JP7367591B2 - laser processing equipment - Google Patents

laser processing equipment Download PDF

Info

Publication number
JP7367591B2
JP7367591B2 JP2020063188A JP2020063188A JP7367591B2 JP 7367591 B2 JP7367591 B2 JP 7367591B2 JP 2020063188 A JP2020063188 A JP 2020063188A JP 2020063188 A JP2020063188 A JP 2020063188A JP 7367591 B2 JP7367591 B2 JP 7367591B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
period
pulse signal
visible laser
laser light
drawing period
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020063188A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2021159937A (en
Inventor
泰博 浅井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Brother Industries Ltd filed Critical Brother Industries Ltd
Priority to JP2020063188A priority Critical patent/JP7367591B2/en
Priority to PCT/JP2021/011909 priority patent/WO2021200380A1/en
Publication of JP2021159937A publication Critical patent/JP2021159937A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7367591B2 publication Critical patent/JP7367591B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Description

本開示は、加工レーザ光による加工が行われる前に、その加工内容を加工対象物上に可視レーザ光で描画するレーザ加工装置に関するものである。 The present disclosure relates to a laser processing apparatus that draws the processing details on a workpiece with a visible laser beam before the processing is performed using a processing laser beam.

従来のレーザ加工装置には、例えば、下記特許文献1に記載されているように、加工レーザ光による加工が行われる前において、可視レーザ光源から出射する可視レーザ光を走査部で照射及び走査することによって、加工レーザ光による加工内容を加工対象物上に描画するものがある。その際、可視レーザ光源は、制御信号が入力されたときに、直ちに可視レーザ光を出射できるようにするため、低励起状態に維持されることがある。 In a conventional laser processing apparatus, for example, as described in Patent Document 1 below, before processing with a processing laser light is performed, a scanning unit irradiates and scans a visible laser light emitted from a visible laser light source. In some cases, the processing contents are drawn on the workpiece using a processing laser beam. At this time, the visible laser light source may be maintained in a low excitation state so that it can immediately emit visible laser light when the control signal is input.

このような場合、可視レーザ光源は、低励起状態を維持するため、デューティ比が比較的小さなパルス信号に基づいて、可視レーザ光を一定の時間間隔で出射する。そのため、加工レーザ光が照射及び走査されない非描画区間を、可視レーザ光の走査位置が移動しているときでも、可視レーザ光源からは、可視レーザ光が一定の時間間隔で出射される。 In such a case, the visible laser light source emits visible laser light at regular time intervals based on a pulse signal with a relatively small duty ratio in order to maintain a low excitation state. Therefore, even when the scanning position of the visible laser beam is moving in a non-drawing section where the processing laser beam is not irradiated and scanned, the visible laser beam is emitted at regular time intervals from the visible laser light source.

特開2003-117669号公報Japanese Patent Application Publication No. 2003-117669

従って、加工対象物上では、加工レーザ光が照射及び走査されない非描画区間であっても、可視レーザ光が照射されることがあり、可視レーザ光が出射されるタイミングによっては、加工内容の視認性が低下することがあった。 Therefore, visible laser light may be irradiated onto the workpiece even in non-drawing areas where the processing laser light is not irradiated or scanned, and depending on the timing at which the visible laser light is emitted, the processing contents may be visually recognized. There was a decrease in sexual performance.

そこで、本開示は、上述した点を鑑みてなされたものであり、可視レーザ光で加工対象物上に描画される加工内容の視認性を向上させるレーザ加工装置を提供する。 Therefore, the present disclosure has been made in view of the above points, and provides a laser processing apparatus that improves the visibility of processing details drawn on a workpiece using visible laser light.

本明細書は、加工対象物を加工するための加工レーザ光を出射する加工レーザ光源と、加工レーザ光による加工内容を示す加工データを記憶する記憶部と、加工対象物上に加工内容を描画するための可視レーザ光をパルス信号に基づいて出射する可視レーザ発振器を有する可視レーザ光源と、加工レーザ光又は可視レーザ光を走査する走査部と、制御部と、を備え、制御部は、可視レーザ光による描画を行わない期間であって、加工データにより特定される非描画期間における、可視レーザ光の走査位置の移動距離を加工データに基づいて特定する特定処理と、非描画期間において可視レーザ発振器から可視レーザ光を出射させるためのパルス信号を、非描画期間パルス信号として移動距離に基づいて決定する決定処理と、可視レーザ発振器から可視レーザ光をパルス信号に基づいて出射させる処理であって、可視レーザ光による描画を行う描画期間では、パルス信号として予め設定される描画期間パルス信号に基づいて、可視レーザ発振器から可視レーザ光を出射させる一方、非描画期間では、非描画期間パルス信号に基づいて、可視レーザ発振器から可視レーザ光を出射させるパルス信号制御処理と、を実行し、非描画期間における可視レーザ光の時間当たりのエネルギー量である非描画期間レーザ出力は、描画期間における可視レーザ光の時間当たりのエネルギー量である描画期間レーザ出力よりも小さいことを特徴するレーザ加工装置を開示する。 This specification includes a processing laser light source that emits a processing laser beam for processing a workpiece, a storage unit that stores processing data indicating the processing content by the processing laser light, and a processing content that is drawn on the workpiece. A visible laser light source having a visible laser oscillator that emits a visible laser beam based on a pulse signal for processing, a scanning section that scans the processing laser beam or the visible laser beam, and a control section, the control section is configured to A specific process that specifies the moving distance of the scanning position of the visible laser beam based on the processing data during the non-drawing period specified by the processing data, which is a period in which drawing with the laser light is not performed, and A determination process for determining a pulse signal for emitting a visible laser beam from an oscillator as a non-drawing period pulse signal based on a moving distance, and a process for emitting a visible laser beam from a visible laser oscillator based on the pulse signal. During the drawing period in which drawing is performed using visible laser light, visible laser light is emitted from the visible laser oscillator based on the drawing period pulse signal set in advance as a pulse signal. Based on the pulse signal control processing for emitting visible laser light from a visible laser oscillator, the non-drawing period laser output, which is the amount of energy per hour of the visible laser light during the non-drawing period, is determined by the visible laser output during the drawing period. Disclosed is a laser processing apparatus characterized in that the laser output is smaller than the laser output during a drawing period, which is the amount of energy of light per hour.

本開示によれば、レーザ加工装置は、可視レーザ光で加工対象物上に描画される加工内容の視認性を向上させることができる。 According to the present disclosure, the laser processing apparatus can improve the visibility of processing details drawn on a workpiece with visible laser light.

本実施形態のレーザ加工装置の概略構成が表された図である。1 is a diagram showing a schematic configuration of a laser processing apparatus according to the present embodiment. 同レーザ加工装置の電気的構成が表されたブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing the electrical configuration of the laser processing device. 待機期間、非描画期間、及び描画期間等を印字パターン(オブジェクト)で説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a standby period, a non-drawing period, a drawing period, etc. using print patterns (objects). 待機期間、非描画期間、及び描画期間等をタイミングチャートで説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a standby period, a non-drawing period, a drawing period, etc. using a timing chart. 可視レーザ光を出射させるためのパルス信号を説明する図である。It is a figure explaining the pulse signal for emitting a visible laser beam. 加工レーザ光源の励起エネルギーと時間との関係が表された図である。FIG. 3 is a diagram showing the relationship between excitation energy of a processing laser light source and time. 同レーザ加工装置が実行する各処理のフローチャートである。It is a flowchart of each process performed by the same laser processing apparatus. 同レーザ加工装置が実行する各処理のフローチャートである。It is a flowchart of each process performed by the same laser processing apparatus. 同レーザ加工装置が実行する各処理のフローチャートである。It is a flowchart of each process performed by the same laser processing apparatus.

以下、本開示のレーザ加工装置について、具体化した実施形態に基づき、図面を参照しつつ説明する。以下の説明に用いる図1及び図2では、基本的構成の一部が省略されて描かれており、描かれた各部の寸法比等は必ずしも正確ではない。 Hereinafter, the laser processing apparatus of the present disclosure will be described based on specific embodiments with reference to the drawings. In FIGS. 1 and 2 used for the following explanation, some of the basic configurations are omitted and the dimensional ratios of the drawn parts are not necessarily accurate.

[1.レーザ加工装置の概略構成]
先ず、図1及び図2に基づいて、本実施形態のレーザ加工装置1の概略構成について説明する。本実施形態のレーザ加工装置1は、印字情報作成部2及びレーザ加工部3で構成されている。印字情報作成部2は、パーソナルコンピュータ等で構成されている。
[1. Schematic configuration of laser processing equipment]
First, the schematic configuration of the laser processing apparatus 1 of this embodiment will be described based on FIGS. 1 and 2. The laser processing apparatus 1 of this embodiment includes a print information creation section 2 and a laser processing section 3. The print information creation section 2 is composed of a personal computer or the like.

レーザ加工部3は、加工レーザ光Rを加工対象物7上で2次元走査してレーザマーキング(印字)加工(以下、「マーキング加工」という。)を行うものである。レーザ加工部3は、レーザコントローラ6を備えている。 The laser processing unit 3 performs laser marking (printing) processing (hereinafter referred to as "marking processing") by two-dimensionally scanning the processing laser beam R on the workpiece 7. The laser processing section 3 includes a laser controller 6.

レーザコントローラ6は、コンピュータで構成され、印字情報作成部2と双方向通信可能に接続されている。レーザコントローラ6は、印字情報作成部2から送信された印字データ、制御パラメータ、各種指示情報等に基づいてレーザ加工部3を駆動制御する。ここで、印字データとは、加工対象物7上において加工レーザ光Rによりマーキング加工される印字パターンの加工位置を示すXY座標データと、XY座標データにマーキング加工の条件である加工条件を示す加工条件データとが対応付けられたデータである。尚、印字データには、印字パターンを構成する複数の線分各々について、始点と終点を示すXY座標データが設定されている。 The laser controller 6 is composed of a computer, and is connected to the print information creation section 2 so as to be able to communicate bidirectionally. The laser controller 6 drives and controls the laser processing section 3 based on the print data, control parameters, various instruction information, etc. transmitted from the print information creation section 2. Here, the printing data refers to XY coordinate data indicating the processing position of the printing pattern to be marked by the processing laser beam R on the workpiece 7, and processing conditions indicating the processing conditions that are the conditions for marking processing in the XY coordinate data. This is data associated with condition data. Note that the print data includes XY coordinate data indicating a starting point and an ending point for each of a plurality of line segments that make up the printing pattern.

レーザ加工部3の概略構成について説明する。レーザ加工部3は、加工レーザ光源12、可視レーザ光源15、ダイクロイックミラー101、ガルバノスキャナ18、及びfθレンズ19等を備えており、不図示の略直方体形状の筐体カバーで覆われている。 The schematic configuration of the laser processing section 3 will be explained. The laser processing section 3 includes a processing laser light source 12, a visible laser light source 15, a dichroic mirror 101, a galvano scanner 18, an fθ lens 19, and the like, and is covered with a substantially rectangular parallelepiped-shaped housing cover (not shown).

加工レーザ光源12は、レーザ発振器21等で構成されている。レーザ発振器21は、CO2レーザ、YAGレーザ等で構成されており、加工レーザ光Rを発振し出射する。尚、加工レーザ光Rの光径は、不図示のビームエキスパンダで調整(例えば、拡大)される。 The processing laser light source 12 includes a laser oscillator 21 and the like. The laser oscillator 21 is composed of a CO2 laser, a YAG laser, etc., and oscillates and emits a processing laser beam R. Note that the optical diameter of the processing laser beam R is adjusted (for example, expanded) by a beam expander (not shown).

可視レーザ光源15は、半導体レーザドライバ38及び可視半導体レーザ28等で構成されている。可視半導体レーザ28は、可視可干渉光である可視レーザ光Q、例えば、赤色レーザ光を出射する。可視レーザ光Qは、不図示のレンズ群で平行光にされ、更に、2次元走査されることによって、加工レーザ光Rでマーキング加工すべき印字パターンの像を、加工対象物7上に軌跡(時間残像)で映し出すものである。つまり、可視レーザ光Qには、マーキング加工の能力がない。尚、可視レーザ光Qによって、加工レーザ光Rでマーキング加工すべき印字パターンの像を取り囲んだ矩形の像、又は所定形状の像等が、加工対象物7上に軌跡(時間残像)で映し出されてもよい。 The visible laser light source 15 includes a semiconductor laser driver 38, a visible semiconductor laser 28, and the like. The visible semiconductor laser 28 emits visible laser light Q, which is visible coherent light, for example, red laser light. The visible laser beam Q is made into parallel light by a lens group (not shown), and is further scanned two-dimensionally, so that the image of the printing pattern to be marked with the processing laser beam R is traced onto the workpiece 7 ( It is projected as a time afterimage). In other words, the visible laser beam Q does not have the capability of marking processing. In addition, by the visible laser beam Q, a rectangular image surrounding the image of the print pattern to be marked by the processing laser beam R, or an image of a predetermined shape, etc. is projected on the workpiece 7 in the form of a trajectory (time afterimage). It's okay.

ダイクロイックミラー101では、入射された加工レーザ光Rのほぼ全部が透過する。また、ダイクロイックミラー101では、加工レーザ光Rが透過する略中央位置にて、可視レーザ光Qが45度の入射角で入射され、45度の反射角で加工レーザ光Rの光路上に反射される。ダイクロイックミラー101の反射率は、波長依存性を持っている。具体的には、ダイクロイックミラー101は、誘電体層と金属層との多層膜構造の表面処理がなされており、可視レーザ光Qの波長に対して高い反射率を有し、それ以外の波長の光をほとんど(99%)透過するように構成されている。 Almost all of the incident processing laser light R is transmitted through the dichroic mirror 101. Furthermore, in the dichroic mirror 101, the visible laser beam Q is incident at an incident angle of 45 degrees at a substantially central position through which the processing laser beam R passes, and is reflected onto the optical path of the processing laser beam R at a reflection angle of 45 degrees. Ru. The reflectance of the dichroic mirror 101 has wavelength dependence. Specifically, the dichroic mirror 101 is surface-treated with a multilayer structure consisting of a dielectric layer and a metal layer, and has a high reflectance for the wavelength of visible laser light Q, and a high reflectance for other wavelengths. It is configured to transmit most of the light (99%).

