JP7381374B2 - マスクブランクス、位相シフトマスク、製造方法 - Google Patents
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Description
1.光学特性を正確に設定した位相シフトマスクの製造を可能とすること。
2.パターン形成における基板へのエッチングによる影響を低減すること。
3.形成したパターンにおける断面形状の正確性を向上すること。
4.位相シフトマスクの高精細化を可能とすること。
透明基板に積層された位相シフト層と、
前記位相シフト層よりも前記透明基板から離間する位置に設けられた遮光層と、
を有し、
前記遮光層がクロムを含有し、
前記位相シフト層がモリブデンシリサイドと炭素とを含有し、炭素濃度が5atm%~15atm%の範囲を有し、
前記位相シフト層において、前記遮光層に近接する表面の炭素濃度が、前記透明基板に近接する位置の炭素濃度よりも低く、
前記位相シフト層において、前記遮光層に近接する表面の炭素濃度が、前記透明基板に近接する表面の炭素濃度よりも20%以上低く、
前記位相シフト層は、膜厚方向において前記遮光層に近接する位置に、前記位相シフト層における炭素濃度の最大値と最小値との半値よりも低い炭素濃度である低炭素領域を有し、
前記位相シフト層において、前記低炭素領域の膜厚が、前記位相シフト層の膜厚に対して、
1/4以下の範囲
に設定される
ことにより上記課題を解決した。
本発明のマスクブランクスは、前記位相シフト層が窒素を含有し、窒素濃度が30atm%~40atm%の範囲を有する
ことができる。
本発明のマスクブランクスは、前記位相シフト層が酸素を含有し、酸素濃度が8atm%~15atm%の範囲を有する
ことができる。
本発明のマスクブランクスは、前記位相シフト層において、モリブデン濃度が20atm%~30atm%の範囲を有する
ことができる。
本発明のマスクブランクスは、前記位相シフト層において、シリコン濃度が10atm%~25atm%の範囲を有する
ことができる。
本発明のマスクブランクスは、前記位相シフト層において、抵抗率が、
5.5×10-1Ωcm以下の範囲を有する
ことができる。
本発明のマスクブランクスは、前記位相シフト層において、モリブデンとシリコンとの組成比が、
1 ≦ Si/Mo
に設定される
ことができる。
本発明のマスクブランクスは、前記位相シフト層は、膜厚が、
100nm~200nmの範囲
に設定される
ことができる。
本発明のマスクブランクスは、前記位相シフト層において、膜厚方向で前記遮光層から前記透明基板に向かう方向に、炭素濃度が増加する濃度傾斜を有する
ことができる。
本発明のマスクブランクスの製造方法は、上記のいずれか記載のマスクブランクスの製造方法であって、
前記透明基板にスパッタリングによりモリブデンシリサイドと炭素とを含有する前記位相シフト層を積層する位相シフト層形成工程と、
前記位相シフト層よりも前記透明基板から離間する位置にクロムを含有する前記遮光層を積層する遮光層形成工程と、
を有し、
前記位相シフト層形成工程において、
スパッタリングにおける供給ガスとして、炭素含有ガスの分圧を設定することにより炭素濃度を膜厚方向に制御して形成する
ことができる。
本発明のマスクブランクスの製造方法は、前記位相シフト層形成工程において、モリブデンとシリコンとの組成比が、
2.3 ≦ Si/Mo ≦ 3.0
に設定されたターゲットを用いる
ことができる。
本発明のマスクブランクスの製造方法は、前記位相シフト層形成工程において、
前記炭素含有ガスの分圧を設定することにより、炭素濃度の減少にともなって前記位相シフト層における抵抗率を増大する
ことができる。
本発明のマスクブランクスの製造方法は、前記位相シフト層形成工程において、
スパッタリングにおける供給ガスとして、窒素含有ガスの分圧を設定することにより、窒素含有率の増減にともなって前記位相シフト層における抵抗率を増減する
ことができる。
本発明の位相シフトマスクは、上記のいずれか記載のマスクブランクスから製造されることができる。
本発明の位相シフトマスクの製造方法は、上記の位相シフトマスクの製造方法であって、
前記位相シフト層にパターンを形成する位相シフトパターン形成工程と、
前記遮光層にパターンを形成する遮光パターン形成工程と、
を有し、
前記位相シフトパターン形成工程におけるエッチング液と、前記前記遮光パターン形成工程におけるエッチング液と、が異なる
ことができる。
透明基板に積層された位相シフト層と、
前記位相シフト層よりも前記透明基板から離間する位置に設けられた遮光層と、
を有し、
前記遮光層がクロムを含有し、
