JP7356235B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
本発明のレーザー加工装置は、被加工物にレーザービームを照射するレーザービーム発振器を含むレーザービーム照射ユニットと、該レーザービームの出力を測定する出力測定ユニットと、制御部と、を備え、該制御部は、該レーザービーム発振器の周波数を変更して該出力測定ユニットにレーザービームを照射する周波数変更部と、該周波数毎にレーザービームの出力を記憶する記憶部と、該記憶部に記憶された周波数毎のレーザービーム出力が許容値の範囲内かどうかに基づいて該レーザービーム発振器の合否を判定する合否判定部と、を備え、該合否判定部の判定結果を表示面に表示する表示ユニットを更に備え、該表示ユニットは、該判定結果を、該レーザービームの周波数と、レーザー加工装置が工場から出荷される際に、該出力測定ユニットで測定した該レーザービームの出力である出荷時出力測定結果と、該レーザービーム発振器が該レーザービームを所定時間出射し、該出力測定ユニットで測定した時の該レーザービームの出力の変動値と、該出荷時出力測定結果の該レーザービームの出力を100パーセントとした時の割合である変動規定値とを1対1で対応付けるとともに、不合格を示す合否判定結果を、合格を示す合否判定結果を含めて該表示面の他の領域の色と異なる色で表示することを特徴とする。
本発明の実施形態1に係るレーザー加工装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るレーザー加工装置の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示されたレーザー加工装置の加工対象の被加工物の斜視図である。図3は、図1に示されたレーザー加工装置のレーザービーム照射ユニットの構成を模式的に示す斜視図である。
20 レーザービーム照射ユニット
21 レーザービーム
22 レーザービーム発振器
22-1 出射口
30 出力測定ユニット
100 制御ユニット(制御部)
110 周波数変更部
111 記憶部
112 合否判定部
200 被加工物
Claims (3)
- 被加工物にレーザービームを照射するレーザービーム発振器を含むレーザービーム照射ユニットと、
該レーザービームの出力を測定する出力測定ユニットと、
制御部と、を備え、
該制御部は、
該レーザービーム発振器の周波数を変更して該出力測定ユニットにレーザービームを照射する周波数変更部と、
該周波数毎にレーザービームの出力を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶された周波数毎のレーザービーム出力が許容値の範囲内かどうかに基づいて該レーザービーム発振器の合否を判定する合否判定部と、を備え、
該合否判定部の判定結果を表示面に表示する表示ユニットを更に備え、
該表示ユニットは、該判定結果を、該レーザービームの周波数と、該出力測定ユニットの測定結果である出力測定結果と、該レーザービーム発振器が合格であるか不合格であるかを判定するための基準となる値である出力規定値と、合否判定結果とを1対1で対応付けるとともに、不合格を示す合否判定結果を、合格を示す合否判定結果を含めて該表示面の他の領域の色と異なる色で表示することを特徴とするレーザー加工装置。 - 被加工物にレーザービームを照射するレーザービーム発振器を含むレーザービーム照射ユニットと、
該レーザービームの出力を測定する出力測定ユニットと、
制御部と、を備え、
該制御部は、
該レーザービーム発振器の周波数を変更して該出力測定ユニットにレーザービームを照射する周波数変更部と、
該周波数毎にレーザービームの出力を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶された周波数毎のレーザービーム出力が許容値の範囲内かどうかに基づいて該レーザービーム発振器の合否を判定する合否判定部と、を備え、
該合否判定部の判定結果を表示面に表示する表示ユニットを更に備え、
該表示ユニットは、該判定結果を、該レーザービームの周波数と、レーザー加工装置が工場から出荷される際に、該出力測定ユニットで測定した該レーザービームの出力である出荷時出力測定結果と、該レーザービーム発振器が該レーザービームを所定時間出射し、該出力測定ユニットで測定した時の該レーザービームの出力の変動値と、該出荷時出力測定結果の該レーザービームの出力を100パーセントとした時の割合である変動規定値とを1対1で対応付けるとともに、不合格を示す合否判定結果を、合格を示す合否判定結果を含めて該表示面の他の領域の色と異なる色で表示することを特徴とするレーザー加工装置。 - 該出力測定ユニットは、該レーザービームの光軸と直交する方向に進退可能に構成され、該レーザービーム発振器の出射口から出射された直後の該レーザービームの出力を測定することを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019041921A JP7356235B2 (ja) | 2019-03-07 | 2019-03-07 | レーザー加工装置 |
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JP2019041921A JP7356235B2 (ja) | 2019-03-07 | 2019-03-07 | レーザー加工装置 |
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JP2020142289A JP2020142289A (ja) | 2020-09-10 |
JP7356235B2 true JP7356235B2 (ja) | 2023-10-04 |
Family
ID=72355053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2019041921A Active JP7356235B2 (ja) | 2019-03-07 | 2019-03-07 | レーザー加工装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP7356235B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003211279A (ja) | 2002-01-16 | 2003-07-29 | Ricoh Microelectronics Co Ltd | ビーム加工方法及びビーム加工装置 |
JP2003275881A (ja) | 2002-01-16 | 2003-09-30 | Ricoh Microelectronics Co Ltd | ビーム加工装置 |
WO2009066370A1 (ja) | 2007-11-20 | 2009-05-28 | Mitsubishi Electric Corporation | レーザ発振器内出射ミラーの劣化状態測定方法およびレーザ加工装置 |
US20110198322A1 (en) | 2009-08-06 | 2011-08-18 | Applied Materials, Inc. | In-line metrology methods and systems for solar cell fabrication |
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2019
- 2019-03-07 JP JP2019041921A patent/JP7356235B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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WO2009066370A1 (ja) | 2007-11-20 | 2009-05-28 | Mitsubishi Electric Corporation | レーザ発振器内出射ミラーの劣化状態測定方法およびレーザ加工装置 |
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JP2020142289A (ja) | 2020-09-10 |
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