ガルバノスキャナ18は、ダイクロイックミラー101を経た加工レーザ光Rと可視レーザ光Qとを2次元走査するものである。ガルバノスキャナ18では、ガルバノX軸モータ31とガルバノY軸モータ32とが、それぞれのモータ軸が互いに直交するように取り付けられ、各モータ軸の先端部に取り付けられた第1ガルバノミラー18X及び第2ガルバノミラー18Yが内側で互いに対向している。そして、各モータ31、32の回転制御で、第1ガルバノミラー18X及び第2ガルバノミラー18Yを回転させることによって、加工レーザ光Rと可視レーザ光Qとを2次元走査する。この2次元走査方向は、X方向とY方向である。X方向の走査は、第1ガルバノミラー18Xの回転で行われる。Y方向の走査は、第2ガルバノミラー18Yの回転で行われる。第1ガルバノミラー18Xには、指向性に優れた加工レーザ光Rが入射する。これに対して、第2ガルバノミラー18Yには、回転する第1ガルバノミラー18Xで反射した加工レーザ光Rが入射する。 The galvano scanner 18 two-dimensionally scans the processing laser beam R and the visible laser beam Q that have passed through the dichroic mirror 101. In the galvano scanner 18, a galvano X-axis motor 31 and a galvano Y-axis motor 32 are attached so that their respective motor axes are orthogonal to each other, and a first galvano mirror 18X and a second galvano mirror 18X are attached to the tip of each motor shaft. Galvano mirrors 18Y face each other on the inside. Then, by rotating the first galvano mirror 18X and the second galvano mirror 18Y under rotational control of the respective motors 31 and 32, the processing laser beam R and the visible laser beam Q are scanned two-dimensionally. This two-dimensional scanning direction is the X direction and the Y direction. Scanning in the X direction is performed by rotating the first galvanometer mirror 18X. Scanning in the Y direction is performed by rotating the second galvanometer mirror 18Y. A processing laser beam R having excellent directivity is incident on the first galvanometer mirror 18X. On the other hand, the processing laser beam R reflected by the rotating first galvano mirror 18X is incident on the second galvano mirror 18Y.

fθレンズ19は、ガルバノスキャナ18によって2次元走査された加工レーザ光Rと可視レーザ光Qとを加工対象物7上に集光するものである。従って、加工レーザ光Rと可視レーザ光Qは、各モータ31、32の回転制御によって、加工対象物7上でX方向とY方向に2次元走査される。 The fθ lens 19 focuses the processing laser beam R and the visible laser beam Q that have been two-dimensionally scanned by the galvano scanner 18 onto the workpiece 7 . Therefore, the processing laser light R and the visible laser light Q are two-dimensionally scanned on the workpiece 7 in the X direction and the Y direction by controlling the rotation of each of the motors 31 and 32.

次に、レーザ加工装置1を構成する印字情報作成部2とレーザ加工部3の回路構成について図2に基づいて説明する。先ず、レーザ加工部3の回路構成について説明する。 Next, the circuit configuration of the print information creation section 2 and the laser processing section 3 that constitute the laser processing apparatus 1 will be explained based on FIG. 2. First, the circuit configuration of the laser processing section 3 will be explained.

図2に表されたように、レーザ加工部3は、レーザコントローラ6、ガルバノコントローラ35、ガルバノドライバ36、レーザドライバ37、及び半導体レーザドライバ38等から構成されている。レーザコントローラ6は、レーザ加工部3の全体を制御する。レーザコントローラ6には、ガルバノコントローラ35、レーザドライバ37、及び半導体レーザドライバ38等が電気的に接続されている。また、レーザコントローラ6には、外部の印字情報作成部2が双方向通信可能に接続されている。レーザコントローラ6は、印字情報作成部2から送信された各情報(例えば、印字データ、レーザ加工部3に対する制御パラメータ、ユーザからの各種指示情報等)を受信可能に構成されている。 As shown in FIG. 2, the laser processing section 3 includes a laser controller 6, a galvano controller 35, a galvano driver 36, a laser driver 37, a semiconductor laser driver 38, and the like. The laser controller 6 controls the entire laser processing section 3. A galvano controller 35, a laser driver 37, a semiconductor laser driver 38, and the like are electrically connected to the laser controller 6. Further, an external print information creation unit 2 is connected to the laser controller 6 so as to be able to communicate in both directions. The laser controller 6 is configured to be able to receive various pieces of information (for example, print data, control parameters for the laser processing section 3, various instruction information from the user, etc.) transmitted from the print information creation section 2.

レーザコントローラ6は、CPU41、RAM42、及びROM43等を備えている。CPU41は、レーザ加工部3の全体の制御を行う演算装置及び制御装置である。CPU41、RAM42、及びROM43は、不図示のバス線により相互に接続されて、相互にデータのやり取りが行われる。 The laser controller 6 includes a CPU 41, a RAM 42, a ROM 43, and the like. The CPU 41 is a calculation device and a control device that controls the entire laser processing section 3 . The CPU 41, RAM 42, and ROM 43 are connected to each other by a bus line (not shown) and exchange data with each other.

RAM42は、CPU41により演算された各種の演算結果や印字パターンのデータ等を一時的に記憶させておくためのものである。 The RAM 42 is for temporarily storing various calculation results calculated by the CPU 41, print pattern data, and the like.

ROM43は、各種のプログラムを記憶させておくものであり、例えば、印字情報作成部2から送信された印字データに基づいて印字パターンのXY座標データを算出して、加工データ44としてRAM42に記憶するプログラムや、印字情報作成部2から送信された印字データに基づいて可視レーザ光Qのレーザパルス幅を算出してRAM42に記憶するプログラム等が記憶されている。もっとも、RAM42に記憶される可視レーザ光Qのレーザパルス幅は、印字情報作成部2において算出されてもよい。尚、各種プログラムには、上述したプログラムに加えて、例えば、印字情報作成部2から入力された印字データに対応する印字パターンの太さ、深さ及び本数、レーザ発振器21のレーザ出力、加工レーザ光Rのレーザパルス幅、ガルバノスキャナ18による加工レーザ光Rを走査する速度、及びガルバノスキャナ18による可視レーザ光Qを走査する速度(以下、「可視レーザ光Qの走査速度」という。)等を示す各種制御パラメータをRAM42に記憶するプログラム等がある。更に、ROM43には、フォントの種類別に、直線と楕円弧とで構成された各文字のフォントの始点、終点、焦点、曲率等のデータが記憶されている。 The ROM 43 stores various programs, and for example, calculates the XY coordinate data of the print pattern based on the print data sent from the print information creation section 2 and stores it in the RAM 42 as processed data 44. A program and a program for calculating the laser pulse width of the visible laser beam Q based on the print data transmitted from the print information creation section 2 and storing it in the RAM 42 are stored. However, the laser pulse width of the visible laser beam Q stored in the RAM 42 may be calculated in the print information creation section 2. In addition to the above-mentioned programs, the various programs include, for example, the thickness, depth, and number of print patterns corresponding to the print data input from the print information creation section 2, the laser output of the laser oscillator 21, and the processing laser. The laser pulse width of the light R, the scanning speed of the processing laser beam R by the galvano scanner 18, the scanning speed of the visible laser beam Q by the galvano scanner 18 (hereinafter referred to as "scanning speed of the visible laser beam Q"), etc. There are programs etc. that store various control parameters shown in the RAM 42. Further, the ROM 43 stores data such as the start point, end point, focal point, curvature, etc. of each character font, which is composed of straight lines and elliptical arcs, for each type of font.

CPU41は、ROM43に記憶されている各種のプログラムに基づいて各種の演算及び制御を行う。 The CPU 41 performs various calculations and controls based on various programs stored in the ROM 43.

CPU41は、加工データ44、ガルバノスキャナ18による加工レーザ光Rを走査する速度、及び可視レーザ光Qの走査速度等を示すガルバノ走査速度情報等を、ガルバノコントローラ35に出力する。また、CPU41は、加工データ44に基づいて設定したレーザ発振器21のレーザ出力、及び加工レーザ光Rのレーザパルス幅等を示す加工レーザ駆動情報を、レーザドライバ37に出力する。 The CPU 41 outputs processing data 44, galvano scanning speed information indicating the scanning speed of the processing laser beam R by the galvano scanner 18, the scanning speed of the visible laser beam Q, etc. to the galvano controller 35. Further, the CPU 41 outputs processing laser drive information indicating the laser output of the laser oscillator 21 set based on the processing data 44, the laser pulse width of the processing laser light R, etc. to the laser driver 37.

CPU41は、可視半導体レーザ28の点灯開始を指示するオン信号又は消灯を指示するオフ信号、及び可視レーザ光Qのレーザパルス幅等を示す可視レーザ駆動情報を、半導体レーザドライバ38に出力する。その詳細は、後述する。 The CPU 41 outputs to the semiconductor laser driver 38 an on signal that instructs the visible semiconductor laser 28 to start lighting or an off signal that instructs the visible semiconductor laser 28 to turn off, and visible laser drive information indicating the laser pulse width of the visible laser light Q and the like. The details will be described later.

ガルバノコントローラ35は、レーザコントローラ6から入力された各情報(例えば、加工データ44、ガルバノ走査速度情報等)に基づいて、ガルバノX軸モータ31とガルバノY軸モータ32の駆動角度、回転速度等を算出して、駆動角度及び回転速度を示すモータ駆動情報をガルバノドライバ36に出力する。ガルバノドライバ36は、ガルバノコントローラ35から入力されたモータ駆動情報に基づいて、ガルバノX軸モータ31とガルバノY軸モータ32を駆動制御して、加工レーザ光Rと可視レーザ光Qを2次元走査する。 The galvano controller 35 controls the drive angle, rotation speed, etc. of the galvano X-axis motor 31 and the galvano Y-axis motor 32 based on each piece of information input from the laser controller 6 (for example, processing data 44, galvano scanning speed information, etc.). The calculated motor drive information indicating the drive angle and rotational speed is output to the galvano driver 36. The galvano driver 36 drives and controls the galvano X-axis motor 31 and the galvano Y-axis motor 32 based on the motor drive information input from the galvano controller 35, and performs two-dimensional scanning with the processing laser beam R and the visible laser beam Q. .

レーザドライバ37は、レーザコントローラ6から入力されたレーザ発振器21のレーザ出力、及び加工レーザ光Rのレーザパルス幅等を示す加工レーザ駆動情報等に基づいて、レーザ発振器21を駆動させる。半導体レーザドライバ38は、レーザコントローラ6から入力されたオン信号又はオフ信号、及び可視レーザ光Qのレーザパルス幅等を示す可視レーザ駆動情報に基づいて、可視半導体レーザ28を点灯駆動又は、消灯させる。その詳細は、後述する。 The laser driver 37 drives the laser oscillator 21 based on processing laser drive information indicating the laser output of the laser oscillator 21 and the laser pulse width of the processing laser beam R, etc., inputted from the laser controller 6. The semiconductor laser driver 38 drives the visible semiconductor laser 28 to turn on or turn off based on the on signal or off signal input from the laser controller 6 and visible laser drive information indicating the laser pulse width of the visible laser light Q, etc. . The details will be described later.

次に、印字情報作成部2の回路構成について説明する。印字情報作成部2は、制御部51、入力操作部55、液晶ディスプレイ(LCD)56、及びCD-ROMドライブ58等を備えている。制御部51には、不図示の入出力インターフェースを介して、入力操作部55、液晶ディスプレイ56、及びCD-ROMドライブ58等が接続されている。 Next, the circuit configuration of the print information creation section 2 will be explained. The print information creation section 2 includes a control section 51, an input operation section 55, a liquid crystal display (LCD) 56, a CD-ROM drive 58, and the like. An input operation section 55, a liquid crystal display 56, a CD-ROM drive 58, and the like are connected to the control section 51 via an input/output interface (not shown).

入力操作部55は、不図示のマウス及びキーボード等から構成されており、例えば、各種指示情報をユーザが入力する際に使用される。 The input operation unit 55 includes a mouse, a keyboard, etc. (not shown), and is used, for example, when the user inputs various instruction information.

CD-ROMドライブ58は、各種データ、及び各種アプリケーションソフトウェア等をCD-ROM57から読み込むものである。 The CD-ROM drive 58 reads various data, various application software, etc. from the CD-ROM 57.

制御部51は、印字情報作成部2の全体を制御するものであって、CPU61、RAM62、ROM63、及びハードディスクドライブ(以下、「HDD」という。)66等を備えている。CPU61は、印字情報作成部2の全体の制御を行う演算装置及び制御装置である。CPU61、RAM62、及びROM63は、不図示のバス線により相互に接続されており、相互にデータのやり取りが行われる。更に、CPU61とHDD66とは、不図示の入出力インターフェースを介して接続されており、相互にデータのやり取りが行われる。 The control section 51 controls the entire print information creation section 2, and includes a CPU 61, a RAM 62, a ROM 63, a hard disk drive (hereinafter referred to as "HDD") 66, and the like. The CPU 61 is an arithmetic device and a control device that performs overall control of the print information creation section 2. The CPU 61, RAM 62, and ROM 63 are interconnected by a bus line (not shown), and exchange data with each other. Further, the CPU 61 and the HDD 66 are connected via an input/output interface (not shown), and exchange data with each other.

RAM62は、CPU61により演算された各種の演算結果等を一時的に記憶させておくためのものである。ROM63は、各種のプログラム等を記憶させておくものである。 The RAM 62 is for temporarily storing various calculation results etc. calculated by the CPU 61. The ROM 63 stores various programs and the like.

HDD66には、各種アプリケーションソフトウェアのプログラム、及び各種データファイル等が記憶される。 The HDD 66 stores various application software programs, various data files, and the like.

[2.描画]
次に、可視レーザ光Qによる描画について説明する。ここでは、図3に表されたように、印字パターンとして「Y」の英文字が設定された一例を用いて、具体的に説明する。以下、「Y」の英文字を、オブジェクトOと表記する。「Y」の英文字は、第1線分70、第2線分72、及び第3線分74で構成される。
[2. drawing]
Next, drawing using visible laser light Q will be explained. Here, as shown in FIG. 3, a specific explanation will be given using an example in which the alphabetic character "Y" is set as the print pattern. Hereinafter, the alphabetic character "Y" will be referred to as object O. The English letter "Y" is composed of a first line segment 70, a second line segment 72, and a third line segment 74.

また、オブジェクトOが可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で映し出される際の、加工対象物7上では、ガルバノスキャナ18によって2次元走査される可視レーザ光Qの位置(以下、「可視レーザ光Qの走査位置5」又は「走査位置5」という。)が、待機位置iから、6つの各矢印j1,m1-1,m1-2,j2,m2,j3で示す方向へ、その記載順で直進し、待機位置iに戻るものとする。尚、可視レーザ光Qの走査位置5には、加工レーザ光Rが照射及び走査されない位置と、加工レーザ光Rが照射及び走査される位置とがある。 Furthermore, when the object O is projected by the locus (temporal afterimage) of the visible laser beam Q, the position of the visible laser beam Q scanned two-dimensionally by the galvano scanner 18 (hereinafter referred to as “visible laser beam Q's scanning position 5'' or ``scanning position 5'') is moved from the standby position i in the direction indicated by each of the six arrows j1, m1-1, m1-2, j2, m2, j3 in the order indicated. It is assumed that the vehicle goes straight and returns to the standby position i. Note that the scanning position 5 of the visible laser beam Q includes a position where the processing laser beam R is not irradiated and scanned, and a position where the processing laser beam R is irradiated and scanned.

