JP7350296B2 - スペクトル制御干渉法に基づく光学アライメント - Google Patents
スペクトル制御干渉法に基づく光学アライメント Download PDFInfo
- Publication number
- JP7350296B2 JP7350296B2 JP2019154311A JP2019154311A JP7350296B2 JP 7350296 B2 JP7350296 B2 JP 7350296B2 JP 2019154311 A JP2019154311 A JP 2019154311A JP 2019154311 A JP2019154311 A JP 2019154311A JP 7350296 B2 JP7350296 B2 JP 7350296B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- optical
- correlogram
- optical element
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
Claims (15)
- 光軸に沿って光学要素を位置合わせするためのスペクトル制御干渉法であって、
スペクトル分布が変化する光ビームであって、干渉縞が前記光軸に沿った測定空間内で検出可能な時間的コヒーレンスを有する前記ビームを生成するスペクトル変調可能な光源を提供するステップと、
基準面および前記光軸に沿って所定の場所に配置された光学要素の表面からの反射によって形成されるコレログラムを生成するように前記光源を変調するステップと、
前記コレログラムが前記光学要素の光学アライメントを示す所定の構成を満たすように、前記光学要素の位置を調整するステップと、
を含む方法。 - 前記光軸に沿った前記所定の場所が、前記光源の変調周期の変化により決定される、請求項1に記載の方法。
- 前記光学要素が前記所定の場所に位置している場合に最大コントラストのコレログラムを形成するように、前記光源の前記変調周期を変更する、請求項2に記載の方法。
- 前記コレログラムが、光源の変調の位相の変化により生成される、請求項1に記載の方法。
- 前記コレログラムが、光源の正弦波スペクトル変調によって生成される、請求項1に記載の方法。
- 前記所定の構成がブルズアイ構成である、請求項1に記載の方法。
- 前記基準面は前記光学要素の他の表面である、請求項1に記載の方法。
- 前記変調するステップおよび調整するステップを、前記光軸に沿った対応する追加の所定の場所に配置された追加の光学要素のそれぞれについて繰り返すことをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記光軸に沿った前記対応する追加の所定の場所は、前記光源の変調周期の変化により決定される、請求項8に記載の方法。
- 前記追加の光学要素の各々が前記対応する追加の所定の場所に位置している場合に、最大コントラストのコレログラムを形成するように、前記光源の前記変調周期が変更される、請求項9に記載の方法。
- 前記コレログラムは、前記光源の変調の位相を変更することにより生成される、請求項9に記載の方法。
- 前記コレログラムが、前記光源の正弦波スペクトル変調によって生成される、請求項9に記載の方法。
- 前記所定の構成がブルズアイ構成である、請求項9に記載の方法。
- 前記基準面が、前記追加の光学要素それぞれの他の表面である、請求項9に記載の方法。
- 光軸に沿って光学要素を位置合わせするためのスペクトル制御干渉法であって、
スペクトル分布が変化する光ビームであって、干渉縞が前記光軸に沿った測定空間内で検出可能な時間的コヒーレンスを有する前記ビームを生成するスペクトル変調可能な光源を提供するステップと、
前記光軸に沿った所定の場所に光学要素を配置するステップと、
前記光学要素が所定の場所に位置している場合に最大コントラストのコレログラムを形成するように、光源の変調周期を変更するステップと、
検査面および前記光学要素の表面からの反射によって形成されるコレログラムを生成するために、正弦波状に光源の位相を変調するステップと、
前記コレログラムが、前記光学要素の光学アライメントを示す所定のブルズアイ構成を満たすように、前記光学要素の位置を調整するステップと、
前記光軸に沿った追加の所定の場所に追加の光学要素を配置するステップと、そして、
前記追加の光学要素を使用して、前記変更するステップ、変調するステップ、および調整するステップを繰り返すこと、
を含む方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019154311A JP7350296B2 (ja) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | スペクトル制御干渉法に基づく光学アライメント |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019154311A JP7350296B2 (ja) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | スペクトル制御干渉法に基づく光学アライメント |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021032758A JP2021032758A (ja) | 2021-03-01 |
JP7350296B2 true JP7350296B2 (ja) | 2023-09-26 |
Family
ID=74678205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019154311A Active JP7350296B2 (ja) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | スペクトル制御干渉法に基づく光学アライメント |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7350296B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009509150A (ja) | 2005-09-22 | 2009-03-05 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 干渉測定装置 |