前記位相シフト層がモリブデンシリサイドと炭素とを含有し、炭素濃度が8atm%~15atm%の範囲を有する。
これにより、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成することが可能になる。これにより、マスクブランクスから位相シフトマスクの製造において、位相シフト層から位相シフトパターンを形成する際に、フッ酸を含有するエッチング液によってモリブデンシリサイド膜から形成された位相シフト層をエッチングした場合でも、必要なエッチング時間を短縮してオーバーエッチングを抑制し、ガラス基板である透明基板に対するフッ酸でのエッチングによる影響を低減することができる。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、ガラス基板におけるエッチングの影響を抑制することが可能になる。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、ガラス基板におけるエッチングの影響を抑制することが可能になる。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、ガラス基板におけるエッチングの影響を抑制することが可能になる。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、ガラス基板におけるエッチングの影響を抑制することが可能になる。
5.5×10-1Ωcm以下の範囲を有する。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、ガラス基板におけるエッチングの影響を抑制することが可能になる。
1 ≦ Si/Mo
に設定される。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、ガラス基板におけるエッチングの影響を抑制することが可能になる。
100nm~200nmの範囲
に設定される。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、ガラス基板におけるエッチングの影響を抑制することが可能になる。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、ガラス基板におけるエッチングの影響を抑制することが可能になる。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、モリブデンシリサイド膜である位相シフトパターンの断面形状を正確に形成することが可能である。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、モリブデンシリサイド膜である位相シフトパターンの断面形状を正確に形成することが可能である。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、モリブデンシリサイド膜である位相シフトパターンの断面形状を正確に形成することが可能である。
1/4以下の範囲
に設定される。
これにより、所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、位相シフト層であるモリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成し、モリブデンシリサイド膜である位相シフトパターンの断面形状を正確に形成することが可能である。
前記透明基板にスパッタリングによりモリブデンシリサイドと炭素とを含有する前記位相シフト層を積層する位相シフト層形成工程と、
前記位相シフト層よりも前記透明基板から離間する位置にクロムを含有する前記遮光層を積層する遮光層形成工程と、
を有し、
前記位相シフト層形成工程において、
スパッタリングにおける供給ガスとして、炭素含有ガスの分圧を設定することにより炭素濃度を膜厚方向に制御して形成する。
これにより、上述した組成比を有して所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、モリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成可能な位相シフト層を有し、モリブデンシリサイド膜である位相シフトパターンの断面形状を正確に形成することが可能なマスクブランクスを提供可能とすることができる。
2.3 ≦ Si/Mo ≦ 3.0
に設定されたターゲットを用いる。