矢印j1の直進では、可視レーザ光Qの走査位置5が、待機位置iから、オブジェクトOの第1線分70の始点がある位置o1にまで移動する。矢印m1-1の直進では、可視レーザ光Qの走査位置5が、上記位置o1から、オブジェクトOの第1線分70の終点がある位置o2にまで移動する。矢印m1-2の直進では、可視レーザ光Qの走査位置5が、上記位置o2であって、オブジェクトOの第2線分72の始点がある位置から、オブジェクトOの第2線分72の終点がある位置o3にまで移動する。 In the straight direction of arrow j1, the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves from the standby position i to the position o1 where the starting point of the first line segment 70 of the object O is located. In the straight line of arrow m1-1, the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves from the position o1 to the position o2 where the end point of the first line segment 70 of the object O is located. In the straight direction of arrow m1-2, the scanning position 5 of the visible laser beam Q is the above-mentioned position o2, from the starting point of the second line segment 72 of the object O to the end point of the second line segment 72 of the object O. moves to a certain position o3.

矢印j2の直進では、可視レーザ光Qの走査位置5が、上記位置o3から、オブジェクトOの第3線分74の始点がある位置o4にまで移動する。矢印m2の直進では、可視レーザ光Qの走査位置5が、上記位置o4から、上記位置o2であって、オブジェクトOの第3線分74の終点がある位置にまで移動する。矢印j3の直進では、可視レーザ光Qの走査位置5が、上記位置o2から、待機位置iにまで移動する。 As the arrow j2 moves straight, the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves from the position o3 to the position o4 where the starting point of the third line segment 74 of the object O is located. In the straight direction of arrow m2, the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves from the position o4 to the position o2, where the end point of the third line segment 74 of the object O is located. In the straight direction of arrow j3, the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves from the position o2 to the standby position i.

尚、待機位置iは、予め設定されており、そのXY座標データがROM43に記憶されている。これに対して、各位置o1,o2,o3,o4は、それらのXY座標データが上記加工データ44から求められる。 Note that the standby position i is set in advance, and its XY coordinate data is stored in the ROM 43. On the other hand, the XY coordinate data of each position o1, o2, o3, o4 is determined from the processed data 44.

図4に表されたように、オブジェクトOが可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で映し出される際は、第1信号100が、オフ状態からオン状態にされる。第1信号100は、ユーザが入力操作部55を操作することによって、レーザ加工装置1が可視レーザ光Qの使用モードに移行したときに、半導体レーザドライバ38に入力される信号である。半導体レーザドライバ38では、第1信号100がオン状態であるときに、蓄電が行われる。半導体レーザドライバ38の蓄電に伴って、可視レーザ光源15内に保持される励起エネルギーは増加する。 As shown in FIG. 4, when the object O is projected by the locus (temporal afterimage) of the visible laser beam Q, the first signal 100 is turned from the off state to the on state. The first signal 100 is a signal input to the semiconductor laser driver 38 when the laser processing apparatus 1 shifts to a mode in which visible laser light Q is used by the user operating the input operation section 55. In the semiconductor laser driver 38, power is stored when the first signal 100 is in the on state. As the semiconductor laser driver 38 stores electricity, the excitation energy held within the visible laser light source 15 increases.

半導体レーザドライバ38にて蓄電が行われている間、つまり第1信号100がオン状態である間は、第1待機期間I1、第1非描画期間J1、第1描画期間M1、第2非描画期間J2、第2描画期間M2、第3非描画期間J3、及び第2待機期間I2に区分けされる。 While power is being stored in the semiconductor laser driver 38, that is, while the first signal 100 is in the on state, the first standby period I1, the first non-drawing period J1, the first drawing period M1, and the second non-drawing period are performed. The period is divided into a period J2, a second drawing period M2, a third non-drawing period J3, and a second waiting period I2.

尚、以下では、第1待機期間I1及び第2待機期間I2を区別せずに総称する場合、「待機期間I」と表記する。第1非描画期間J1、第2非描画期間J2、及び第3非描画期間J3を区別せずに総称する場合、「非描画期間J」と表記する。第1描画期間M1及び第2描画期間M2を区別せずに総称する場合、「描画期間M」と表記する。 In addition, below, when the first standby period I1 and the second standby period I2 are collectively referred to without distinction, they will be referred to as "standby period I." When the first non-drawing period J1, the second non-drawing period J2, and the third non-drawing period J3 are collectively referred to without distinction, they are written as "non-drawing period J." When the first drawing period M1 and the second drawing period M2 are collectively referred to without distinction, they are written as "drawing period M."

第1待機期間I1は、可視レーザ光Qの走査位置5が待機位置iに最初に停止している期間であって、第1信号100がオフ状態からオン状態に切り替わった時点から始まり、半導体レーザドライバ38に第2信号102が入力された時点で終わる。第2信号102は、可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)によるオブジェクトOの映し出しを開始させるための指令信号であって、入力操作部55におけるユーザの操作に基づいて、半導体レーザドライバ38に入力される。第1非描画期間J1は、可視レーザ光Qの走査位置5が矢印j1で示す方向へ直進している期間である。従って、第1非描画期間J1では、可視レーザ光Qの走査位置5が、待機位置iから、オブジェクトOの第1線分70の始点がある位置o1にまで移動している。尚、第1非描画期間J1は、半導体レーザドライバ38に第2信号102が入力された時点から始まる。 The first standby period I1 is a period in which the scanning position 5 of the visible laser beam Q initially stops at the standby position i, and starts from the time when the first signal 100 is switched from the off state to the on state, and the semiconductor laser The process ends when the second signal 102 is input to the driver 38. The second signal 102 is a command signal for starting projection of the object O by the locus (temporal afterimage) of the visible laser beam Q, and is input to the semiconductor laser driver 38 based on the user's operation on the input operation section 55. be done. The first non-drawing period J1 is a period during which the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves straight in the direction indicated by the arrow j1. Therefore, in the first non-drawing period J1, the scanning position 5 of the visible laser beam Q has moved from the standby position i to the position o1 where the starting point of the first line segment 70 of the object O is located. Note that the first non-drawing period J1 starts from the time when the second signal 102 is input to the semiconductor laser driver 38.

第1描画期間M1は、可視レーザ光Qの走査位置5が、矢印m1-1で示す方向及び矢印m1-2で示す方向へ、その記載順に直進している期間である。従って、第1描画期間M1では、可視レーザ光Qの走査位置5が、オブジェクトOの第1線分70の始点がある位置o1からその終点がある位置o2まで移動し、更に、オブジェクトOの第2線分72の始点がある位置o2からその終点がある位置o3まで移動している。 The first drawing period M1 is a period in which the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves straight in the direction shown by the arrow m1-1 and the direction shown by the arrow m1-2 in the order of description. Therefore, in the first drawing period M1, the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves from the position o1 where the starting point of the first line segment 70 of the object O is located to the position o2 where the end point is located, and furthermore, The starting point of the two line segments 72 is moving from the position o2 to the ending point o3.

更に、第1描画期間M1は、最初期間MF、中間期間MM、及び最後期間MLに区分けされる。最初期間MFは、第1描画期間M1の開始から第1所定時間の経過までの期間である。最後期間MLは、第1描画期間M1の終了よりも第2所定時間前から第1描画期間M1の終了までの期間である。中間期間MMは、最初期間MFと最後期間MLとに挟まれた期間である。尚、第1所定時間及び第2所定時間は、予め設定されており、ROM43に記憶されている。 Further, the first drawing period M1 is divided into a first period MF, a middle period MM, and a last period ML. The first period MF is a period from the start of the first drawing period M1 until the elapse of the first predetermined time. The last period ML is a period from a second predetermined time before the end of the first drawing period M1 to the end of the first drawing period M1. The intermediate period MM is a period sandwiched between the first period MF and the last period ML. Note that the first predetermined time and the second predetermined time are set in advance and stored in the ROM 43.

第2非描画期間J2は、可視レーザ光Qの走査位置5が矢印j2で示す方向へ直進している期間である。従って、第2非描画期間J2では、可視レーザ光Qの走査位置5が、オブジェクトOの第2線分72の終点がある位置o3から、オブジェクトOの第3線分74の始点がある位置o4まで移動している。 The second non-drawing period J2 is a period during which the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves straight in the direction indicated by the arrow j2. Therefore, in the second non-drawing period J2, the scanning position 5 of the visible laser beam Q changes from the position o3 where the end point of the second line segment 72 of the object O is located to the position o4 where the starting point of the third line segment 74 of the object O is located. is moving up to.

第2描画期間M2は、可視レーザ光Qの走査位置5が矢印m2で示す方向へ直進している期間である。従って、第2描画期間M2では、可視レーザ光Qの走査位置5が、オブジェクトOの第3線分74の始点がある位置o4から、その終点がある位置o2まで移動している。更に、第2描画期間M2は、第1描画期間M1と同様にして、最初期間MF、中間期間MM、及び最後期間MLに区分けされる。 The second drawing period M2 is a period during which the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves straight in the direction indicated by the arrow m2. Therefore, in the second drawing period M2, the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves from the position o4 where the starting point of the third line segment 74 of the object O is located to the position o2 where the ending point is located. Furthermore, the second drawing period M2 is divided into a first period MF, a middle period MM, and a last period ML in the same way as the first drawing period M1.

第3非描画期間J3は、可視レーザ光Qの走査位置5が矢印j3で示す方向へ直進している期間である。従って、第3非描画期間J3では、可視レーザ光Qの走査位置5が、オブジェクトOの第3線分74の終点がある位置o2から、待機位置iにまで移動している。第2待機期間I2は、可視レーザ光Qの走査位置5が待機位置iに再び停止している期間であって、第1信号100がオン状態からオフ状態に切り替わった時点で終わる。尚、第1信号100は、ユーザが入力操作部55を操作することによって、レーザ加工装置1が可視レーザ光Qの使用モードから他のモードに移行したとき等に、オン状態からオフ状に切り替わる。 The third non-drawing period J3 is a period during which the scanning position 5 of the visible laser beam Q moves straight in the direction indicated by the arrow j3. Therefore, in the third non-drawing period J3, the scanning position 5 of the visible laser beam Q has moved from the position o2 where the end point of the third line segment 74 of the object O is located to the standby position i. The second standby period I2 is a period during which the scanning position 5 of the visible laser beam Q is again stopped at the standby position i, and ends when the first signal 100 is switched from the on state to the off state. Note that the first signal 100 is switched from an on state to an off state when the laser processing apparatus 1 shifts from the visible laser light Q usage mode to another mode by the user operating the input operation unit 55. .

従って、第1描画期間M1及び第2描画期間M2は、オブジェクトOの全ての線分70,72,74のうち、少なくとも一つが、可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で映し出される期間である。以下、オブジェクトOの全ての線分70,72,74のうち、少なくとも一つを可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で映し出すことを、「描画」と表記する。 Therefore, the first drawing period M1 and the second drawing period M2 are periods in which at least one of all the line segments 70, 72, 74 of the object O is projected by the locus (temporal afterimage) of the visible laser beam Q. . Hereinafter, projecting at least one of all the line segments 70, 72, and 74 of the object O as a locus (temporal afterimage) of the visible laser beam Q will be referred to as "drawing."

これに対して、第1待機期間I1、第1非描画期間J1、第2非描画期間J2、第3非描画期間J3、及び第2待機期間I2は、オブジェクトOの全ての線分70,72,74が、可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で映し出されない期間、つまり描画は行われない期間である。 On the other hand, during the first waiting period I1, the first non-drawing period J1, the second non-drawing period J2, the third non-drawing period J3, and the second waiting period I2, all the line segments 70, 72 of the object O , 74 is a period in which the trajectory (temporal afterimage) of the visible laser beam Q is not projected, that is, a period in which drawing is not performed.

尚、描画が行われない期間のうち、第1待機期間I1及び第2待機時間I2は、可視レーザ光Qの走査位置5が停止している期間であり、第1非描画期間J1、第2非描画期間J2、及び第3非描画期間J3は、可視レーザ光Qの走査位置5が移動している期間である。 In addition, among the periods in which drawing is not performed, the first waiting period I1 and the second waiting time I2 are periods in which the scanning position 5 of the visible laser beam Q is stopped, and the first non-drawing period J1, the second The non-drawing period J2 and the third non-drawing period J3 are periods during which the scanning position 5 of the visible laser beam Q is moving.

半導体レーザドライバ38にて蓄電が行われている間では、つまり第1待機期間I1、第1非描画期間J1、第1描画期間M1、第2非描画期間J2、第2描画期間M2、第3非描画期間J3、及び第2待機期間I2では、図5に表されたパルス信号104に基づいて、可視半導体レーザ28から可視レーザ光Qが出射される。可視半導体レーザ28から可視レーザ光Qが出射されると、ガルバノスキャナ18等を経由して、加工対象物7上の走査位置5において、可視レーザ光Qが照射される。 While power is being stored in the semiconductor laser driver 38, the first standby period I1, the first non-drawing period J1, the first drawing period M1, the second non-drawing period J2, the second drawing period M2, and the third In the non-drawing period J3 and the second standby period I2, visible laser light Q is emitted from the visible semiconductor laser 28 based on the pulse signal 104 shown in FIG. When the visible laser light Q is emitted from the visible semiconductor laser 28, the visible laser light Q is irradiated onto the scanning position 5 on the workpiece 7 via the galvano scanner 18 or the like.

図5において、符号fは、パルス信号104のパルス周期を示している。符号hは、パルス信号104のオン状態の継続時間(以下、「オン時間」という。)を示している。従って、パルス信号104のデューティ比Dは、オン時間hをパルス周期fで割った値である。 In FIG. 5, the symbol f indicates the pulse period of the pulse signal 104. The symbol h indicates the duration of the on state of the pulse signal 104 (hereinafter referred to as "on time"). Therefore, the duty ratio D of the pulse signal 104 is the value obtained by dividing the on-time h by the pulse period f.

パルス信号104は、半導体レーザドライバ38から、可視半導体レーザ28に送信される電圧信号である。可視半導体レーザ28では、パルス信号104がオン状態のときに、可視レーザ光Qが出射する。従って、パルス信号104のオン時間(パルス信号104のパルス幅)は、可視半導体レーザ28から出射される可視レーザ光Qのパルス幅を示している。よって、可視レーザ光Qの発振状態、つまり、加工対象物7上での可視レーザ光Qの照射状態は、パルス信号104のデューティ比D及びパルス周期fで示される。 Pulse signal 104 is a voltage signal sent from semiconductor laser driver 38 to visible semiconductor laser 28 . The visible semiconductor laser 28 emits visible laser light Q when the pulse signal 104 is on. Therefore, the on time of the pulse signal 104 (the pulse width of the pulse signal 104) indicates the pulse width of the visible laser light Q emitted from the visible semiconductor laser 28. Therefore, the oscillation state of the visible laser light Q, that is, the irradiation state of the visible laser light Q on the workpiece 7 is indicated by the duty ratio D and the pulse period f of the pulse signal 104.

