/50 …(D)
粉体は、少なくとも一つの金属元素又は半金属元素を含み、当該少なくとも一つの金属元素又は半金属元素は、上述の群から選択される元素のみからなる。すなわち、粉体は、当該群から選択される元素以外の金属元素又は半金属元素を含まない。
次に、本発明の第2実施形態に係るフィラー粉体について説明する。
Aは(前記粉体中の結晶のa軸(短軸)の格子定数)/(前記粉体中の結晶のc軸(長軸)の格子定数)であり、各前記格子定数は前記粉体のX線回折測定から得られる。
フィラー粉体、及び、珪酸ナトリウム水溶液の混合物を調製する。混合物において、フィラー粉体88重量部に対する珪酸ナトリウム(固体分)の量が12重量部となるように重量比を調製する。混合物における水の量は特に限定されないが、混合物における固形分濃度(珪酸ナトリウム+フィラー粉体)が83重量%程度となるように調製することが好適である。
得られた混合物をポリテトラフルオロエチレン製の鋳型に入れ、以下の硬化プロファイルで硬化させる。
80℃まで15分で昇温、80℃で20分保持、その後、150℃まで20分で昇温、150℃で60分保持する。さらに、その後320℃まで昇温させ10分保持し、降温する処理を行い、基準固体組成物を得る。
第一の材料としては、特に限定はされないが、樹脂、アルカリ金属珪酸塩、セラミックス、金属などを挙げることができる。第一の材料は、上記のフィラー粉体同士を結合させるバインダ材料、又は、上記の粉体を分散状態で保持するマトリクス材料であることができる。
セラミックスは、耐熱性を高くできるので好ましい。放電プラズマ焼結などによって焼結体を作ることができる。
固体組成物は、第一の材料及び粉体以外のその他の成分を含んでいてもよい。例えば、触媒が挙げられる。触媒としては、特に限定はされないが、酸性化合物、アルカリ性化合物、有機金属化合物などが挙げられる。酸性化合物としては、塩酸、硫酸、硝酸、燐酸、燐酸、蟻酸、酢酸、蓚酸等の酸を用いることができる。アルカリ性化合物としては、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム等を用いることができる。有機金属化合物触媒としては、アルミニウム、ジルコニウム、スズ、チタン、亜鉛を含むもの等が挙げられる。
固体組成物中のフィラー粉体の含有量は、通常、3重量%以上、95重量%以下であり、5重量%以上、95重量%以下含有されていることが好ましい。この含有量であることで、熱線膨張係数の低減効果が現れる。より好ましくは10重量%以上、さらに好ましくは40重量%以上、であり70重量%以上がさらに好ましい。
上記実施形態にかかる粉体の成形体及び粉体フィラーを含む固体組成物は、機械部材、容器、光学部材、電子デバイス用部材、接着剤であることができる。
機械部材とは、種々の機械装置を構成する部材である。機械装置の例は、切削装置などの工作機械、プロセス機器、半導体製造装置である。機械部材の例は、固定機構、移動機構、工具などである。上記粉体の成形体、及び、固体組成物を用いた放熱部材によれば、熱膨張による寸法ずれを抑制することができ、工作精度、加工精度などの精度の向上が可能となる。また、異なる材料の部材間の接合部分に用いることも好適である。
容器とは、気体、液体、固体などを収容するための部材である。例えば、容器の例は、成形体を作製するための金型である。例えば金型においては、熱膨張によって寸法が変化すると、成形体の寸法精度が保てないなどの問題が生じることから、本実施形態の粉体の成形体及び固体組成物を適用するのに好適である。
光学部材の例は、光ファイバ、光導波路、レンズ、反射鏡、プリズム、光学フィルタ、回折格子、ファイバーグレーティング、波長変換部材である。レンズの例は、光ピックアップレンズ、カメラ用レンズである。光導波路の例は、アレイドウエーブガイドや平面光回路である。
電子デバイス用部材の例は、封止部材、回路基板、プリプレグ、フィルム状接着剤、導電ペースト、異方性導電フィルム、絶縁シートである。
