JP7346819B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および圧電デバイス - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係る液体噴射装置100を例示する模式図である。第1実施形態の液体噴射装置100は、液体の例示であるインクを媒体12に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体12は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体12として利用される。図1に例示される通り、液体噴射装置100には、インクを貯留する液体容器14が設置される。例えば液体噴射装置100に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器14として利用される。
第2実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
図10は、第3実施形態の圧電素子38を拡大した断面図である。図10には、図7および図9に対応する断面が図示されている。図10に例示される通り、第3実施形態における振動板36の素子形成面F0は、第3面F3と第4面F4とを包含する。第4面F4は第3面F3に対して窪んだ表面である。すなわち、第4面F4は第3面F3よりも圧力室C側に位置する。
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択された2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
[a]スチルカメラまたはビデオカメラ等の撮像装置の手振れ等によるレンズの焦点ズレを補正するための補正用アクチュエーター、
[b]超音波洗浄機、超音波診断装置、魚群探知機、超音波発振器または超音波モーター等の超音波デバイス、
[c]赤外線等の有害光線の遮断フィルター、量子ドット形成によるフォトニック結晶効果を使用した光学フィルター、または、薄膜の光干渉を利用した光学フィルター等の各種のフィルター、
[d]その他、温度-電気変換器、圧力-電気変換器、強誘電体トランジスターまたは圧電トランス等の各種のデバイス、
が例示される。
Claims (9)
- 液体が充填される圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、
前記振動板を振動させる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドであって、
前記圧電素子は、
第1電極および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に位置する第1部分と前記第1電極および前記第2電極の少なくとも一方に平面視で重ならない第2部分とを含む圧電体層と、を含み、
前記第1部分における前記振動板とは反対側の第1面と、前記第2部分における前記振動板とは反対側の第2面とは、前記第1電極と前記圧電体層と前記第2電極との積層の方向における位置が異なり、
前記第2部分の第2膜厚は、前記第1部分の第1膜厚よりも大きく、
前記第2膜厚は、前記第1膜厚と前記第1電極の膜厚との合計よりも小さい
液体噴射ヘッド。 - 前記第1面の全部が平面視で前記第1電極に重なる
請求項1の液体噴射ヘッド。 - 前記振動板において前記圧電素子が形成される表面は、第3面と、前記第3面に対して窪んだ第4面とを含み、
前記第1電極および前記第1部分は前記第3面の面上に形成され、
前記第2部分は前記第4面の面上に形成される
請求項1または請求項2の液体噴射ヘッド。 - 前記第2電極の膜厚は、前記第1電極の膜厚よりも大きい
請求項1から請求項3の何れかの液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項4の何れかの液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを制御する制御部と
を具備する液体噴射装置。 - 振動板と、
前記振動板を振動させる圧電素子とを具備する圧電デバイスであって、
前記圧電素子は、
第1電極および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に位置する第1部分と前記第1電極および前記第2電極の少なくとも一方に平面視で重ならない第2部分とを含む圧電体層と、を含み、
前記第1部分における前記振動板とは反対側の第1面と、前記第2部分における前記振動板とは反対側の第2面とは、前記第1電極と前記圧電体層と前記第2電極との積層の方向における位置が異なり、
前記第2部分の第2膜厚は、前記第1部分の第1膜厚よりも大きく、
前記第2膜厚は、前記第1膜厚と前記第1電極の膜厚との合計よりも小さい
圧電デバイス。 - 前記第1面の全部が平面視で前記第1電極に重なる
請求項6の圧電デバイス。 - 前記振動板において前記圧電素子が形成される表面は、第3面と、前記第3面に対して窪んだ第4面とを含み、
前記第1電極および前記第1部分は前記第3面の面上に形成され、
前記第2部分は前記第4面の面上に形成される
請求項6の圧電デバイス。 - 前記第2電極の膜厚は、前記第1電極の膜厚よりも大きい
請求項6から請求項8の何れかの圧電デバイス。
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