待機期間Iのパルス信号104は、そのデューティ比D及びパルス周期fが所定デューティ比及び所定パルス周期に設定され、待機期間Iが開始されるときに、半導体レーザドライバ38から可視半導体レーザ28に送信される。尚、所定デューティ比及び所定パルス周期は、予め設定されており、ROM43に記憶されている。 The pulse signal 104 of the standby period I is transmitted from the semiconductor laser driver 38 to the visible semiconductor laser 28 when its duty ratio D and pulse period f are set to a predetermined duty ratio and a predetermined pulse period and the standby period I is started. be done. Note that the predetermined duty ratio and the predetermined pulse period are set in advance and stored in the ROM 43.

これに対して、第1非描画期間J1、第1描画期間M1、第2非描画期間J2、第2描画期間M2、及び第3非描画期間J3の各パルス信号104は、半導体レーザドライバ38に第2信号102が入力されたときに、その記載順に連続して、半導体レーザドライバ38から可視半導体レーザ28に送信される。 On the other hand, each pulse signal 104 of the first non-writing period J1, the first drawing period M1, the second non-writing period J2, the second drawing period M2, and the third non-writing period J3 is sent to the semiconductor laser driver 38. When the second signals 102 are input, they are successively transmitted from the semiconductor laser driver 38 to the visible semiconductor laser 28 in the order in which they are written.

描画期間Mを構成する最初期間MF、中間期間MM、及び最後期間MLのうち、中間期間MMのパルス信号104は、そのデューティ比Dが「1」に設定される。もっとも、可視レーザ光Qによる描画の視認性が確保されるのであれば、中間期間MMのパルス信号104は、そのデューティ比Dが「1」未満の比較的大きな値に設定されてもよいし、そのパルス周期fが比較的小さな値に設定されてもよい。 Among the first period MF, middle period MM, and last period ML that constitute the drawing period M, the duty ratio D of the pulse signal 104 of the middle period MM is set to "1". However, as long as the visibility of drawing by the visible laser beam Q is ensured, the duty ratio D of the pulse signal 104 in the intermediate period MM may be set to a relatively large value less than "1"; The pulse period f may be set to a relatively small value.

これに対して、最初期間MFのパルス信号104のデューティ比D又はパルス周期fは、可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量を中間期間MMの時よりも小さくするものに設定される。従って、最初期間MFのパルス信号104は、中間期間MMのパルス信号104と比べ、デューティ比Dが小さく、又はパルス周期fが大きい。 On the other hand, the duty ratio D or pulse period f of the pulse signal 104 in the first period MF is set to make the amount of energy per time of the visible laser beam Q smaller than that in the intermediate period MM. Therefore, the pulse signal 104 in the first period MF has a smaller duty ratio D or a larger pulse period f than the pulse signal 104 in the intermediate period MM.

但し、可視半導体レーザ28から出射される可視レーザ光Qのエネルギー量にオーバーシュートが生じないのであれば、最初期間MFのパルス信号104のデューティ比D又はパルス周期fは、中間期間MMのパルス信号104のデューティ比D又はパルス周期fと同一であってもよい。尚、オーバーシュートについては、後述する。 However, if no overshoot occurs in the energy amount of the visible laser light Q emitted from the visible semiconductor laser 28, the duty ratio D or pulse period f of the pulse signal 104 in the first period MF is equal to the pulse signal in the intermediate period MM. The duty ratio D or pulse period f of 104 may be the same. Note that overshoot will be described later.

また、最後期間MLのパルス信号104のデューティ比Dは、可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量を中間期間MMの時よりも小さくするものに設定される。従って、最後期間MLのパルス信号104は、中間期間MMのパルス信号104と比べ、デューティ比Dが小さい。 Further, the duty ratio D of the pulse signal 104 in the last period ML is set to make the amount of energy per time of the visible laser beam Q smaller than that in the intermediate period MM. Therefore, the pulse signal 104 in the last period ML has a smaller duty ratio D than the pulse signal 104 in the intermediate period MM.

非描画期間Jのパルス信号104は、そのデューティ比D又はパルス周期fが、非描画期間Jにおける可視レーザ光Qの走査位置5の移動距離、つまり非描画期間Jにおける可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間に応じ、例えば、図6のグラフに表された各関係式106,108に基づいて設定される。 The pulse signal 104 in the non-drawing period J has a duty ratio D or a pulse period f equal to the moving distance of the scanning position 5 of the visible laser beam Q in the non-drawing period J, that is, the scanning position of the visible laser beam Q in the non-drawing period J. 5, for example, based on the relational expressions 106 and 108 shown in the graph of FIG.

但し、この設定では、非描画期間Jの加工対象物7上に照射及び走査される可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量が、描画期間M(より具体的には、描画期間Mの中間期間MM)の加工対象物7上に照射及び走査される可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量よりも大きくならないことが条件とされる。 However, in this setting, the amount of energy per hour of the visible laser beam Q irradiated and scanned onto the workpiece 7 during the non-drawing period J is the same as that during the drawing period M (more specifically, the intermediate period of the drawing period M). The condition is that the amount of energy per unit time is not greater than the amount of energy per hour of the visible laser beam Q that is irradiated and scanned onto the workpiece 7 of MM).

図6のグラフにおいて、横軸は、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tの長さを示している。これに対して、縦軸は、半導体レーザドライバ38の蓄電に伴って可視レーザ光源15内に保持される励起エネルギーEの量を示している。 In the graph of FIG. 6, the horizontal axis indicates the length of the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q. On the other hand, the vertical axis indicates the amount of excitation energy E held within the visible laser light source 15 as the semiconductor laser driver 38 stores electricity.

符号Efは、可視半導体レーザ28から出射される可視レーザ光Qのエネルギーがオーバーシュートする励起エネルギーEの最小量(以下、「第1エネルギー量Ef」という。)を示している。可視半導体レーザ28から出射される可視レーザ光Qのエネルギーがオーバーシュートするということは、可視半導体レーザ28から出射される可視レーザ光Qの光量が大きいということである。そのため、可視レーザ光Qのエネルギーのオーバーシュートは、可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で加工対象物7上に映し出されるオブジェクトOに対し、その視認性に影響を及ぼす虞がある。従って、照射される可視レーザ光Qのエネルギーがオーバーシュートすることは、望ましくない。 The symbol Ef indicates the minimum amount of excitation energy E (hereinafter referred to as "first energy amount Ef") at which the energy of the visible laser light Q emitted from the visible semiconductor laser 28 overshoots. The fact that the energy of the visible laser light Q emitted from the visible semiconductor laser 28 overshoots means that the amount of visible laser light Q emitted from the visible semiconductor laser 28 is large. Therefore, the overshoot of the energy of the visible laser beam Q may affect the visibility of the object O projected on the workpiece 7 by the locus (temporal afterimage) of the visible laser beam Q. Therefore, it is undesirable for the energy of the visible laser light Q to be irradiated to overshoot.

レーザ加工装置1では、可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で加工対象物7上にオブジェクトOを視認性良く映し出すために、描画期間Mにおいて可視半導体レーザ28から出射される可視レーザ光Qのエネルギーの上限値を設定している。つまり、本実施形態において、オーバーシュートとは、その設定された上限値を超えたエネルギー量で可視レーザ光Qが出射されることを示しており、具体的には、第1エネルギー量Efである。 In the laser processing apparatus 1, the visible laser beam Q emitted from the visible semiconductor laser 28 during the drawing period M is used to project the object O on the workpiece 7 with good visibility using the locus (temporal afterimage) of the visible laser beam Q. The upper limit of energy is set. That is, in this embodiment, overshoot indicates that the visible laser beam Q is emitted with an energy amount exceeding the set upper limit value, and specifically, the first energy amount Ef. .

符号Ebは、第1エネルギー量Efよりも大きな値であって、半導体レーザドライバ38を破壊する励起エネルギーEの最小量(以下、「第2エネルギー量Eb」という。)を示している。尚、半導体レーザドライバ38の破壊は、半導体レーザドライバ38の蓄電量が許容量を超えることによって起こる。 The symbol Eb is a value larger than the first energy amount Ef and indicates the minimum amount of excitation energy E that destroys the semiconductor laser driver 38 (hereinafter referred to as "second energy amount Eb"). Note that destruction of the semiconductor laser driver 38 occurs when the amount of electricity stored in the semiconductor laser driver 38 exceeds an allowable amount.

符号E0は、非描画期間Jの開始時に、可視レーザ光源15内に保持されている励起エネルギーEの量(以下、「初期エネルギー量E0」という。)を示している。初期エネルギー量E0は、「0」のときもあるが、ここでは、「0」よりも大きいものとする。 The symbol E0 indicates the amount of excitation energy E held in the visible laser light source 15 at the start of the non-drawing period J (hereinafter referred to as "initial energy amount E0"). The initial energy amount E0 is sometimes "0", but here it is assumed to be larger than "0".

関係式106は、非描画期間Jのパルス信号104のデューティ比Dが「0」、すなわち、パルス信号104がオン状態となることがない場合において、可視レーザ光源15内に保持される励起エネルギーEの量と、非描画期間Jにおける可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tとの関係を、直線で近似したものである。 The relational expression 106 expresses the excitation energy E held in the visible laser light source 15 when the duty ratio D of the pulse signal 104 in the non-drawing period J is "0", that is, when the pulse signal 104 is never turned on. The relationship between the amount and the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q during the non-drawing period J is approximated by a straight line.

関係式106によれば、例えば、第1非描画期間J1において、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが時間tf1未満である場合、第1非描画期間J1のパルス信号104のデューティ比Dが「0」であっても、半導体レーザドライバ38は破壊されないし、第1非描画期間J1に後続する第1描画期間M1の開始時において上記オーバーシュートを生じさせることもない。そこで、第1非描画期間J1のパルス信号104は、そのデューティ比Dが「0」に設定される。この点は、第2非描画期間J2及び第3非描画期間J3についても同様である。 According to the relational expression 106, for example, in the first non-drawing period J1, if the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q is less than the time tf1, the duty ratio of the pulse signal 104 in the first non-drawing period J1 Even if D is "0", the semiconductor laser driver 38 is not destroyed, and the above-mentioned overshoot does not occur at the start of the first drawing period M1 following the first non-writing period J1. Therefore, the duty ratio D of the pulse signal 104 in the first non-drawing period J1 is set to "0". This point also applies to the second non-drawing period J2 and the third non-drawing period J3.

また、関係式106によれば、例えば、第1非描画期間J1において、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが、時間tf1以上で時間tb未満である場合、第1非描画期間J1のパルス信号104のデューティ比Dが「0」であると、半導体レーザドライバ38は破壊されないけれども、第1非描画期間J1に後続する第1描画期間M1の開始時において上記オーバーシュートを生じさせてしまう。そこで、第1非描画期間J1のパルス信号104は、そのデューティ比Dが「0」に設定される一方で、第1非描画期間J1に後続する第1描画期間M1の最初期間MFのパルス信号104は、上述したように、中間期間MMのパルス信号104と比べ、デューティ比Dが小さくされ、又はパルス周期fが大きくされる。これにより、第1非描画期間J1に後続する第1描画期間M1の開始時において、上記オーバーシュートが生じることをなくす。この点は、第2非描画期間J2及び第3非描画期間J3についても同様である。 Further, according to the relational expression 106, for example, if the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q in the first non-drawing period J1 is greater than or equal to time tf1 and less than time tb, then the first non-drawing period J1 If the duty ratio D of the pulse signal 104 is "0", the semiconductor laser driver 38 will not be destroyed, but the overshoot will occur at the start of the first drawing period M1 following the first non-writing period J1. Put it away. Therefore, the pulse signal 104 of the first non-drawing period J1 has its duty ratio D set to "0", while the pulse signal 104 of the first period MF of the first drawing period M1 subsequent to the first non-drawing period J1 As described above, the pulse signal 104 has a smaller duty ratio D or a larger pulse period f than the pulse signal 104 in the intermediate period MM. This prevents the overshoot from occurring at the start of the first drawing period M1 following the first non-drawing period J1. This point also applies to the second non-drawing period J2 and the third non-drawing period J3.

更に、関係式106によれば、例えば、第1非描画期間J1において、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが時間tb以上である場合、第1非描画期間J1のパルス信号104のデューティ比Dが「0」であると、半導体レーザドライバ38は破壊されてしまう。そこで、第1非描画期間J1のパルス信号104は、そのデューティ比D又はパルス周期fが、半導体レーザドライバ38が破壊されず、且つ、第1非描画期間J1に後続する第1描画期間M1の開始時において上記オーバーシュートが生じないものに変更される。 Further, according to the relational expression 106, for example, in the first non-drawing period J1, if the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q is longer than the time tb, the pulse signal 104 of the first non-drawing period J1 is If the duty ratio D is "0", the semiconductor laser driver 38 will be destroyed. Therefore, the pulse signal 104 in the first non-writing period J1 has a duty ratio D or a pulse period f such that the semiconductor laser driver 38 is not destroyed and the first drawing period M1 subsequent to the first non-writing period J1 has a duty ratio D or a pulse period f. It is changed so that the above-mentioned overshoot does not occur at the start.

関係式108は、非描画期間Jのパルス信号104のデューティ比D又はパルス周期fについて上記変更がなされた場合において、可視レーザ光源15内に保持される励起エネルギーEの量と、非描画期間Jにおける可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tとの関係を、直線で近似したものである。従って、関係式108によれば、例えば、第1非描画期間J1において、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが、時間tb以上で時間tf2未満である場合、第1非描画期間J1のパルス信号104は、そのデューティ比D又はパルス周期fについて、上記変更がなされる。この点は、第2非描画期間J2及び第3非描画期間J3についても同様である。 Relational expression 108 expresses the amount of excitation energy E held in the visible laser light source 15 and the amount of excitation energy E held in the visible laser light source 15 and the non-writing period J when the duty ratio D or pulse period f of the pulse signal 104 in the non-writing period J is changed as described above. The relationship between the travel time t and the scanning position 5 of the visible laser beam Q in is approximated by a straight line. Therefore, according to relational expression 108, for example, in the first non-drawing period J1, if the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q is greater than or equal to time tb and less than time tf2, then the first non-drawing period J1 The pulse signal 104 has the duty ratio D or pulse period f changed as described above. This point also applies to the second non-drawing period J2 and the third non-drawing period J3.

