JP7370187B2 - ミラーアクチュエータ - Google Patents
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Description
12、12A 偏向素子(ミラーアクチュエータ)
Claims (11)
- 回動軸の周りに回動可能な光反射面を有するミラー体と、
一対のヒンジ部を含み前記回動軸の方向に延びる軸部を有し、前記ミラー体を前記回動軸の周りに回動させる回動機構と、
前記ミラー体を前記回動軸に沿った方向に移動させるスライド機構と、を有し、
前記光反射面は、前記回動軸に沿った方向において起伏する曲面形状を有することを特徴とするミラーアクチュエータ。 - 回動軸の周りに回動可能な光反射面を有するミラー体と、
前記ミラー体を前記回動軸の周りに回動させる回動機構と、
前記ミラー体を支持する回動板と、
前記ミラー体を前記回動軸に沿った方向に移動させるスライド機構と、を有し、
前記光反射面は、前記回動軸に沿った方向において起伏する曲面形状を有し、
前記回動軸は、前記回動板を平面視した際に前記回動軸の少なくとも一部が前記ミラー体と重なっていることを特徴とする、ミラーアクチュエータ。 - 前記ミラー体の前記光反射面は、前記回動軸に垂直な方向において平坦な面形状を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のミラーアクチュエータ。
- 前記ミラー体の前記光反射面は、前記回動軸に垂直な方向に沿った方向を軸方向とするシリンドリカル形状を有することを特徴とする請求項3に記載のミラーアクチュエータ。
- 前記回動機構及び前記スライド機構を構成し、前記ミラー体を囲んで前記ミラー体を回動可能なように支持し、かつ前記回動軸に沿って移動可能な内側枠体を有することを特徴とする請求項1、3又は4のいずれか1つに記載のミラーアクチュエータ。
- 前記スライド機構は、前記内側枠体を囲む矩形の外側枠体と、前記外側枠体の内側において前記内側枠体を移動可能なように弾性的に支持する弾性体部と、を有することを特徴とする請求項5に記載のミラーアクチュエータ。
- 前記弾性体部は、前記外側枠体における前記回動軸に沿った第1の方向において互いに対向する第1及び第2の内側面にそれぞれ設けられ、各々が前記第1の方向に沿って蛇腹状に折り重ねられた第1及び第2の板ばねを含むことを特徴とする請求項6に記載のミラーアクチュエータ。
- 前記スライド機構は、
前記外側枠体における前記第1の方向に垂直な第2の方向において互いに対向する第3及び第4の内側面にそれぞれ設けられた第1及び第2の永久磁石と、
前記第2の方向において前記ミラー体を挟むように前記内側枠体の外周部にそれぞれ設けられ、各々が前記第1の方向に沿って柱状に延びる第1及び第2のコアと、
前記第1及び第2のコアにそれぞれ螺旋状に巻き付けられた第1及び第2のコイルと、を有することを特徴とする請求項7に記載のミラーアクチュエータ。 - 前記ミラー体は、前記回動軸の周りに回動可能なように前記内側枠体の内側において前記内側枠体に支持された回動板と、前記回動板の1の板面に設けられかつ前記1の板面に対して傾斜しつつ前記回動軸に垂直な方向に沿って延びる円筒面を有するシリンドリカルミラーと、を有することを特徴とする請求項5乃至8のいずれか1つに記載のミラーアクチュエータ。
- 前記回動機構は、前記回動板の前記1の板面とは反対の他の板面に設けられ、前記他の板面に垂直な方向に沿って柱状に延びる第3のコアと、前記第3のコアに螺旋状に巻き付けられた第3のコイルと、を有することを特徴とする請求項9に記載のミラーアクチュエータ。
- 前記ミラー体は、前記回動軸の周りに回動可能に配置された回動板と、前記光反射面を有し且つ前記回動板の1の板面に設けられたミラーと、を有し、
前記光反射面は、前記回動板の前記1の板面に対して傾斜していることを特徴とする請求項5乃至8のいずれか1つに記載のミラーアクチュエータ。
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JP2019145136A JP7370187B2 (ja) | 2019-08-07 | 2019-08-07 | ミラーアクチュエータ |
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JP2021026137A JP2021026137A (ja) | 2021-02-22 |
JP2021026137A5 JP2021026137A5 (ja) | 2022-08-09 |
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ID=74662317
Family Applications (1)
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JP2004198716A (ja) | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Olympus Corp | スキャナ装置 |
JP2005018067A (ja) | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Samsung Electronics Co Ltd | 曲面ミラーを具備した光スキャナ及びその製造方法 |
US20080049288A1 (en) | 2006-08-23 | 2008-02-28 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Prism scanner and display device using diffractive optical modulator and prism scanner |
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JPS49150234U (ja) * | 1973-04-27 | 1974-12-26 | ||
JP2603883B2 (ja) * | 1990-11-21 | 1997-04-23 | 株式会社テスコ | バーコードスキャナの照射光線走査装置 |
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2019
- 2019-08-07 JP JP2019145136A patent/JP7370187B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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