JP7390162B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
すなわち、従来の装置では、処理ブロックがユーザの仕様どおりに組み立てられているか否かを確認するために、ユーザの仕様書と、処理ブロックに組み込まれた各処理ユニットの種類と位置などとを作業者が目視で比較している。そのため、ユーザが所望するとおりに構成されていることの確認が非常に煩雑であるという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板に処理を行う基板処理装置において、基板を収納するキャリアを載置するキャリア載置部を備え、キャリア載置部のキャリアから基板を取り出し、キャリア載置部のキャリアへ基板を収納するインデクサロボットを備えたインデクサブロックと、基板に対して処理を行う処理ユニットを複数個備え、前記インデクサブロック及び前記各処理ユニットの間で基板を受け渡すセンターロボットを備えた処理ブロックと、前記各処理ユニットの処理種別を表す種別情報と、前記処理ブロック内における前記各処理ユニットが取り付けられた位置を表す位置情報とを少なくとも含む機器情報を読み取る読み取り手段と、前記読み取り手段が前記機器情報を読み取った際の、前記処理ブロック内における前記読み取り手段の位置を検出位置情報として出力する出力手段と、ユーザの仕様に応じた前記機器情報に相当するユーザ仕様情報を記憶する記憶部と、前記読み取り手段からの前記機器情報と、前記出力手段からの前記検出位置情報とを比較して、前記機器情報の位置情報と前記検出位置情報とが一致しているか否か、及び、前記読み取り手段からの前記機器情報と、前記記憶部のユーザ仕様情報とを比較して、一致しているか否かを判別する判別手段と、前記判別手段による判別結果が不一致である場合には警報を報知する報知手段と、を備えていることを特徴とするものである。
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例えば、基板処理装置1の最終組み立て確認作業者が入力部99を操作して、確認動作を指示する。すると、制御部85は、ホストコンピュータHCからユーザ仕様情報を受け取る。ここでは、例えば、上述した 「ユーザ仕様情報」がユーザ仕様情報記憶部87に記憶される。
制御部85は、センターロボットCR1,CR2を操作してカメラ77を移動させ、全処理ユニットPUのラベル81を撮影させる。情報認識部93は、カメラ77からの出力に基づいて各処理ユニットPUのラベル81に記載された情報を認識し、その情報を読み取り機器情報記憶部95に記憶させる。このとき、その情報は、アーム制御部97からの検出位置情報と対応づけて読み取り機器情報記憶部95に記憶される。
判別部89は、読み取り機器情報記憶部95に記憶されている機器情報のうちの位置情報と、対応づけられた検出位置情報とを比較する。さらに、読み取り機器情報記憶部95の機器情報と、ユーザ仕様情報記憶部87のユーザ仕様情報とを比較する。
判別部89は、上記ステップS3における比較の結果に応じて処理を分岐する。つまり、比較の結果、一致している場合には、ステップS5に分岐し、不一致である場合には、ステップS6に分岐する。
判別部89の判断の結果が正常であるので、報知部91にそのことを報知させる。報知部91がディスプレイで構成されている場合には、例えば、「機器構成は正常です」といった表示を行わせる。
判別部89の判断の結果が異常であるので、報知部91にそのことを報知させる。報知部91がディスプレイで構成されている場合には、例えば、「機器構成は問題があります」といった警告を表示させる。
1 … 基板処理装置
3 … インデクサブロック
5 … パス部
7 … 処理ブロック
9 … 搬送ブロック
11 … ユーティリティブロック
HC … ホストコンピュータ
BU … 熱処理ユニット
SU … スピンユニット
CU … 塗布処理ユニット
DU … 現像処理ユニット
T … 上段
B … 下段
CR1,CR2 … センターロボット
71 … アーム
73 … センサ枠体
75 … 枠体
77 … カメラ
81 … ラベル
85 … 制御部
87 … ユーザ仕様情報記憶部
89 … 判別部
93 … 情報認識部
95 … 読み取り機器情報記憶部
97 … アーム制御部
99 … 入力部
Claims (7)
- 基板に処理を行う基板処理装置において、
基板を収納するキャリアを載置するキャリア載置部を備え、キャリア載置部のキャリアから基板を取り出し、キャリア載置部のキャリアへ基板を収納するインデクサロボットを備えたインデクサブロックと、
基板に対して処理を行う処理ユニットを複数個備え、前記インデクサブロック及び前記各処理ユニットの間で基板を受け渡すセンターロボットを備えた処理ブロックと、
前記各処理ユニットの処理種別を表す種別情報と、前記処理ブロック内における前記各処理ユニットが取り付けられた位置を表す位置情報とを少なくとも含む機器情報を読み取る読み取り手段と、
前記読み取り手段が前記機器情報を読み取った際の、前記処理ブロック内における前記読み取り手段の位置を検出位置情報として出力する出力手段と、
ユーザの仕様に応じた前記機器情報に相当するユーザ仕様情報を記憶する記憶部と、
前記読み取り手段からの前記機器情報と、前記出力手段からの前記検出位置情報とを比較して、前記機器情報の位置情報と前記検出位置情報とが一致しているか否か、及び、前記読み取り手段からの前記機器情報と、前記記憶部のユーザ仕様情報とを比較して、一致しているか否かを判別する判別手段と、
前記判別手段による判別結果が不一致である場合には警報を報知する報知手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記機器情報は、前記各処理ユニットの前記センターロボット側に貼付されたラベルに記載されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
前記機器情報は、文字列で構成されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記読み取り手段は、前記センターロボットに取り付けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置において、
前記センターロボットは、前記各処理ユニットに進退可能であって、基板を保持するアームを備えているとともに、前記アームの上部に配置され、前記アームにおける基板の位置を検出するセンサが取り付けられた枠体を備え、
前記読み取り手段は、前記枠体における前記アームの先端側に取り付けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記読み取り手段は、前記機器情報を画像化する撮影手段であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から6のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記記憶部は、ネットワークを介してサーバから前記ユーザ仕様情報を記憶されることを特徴とする基板処理装置。
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