但し、関係式108に基づいて上記変更がなされたデューティ比Dは、描画期間Mの中間期間MMのデューティ比Dの「1」よりも小さく、且つ、待機期間Iの所定デューティ比よりも小さい。尚、関係式108に基づいて上記変更がなされると、デューティ比Dが「0」よりも大きくなるので、非描画期間Jでは、可視半導体レーザ28から可視レーザ光Qが一定間隔で出射される。そのため、関係式108は、関係式106よりも、近似直線の傾きが小さい。従って、同一の移動時間tで可視レーザ光源15内に蓄積される励起エネルギーEの量は、関係式108の方が関係式106の方よりも小さい。 However, the duty ratio D that has been changed based on the relational expression 108 is smaller than the duty ratio D of "1" in the intermediate period MM of the drawing period M, and also smaller than the predetermined duty ratio of the standby period I. Note that when the above change is made based on relational expression 108, the duty ratio D becomes larger than "0", so that the visible laser beam Q is emitted from the visible semiconductor laser 28 at regular intervals during the non-drawing period J. . Therefore, in relational expression 108, the slope of the approximate straight line is smaller than in relational expression 106. Therefore, the amount of excitation energy E stored in the visible laser light source 15 for the same travel time t is smaller in relational expression 108 than in relational expression 106.

また、関係式108によれば、例えば、第1非描画期間J1において、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが、時間tf2以上である場合、第1非描画期間J1のパルス信号104のデューティ比D又はパルス周期fについて上記変更がなされると、半導体レーザドライバ38は破壊されないけれども、第1非描画期間J1に後続する第1描画期間M1の開始時において上記オーバーシュートを生じさせてしまう。そこで、第1非描画期間J1のパルス信号104は、そのデューティ比D又はパルス周期fについて、上記変更がなされる一方で、第1非描画期間J1に後続する第1描画期間M1の最初期間MFのパルス信号104は、中間期間MMのパルス信号104と比べ、デューティ比Dがより一層に小さくされ、又はパルス周期fがより一層に大きくされる。これにより、第1非描画期間J1に後続する第1描画期間M1の開始時において、上記オーバーシュートが生じることをなくす。この点は、第2非描画期間J2及び第3非描画期間J3についても同様である。 Further, according to the relational expression 108, for example, if the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q in the first non-drawing period J1 is longer than the time tf2, the pulse signal 104 of the first non-drawing period J1 If the above-mentioned changes are made to the duty ratio D or the pulse period f, the semiconductor laser driver 38 will not be destroyed, but the overshoot will occur at the start of the first drawing period M1 following the first non-writing period J1. Put it away. Therefore, the pulse signal 104 of the first non-drawing period J1 has its duty ratio D or pulse period f changed as described above, while the first period MF of the first drawing period M1 subsequent to the first non-drawing period J1 The pulse signal 104 has a much smaller duty ratio D or a much larger pulse period f than the pulse signal 104 of the intermediate period MM. This prevents the overshoot from occurring at the start of the first drawing period M1 following the first non-drawing period J1. This point also applies to the second non-drawing period J2 and the third non-drawing period J3.

また、第1非描画期間J1において、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが、時間tf2以上である場合、第1非描画期間J1のパルス信号104は、そのデューティ比D又はパルス周期fが、関係式108とは異なる関係式に基づいて、半導体レーザドライバ38が破壊されず、且つ、第1非描画期間J1に後続する第1描画期間M1の開始時において上記オーバーシュートが生じないものに変更されてもよい。この点は、第2非描画期間J2及び第3非描画期間J3についても同様である。 Further, in the first non-drawing period J1, if the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q is longer than the time tf2, the pulse signal 104 in the first non-drawing period J1 has a duty ratio D or a pulse period f is based on a relational expression different from relational expression 108, the semiconductor laser driver 38 is not destroyed, and the above-mentioned overshoot does not occur at the start of the first drawing period M1 following the first non-writing period J1. may be changed to something else. This point also applies to the second non-drawing period J2 and the third non-drawing period J3.

尚、各関係式106,108、第1エネルギー量Ef、第2エネルギー量Eb、及び各時間tf1,tb,tf2に関するデータは、ROM43に記憶されている。 Note that data regarding each of the relational expressions 106 and 108, the first energy amount Ef, the second energy amount Eb, and each time tf1, tb, and tf2 are stored in the ROM 43.

[3.制御フロー]
図7乃至図9のフローチャートで表された制御プログラムは、制御部51のROM63に記憶されており、加工対象物7上においてオブジェクトOが可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で映し出される際に、制御部51のCPU61により実行される。従って、後述する処理において、制御対象がレーザ加工部3の構成要素である場合、レーザコントローラ6を介した制御が行われる。尚、本制御プログラムは、CD-ROM57に保存されており、CD-ROMドライブ58によって読み込まれ、CPU61により実行されてもよい。以下、本制御プログラムを、図3乃至図6に表された具体例を参照しながら説明する。
[3. Control flow]
The control program represented by the flowcharts of FIGS. 7 to 9 is stored in the ROM 63 of the control unit 51, and is executed when the object O is projected on the workpiece 7 by the trajectory (temporal afterimage) of the visible laser beam Q. , are executed by the CPU 61 of the control unit 51. Therefore, in the process described below, when the object to be controlled is a component of the laser processing section 3, control is performed via the laser controller 6. Note that this control program may be stored in the CD-ROM 57, read by the CD-ROM drive 58, and executed by the CPU 61. The present control program will be explained below with reference to specific examples shown in FIGS. 3 to 6.

図7のフローチャートで表された制御プログラムでは、先ず、ステップ(以下、単に「S」と表記する。)10において、半導体レーザドライバ38に入力される第1信号100がオン状態であるかが判定される。第1信号100がオフ状態である場合(S10:NO)、この判定が繰り返される。これに対して、第1信号100がオン状態である場合(S10:YES)、半導体レーザドライバ38の蓄電が開始され、その後に、待機処理S12が行われる。 In the control program represented by the flowchart of FIG. 7, first, in step (hereinafter simply referred to as "S") 10, it is determined whether the first signal 100 input to the semiconductor laser driver 38 is in the on state. be done. If the first signal 100 is in the off state (S10: NO), this determination is repeated. On the other hand, when the first signal 100 is in the on state (S10: YES), power storage of the semiconductor laser driver 38 is started, and then a standby process S12 is performed.

待機処理S12では、デューティ比D及びパルス周期fを所定デューティ比及び所定パルス周期とする、待機期間Iのパルス信号104が、半導体レーザドライバ38から可視半導体レーザ28に送信される。これにより、第1待機期間I1では、可視レーザ光Qが可視半導体レーザ28から所定間隔で出射され、その所定間隔で出射される可視レーザ光Qが、ガルバノスキャナ18によって、加工対象物7上の待機位置iに照射される。このようにして、待機期間Iでは、可視レーザ光Qが所定間隔で出射されることによって、可視レーザ光源15内に蓄電される励起エネルギーEが、第1エネルギー量Ef及び第2エネルギー量Ebを超えないように制御される。 In the standby process S12, a pulse signal 104 of a standby period I with a duty ratio D and a pulse period f as a predetermined duty ratio and a predetermined pulse period is transmitted from the semiconductor laser driver 38 to the visible semiconductor laser 28. As a result, during the first waiting period I1, visible laser light Q is emitted from the visible semiconductor laser 28 at predetermined intervals, and the visible laser light Q emitted at the predetermined intervals is scanned by the galvano scanner 18 onto the workpiece 7. The standby position i is irradiated. In this way, during the standby period I, the visible laser light Q is emitted at predetermined intervals, so that the excitation energy E stored in the visible laser light source 15 exceeds the first energy amount Ef and the second energy amount Eb. controlled so as not to exceed.

S14では、第1信号100がオフ状態であるかが判定される。第1信号100がオフ状態である場合(S14:YES)、半導体レーザドライバ38において、蓄電と、可視半導体レーザ28に対する待機期間Iのパルス信号104の送信とが終了する。これにより、本制御プログラムが終了する。 In S14, it is determined whether the first signal 100 is in the off state. If the first signal 100 is in the off state (S14: YES), the semiconductor laser driver 38 finishes storing electricity and transmitting the pulse signal 104 during the standby period I to the visible semiconductor laser 28. This ends the control program.

これに対して、第1信号100がオン状態である場合(S14:NO)、S16において、印字情報作成部2から送信される上記印字データをレーザコントローラ6が受信したかが判定される。レーザコントローラ6が上記印字データを受信していない場合(S16:NO)、この判定が繰り返される。これに対して、レーザコントローラ6が上記印字データを受信した場合(S16:YES)、計算処理S18が行われる。尚、上述したように、オブジェクトOのXY座標データは、レーザコントローラ6が受信した上記印字データに基づいて加工データ44として算出され、その加工データ44がRAM42に記憶される。 On the other hand, if the first signal 100 is in the ON state (S14: NO), it is determined in S16 whether the laser controller 6 has received the print data transmitted from the print information creation section 2. If the laser controller 6 has not received the print data (S16: NO), this determination is repeated. On the other hand, when the laser controller 6 receives the print data (S16: YES), calculation processing S18 is performed. As described above, the XY coordinate data of the object O is calculated as the processed data 44 based on the print data received by the laser controller 6, and the processed data 44 is stored in the RAM 42.

計算処理S18では、図8に表されたように、先ず、特定処理S30が行われる。この処理では、非描画期間Jにおける可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが算出される。その算出は、非描画期間Jにおける可視レーザ光Qの走査位置5の移動距離を、上述した可視レーザ光Qの走査速度で割ることによって行われる。その際、非描画期間Jにおける可視レーザ光Qの走査位置5の移動距離は、上記加工データ44から特定される。尚、ここでは、第1非描画期間J1における可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間t(以下、「第1非描画期間J1における移動時間t」という。)が算出されたものとする。 In the calculation process S18, as shown in FIG. 8, first, a specific process S30 is performed. In this process, the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q during the non-drawing period J is calculated. The calculation is performed by dividing the moving distance of the scanning position 5 of the visible laser beam Q during the non-drawing period J by the scanning speed of the visible laser beam Q mentioned above. At this time, the moving distance of the scanning position 5 of the visible laser beam Q during the non-drawing period J is specified from the processing data 44 described above. Here, it is assumed that the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q in the first non-drawing period J1 (hereinafter referred to as "moving time t in the first non-drawing period J1") has been calculated.

決定処理S32では、図9に表されたように、先ず、S50において、第1非描画期間J1における移動時間tが、上記時間tf1未満であるかが判定される。第1非描画期間J1における移動時間tが、上記時間tf1未満である場合(S50:YES)、第1モード処理S52が行われる。第1モード処理S52では、第1非描画期間J1のパルス信号104について、そのデューティ比Dが、上記所定デューティ比よりも小さな「0」に設定される。その後、本制御プログラムは、図8のS34に進む。 In the determination process S32, as shown in FIG. 9, first, in S50, it is determined whether the moving time t in the first non-rendering period J1 is less than the above-mentioned time tf1. When the moving time t in the first non-rendering period J1 is less than the above-mentioned time tf1 (S50: YES), the first mode process S52 is performed. In the first mode process S52, the duty ratio D of the pulse signal 104 of the first non-drawing period J1 is set to "0", which is smaller than the predetermined duty ratio. Thereafter, the control program proceeds to S34 in FIG. 8.

これに対して、第1非描画期間J1における移動時間tが、上記時間tf1以上である場合(S50:NO)、S54において、第1非描画期間J1における移動時間tが、上記時間tb未満であるかが判定される。第1非描画期間J1における移動時間tが、上記時間tb未満である場合(S54:YES)、第2モード処理S56が行われる。第2モード処理S56では、上記第1モード処理S52と同様にして、第1非描画期間J1のパルス信号104について、そのデューティ比Dが、上記所定デューティ比よりも小さな「0」に設定される。その後、本制御プログラムは、図8のS34に進む。 On the other hand, if the moving time t in the first non-drawing period J1 is equal to or greater than the above-mentioned time tf1 (S50: NO), in S54, the moving time t in the first non-drawing period J1 is less than the above-mentioned time tb. It is determined whether there is. If the moving time t in the first non-rendering period J1 is less than the above-mentioned time tb (S54: YES), second mode processing S56 is performed. In the second mode process S56, the duty ratio D of the pulse signal 104 of the first non-drawing period J1 is set to "0", which is smaller than the predetermined duty ratio, in the same manner as the first mode process S52. . Thereafter, the control program proceeds to S34 in FIG. 8.

これに対して、第1非描画期間J1における移動時間tが、上記時間tb以上である場合(S54:NO)、S58において、第1非描画期間J1における移動時間tが、上記時間tf2未満であるかが判定される。第1非描画期間J1における移動時間tが、上記時間tf2未満である場合(S58:YES)、第3モード処理S60が行われる。第3モード処理S60では、第1非描画期間J1のパルス信号104について、そのデューティ比D又はパルス周期fが、上記関係式108に基づいて上記変更がなされたものに設定される。これにより、第1非描画期間J1のパルス信号104のデューティ比Dが、上記所定デューティ比よりも小さな値に設定され、あるいは、第1非描画期間J1のパルス信号104のパルス周期fが、上記所定パルス周期よりも大きな値に設定される。その後、本制御プログラムは、図8のS34に進む。 On the other hand, if the moving time t in the first non-drawing period J1 is equal to or greater than the above-mentioned time tb (S54: NO), in S58, the moving time t in the first non-drawing period J1 is less than the above-mentioned time tf2. It is determined whether there is. When the moving time t in the first non-rendering period J1 is less than the above-mentioned time tf2 (S58: YES), the third mode process S60 is performed. In the third mode process S60, the duty ratio D or the pulse period f of the pulse signal 104 of the first non-drawing period J1 is set to the one that has been changed as described above based on the relational expression 108. As a result, the duty ratio D of the pulse signal 104 in the first non-drawing period J1 is set to a value smaller than the predetermined duty ratio, or the pulse period f of the pulse signal 104 in the first non-drawing period J1 is set to a value smaller than the above-mentioned predetermined duty ratio. It is set to a value larger than the predetermined pulse period. Thereafter, the control program proceeds to S34 in FIG. 8.

これに対して、第1非描画期間J1における移動時間tが、上記時間tf2以上である場合(S58:NO)、第4モード処理S62が行われる。第4モード処理S62では、上記第3モード処理S60と同様にして、第1非描画期間J1のパルス信号104について、そのデューティ比D又はパルス周期fが、上記関係式108に基づいて上記変更がなされたものに設定される。これにより、第1非描画期間J1のパルス信号104のデューティ比Dが、上記所定デューティ比よりも小さな値に設定され、あるいは、第1非描画期間J1のパルス信号104のパルス周期fが、上記所定パルス周期よりも大きな値に設定される。 On the other hand, if the moving time t in the first non-rendering period J1 is equal to or longer than the above-mentioned time tf2 (S58: NO), the fourth mode process S62 is performed. In the fourth mode processing S62, the duty ratio D or the pulse period f of the pulse signal 104 of the first non-drawing period J1 is changed based on the relational expression 108 in the same manner as the third mode processing S60. set to what is done. As a result, the duty ratio D of the pulse signal 104 in the first non-drawing period J1 is set to a value smaller than the predetermined duty ratio, or the pulse period f of the pulse signal 104 in the first non-drawing period J1 is set to a value smaller than the above-mentioned predetermined duty ratio. It is set to a value larger than the predetermined pulse period.