これにより、上述した組成比を有して所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、モリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成可能な位相シフト層を有し、モリブデンシリサイド膜である位相シフトパターンの断面形状を正確に形成することが可能なマスクブランクスを提供可能とすることができる。
前記炭素含有ガスの分圧を設定することにより、炭素濃度の減少にともなって前記位相シフト層における抵抗率を増大する。
これにより、上述した組成比を有して所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、モリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成可能な位相シフト層を有し、モリブデンシリサイド膜である位相シフトパターンの断面形状を正確に形成することが可能なマスクブランクスを提供可能とすることができる。
スパッタリングにおける供給ガスとして、窒素含有ガスの分圧を設定することにより、窒素含有率の増減にともなって前記位相シフト層における抵抗率を増減する。
これにより、上述した組成比を有して所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、モリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成可能な位相シフト層を有し、モリブデンシリサイド膜である位相シフトパターンの断面形状を正確に形成することが可能なマスクブランクスを提供可能とすることができる。
前記位相シフト層にパターンを形成する位相シフトパターン形成工程と、
前記遮光層にパターンを形成する遮光パターン形成工程と、
を有し、
前記位相シフトパターン形成工程におけるエッチング液と、前記前記遮光パターン形成工程におけるエッチング液と、が異なる。
これにより、上述した組成比を有して所望の光学特性を有する位相シフト層を形成することが可能になるとともに、モリブデンシリサイド膜におけるエッチングレートを増加して、速いエッチングにより位相シフトパターンを形成可能な位相シフト層を有し、モリブデンシリサイド膜である位相シフトパターンの断面形状を正確に形成することが可能なマスクブランクスを提供可能とすることができる。
図1は、本実施形態におけるマスクブランクスを示す断面図であり、図2は、本実施形態におけるマスクブランクスを示す断面図であり、図において、符号10Bは、マスクブランクスである。
本実施形態に係るマスクブランクス10Bは、図1に示すように、ガラス基板(透明基板)11と、このガラス基板11上に形成された位相シフト層12と、位相シフト層12上に形成された遮光層13と、で構成される。
これら位相シフト層12と遮光層13とは、フォトマスクとして必要な光学特性を有して露光光の位相をほぼ180°変化可能な位相シフト膜であるマスク層を構成している。
位相シフト層12における組成比・膜厚は、製造する位相シフトマスク10に要求される光学特性によって設定される、次の値に限定されるものではない。
位相シフト層12において、炭素濃度(炭素含有率)が5atm%~15atm%の範囲を有し、窒素濃度(窒素含有率)が30atm%~40atm%の範囲を有し、酸素濃度(酸素含有率)が8atm%~15atm%の範囲を有し、モリブデン濃度(モリブデン含有率)が20atm%~30atm%の範囲を有し、シリコン濃度(シリコン含有率)が10atm%~25atm%の範囲を有するように設定することができる。
位相シフト層12は、膜厚が、10nm~200nmの範囲に設定されることができる。
位相シフト層12としては、抵抗率が、5.5×10-1Ωcm以下の範囲を有する。
位相シフト層12においては、膜厚方向で遮光層13からガラス基板11に向かう方向に、炭素濃度が増加する濃度傾斜を有することができる。
位相シフト層12においては、遮光層13に近接する界面となる表面の炭素濃度が、ガラス基板11に近接する表面の炭素濃度よりも20%以上低いことができる。
位相シフト層12は、膜厚方向において遮光層13に近接する位置に、位相シフト層における炭素濃度の最大値と最小値との半値(中間の値)よりも低い炭素濃度である低炭素領域12aが形成されていることができる。
つまり、位相シフト層12の膜厚方向において、遮光層13側の1/4程度では、前記半値よりも低い炭素濃度である低炭素領域12aが形成され、ガラス基板11側の3/4程度では、前記半値よりも高い炭素濃度である高炭素領域12bが形成されている。低炭素領域12aはまた、低酸素領域でもある。高炭素領域12bは、高酸素領域でもある。