接着剤の例は、マトリックス材としてのエポキシ、シリコーン樹脂などの熱硬化性樹脂と、上記のフィラー粉体とを含む。接着剤は硬化前は液状であることができる。この接着剤の硬化物は、低い熱線膨張係数を有することができるので、割れを抑制することが可能になる。特に、熱負荷のかかる耐熱接着部材への適用などに好適である。
1.粉体の結晶構造解析
結晶構造の解析として、粉末X線回折測定装置SmartLab(リガク社製)を用いて、下記の条件で温度を変えて粉体を粉末X線回折測定し、粉末X線回折図形を得た。得られた図形に基づいて、PDXL2(リガク社製)ソフトウェアを用い、最小二乗法による格子定数の精密化を行い、2つの格子定数、すなわち、a軸長、及び、c軸長を求めた。
測定装置: 粉末X線回折測定装置SmartLab(Rigaku製) X線発生器: CuKα線源 電圧45kV、電流200mA
スリット: スリット幅2mm
スキャンステップ:0.02deg
スキャン範囲:5-80deg
スキャンスピード:10deg/min
X線検出器: 一次元半導体検出器
測定雰囲気: Ar 100mL/min
試料台: 専用のガラス基板SiO2製
測定装置:Thermo plus EVO2 TMAシリーズ Thermo plus 8310
リファレンス:アルミナ
温度領域:25℃-320℃とし、代表値として190-210℃における熱線膨張係数の値を算出した。
固体組成物の典型的な大きさとしては、15mm×4mm×4mmとした。
15mm×4mm×4mmの固体組成物について、最長辺を試料長Lとして温度Tにおける試料長L(T)を測定した。30℃の試料長(L(30℃)に対する寸法変化率ΔL(T)/L(30℃)を下記式により算出した。
ΔL(T)/L(30℃)=(L(T)-L(30℃))/L(30℃)
本明細書では、温度Tでの熱線膨張係数αを以下のように定義する。
α(1/℃)=
(ΔL(T+20℃)-ΔL(T))/(L(30℃)×20℃)
本実施例では、T=190℃とし、190℃及び210℃の各温度で寸法変化率ΔL(T)/L(30℃)を求め、T=190℃での熱線膨張係数α(1/℃)、言い換えると、190℃~210℃における熱線膨張係数α(1/℃)を下記式により算出した。
α(1/℃)=(ΔL(210℃)-ΔL(190℃))/(L(30℃)×20℃)
フィラー粉体として、Ti2O3粉(高純度化学社製、150μmPass、純度99.9%)を準備した。
80重量部の各フィラー粉体、20重量部の富士化学社製の一号珪酸ソーダ(珪酸ナトリウム水溶液)、10重量部の純水を混合して混合物を得た。富士化学社製の一号珪酸ソーダ中の固形分は約55重量%であった。
得られた混合物をポリテトラフルオロエチレン製の鋳型に入れ、以下の硬化プロファイルで硬化させた。
80℃まで15分で昇温、80℃で20分保持、その後、150℃まで20分で昇温、150℃で60分保持する。さらに、その後320℃まで昇温させ10分保持し、降温する処理を行い、以上の工程から基準固体組成物を得た。
実施例1のTi2O3粉(高純度化学社製、150μmPass、純度99.9%)を以下の条件でビーズミルにより粉砕して、実施例2で用いるフィラー粉体を得た。
粉砕条件:ビーズミルとして、アイメックス株式会社製のバッチ式レディーミル(RM B-08)を用いた。800cm3のベッセルを用い、1348rpm、周速5m/sの条件で粉砕をした。1mmの粒子径のZrO2ビーズを用い、水217g、ZrO2を613g、Ti2O3(高純度化学社製、150μmPass、24.9g)の割合で混合し、10分間粉砕した。
上記フィラー粉体を用いる以外は実施例1と同様にして基準固体組成物を得た。
粉体としてTi2O3粉(フルウチ化学社製、300mesh、純度99.9%)を用意し、放電プラズマ焼結して実施例3の成形体(焼結体)を得た。