但し、第4モード処理S62では、第1非描画期間J1のパルス信号104について、そのデューティ比D又はパルス周期fが、上記関係式108とは異なる関係式に基づいて、上記変更がなされたものに設定されてもよい。その後、本制御プログラムは、図8のS34に進む。 However, in the fourth mode processing S62, the duty ratio D or pulse period f of the pulse signal 104 of the first non-drawing period J1 is changed as described above based on a relational expression different from the relational expression 108 above. may be set to Thereafter, the control program proceeds to S34 in FIG. 8.

図8のS34では、非描画期間Jの全てについて上記特定処理S30及び上記決定処理S32が行われたかが判定される。非描画期間Jの全てについて上記特定処理S30及び上記決定処理S32が行われていない場合(S34:NO)、上記特定処理S30及び上記決定処理S32が繰り返される。これにより、第1非描画期間J1、第2非描画期間J2、及び第3非描画期間J3の各パルス信号104について、そのデューティ比D又はパルス周期fが設定される。 In S34 of FIG. 8, it is determined whether the above-described specifying process S30 and the above-described determining process S32 have been performed for the entire non-rendering period J. If the specifying process S30 and the determining process S32 are not performed for all of the non-drawing period J (S34: NO), the specifying process S30 and the determining process S32 are repeated. Thereby, the duty ratio D or pulse period f is set for each pulse signal 104 in the first non-drawing period J1, the second non-drawing period J2, and the third non-drawing period J3.

尚、この時点では、描画期間Mを構成する最初期間MF、中間期間MM、及び最後期間MLの各パルス信号104は、そのデューティ比Dが、デフォルト値の「1」に設定されているものとする。そのため、可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量の初期値は、描画期間M、最初期間MF、中間期間MM、及び最後期間MLのいずれにおいても、同一である。また、上記決定処理S32で設定された非描画期間Jのパルス信号104のデューティ比Dは、描画期間Mのパルス信号104のデューティ比Dよりも小さい。更に、後述するようにして、描画期間Mを構成する最初期間MF又は中間期間MMのパルス信号104について、そのパルス周期fが設定される場合、そのパルス周期fは、上記決定処理S32で設定された非描画期間Jのパルス信号104のパルス周期fよりも小さくされる。上記デフォルト値は、ROM43に記憶されている。 At this point, it is assumed that the duty ratio D of each of the pulse signals 104 of the first period MF, middle period MM, and last period ML constituting the drawing period M is set to the default value of "1". do. Therefore, the initial value of the energy amount per time of the visible laser beam Q is the same in any of the drawing period M, the first period MF, the intermediate period MM, and the last period ML. Further, the duty ratio D of the pulse signal 104 during the non-drawing period J set in the above-described determination process S32 is smaller than the duty ratio D of the pulse signal 104 during the drawing period M. Furthermore, as will be described later, when the pulse period f is set for the pulse signal 104 of the first period MF or intermediate period MM constituting the drawing period M, the pulse period f is set in the above determination process S32. The pulse period f of the pulse signal 104 during the non-drawing period J is set smaller than the pulse period f of the pulse signal 104 during the non-drawing period J. The above default value is stored in the ROM 43.

これに対して、非描画期間Jの全てについて上記特定処理S30及び上記決定処理S32が行われた場合(S34:YES)、第1変換処理S36が実行される。この処理では、非描画期間Jに後続する描画期間Mにおける、可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量について、最初期間MFの時の方が中間期間MMの時の方よりも小さくなるように、最初期間MFのパルス信号104のデューティ比D又はパルス周期fが変更される。 On the other hand, when the above-described specifying process S30 and the above-described determining process S32 are performed for the entire non-rendering period J (S34: YES), the first conversion process S36 is executed. In this process, the amount of energy per hour of the visible laser beam Q in the drawing period M following the non-drawing period J is set so that the amount of energy per hour in the first period MF is smaller than that in the intermediate period MM. The duty ratio D or pulse period f of the pulse signal 104 in the first period MF is changed.

具体的には、中間期間MMのパルス信号104について、そのデューティ比Dが「1」に維持されることによって、中間期間MMにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量が、描画期間Mにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量の初期値と同一にされる場合、最初期間MFのパルス信号104について、そのデューティ比Dが「1」よりも小さな値に変更される。これにより、最初期間MFにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量が、描画期間Mにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量の初期値よりも小さくされる。その際、最初期間MFのパルス信号104のデューティ比Dは、その最初期間MFの描画期間Mに先行する非描画期間Jにおける、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが長くなるほど、より一層に小さな値に変更されてもよい。 Specifically, by maintaining the duty ratio D of the pulse signal 104 in the intermediate period MM at "1", the energy amount per hour of the visible laser beam Q in the intermediate period MM is equal to the visible laser beam Q in the drawing period M. When the energy amount per time of the laser beam Q is set to be the same as the initial value, the duty ratio D of the pulse signal 104 in the first period MF is changed to a value smaller than "1". Thereby, the amount of energy per hour of the visible laser light Q in the first period MF is made smaller than the initial value of the amount of energy per time of the visible laser light Q in the drawing period M. At this time, the duty ratio D of the pulse signal 104 of the first period MF becomes more as the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q in the non-drawing period J preceding the drawing period M of the first period MF becomes longer. It may be changed to an even smaller value.

また、中間期間MMのパルス信号104について、そのパルス周期fが設定されている場合には、最初期間MFのパルス信号104のパルス周期fが、中間期間MMのパルス信号104のパルス周期fよりも大きな値に変更されてもよい。その際、最初期間MFのパルス信号104のパルス周期fは、その最初期間MFの描画期間Mに先行する非描画期間Jにおける、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが長くなるほど、より一層に大きな値に変更されてもよい。 Further, when the pulse period f of the pulse signal 104 in the intermediate period MM is set, the pulse period f of the pulse signal 104 in the first period MF is longer than the pulse period f of the pulse signal 104 in the intermediate period MM. It may be changed to a larger value. At this time, the pulse period f of the pulse signal 104 of the first period MF becomes more rapid as the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q in the non-drawing period J preceding the drawing period M of the first period MF becomes longer. It may be changed to an even larger value.

このような変更は、最初期間MFの開始時においてオーバーシュートを生じさせないために行うのであれば、少なくとも、上記第2モード処理S56又は上記第4モード処理S62の対象となった非描画期間Jに後続する、描画期間Mに対して行われる。これに対して、最初期間MFの開始時においてオーバーシュートが生じる可能性を一掃するために行うのであれば、非描画期間Jが上記第2モード処理S56又は上記第4モード処理S62の対象となったか否かに関係なく、全ての描画期間Mに対して行われる。 If such a change is made to prevent overshoot from occurring at the start of the first period MF, at least the non-rendering period J that is the target of the second mode process S56 or the fourth mode process S62 will be changed. This is performed for the subsequent drawing period M. On the other hand, if this is done to eliminate the possibility of overshoot occurring at the start of the first period MF, the non-rendering period J is subject to the second mode processing S56 or the fourth mode processing S62. This is performed for all drawing periods M, regardless of whether or not the drawing period is completed.

第2変換処理S38では、非描画期間Jに先行する描画期間Mにおける、可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量について、最後期間MLの時の方が中間期間MMの時の方よりも小さくなるように、最後期間MLのパルス信号104のデューティ比Dが変更される。 In the second conversion process S38, the amount of energy per hour of the visible laser beam Q in the drawing period M preceding the non-drawing period J is smaller in the last period ML than in the middle period MM. As such, the duty ratio D of the pulse signal 104 in the last period ML is changed.

具体的には、中間期間MMのパルス信号104について、そのデューティ比Dが「1」に維持されることによって、中間期間MMにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量が、描画期間Mにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量の初期値と同一にされる場合、最後期間MLのパルス信号104について、そのデューティ比Dが「1」よりも小さな値に変更される。これにより、最後期間MLにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量が、描画期間Mにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量の初期値よりも小さくされる。 Specifically, by maintaining the duty ratio D of the pulse signal 104 in the intermediate period MM at "1", the energy amount per hour of the visible laser beam Q in the intermediate period MM is equal to the visible laser beam Q in the drawing period M. When the energy amount per time of the laser beam Q is set to be the same as the initial value, the duty ratio D of the pulse signal 104 in the last period ML is changed to a value smaller than "1". Thereby, the amount of energy per hour of the visible laser light Q in the last period ML is made smaller than the initial value of the amount of energy per time of the visible laser light Q in the drawing period M.

尚、第2変換処理S38は、省略されてもよい。 Note that the second conversion process S38 may be omitted.

記憶処理S40では、上記決定処理S32で設定された非描画期間Jのパルス信号104のデューティ比D又はパルス周期fや、上記第1変換処理S36又は上記第2変換処理S38で変更された描画期間Mのパルス信号104のデューティ比D又はパルス周期fが、上記可視レーザ駆動情報の一部としてRAM42に記憶される。その後、本制御プログラムは、図7のS20に進む。 In the storage process S40, the duty ratio D or pulse period f of the pulse signal 104 of the non-drawing period J set in the above-mentioned determination process S32, and the drawing period changed in the above-mentioned first conversion process S36 or the above-mentioned second conversion process S38 are stored. The duty ratio D or pulse period f of the M pulse signal 104 is stored in the RAM 42 as part of the visible laser drive information. After that, the control program proceeds to S20 in FIG.

図7のS20では、半導体レーザドライバ38に第2信号102が入力されたかが判定される。第2信号102が入力されていない場合(S20:NO)、この判定が繰り返される。これに対して、第2信号102が入力された場合(S20:YES)、残像処理S22が行われる。 In S20 of FIG. 7, it is determined whether the second signal 102 is input to the semiconductor laser driver 38. If the second signal 102 is not input (S20: NO), this determination is repeated. On the other hand, if the second signal 102 is input (S20: YES), afterimage processing S22 is performed.

残像処理S22では、可視半導体レーザ28から出射される可視レーザ光Qがガルバノスキャナ18で照射及び走査されることによって、加工対象物7上において、オブジェクトOが可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で映し出される。そのために、上記モータ駆動情報が、ガルバノドライバ36に出力される。また、上記可視レーザ駆動情報が、半導体レーザドライバ38に出力される。半導体レーザドライバ38は、上記可視レーザ駆動情報で示されたパルス信号104、つまり、第1非描画期間J1、第1描画期間M1、第2非描画期間J2、第2描画期間M2、及び第3非描画期間J3の各パルス信号104を、その記載順で連続させながら、可視半導体レーザ28に送信する。これにより、可視レーザ光源15では、半導体レーザドライバ38に第2信号102が入力されると、非描画期間J及び描画期間Mにおける可視レーザ光Qの出射制御が行われる。 In the afterimage processing S22, the visible laser light Q emitted from the visible semiconductor laser 28 is irradiated and scanned by the galvano scanner 18, so that the object O forms a trajectory of the visible laser light Q (temporal afterimage) on the workpiece 7. It will be displayed on the screen. For this purpose, the motor drive information is output to the galvano driver 36. Further, the visible laser drive information is output to the semiconductor laser driver 38. The semiconductor laser driver 38 generates a pulse signal 104 indicated by the visible laser drive information, that is, a first non-drawing period J1, a first drawing period M1, a second non-drawing period J2, a second drawing period M2, and a third drawing period M2. The pulse signals 104 in the non-drawing period J3 are transmitted to the visible semiconductor laser 28 in succession in the order in which they are written. Thereby, in the visible laser light source 15, when the second signal 102 is input to the semiconductor laser driver 38, emission control of the visible laser light Q in the non-drawing period J and the drawing period M is performed.

尚、半導体レーザドライバ38は、各パルス信号104を、その記載順で連続させながら、可視半導体レーザ28に送信することを、例えば、第2信号102に含まれる情報に基づいて、所定回数又は無限に繰り返してもよい。無限の繰り返しは、入力操作部55におけるユーザの操作に基づいて半導体レーザドライバ38に入力される指令信号によって終了し、あるいはタイムアウトを知らせる指令信号によって終了する。尚、タイムアウトの時間は、ROM43に記憶されている。 Note that the semiconductor laser driver 38 transmits each pulse signal 104 to the visible semiconductor laser 28 in succession in the order in which they are written, for example, a predetermined number of times or an infinite number of times based on the information included in the second signal 102. May be repeated. The endless repetition is terminated by a command signal input to the semiconductor laser driver 38 based on the user's operation on the input operation section 55, or by a command signal notifying a timeout. Note that the timeout period is stored in the ROM 43.

その後は、上記待機処理S12が再び行われる。これにより、第2待機期間I2では、可視レーザ光Qが可視半導体レーザ28から所定間隔で出射され、その所定間隔で出射される可視レーザ光Qが、ガルバノスキャナ18によって、加工対象物7上の待機位置iに照射される。更に、第1信号100がオフ状態になると(S14:YES)、本制御プログラムが終了する。 After that, the standby process S12 is performed again. As a result, in the second waiting period I2, visible laser light Q is emitted from the visible semiconductor laser 28 at predetermined intervals, and the visible laser light Q emitted at the predetermined intervals is scanned by the galvano scanner 18 onto the workpiece 7. The standby position i is irradiated. Further, when the first signal 100 is turned off (S14: YES), this control program ends.

[4.まとめ]
以上詳細に説明したように、本実施の形態のレーザ加工装置1では、非描画期間Jにおける可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間t、つまり非描画期間Jにおける可視レーザ光Qの走査位置5の移動距離に応じて、可視半導体レーザ28から可視レーザ光Qを出射させるための、非描画期間Jのパルス信号104が決定される(S18)。その決定において、非描画期間Jのパルス信号104のパルス周期fが、描画期間Mのパルス信号104のパルス周期fよりも大きくされることによって、あるいは、非描画期間Jのパルス信号104のデューティ比Dが、描画期間Mのパルス信号104のデューティ比Dよりも小さくされることによって、非描画期間Jの加工対象物7上における可視レーザ光Qの照射時間が少なくなると、可視レーザ光Qで加工対象物7上に描画されるオブジェクトOの視認性が向上する。
[4. summary]
As described in detail above, in the laser processing apparatus 1 of the present embodiment, the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q during the non-writing period J, that is, the scanning position of the visible laser beam Q during the non-writing period J. The pulse signal 104 for the non-drawing period J for causing the visible laser beam Q to be emitted from the visible semiconductor laser 28 is determined according to the moving distance of the image forming apparatus 5 (S18). In this determination, the pulse period f of the pulse signal 104 in the non-drawing period J is made larger than the pulse period f of the pulse signal 104 in the drawing period M, or the duty ratio of the pulse signal 104 in the non-drawing period J is determined. When D is made smaller than the duty ratio D of the pulse signal 104 in the drawing period M, and the irradiation time of the visible laser beam Q on the workpiece 7 in the non-drawing period J becomes shorter, processing with the visible laser beam Q is reduced. The visibility of the object O drawn on the target object 7 is improved.