この場合、遮光層13として、Crの酸化物、窒化物、炭化物、酸化窒化物、炭化窒化物および酸化炭化窒化物から選択される1つ、または、2種以上を積層して構成することもできる。さらに、遮光層13が厚み方向に異なる組成を有することもできる。例えば、遮光層13として、窒素濃度、あるいは、酸素濃度などが、膜厚方向に傾斜した構成などを例示できる。
遮光層13は、後述するように、所定の密着性(疎水性)、所定の光学特性が得られるようにその厚み、および、Cr,N,C,O,Si等の組成比(atm%)が設定される。
遮光層13の膜厚・組成を上記のように設定することにより、フォトリソグラフィ法におけるパターニング形成時に、たとえば、クロム系に用いられるフォトレジスト層15との密着性を向上して、フォトレジスト層15との界面でエッチング液の浸込みが発生しないため、良好なパターン形状が得られて、所望のパターンを形成することができる。
同時に、遮光層13は、クロム化合物中の酸素濃度と窒素濃度を高くすることで屈折率と消衰係数の値を低くする、あるいは、クロム化合物中の酸素濃度と窒素濃度を低くすることで屈折率と消衰係数の値を高くすることが可能である。
一例として、例えば、クロムを含む密着層を挙げることができる。
本実施形態における位相シフトマスク(フォトマスク)10は、図9に示すように、マスクブランクス10Bとして積層された位相シフト層12と遮光層13とに、パターンを形成したものとされる。
遮光パターン形成工程においては、モリブデンシリサイドからなる位相シフト層12が、上記のクロム系のエッチング液にはほとんどエッチングされない。
これにより、図4に示すように、ガラス基板11の表面が露出した透光領域10Lを形成することができる。
これにより、位相シフトパターン12P1の表面が露出した露光領域10P1および位相シフト領域10P2に対応した遮光パターン13P2を形成することができる。
遮光パターン形成工程においては、モリブデンシリサイドからなる位相シフトパターン12P1が、上記のクロム系のエッチング液にはほとんどエッチングされない。
これにより、図8に示すように、ガラス基板11の表面が露出した露光領域10P1と、位相シフトパターン12P2が残存して露出している位相シフト領域10P2と、を形成することができる。
本実施形態におけるマスクブランクス10Bは、図10に示す製造装置により製造される。
成膜機構S13は、ターゲットS13bを有するカソード電極(バッキングプレート)S13cと、バッキングプレートS13cに負電位のスパッタ電圧を印加する電源S13dと、を有する。
成膜機構S14は、ターゲットS14bを有するカソード電極(バッキングプレート)S14cと、バッキングプレートS14cに負電位のスパッタ電圧を印加する電源S14dと、を有する。
本実施形態において、成膜機構S13は位相シフト層12の成膜に対応しており、成膜機構S14は遮光層13の成膜に対応している。
また、ガス導入機構S13eにおいて供給するガスでは、炭素含有ガス、酸素含有ガスや窒素含有ガス等のガス分圧を、成膜される位相シフト層12の膜厚に従って所定の変化量として、高炭素領域12bおよび低炭素領域12aを形成するようにそれぞれ調整することが可能な構成とされている。
また、成膜機構S13においては、電源S13dからバッキングプレートS13cに印加されるスパッタ電圧が、位相シフト層12の成膜に対応して設定される。
また、ガス導入機構S14eにおいて供給するガスでは、酸素含有ガスや窒素含有ガス等のガス分圧を、成膜される遮光層13の膜厚に従って所定の変化量となるようにそれぞれ調整することが可能な構成とされている。
また、成膜機構S14においては、電源S14dからバッキングプレートS14cに印加されるスパッタ電圧が、遮光層13の成膜に対応して設定される。
特に、上述したように、膜厚方向に炭素濃度の低い低炭素領域12aと、低炭素領域12aよりも窒炭素度の高いそれ以外のガラス基板11に近接する高炭素領域12bと、を形成するように、炭素含有ガス、窒素含有ガス等の分圧比をそれぞれ制御する。
同時に、位相シフト層12におけるエッチングストップ能を所定の状態に設定するために、ターゲットS13bにおけるモリブデンとシリコンとの組成比、さらに、モリブデンとシリコン以外の含有物の組成比を、所定の状態に設定することができる。また、異なる組成比を有するターゲットS13bを適切に選択することが好ましい。
また、炭素含有ガスとしては、CO2(二酸化炭素)、CH4(メタン)、C2H6(エタン)、CO(一酸化炭素)等を挙げることができる。
さらに、窒素含有ガスとしては、N2(窒素ガス)、N2O(一酸化二窒素)、NO(一酸化窒素)、N2O(一酸化二窒素)、NH3(アンモニア)等を挙げることができる。