放電プラズマ焼結には、放電プラズマ焼結装置 ドクターシンターラボ SPS-511S(富士電波工機社製)を用いた。Ti2O3粉を専用のカーボン製ダイに詰めて、下記の条件にて放電プラズマ焼結を行った。
装置: ドクターシンターラボSPS-511S(富士電波工機社製)
試料: Ti2O3粉(フルウチ化学社製、300mesh、純度99.9%) 5.6g
ダイ: 専用のカーボン製ダイ 内径20mmφ
雰囲気: アルゴン0.05MPa
圧力: 40MPa(3.1kN)
加熱: 1250℃ 10分間
フィラー粉体としてAl2O3粉(住友化学社製、AKP-15)を用意した。このフィラー粉体を用いる以外は実施例1と同様にして基準固体組成物を得た。
なお、比較例1では、25~320℃の温度範囲内で、熱線膨張係数αはいずれも正であった。
Claims (5)
- 以下の要件1~要件3を満たす、粉体の成形体。
要件1:-200℃~1200℃における少なくとも一つの温度T1で前記粉体の|dA(T)/dT|が10ppm/℃以上を満たす。
Aは(前記粉体中の結晶のa軸(短軸)の格子定数)/(前記粉体中の結晶のc軸(長軸)の格子定数)であり、各前記格子定数は前記粉体のX線回折測定から得られる。
要件2:前記粉体が少なくとも一つの金属元素又は半金属元素を含み、前記少なくとも一つの金属元素又は半金属元素は、Li,Na,Mg,Al,Si,K,Ca,Sc、Ti,V,Cr,Mn、Fe,Co,Ni,Cu,Zn,Ga,Ge,Rb,Sr,Y,Zr,Nb,Mo,Tc、Ag,Cd,In,Sn,Sb,Te,Cs,Ba,Hf,Ta,W,Re,Au,Hg,Tl,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho、Er,Tm,Yb,及び、Luからなる群から選択される元素のみからなり、前記粉体はチタンを含む金属酸化物粉である。ただし、前記チタンを含む金属酸化物粉が、B、C、P、As、Se、Bi、Po、又は、Atを含む場合を除く。
要件3:前記成形体の-200℃~1200℃における熱線膨張係数が少なくとも一つの温度で負となる。 - 前記チタンを含有する金属酸化物粉が、TiOx(x=1.30~1.66)粉である請求項1に記載の成形体。
- 放熱部材、機械部材、容器、光学部材、電子デバイス用部材、又は、接着剤である、請求項1又は2に記載の成形体。
- 以下の要件1、要件2、及び、要件4を満たす、フィラー粉体。
要件1:-200℃~1200℃における少なくとも一つの温度T1で前記フィラー粉体の|dA(T)/dT|が10ppm/℃以上を満たす。
Aは(前記フィラー粉体中の結晶のa軸(短軸)の格子定数)/(前記フィラー粉体中の結晶のc軸(長軸)の格子定数)であり、各前記格子定数は前記フィラー粉体のX線回折測定から得られる。
要件2:前記フィラー粉体が少なくとも一つの金属元素又は半金属元素を含み、前記少なくとも一つの金属元素又は半金属元素は、Li,Na,Mg,Al,Si,K,Ca,Sc、Ti,V,Cr,Mn、Fe,Co,Ni,Cu,Zn,Ga,Ge,Rb,Sr,Y,Zr,Nb,Mo,Tc、Ag,Cd,In,Sn,Sb,Te,Cs,Ba,Hf,Ta,W,Re,Au,Hg,Tl,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho、Er,Tm,Yb,及び、Luからなる群から選択される元素のみからなり、前記フィラー粉体はチタンを含む金属酸化物粉である。ただし、前記チタンを含む金属酸化物粉が、B、C、P、As、Se、Bi、Po、又は、Atを含む場合を除く。
要件4:88重量部の前記フィラー粉体及び12重量部の珪酸ナトリウムを含む固体組成物における25~320℃における熱線膨張係数が少なくとも一つの温度で負となる。 - 前記チタンを含有する金属酸化物粉が、TiOx(x=1.30~1.66)粉である請求項4に記載のフィラー粉体。
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