また、本実施の形態のレーザ加工装置1では、待機期間Iのパルス信号104のパルス周期f(所定パルス周期)が、非描画期間Jのパルス信号104のパルス周期fよりも小さいことによって、あるいは、待機期間Iのパルス信号104のデューティ比D(所定デューティ比)が、非描画期間Jのパルス信号104のデューティ比Dよりも大きいことによって、待機期間Iにおける可視レーザ光Qの照射時間が、非描画期間Jにおける可視レーザ光Qの照射時間よりも大きくなると、待機期間Iにおける半導体レーザドライバ38の放電量が多くなる。これにより、待機期間Iの終了時における半導体レーザドライバ38の蓄電量が抑えられる。また、待機期間Iのパルス信号104のデューティ比D(所定デューティ比)が、非描画期間Jのパルス信号104のデューティ比Dと異なるため、レーザ加工装置1のユーザは、可視レーザ光Qの照射状態を加工対象物7上で確認することによって、待機期間Iであるのか非描画期間Jであるのかを容易に判断できる。 Further, in the laser processing apparatus 1 of the present embodiment, the pulse period f (predetermined pulse period) of the pulse signal 104 in the standby period I is smaller than the pulse period f of the pulse signal 104 in the non-writing period J, or , the duty ratio D (predetermined duty ratio) of the pulse signal 104 in the standby period I is larger than the duty ratio D of the pulse signal 104 in the non-drawing period J, so that the irradiation time of the visible laser beam Q in the standby period I is When the irradiation time of the visible laser beam Q becomes longer than the irradiation time of the non-drawing period J, the amount of discharge of the semiconductor laser driver 38 during the standby period I increases. This suppresses the amount of power stored in the semiconductor laser driver 38 at the end of the standby period I. In addition, since the duty ratio D (predetermined duty ratio) of the pulse signal 104 in the standby period I is different from the duty ratio D of the pulse signal 104 in the non-drawing period J, the user of the laser processing apparatus 1 cannot irradiate the visible laser beam Q. By checking the state on the workpiece 7, it can be easily determined whether it is the standby period I or the non-drawing period J.

また、本実施の形態のレーザ加工装置1では、非描画期間Jに後続する描画期間Mにおいて、最初期間MFのパルス信号104のデューティ比Dが、中間期間MMのパルス信号104のデューティ比Dよりも小さくされることによって、あるいは、最初期間MFのパルス信号104のパルス周期fが、中間期間MMのパルス信号104のパルス周期fよりも大きくされることによって、最初期間MFにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量が、中間期間MMにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量よりも小さくされる(S36)。 Furthermore, in the laser processing apparatus 1 of the present embodiment, in the drawing period M that follows the non-writing period J, the duty ratio D of the pulse signal 104 in the first period MF is lower than the duty ratio D of the pulse signal 104 in the intermediate period MM. By making the pulse period f of the pulse signal 104 of the first period MF smaller than the pulse period f of the pulse signal 104 of the intermediate period MM, the visible laser light Q in the first period MF is The energy amount per hour is made smaller than the energy amount per hour of the visible laser beam Q in the intermediate period MM (S36).

これにより、本実施の形態のレーザ加工装置1は、最初期間MFの開始時においてオーバーシュートをなくすことによって、非描画期間Jに後続する描画期間Mの開始時において、つまり、可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で加工対象物7上に映し出されるオブジェクトOの各線分70,74の始点(位置o1、位置o4)において、照射される可視レーザ光Qの光量が一瞬増大することを防止する。これにより、可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で映し出されるオブジェクトOの各線分70,74における光量が安定するので、可視レーザ光Qで加工対象物7上に描画されるオブジェクトOの視認性が向上する。 As a result, the laser processing apparatus 1 of the present embodiment eliminates overshoot at the start of the first period MF, so that at the start of the drawing period M that follows the non-drawing period J, that is, when the visible laser beam Q Preventing the light intensity of the visible laser light Q from increasing momentarily at the starting points (positions o1, o4) of each line segment 70, 74 of the object O projected on the workpiece 7 by a trajectory (time afterimage). . As a result, the amount of light in each line segment 70, 74 of the object O projected by the locus (temporal afterimage) of the visible laser beam Q is stabilized, so that the visibility of the object O drawn on the workpiece 7 by the visible laser beam Q is improved. will improve.

その際、描画期間Mに先行する非描画期間Jにおいて、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが長くなるほど、つまり可視レーザ光Qの走査位置5の移動距離が長くなるほど、可視レーザ光源15内に保持される励起エネルギーEの最大量が増える傾向にあるので、最初期間MFのパルス信号104のデューティ比Dが、より一層小さくされ、あるいは、最初期間MFのパルス信号104のパルス周期fが、より一層大きくされると、描画期間Mにおける最初期間MFの開始時においてオーバーシュートを適切になくすことができる。これにより、可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で映し出されるオブジェクトOの各線分70,74における光量が安定するので、可視レーザ光Qで加工対象物7上に描画されるオブジェクトOの視認性が向上する。 At that time, in the non-drawing period J preceding the drawing period M, the longer the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q, that is, the longer the moving distance of the scanning position 5 of the visible laser beam Q, the longer the visible laser light source 15, the duty ratio D of the pulse signal 104 of the first period MF is made even smaller, or the pulse period f of the pulse signal 104 of the first period MF tends to increase. When is made even larger, overshoot can be appropriately eliminated at the start of the first period MF in the drawing period M. As a result, the amount of light in each line segment 70, 74 of the object O projected by the locus (temporal afterimage) of the visible laser beam Q is stabilized, so that the visibility of the object O drawn on the workpiece 7 by the visible laser beam Q is improved. will improve.

また、本実施の形態のレーザ加工装置1では、非描画期間Jに先行する描画期間Mにおいて、最後期間MLのパルス信号104のデューティ比Dが、中間期間MMのパルス信号104のデューティ比Dよりも小さくされることによって、最後期間MLにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量が、中間期間MMにおける可視レーザ光Qの時間当たりのエネルギー量よりも小さくされる(S38)。 Furthermore, in the laser processing apparatus 1 of the present embodiment, in the drawing period M that precedes the non-writing period J, the duty ratio D of the pulse signal 104 in the last period ML is lower than the duty ratio D of the pulse signal 104 in the intermediate period MM. is also made smaller, so that the energy amount per hour of the visible laser light Q in the last period ML is made smaller than the energy amount per time of the visible laser light Q in the intermediate period MM (S38).

これにより、本実施の形態のレーザ加工装置1は、非描画期間Jに先行する描画期間Mの終了時において、照射される可視レーザ光Qの光量を少なくすることによって、可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で加工対象物7上に映し出されるオブジェクトOの各線分72,74の終点(位置o3、位置o2)において、照射される可視レーザ光Qが尾を引くように見える現象を防止する。そのため、可視レーザ光Qで加工対象物7上に描画されるオブジェクトOの視認性が向上する。 As a result, the laser processing apparatus 1 of the present embodiment reduces the amount of visible laser light Q that is irradiated at the end of the drawing period M that precedes the non-drawing period J, thereby reducing the trajectory of the visible laser light Q. To prevent a phenomenon in which the irradiated visible laser light Q appears to trail at the end points (position o3, position o2) of each line segment 72, 74 of the object O projected on the workpiece 7 due to (time afterimage). . Therefore, the visibility of the object O drawn on the workpiece 7 with the visible laser beam Q is improved.

ちなみに、本実施形態において、レーザコントローラ6及び制御部51は、「制御部」の一例である。ガルバノスキャナ18は、「走査部」の一例である。可視半導体レーザ28は、「可視レーザ発振器」の一例である。RAM42は、「記憶部」の一例である。パルス信号104は、「描画期間パルス信号」、「非描画期間パルス信号」、又は「待機期間パルス信号」の一例である。更に、パルス信号104は、「第1パルス信号」、「第2パルス信号」、「第3パルス信号」、又は「第4パルス信号」の一例である。 Incidentally, in this embodiment, the laser controller 6 and the control section 51 are an example of a "control section". The galvano scanner 18 is an example of a "scanning section". The visible semiconductor laser 28 is an example of a "visible laser oscillator." The RAM 42 is an example of a "storage unit". The pulse signal 104 is an example of a "drawing period pulse signal," a "non-drawing period pulse signal," or a "standby period pulse signal." Further, the pulse signal 104 is an example of a "first pulse signal", "second pulse signal", "third pulse signal", or "fourth pulse signal".

各矢印j1,j2,j3の長さは、「可視レーザ光の走査位置の移動距離」の一例である。最初期間MFは、「第1期間」の一例である。中間期間MMは、「第2期間」及び「第4期間」の一例である。最後期間MLは、「第3期間」の一例である。オブジェクトOは、「加工内容」の一例である。待機処理S12は、「パルス信号制御処理」の一例である。残像処理S22は、「パルス信号制御処理」の一例である。 The length of each arrow j1, j2, j3 is an example of "the moving distance of the scanning position of the visible laser beam." The first period MF is an example of a "first period." The intermediate period MM is an example of a "second period" and a "fourth period". The last period ML is an example of a "third period." Object O is an example of "processing content". The standby process S12 is an example of a "pulse signal control process." The afterimage processing S22 is an example of "pulse signal control processing".

[5.その他]
尚、本開示は、本実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
[5. others]
Note that the present disclosure is not limited to this embodiment, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.

例えば、本実施の形態のレーザ加工装置1は、非描画期間Jにおいて、可視レーザ光Qの走査位置5の移動時間tが所定時間を超える場合、つまり可視レーザ光Qの走査位置5の移動距離が所定距離を超える場合、可視レーザ光源15内に保持される励起エネルギーEの最大量が増える傾向にあるので、非描画期間Jのパルス信号104のデューティ比Dを、大きくするために、待機時間Iのパルス信号104の所定デューティ比に変更してもよいし、あるいは、非描画期間Jのパルス信号104のパルス周期fを、小さくするために、待機時間Iのパルス信号104の所定パルス周期に変更してもよい。これにより、非描画期間Jに後続する描画期間Mの開始時において、オーバーシュートの発生を抑制することができ、可視レーザ光Qの軌跡(時間残像)で映し出されるオブジェクトOの各線分70,74における光量が安定する。よって、可視レーザ光Qで加工対象物7上に描画されるオブジェクトOの視認性が向上する。尚、上記所定距離及び上記所定時間は、予め設定されており、ROM43に記憶されている。 For example, in the non-drawing period J, the laser processing apparatus 1 of the present embodiment operates when the moving time t of the scanning position 5 of the visible laser beam Q exceeds a predetermined time, that is, the moving distance of the scanning position 5 of the visible laser beam Q. exceeds a predetermined distance, the maximum amount of excitation energy E held within the visible laser light source 15 tends to increase. The duty ratio of the pulse signal 104 of the waiting time I may be changed to a predetermined duty ratio, or the pulse period f of the pulse signal 104 of the non-drawing period J may be changed to a predetermined pulse period of the pulse signal 104 of the waiting time I. May be changed. As a result, it is possible to suppress the occurrence of overshoot at the start of the drawing period M that follows the non-drawing period J, and each line segment 70, 74 of the object O projected by the locus (temporal afterimage) of the visible laser beam Q can be suppressed. The amount of light at is stabilized. Therefore, the visibility of the object O drawn on the workpiece 7 with the visible laser beam Q is improved. Note that the predetermined distance and the predetermined time are set in advance and stored in the ROM 43.

1:レーザ加工装置、5:走査位置、6:レーザコントローラ、7:加工対象物、12:加工レーザ光源、15: 可視レーザ光源、18:ガルバノスキャナ、28:可視半導体レーザ、41:CPU、42:RAM、44:加工データ、100:第1信号、102:第2信号、104:パルス信号、D:デューティ比、f:パルス周期、I:待機時間、J:非描画期間、M:描画期間、MF:最初期間、MM:中間期間、ML:最後期間、O:オブジェクト、Q:可視レーザ光、R:加工レーザ光、t:可視レーザ光の走査位置の移動時間、S12:待機処理、S22:残像処理、S30:特定処理、S32:決定処理、S36:第1変換処理、S38:第2変換処理 1: Laser processing device, 5: Scanning position, 6: Laser controller, 7: Workpiece, 12: Processing laser light source, 15: Visible laser light source, 18: Galvano scanner, 28: Visible semiconductor laser, 41: CPU, 42 :RAM, 44: Processing data, 100: First signal, 102: Second signal, 104: Pulse signal, D: Duty ratio, f: Pulse period, I: Standby time, J: Non-drawing period, M: Drawing period , MF: first period, MM: middle period, ML: last period, O: object, Q: visible laser beam, R: processing laser beam, t: moving time of scanning position of visible laser beam, S12: standby process, S22 : Afterimage processing, S30: Specific processing, S32: Determination processing, S36: First conversion processing, S38: Second conversion processing

Claims (13)

