JP7385421B2 - 露光装置、および物品製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態における露光装置の構成を示す図である。本明細書および図面において、水平面をXY平面とするXYZ座標系において方向が示される。一般には、被露光対象である基板Wは、その表面が水平面(XY平面)と平行になるように基板ステージ5の上に置かれる。よって以下では、基板Wの表面に沿う平面内で互いに直交する方向をX軸およびY軸とし、X軸およびY軸に垂直な方向をZ軸とする。この場合、照明光学系2から射出されて原版Mに入射する光の光軸の方向はZ軸方向に平行な方向になる。また、以下では、XYZ座標系におけるX軸、Y軸、Z軸にそれぞれ平行な方向をX方向、Y方向、Z方向という。
図6は、第2実施形態における露光装置の構成を示す図である。なお、以下の説明で特に言及されていない箇所については、第1実施形態と同様である。第2実施形態は、原版ステージ1まわりの雰囲気を空調する場合において、孔13の有効な配置方法を示す。
図7は、第3実施形態における露光装置の構成を示す図である。なお、以下の説明で特に言及されていない箇所については、第1実施形態及び第2実施形態と同様である。第3実施形態では、図7(b)に示すように、第1部材12に、原版交換用の開口部を開閉するシャッタ23が形成されている。シャッタ23は、レチクルチェンジャ8によって原版を交換する際に開状態とされる。
本発明の実施形態に係る物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (9)
- 原版と基板とを走査しながら前記基板を走査露光する露光装置であって、
前記原版を保持して移動するステージと、
前記ステージに形成されている前記原版の収容部の前記走査露光中の移動範囲を上方から覆うように配置された第1部材と、
前記第1部材より下方の前記原版の周囲の空間における空気と置換するためのガスを供給する供給部と、
を有し、
前記第1部材には、前記第1部材の上方に配置された計測部からの計測光が通過する、上面と下面とを連通する孔が形成されており、
前記ステージの前記第1部材と対向する面には、前記孔から流入した空気を溜めるための凹部が形成されており、
前記原版が前記孔から遠ざかる向きへの前記ステージの走査駆動によって前記ステージが駆動範囲の端にあるときに、前記孔と前記原版との間の空気の流路の途中に前記凹部が位置している、ことを特徴とする露光装置。 - 前記ステージに形成されている前記原版を透過した光が通過する開口部の前記走査露光中の移動範囲を下方から覆うように配置された第2部材を更に有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記ステージによって保持された前記原版を照明する照明光学系と、
前記照明光学系によって照明された前記原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
を更に有し、
前記第1部材は前記照明光学系に取り付けられ、前記第2部材は前記投影光学系に取り付けられている、ことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。 - 前記凹部の開口面積は前記孔の開口面積より大きいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記孔の開口部には、前記第1部材から上方に突出する突出壁が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記ステージの前記走査駆動の方向と平行な一方向に気体を供給する気体供給部から前記第1部材と前記ステージとの間に供給される前記気体の気流に関して、前記孔は、前記第1部材の前記照明光学系より下流側の位置に形成されることを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- 前記第1部材に形成された原版交換用の開口部を開閉するシャッタを有し、前記シャッタに前記孔が形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の露光装置。
- 原版と基板とを走査しながら前記基板を走査露光する露光装置であって、
前記原版を保持して移動するステージと、
前記ステージに形成されている前記原版を透過した光が通過する開口部の前記走査露光中の移動範囲を下方から覆うように配置された第2部材と、
前記第2部材より上方の前記原版の周囲の空間における空気と置換するためのガスを供給する供給部と、
を有し、
前記第2部材には、前記第2部材の下方に配置された計測部からの計測光が通過する、上面と下面とを連通する孔が形成されており、
前記ステージの前記第2部材と対向する面には、前記孔から流入した空気を溜めるための凹部が形成されており、
前記原版が前記孔から遠ざかる向きへの前記ステージの走査駆動によって前記ステージが駆動範囲の端にあるときに、前記孔と前記原版との間の空気の流路の途中に前記凹部が位置している、ことを特徴とする露光装置。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、
を含み、前記現像された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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