なお、位相シフト層12、遮光層13の成膜で、必要であればターゲットS13b,S14bを適宜交換することもできる。
このような膜構造のマスクブランクス10Bを形成することにより、位相シフト層12がモリブデンシリサイド化合物で形成され、遮光層13がクロム化合物で形成された位相シフトマスク10を形成することが可能になる。
フラットディスプレイ向けの位相シフトマスク10を、モリブデンシリサイド膜を用いて形成する場合には、モリブデンとシリコンの比率が1:3以下のターゲットを用いて、モリブデンシリサイド膜中における窒素濃度を30%以上、シリコン濃度を25%以下、酸素濃度を8%以上、炭素濃度を8%以上にする。これによりことで、エッチングレートが早くガラス基板のエッチングの影響の少ないモリブデンシリサイド膜を形成することが可能になる。さらに、モリブデンシリサイド膜の抵抗率が、5.5x10-1Ωcm以下であることができる。
そのため、位相シフト層12の形成後に、遮光層13となるクロムニウム化合物を形成することで、位相シフトマスク10を形成するためのマスクブランクス10Bを構成することが可能になる。
位相シフトマスク10を形成する場合には、マスクブランクス12B形成後にレジストパターンの形成とマスクブランクスのエッチングを行うことで、位相シフトマスクを形成することができる。
位相シフトマスク10の製造プロセスとして、パターン形成においては、通常、酸やアルカリ等の薬液を用いられるが、これらのプロセス中において透過率変化を抑制することが必要である。
このことから、薬液耐性を高めるために、モリブデンシリサイド膜の窒素濃度を高めることが重要であることがわかる。
さらに、モリブデンシリサイド膜中の酸素濃度と波長365nmでの透過率との関係、および、モリブデンシリサイド膜中の炭素濃度と波長365nmでの透過率との関係を調べた。
ここで、透過率(%)は、波長365nmでの位相が180°になるように膜厚を調整した膜厚でのモリブデンシリサイド膜の透過率である。
エッチングレートが早くなるとモリブデンシリサイド膜のエッチング時において、必要なエッチング時間が減少し、ガラス基板に対するエッチング量が少なくなるために、位相シフトマスクの製造における光学特性の変化量を抑制することが可能になる。
実験例1として、ガラス基板上に、位相シフト層として、スパッタリング法等を用いてモリブデンシリサイド化合物の膜を形成する。ここで形成するモリブデンシリサイド化合物膜は、モリブデン、シリコン、酸素、窒素、炭素等を含有する膜である。このモリブデンシリサイド化合物膜を、オージェ電子分光法を用いて組成評価を行った。
スパッタリングにおける雰囲気ガスとしては、窒素ガスに加えて、二酸化炭素、アルゴン、とした。また、二酸化炭素ガス分圧を0~100%、窒素ガス分圧を0~100%で変化させて成膜した。
この結果を表1、表2に示す。
また、表2に示す実験例3から実験例5は、いずれも同一成膜条件で成膜したモリブデンシリサイド膜である。これらの実験例3~5では、成膜時の二酸化炭素ガス添加量のみを変化させて、膜中の酸素濃度と炭素濃度とエッチングレートとの関係を調べた。
また、実験例5としてのオージェ電子分光法を用いて組成評価結果を図13に示す。
同様に、モリブデンシリサイド化合物の膜における酸素濃度と透過率との関係を図15に示す。
同様に、モリブデンシリサイド化合物の膜におけるシリコン濃度と透過率との関係を図16に示す。
実験例5で成膜したモリブデンシリサイド膜をウエットエッチングし、その断面を撮影したSEM画像を図18に示す。
窒素濃度を上げたモリブデンシリサイド膜のエッチングレートと抵抗率との関係を調査したところ、抵抗率が低くなるとモリブデンシリサイド膜のエッチングレートが早くなることがわかった。さらに、抵抗率が低いモリブデンシリサイド膜を用いることで、静電破壊を抑制できることも判明した。
さらに、窒素濃度の高いモリブデンシリサイド膜と窒素濃度の低いモリブデンシリサイド膜の積層構造を用いることで、断面形状が良好で、かつ、エッチング時間を短縮可能であり、位相シフトマスクに用いて好適なモリブデンシリサイド膜を形成可能であることが判明した。
10B…マスクブランクス
10L…透光領域
10P1…露光領域
10P2…位相シフト領域
11…ガラス基板(透明基板)
12…位相シフト層
12P1…位相シフトパターン
12a…低炭素領域
12b…高炭素領域
13…遮光層
13P1,13P2…遮光パターン
15…フォトレジスト層
15P1,15P2…レジストパターン
Claims (15)
- 位相シフトマスクとなる層を有するマスクブランクスであって、
透明基板に積層された位相シフト層と、
前記位相シフト層よりも前記透明基板から離間する位置に設けられた遮光層と、