加工対象物を加工するための加工レーザ光を出射する加工レーザ光源と、
前記加工レーザ光による加工内容を示す加工データを記憶する記憶部と、
前記加工対象物上に前記加工内容を描画するための可視レーザ光をパルス信号に基づいて出射する可視レーザ発振器を有する可視レーザ光源と、
前記加工レーザ光又は前記可視レーザ光を走査する走査部と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記可視レーザ光による描画を行わない期間であって、前記加工データにより特定される非描画期間における、前記可視レーザ光の走査位置の移動距離を前記加工データに基づいて特定する特定処理と、
前記非描画期間において前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を出射させるための前記パルス信号を、非描画期間パルス信号として前記移動距離に基づいて決定する決定処理と、
前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を前記パルス信号に基づいて出射させる処理であって、前記可視レーザ光による描画を行う描画期間では、前記パルス信号として予め設定される描画期間パルス信号に基づいて、前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を出射させる一方、前記非描画期間では、前記非描画期間パルス信号に基づいて、前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を出射させるパルス信号制御処理と、を実行し、
前記決定処理において、前記非描画期間パルス信号のパルス周期を、前記描画期間パルス信号のパルス周期よりも大きくし、
前記非描画期間における前記可視レーザ光の時間当たりのエネルギー量である非描画期間レーザ出力は、前記描画期間における前記可視レーザ光の時間当たりのエネルギー量である描画期間レーザ出力よりも小さいことを特徴するレーザ加工装置。
a processing laser light source that emits processing laser light for processing the workpiece;
a storage unit that stores processing data indicating processing details by the processing laser beam;
a visible laser light source having a visible laser oscillator that emits visible laser light for drawing the processing content on the workpiece based on a pulse signal;
a scanning unit that scans the processing laser light or the visible laser light;
comprising a control unit;
The control unit includes:
specifying a moving distance of the scanning position of the visible laser light in a non-drawing period specified by the processing data, which is a period in which drawing is not performed with the visible laser light, based on the processing data;
determining the pulse signal for emitting the visible laser light from the visible laser oscillator in the non-drawing period as a non-drawing period pulse signal based on the movement distance;
A process of emitting the visible laser light from the visible laser oscillator based on the pulse signal, wherein in a drawing period in which drawing is performed using the visible laser light, the visible laser light is emitted based on a drawing period pulse signal preset as the pulse signal. , a pulse signal control process in which the visible laser beam is emitted from the visible laser oscillator, and in the non-drawing period, the visible laser beam is emitted from the visible laser oscillator based on the non-drawing period pulse signal. execute,
In the determination process, the pulse period of the non-drawing period pulse signal is made larger than the pulse period of the drawing period pulse signal,
The non-drawing period laser output, which is the amount of energy per hour of the visible laser light during the non-drawing period, is smaller than the drawing period laser output, which is the amount of energy per hour of the visible laser light during the drawing period. Laser processing equipment.
前記可視レーザ光源は、第1信号がオン状態のときに蓄電され、蓄電された状態で第2信号が入力された場合に、前記描画期間及び前記非描画期間において前記可視レーザ光が出射されるものであり、
前記制御部は、前記パルス信号制御処理において、
前記可視レーザ光源の前記第1信号がオン状態であり、且つ、前記第2信号が入力されていない期間である待機期間では、前記非描画期間パルス信号のパルス周期よりも小さな所定パルス周期の待機期間パルス信号に基づいて、前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を出射させることを特徴する請求項1に記載のレーザ加工装置。
The visible laser light source stores electricity when the first signal is in an on state, and when a second signal is input in the stored state, the visible laser light is emitted during the drawing period and the non-drawing period. It is a thing,
In the pulse signal control process, the control unit includes:
In the standby period, which is a period in which the first signal of the visible laser light source is on and the second signal is not input, the standby period is a predetermined pulse period smaller than the pulse period of the non-drawing period pulse signal. The laser processing apparatus according to claim 1 , wherein the visible laser beam is emitted from the visible laser oscillator based on a period pulse signal.
前記制御部は、前記パルス信号制御処理において、
前記非描画期間では、前記可視レーザ光の走査位置の移動時間が所定時間を超えた場合、前記待機期間パルス信号に基づいて、前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を出射させることを特徴する請求項に記載のレーザ加工装置。
In the pulse signal control process, the control unit includes:
In the non-drawing period, if the moving time of the scanning position of the visible laser beam exceeds a predetermined time, the visible laser beam is emitted from the visible laser oscillator based on the waiting period pulse signal. The laser processing device according to item 2 .
前記制御部は、前記決定処理において、前記非描画期間パルス信号のデューティ比を、前記描画期間パルス信号のデューティ比よりも小さくすることを特徴する請求項1乃至請求項のいずれか一つに記載のレーザ加工装置。 4. The control unit according to claim 1 , wherein in the determination process, the duty ratio of the non-drawing period pulse signal is made smaller than the duty ratio of the drawing period pulse signal. The laser processing device described in . 前記可視レーザ光源は、第1信号がオン状態のときに蓄電され、蓄電された状態で第2信号が入力された場合に、前記描画期間及び前記非描画期間において前記可視レーザ光が出射されるものであり、
前記制御部は、
前記パルス信号制御処理において、前記可視レーザ光源の前記第1信号がオン状態であり、且つ、前記第2信号が入力されていない期間である待機期間では、所定デューティ比の待機期間パルス信号に基づいて、前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を出射させ、
前記決定処理において、前記非描画期間パルス信号のデューティ比を、前記所定デューティ比よりも小さくすることを特徴する請求項に記載のレーザ加工装置。
The visible laser light source stores electricity when the first signal is in an on state, and when a second signal is input in the stored state, the visible laser light is emitted during the drawing period and the non-drawing period. It is a thing,
The control unit includes:
In the pulse signal control process, in a standby period in which the first signal of the visible laser light source is in an on state and the second signal is not input, the control process is performed based on a standby period pulse signal with a predetermined duty ratio. emitting the visible laser light from the visible laser oscillator,
5. The laser processing apparatus according to claim 4 , wherein in the determination process, the duty ratio of the non-drawing period pulse signal is made smaller than the predetermined duty ratio.
前記非描画期間に後続する前記描画期間は、前記描画期間の開始から第1所定時間の経過までの第1期間と、前記第1期間よりも後の第2期間とを含み、
前記制御部は、前記非描画期間に後続する前記描画期間の前記描画期間パルス信号を、少なくとも、前記第1期間における前記可視レーザ光の時間当たりのエネルギー量であるレーザ出力が前記描画期間レーザ出力よりも小さくなる第1パルス信号と、前記第2期間における前記可視レーザ光の時間当たりのエネルギー量であるレーザ出力が前記描画期間レーザ出力と同じになる第2パルス信号とに変換する第1変換処理を実行することを特徴とする請求項1乃至請求項のいずれか一つに記載のレーザ加工装置。
The drawing period that follows the non-drawing period includes a first period from the start of the drawing period to the elapse of a first predetermined time, and a second period after the first period,
The control unit controls the drawing period pulse signal of the drawing period following the non-drawing period so that at least a laser output that is an energy amount per hour of the visible laser light in the first period is a laser output of the drawing period. a first pulse signal that is smaller than , and a second pulse signal that makes the laser output, which is the amount of energy per hour of the visible laser light in the second period, the same as the laser output in the drawing period. The laser processing apparatus according to any one of claims 1 to 5 , wherein the laser processing apparatus executes processing.
前記制御部は、前記第1変換処理において、前記第1パルス信号のデューティ比を前記第2パルス信号のデューティ比よりも小さくすることを特徴とする請求項に記載のレーザ加工装置。 7. The laser processing apparatus according to claim 6 , wherein the control unit makes the duty ratio of the first pulse signal smaller than the duty ratio of the second pulse signal in the first conversion process. 前記制御部は、前記第1変換処理において、前記描画期間に先行する前記非描画期間における前記移動距離が長いほど、前記第1パルス信号のデューティ比を小さくすることを特徴とする請求項に記載のレーザ加工装置。 8. The control unit, in the first conversion process, decreases the duty ratio of the first pulse signal as the moving distance in the non-drawing period preceding the drawing period becomes longer. The laser processing device described. 前記制御部は、前記第1変換処理において、前記第1パルス信号のパルス周期を前記第2パルス信号のパルス周期よりも大きくすることを特徴とする請求項に記載のレーザ加工装置。 7. The laser processing apparatus according to claim 6 , wherein the control unit makes the pulse period of the first pulse signal larger than the pulse period of the second pulse signal in the first conversion process. 前記制御部は、前記第1変換処理において、前記描画期間に先行する前記非描画期間における前記移動距離が長いほど、前記第1パルス信号のパルス周期を大きくすることを特徴とする請求項に記載のレーザ加工装置。 10. The control unit, in the first conversion process, increases the pulse period of the first pulse signal as the moving distance in the non-drawing period preceding the drawing period becomes longer. The laser processing device described. 前記非描画期間に先行する前記描画期間は、前記描画期間の終了よりも第2所定時間の前から前記描画期間の終了までの第3期間と、前記第3期間以前の第4期間とを含み、
前記制御部は、前記非描画期間に先行する前記描画期間の前記描画期間パルス信号を、少なくとも、前記第3期間における前記可視レーザ光の時間当たりのエネルギー量であるレーザ出力が前記描画期間レーザ出力よりも小さくなる第3パルス信号と、前記第4期間における前記可視レーザ光の時間当たりのエネルギー量であるレーザ出力が前記描画期間レーザ出力と同じになる第4パルス信号とに変換する第2変換処理を実行することを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか一つに記載のレーザ加工装置。
The drawing period preceding the non-drawing period includes a third period from a second predetermined time period before the end of the drawing period to the end of the drawing period, and a fourth period before the third period. ,
The control unit controls the drawing period pulse signal of the drawing period preceding the non-writing period so that at least a laser output that is an energy amount per hour of the visible laser light in the third period is a laser output of the drawing period. A second conversion of converting into a third pulse signal which becomes smaller than , and a fourth pulse signal whose laser output, which is the energy amount per hour of the visible laser light in the fourth period, becomes the same as the laser output in the drawing period. 11. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the laser processing apparatus executes processing.
前記制御部は、前記第2変換処理において、前記第3パルス信号のデューティ比を前記第4パルス信号のデューティ比よりも小さくすることを特徴とする請求項11に記載のレーザ加工装置。 12. The laser processing apparatus according to claim 11 , wherein the control unit makes the duty ratio of the third pulse signal smaller than the duty ratio of the fourth pulse signal in the second conversion process. 加工対象物を加工するための加工レーザ光を出射する加工レーザ光源と、 a processing laser light source that emits processing laser light for processing the workpiece;
前記加工レーザ光による加工内容を示す加工データを記憶する記憶部と、 a storage unit that stores processing data indicating processing details by the processing laser beam;
前記加工対象物上に前記加工内容を描画するための可視レーザ光をパルス信号に基づいて出射する可視レーザ発振器を有する可視レーザ光源と、 a visible laser light source having a visible laser oscillator that emits visible laser light for drawing the processing content on the workpiece based on a pulse signal;
前記加工レーザ光又は前記可視レーザ光を走査する走査部と、 a scanning unit that scans the processing laser light or the visible laser light;
制御部と、を備え、 comprising a control unit;
前記制御部は、 The control unit includes:
前記可視レーザ光による描画を行わない期間であって、前記加工データにより特定される非描画期間における、前記可視レーザ光の走査位置の移動距離を前記加工データに基づいて特定する特定処理と、 specifying a moving distance of the scanning position of the visible laser light in a non-drawing period specified by the processing data, which is a period in which drawing is not performed with the visible laser light, based on the processing data;
前記非描画期間において前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を出射させるための前記パルス信号を、非描画期間パルス信号として前記移動距離に基づいて決定する決定処理と、 determining the pulse signal for emitting the visible laser light from the visible laser oscillator in the non-drawing period as a non-drawing period pulse signal based on the movement distance;
前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を前記パルス信号に基づいて出射させる処理であって、前記可視レーザ光による描画を行う描画期間では、前記パルス信号として予め設定される描画期間パルス信号に基づいて、前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を出射させる一方、前記非描画期間では、前記非描画期間パルス信号に基づいて、前記可視レーザ発振器から前記可視レーザ光を出射させるパルス信号制御処理と、を実行し、 A process of emitting the visible laser light from the visible laser oscillator based on the pulse signal, wherein in a drawing period in which drawing is performed using the visible laser light, the visible laser light is emitted based on a drawing period pulse signal preset as the pulse signal. , a pulse signal control process in which the visible laser beam is emitted from the visible laser oscillator, and in the non-drawing period, the visible laser beam is emitted from the visible laser oscillator based on the non-drawing period pulse signal. execute,
前記決定処理において、前記非描画期間パルス信号のデューティ比を、前記描画期間パルス信号のデューティ比よりも小さくし、 In the determination process, the duty ratio of the non-drawing period pulse signal is made smaller than the duty ratio of the drawing period pulse signal,
前記非描画期間における前記可視レーザ光の時間当たりのエネルギー量である非描画期間レーザ出力は、前記描画期間における前記可視レーザ光の時間当たりのエネルギー量である描画期間レーザ出力よりも小さいことを特徴するレーザ加工装置。 The non-drawing period laser output, which is the amount of energy per hour of the visible laser light during the non-drawing period, is smaller than the drawing period laser output, which is the amount of energy per hour of the visible laser light during the drawing period. Laser processing equipment.
JP2020063188A 2020-03-31 2020-03-31 laser processing equipment Active JP7367591B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020063188A JP7367591B2 (en) 2020-03-31 2020-03-31 laser processing equipment
PCT/JP2021/011909 WO2021200380A1 (en) 2020-03-31 2021-03-23 Laser processing apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020063188A JP7367591B2 (en) 2020-03-31 2020-03-31 laser processing equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021159937A JP2021159937A (en) 2021-10-11
JP7367591B2 true JP7367591B2 (en) 2023-10-24

Family

ID=77930032

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020063188A Active JP7367591B2 (en) 2020-03-31 2020-03-31 laser processing equipment

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP7367591B2 (en)
WO (1) WO2021200380A1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010264691A (en) 2009-05-15 2010-11-25 Ricoh Co Ltd Information processing apparatus, laser irradiation device, method of generating drawing information, control system, program, storage medium, and device of storing drawing information
JP2015196168A (en) 2014-03-31 2015-11-09 ブラザー工業株式会社 Laser processing apparatus, laser processing method, and program
JP2016068110A (en) 2014-09-29 2016-05-09 ブラザー工業株式会社 Laser processing device
JP2016159313A (en) 2015-02-27 2016-09-05 ブラザー工業株式会社 Laser processing apparatus, and control program and control method of laser processing apparatus
JP2018061997A (en) 2016-10-14 2018-04-19 ファナック株式会社 Laser processing device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010264691A (en) 2009-05-15 2010-11-25 Ricoh Co Ltd Information processing apparatus, laser irradiation device, method of generating drawing information, control system, program, storage medium, and device of storing drawing information
JP2015196168A (en) 2014-03-31 2015-11-09 ブラザー工業株式会社 Laser processing apparatus, laser processing method, and program
JP2016068110A (en) 2014-09-29 2016-05-09 ブラザー工業株式会社 Laser processing device
JP2016159313A (en) 2015-02-27 2016-09-05 ブラザー工業株式会社 Laser processing apparatus, and control program and control method of laser processing apparatus
JP2018061997A (en) 2016-10-14 2018-04-19 ファナック株式会社 Laser processing device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021159937A (en) 2021-10-11
WO2021200380A1 (en) 2021-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6036737B2 (en) Laser processing apparatus, laser processing method and program
JP4575812B2 (en) Laser marking device and barcode printing method using the same
JP7003903B2 (en) Laser marker
JP7367591B2 (en) laser processing equipment
JP6604078B2 (en) Laser processing equipment
JP6107782B2 (en) Program and laser processing apparatus
JP2008062259A (en) Laser beam machining apparatus, method and program for laser beam machining
US10661385B2 (en) Laser machining apparatus projecting guide pattern onto workpiece by irradiating visible laser beam thereon
JP7310500B2 (en) Laser processing equipment
JP7294190B2 (en) Laser processing system, controller, and control program
JP6287928B2 (en) Laser processing equipment
JP2008062257A (en) Laser beam machining apparatus and laser beam machining method
JP6036738B2 (en) Laser marker
JP6693449B2 (en) Laser processing equipment, processing data generation equipment
JP2001113758A (en) Bar cord printing method and laser printer
JP3365363B2 (en) Laser marking device and processing method thereof
JP2009107008A (en) Laser beam machining device
JP4461740B2 (en) Laser marking device
JP2005007471A (en) Method for controlling printing of laser marker
JPWO2019065533A1 (en) Glass substrate cutting device, cutting method, program, and storage medium
JP2022151978A (en) Laser processing device and method
JP2022155826A (en) Laser processing device. three-dimensional measurement method and control program
WO2023053932A1 (en) Laser machining apparatus and laser machining method
JP4636733B2 (en) Laser marking device
JP2591473B2 (en) Laser marking method and laser marking device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220325

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230418

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230602

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230912

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230925

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7367591

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150