JP7377268B2 - 小さな角度誤差で高磁場を検知する磁気角度センサ装置 - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 158
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 61
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 11
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
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- G01R33/09—Magnetoresistive devices
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- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
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Description
各センサ素子が、ピニング方向にピニングされた基準磁化を有する強磁性基準層と、外部磁場の方向に配向可能な検知磁化を有する強磁性検知層と、基準層と検知層の間のトンネル障壁スペーサ層とを備えた磁気トンネル接合部を有し、
これらの複数のセンサ素子の検知層は、検知磁化の方向が外部磁場に揃った時の角度変位が外部磁場の範囲内において最小となるように、容易軸線がピニング方向に対してほぼ平行な方向に揃った検知用面内一軸磁気異方性を有する、
センサ装置を記載している。
100 ハーフブリッジ式検知回路
200 フルブリッジ式検知回路
300 フルブリッジ式センサ回路
20 磁気センサ素子
21 強磁性検知層
210 検知磁化
211 検知用磁気異方性の容易軸線
22 トンネル障壁層
23 強磁性基準層
230 基準磁化
231 ピニング方向
24 ピニング層
60、Hext 外部磁場
Hk 磁気異方性の強さ
Hud 基準層のピニング強度
Vin 入力電圧
Vout 出力電圧
θ 角度
Claims (8)
- 外部磁場を検知するように構成された磁気角度センサ装置であって、
前記センサ装置が、複数の磁気センサ素子を備え、
各センサ素子が、ピニング方向にピニングされた基準磁化を有する強磁性基準層、外部磁場の方向に配向可能な検知磁化を有する強磁性検知層及び前記基準層と前記検知層の間のトンネル障壁スペーサー層を備えた磁気トンネル接合部を有し、
前記複数のセンサ素子の中の少なくとも1つの部分の前記検知層は、検知磁化の方向が前記外部磁場に揃った時の角度変位が約200Oe(15915.5A/m)の外部磁場の範囲内において0.5°以下となるように、容易軸線がピニング方向に対してほぼ平行な方向に揃った検知用面内一軸磁気異方性を有する、
センサ装置。 - 前記複数のセンサ素子の前記少なくとも1つの部分以外の部分の前記検知層が、前記容易軸線が前記ピニング方向に対してほぼ直角の方向に揃った検知用面内一軸磁気異方性を有する、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記複数のセンサ素子の少なくとも1つの部分の前記検知層が、長軸線が前記ピニング方向に対してほぼ平行な方向に揃った楕円形状を有する、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記複数のセンサ素子の前記少なくとも1つの部分以外の部分の前記検知層が、短軸線がピニング方向に対してほぼ平行な方向に揃った楕円形状を有する、請求項2又は3に記載のセンサ装置。
- 角度変位が最小となる外部磁場の前記範囲が選定されるように、前記基準磁化のピニング強度に対する検知用磁気異方性の大きさの比率が選定されている、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記複数のセンサ素子が、ハーフブリッジ回路又はフルブリッジ回路で配置されている、請求項1に記載のセンサ装置。
- 並列に接続された二つの前記フルブリッジ回路を備えた、請求項6に記載のセンサ装置。
- 前記ハーフブリッジ回路のブランチ部又は前記フルブリッジ回路が二つのセンサ素子を備え、一方のセンサ素子における前記基準磁化の前記ピニング方向が、他方のセンサ素子における前記基準磁化の前記ピニング方向に対してほぼ直交方向に配向されている、請求項6に記載のセンサ装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP18315049.9A EP3667346B1 (en) | 2018-12-11 | 2018-12-11 | Magnetic angular sensor device for sensing high magnetic fields with low angular error |
EP18315049.9 | 2018-12-11 | ||
PCT/IB2019/060175 WO2020121095A1 (en) | 2018-12-11 | 2019-11-26 | Magnetic angular sensor device for sensing high magnetic fields with low angular error |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022515027A JP2022515027A (ja) | 2022-02-17 |
JP7377268B2 true JP7377268B2 (ja) | 2023-11-09 |
Family
ID=65657187
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021531746A Active JP7377268B2 (ja) | 2018-12-11 | 2019-11-26 | 小さな角度誤差で高磁場を検知する磁気角度センサ装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11860250B2 (ja) |
EP (1) | EP3667346B1 (ja) |
JP (1) | JP7377268B2 (ja) |
KR (1) | KR20220027050A (ja) |
WO (1) | WO2020121095A1 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004504713A (ja) | 2000-07-13 | 2004-02-12 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 複数の検出素子を持つ磁気抵抗角度センサ |
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JP2014516406A (ja) | 2011-04-06 | 2014-07-10 | ジャンス マルチディメンション テクノロジー シーオー., エルティーディー | 単一チップブリッジ型磁界センサおよびその製造方法 |
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JP2016128768A (ja) | 2015-01-09 | 2016-07-14 | Tdk株式会社 | 磁気センサシステム |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011027633A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Tdk Corp | 磁気センサおよびその製造方法 |
US11112468B2 (en) * | 2019-04-12 | 2021-09-07 | Western Digital Technologies, Inc. | Magnetoresistive sensor array for molecule detection and related detection schemes |
US11428758B2 (en) * | 2019-08-27 | 2022-08-30 | Western Digital Technologies, Inc. | High sensitivity TMR magnetic sensor |
-
2018
- 2018-12-11 EP EP18315049.9A patent/EP3667346B1/en active Active
-
2019
- 2019-11-26 JP JP2021531746A patent/JP7377268B2/ja active Active
- 2019-11-26 US US17/312,531 patent/US11860250B2/en active Active
- 2019-11-26 KR KR1020217017687A patent/KR20220027050A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-11-26 WO PCT/IB2019/060175 patent/WO2020121095A1/en active Application Filing
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JP2016128768A (ja) | 2015-01-09 | 2016-07-14 | Tdk株式会社 | 磁気センサシステム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3667346A1 (en) | 2020-06-17 |
WO2020121095A1 (en) | 2020-06-18 |
US20220050151A1 (en) | 2022-02-17 |
EP3667346B1 (en) | 2022-06-08 |
US11860250B2 (en) | 2024-01-02 |
JP2022515027A (ja) | 2022-02-17 |
KR20220027050A (ko) | 2022-03-07 |
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Date | Code | Title | Description |
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A521 | Request for written amendment filed |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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