JP7353249B2 - シアン系電解銀合金めっき液 - Google Patents
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Description
特許文献2には、セレン化合物およびイオウ化合物の少なくとも一方を必須成分とし、これと共に、Ti、Zr、V、Mo、W、Co、Pd、Au、Cu、Zn、Ga、Ge、In、Sn、Tl、Sb、Bi、As、Te、Br、Iの水溶性化合物を併用する光半導体装置用電解銀めっき液が開示されている。しかし、これらの元素がめっき皮膜の硬度に及ぼす影響についてはなんら検討されていない。
特許文献3には、パラジウムめっき液にゲルマニウムを添加することで、パラジウムめっき皮膜の耐熱性を向上させる技術が開示されている。
電気伝導塩を5~300g/Lと、
ゲルマニウム化合物をゲルマニウム換算で0.1~10g/Lと、
配位性高分子添加剤を1~100g/Lと、
を含有することを特徴とするシアン系電解銀合金めっき液。
本発明のシアン系電解銀合金めっき液には、銀源として公知のシアン化銀錯体を制限なく使用することができる。シアン化銀錯体としては、シアン化銀、シアン化銀カリウム、シアン化銀ナトリウムが例示される。
本発明のシアン系電解銀合金めっき液に配合する電気伝導塩は、水溶液で電気伝導性を有するものであれば特に種類は問わないが、工業的に安定して使用することや経済的にめっき液を製造するために、シアン塩、リン酸塩、硝酸塩、クエン酸塩、酒石酸塩、硫酸塩、ホウ酸及びその塩から選ばれる少なくとも1種を含有することが好ましい。その他、可溶性有機酸塩なども好ましい。これらは単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。シアン塩としては、シアン化カリウムやシアン化ナトリウムが例示される。リン酸塩としては、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム、リン酸アンモニウムが例示される。ピロリン酸塩としては、ピロリン酸カリウム、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸アンモニウムが例示される。硝酸塩としては、硝酸カリウム、硝酸ナトリウム、硝酸アンモニウムが例示される。クエン酸塩としては、クエン酸カリウム、クエン酸ナトリウム、クエン酸アンモニウムが例示される。酒石酸としては、酒石酸カリウム、酒石酸ナトリウム、酒石酸ナトリウムカリウムが例示される。硫酸塩としては硫酸カリウム、硫酸ナトリウム、硫酸アンモニウムが例示される。ホウ酸及びその塩としてはホウ酸、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウムが例示される。
本発明のシアン系電解銀合金めっき液のゲルマニウム化合物は、ゲルマニウムを含有する化合物であって、特に二酸化ゲルマニウム、ハロゲン化ゲルマニウム、テトラアルコキシゲルマニウム、硫化ゲルマニウム、ゲルマン酸及びその塩が好ましい。ゲルマン酸塩としてはゲルマン酸ナトリウム、ゲルマン酸カリウムが例示される。
本発明のシアン系電解銀合金めっき液の配位性高分子添加剤は、ポリアクリル酸、ポリエチレンイミン、又はそれらを構造中に含むコポリマーから選ばれる少なくとも1種を含有するものであって、その分子量は問わないものとする。
本発明のシアン系電解銀合金めっき液においては、上記成分の他に、粘度を低下させ、銀皮膜のムラ発生を抑制するために、本発明の目的を損なわない範囲で界面活性剤などの成分を含有させることができる。界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸ナトリウムなどの陰イオン性界面活性剤や、ポリオキシエチレンアルキルエーテル縮合物などの非イオン性界面活性剤が例示される。
Claims (3)
- シアン化銀錯体を銀換算で10~100g/Lと、
電気伝導塩を5~300g/Lと、
ゲルマニウム化合物をゲルマニウム換算で0.1~10g/Lと、
ポリアクリル酸、ポリエチレンイミン、又はそれらを構造中に含むコポリマーから選ばれる少なくとも1種から成る配位性高分子添加剤を1~100g/Lと、
を含有することを特徴とするシアン系電解銀-ゲルマニウム合金めっき液。 - 前記電気伝導塩が、シアン塩、リン酸塩、ピロリン酸塩、硝酸塩、クエン酸塩、酒石酸塩、硫酸塩、ホウ酸及びその塩から選ばれる少なくとも1種を含有する請求項1に記載のシアン系電解銀-ゲルマニウム合金めっき液。
- 前記ゲルマニウム化合物が、二酸化ゲルマニウム、ハロゲン化ゲルマニウム、テトラアルコキシゲルマニウム、硫化ゲルマニウム、ゲルマン酸及びその塩から選ばれる少なくとも1種を含有する請求項1に記載のシアン系電解銀-ゲルマニウム合金めっき液。
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