JP7394632B2 - アレーアンテナ及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
一実施形態に係るプラズマ処理装置10について、図1を用いて説明する。図1は、一実施形態に係るプラズマ処理装置10の一例を示す断面模式図である。プラズマ処理装置10は、マイクロ波プラズマ処理装置を一例に挙げて説明する。
図1に示すように、隣接するモノポールアンテナの間に結合防止素子30が2つずつ配置されている。結合防止素子30は、モノポールアンテナ間の電磁気的な結合を抑制するように構成される。以下では、従来、結合防止素子30を配置しない場合のモノポールアンテナ間の電磁気的な結合について図4を参照しながら説明する。その後、実施形態に係る結合防止素子30の電磁気的な結合抑制機能について図5を参照しながら説明する。図4は、従来のアンテナ間の電磁気的な結合を説明するための図である。図5は、実施形態に係る結合防止素子30によるアンテナ間の電磁気的な結合抑制を説明するための図である。説明の便宜のため、モノポールアンテナ2a、2bを例に挙げて説明するが、実施形態では隣接するモノポールアンテナの間のそれぞれに2つずつ結合防止素子30が配置されている。
次に、結合防止素子30の動作とメタマテリアルの機能について、図6を参照しながら更に詳細に説明する。図6(a)は、実施形態に係る天壁9の下面9aに接続された結合防止素子30の構成と配置の一例を示す図である。図6(b)は、図6(a)の等価回路である。
次に、実施例に係る結合防止素子30の配置の一例について、図7を参照しながら説明する。図7および図8は、実施例に係る結合防止素子30の配置の一例を示す図である。図7は、プラズマ処理装置10を上面視し、上からモノポールアンテナ及び結合防止素子30を見た図である。図7は、説明の便宜のために、4つのモノポールアンテナ2a~2dが配置されている例を示す。
2 アレーアンテナ
2a~2g モノポールアンテナ
3 ステージ
5 誘電体窓
6 マイクロ波出力部
7 電力・位相制御部
8 制御部
9 天壁
10 プラズマ処理装置
11 アンテナ部
12 側壁
30 結合防止素子
31 第1の部材
32 第2の部材
Claims (6)
- プラズマ処理装置のチャンバ内に電磁波を放射するアレーアンテナであって、
複数のアンテナと、
複数の前記アンテナのうち隣接する前記アンテナの間のそれぞれに間隔を設けて配置されている複数の結合防止素子と、を有し、
複数の前記結合防止素子のそれぞれは、
前記チャンバ内にてグランド面を構成する天壁に接続された第1の部材と、
前記第1の部材の先端又はその近傍に接続され、三角形以上の多角形であり、前記多角形の隣接する辺同士を相対させて配置されている第2の部材と、を有する、アレーアンテナ。 - 複数の前記結合防止素子は、前記アンテナの間を結ぶ線上に配置されている、
請求項1に記載のアレーアンテナ。 - 複数の前記アンテナ及び複数の前記結合防止素子は、前記チャンバ内を仕切る誘電体窓よりも上部の閉空間に配置されている、
請求項1又は2に記載のアレーアンテナ。 - 前記チャンバ内にてグランド面を構成する側壁に隣接する前記アンテナと前記側壁の間のそれぞれに、1以上の前記結合防止素子が配置されている、
請求項1~3のいずれか一項に記載のアレーアンテナ。 - チャンバと、前記チャンバ内に電磁波を放射するアレーアンテナとを有するプラズマ処理装置であって、
複数のアンテナと、
複数の前記アンテナのうち隣接する前記アンテナの間のそれぞれに間隔を設けて配置された複数の結合防止素子と、を有し、
複数の前記結合防止素子のそれぞれは、
前記チャンバ内にてグランド面を構成する天壁に接続された第1の部材と、
前記第1の部材の先端又はその近傍に接続され、三角形以上の多角形であり、前記多角形の隣接する辺同士を相対させて配置されている第2の部材と、
を有する、プラズマ処理装置。 - チャンバと、
前記チャンバ内を、基板にプラズマ処理を行う処理室と閉空間とに仕切る誘電体窓と、
前記閉空間に設けられ、前記処理室内に電磁波を放射するアレーアンテナと、を有するプラズマ処理装置であって、
前記アレーアンテナは、
複数のアンテナと、
複数の前記アンテナのうち隣接する前記アンテナの間のそれぞれに間隔を設けて配置された複数の結合防止素子と、を有し、
複数の前記結合防止素子のそれぞれは、
前記チャンバ内にてグランド面を構成する天壁に接続された第1の部材と、
前記第1の部材の先端又はその近傍に接続された第2の部材と、
を有する、プラズマ処理装置。
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