を有し、
前記遮光層がクロムを含有し、
前記位相シフト層がモリブデンシリサイドと炭素とを含有し、炭素濃度が5atm%~15atm%の範囲を有し、
前記位相シフト層において、前記遮光層に近接する表面の炭素濃度が、前記透明基板に近接する位置の炭素濃度よりも低く、
前記位相シフト層において、前記遮光層に近接する表面の炭素濃度が、前記透明基板に近接する表面の炭素濃度よりも20%以上低く、
前記位相シフト層は、膜厚方向において前記遮光層に近接する位置に、前記位相シフト層における炭素濃度の最大値と最小値との半値よりも低い炭素濃度である低炭素領域を有し、
前記位相シフト層において、前記低炭素領域の膜厚が、前記位相シフト層の膜厚に対して、
1/4以下の範囲
に設定される
ことを特徴とするマスクブランクス。 - 前記位相シフト層が窒素を含有し、窒素濃度が30atm%~40atm%の範囲を有する
ことを特徴とする請求項1記載のマスクブランクス。 - 前記位相シフト層が酸素を含有し、酸素濃度が8atm%~15atm%の範囲を有する
ことを特徴とする請求項1または2記載のマスクブランクス。 - 前記位相シフト層において、モリブデン濃度が20atm%~30atm%の範囲を有する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか記載のマスクブランクス。 - 前記位相シフト層において、シリコン濃度が10atm%~25atm%の範囲を有する
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか記載のマスクブランクス。 - 前記位相シフト層において、抵抗率が、
5.5×10-1Ωcm以下の範囲を有する
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか記載のマスクブランクス。 - 前記位相シフト層において、モリブデンとシリコンとの組成比が、
1 ≦ Si/Mo
に設定される
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか記載のマスクブランクス。 - 前記位相シフト層は、膜厚が、
100nm~200nmの範囲
に設定される
ことを特徴とする請求項1から7のいずれか記載のマスクブランクス。 - 前記位相シフト層において、膜厚方向で前記遮光層から前記透明基板に向かう方向に、炭素濃度が増加する濃度傾斜を有する
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか記載のマスクブランクス。 - 請求項1から9のいずれか記載のマスクブランクスの製造方法であって、
前記透明基板にスパッタリングによりモリブデンシリサイドと炭素とを含有する前記位相シフト層を積層する位相シフト層形成工程と、
前記位相シフト層よりも前記透明基板から離間する位置にクロムを含有する前記遮光層を積層する遮光層形成工程と、
を有し、
前記位相シフト層形成工程において、
スパッタリングにおける供給ガスとして、炭素含有ガスの分圧を設定することにより炭素濃度を膜厚方向に制御して形成する
ことを特徴とするマスクブランクスの製造方法。 - 前記位相シフト層形成工程において、モリブデンとシリコンとの組成比が、
2.3 ≦ Si/Mo ≦ 3.0
に設定されたターゲットを用いる
ことを特徴とする請求項10記載のマスクブランクスの製造方法。 - 前記位相シフト層形成工程において、
前記炭素含有ガスの分圧を設定することにより、炭素濃度の減少にともなって前記位相シフト層における抵抗率を増大する
ことを特徴とする請求項10または11記載のマスクブランクスの製造方法。 - 前記位相シフト層形成工程において、
スパッタリングにおける供給ガスとして、窒素含有ガスの分圧を設定することにより、窒素含有率の増減にともなって前記位相シフト層における抵抗率を増減する
ことを特徴とする請求項12記載のマスクブランクスの製造方法。 - 請求項1から9のいずれか記載のマスクブランクスから製造される
ことを特徴とする位相シフトマスク。 - 請求項14記載の位相シフトマスクの製造方法であって、
前記位相シフト層にパターンを形成する位相シフトパターン形成工程と、
前記遮光層にパターンを形成する遮光パターン形成工程と、
を有し、
前記位相シフトパターン形成工程におけるエッチング液と、前記前記遮光パターン形成工程におけるエッチング液と、が異なる
ことを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
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