JP2011252774A (ja) | 2010-06-01 | 2011-12-15 | Fujifilm Corp | 被検面測定装置 |
US20180306575A1 (en) | 2017-04-24 | 2018-10-25 | Apre Instruments, Llc | Radius-of-curvature measurement by spectrally-controlled interferometry |
US20190041186A1 (en) | 2017-08-07 | 2019-02-07 | Apre Instruments, Inc. | Measuring the position of objects in space |
-
2019
- 2019-08-27 JP JP2019154311A patent/JP7350296B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009509150A (ja) | 2005-09-22 | 2009-03-05 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 干渉測定装置 |
JP2011252774A (ja) | 2010-06-01 | 2011-12-15 | Fujifilm Corp | 被検面測定装置 |
US20180306575A1 (en) | 2017-04-24 | 2018-10-25 | Apre Instruments, Llc | Radius-of-curvature measurement by spectrally-controlled interferometry |
US20190041186A1 (en) | 2017-08-07 | 2019-02-07 | Apre Instruments, Inc. | Measuring the position of objects in space |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021032758A (ja) | 2021-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8422026B2 (en) | Spectrally controllable light sources in interferometry | |
JP7082137B2 (ja) | スペクトル制御干渉法による曲率半径測定 | |
US8675205B2 (en) | Optical coherence tomography using spectrally controlled interferometry | |
JP3976618B2 (ja) | Pci測定信号およびoct・a走査信号における分散の立体的可変相関核による後からの数値補償 | |
US9581437B2 (en) | Interferometric non-contact optical probe and measurement | |
TWI671501B (zh) | 用於特徵化一樣本之方法及白光干涉測量計、用於處理來自具有一圖案化結構之一樣本之白光干涉測量資料之方法及用於量測具有一圖案化結構之一樣本之白光干涉測量計 | |
CN104296698A (zh) | 一种超高精度的光学表面平整度测量方法 | |
JP6364551B2 (ja) | 干渉計 | |
JP6202762B2 (ja) | 面形状計測方法およびその装置 | |
JP7231946B2 (ja) | 表面形状計測装置および表面形状計測方法 | |
CN105091781B (zh) | 一种单桢干涉条纹图测量光学表面的方法与装置 | |
US20070177156A1 (en) | Surface profiling method and apparatus | |
JP6388722B2 (ja) | 干渉非接触光プローブおよび測定 | |
JP7350296B2 (ja) | スペクトル制御干渉法に基づく光学アライメント | |
WO2018102356A1 (en) | True heterodyne spectrally controlled interferometry | |
US10422700B1 (en) | Optical alignment based on spectrally-controlled interferometry | |
JP2020501131A (ja) | 多重スペクトル変調の重ね合わせによるスペクトル制御干渉法の範囲の拡大 | |
JP6214020B2 (ja) | 光断層イメージング法、その装置およびプログラム | |
JP2019537726A (ja) | 干渉計の光学性能を最適化するための方法及び装置 | |
JP3230983B2 (ja) | 光波干渉装置の被検***置調整方法 | |
TWI420072B (zh) | 具有虛位參考面之干涉儀 | |
Pérez et al. | Experimental results of an innovative dynamic low-coherent interferometer for characterizing a gravitational wave detector | |
Fuchs | Differential phase contrast in swept source optical coherence tomography | |
Feng et al. | Non-scanning techniques | |
Tay | Micro-components evaluation using laser interferometry |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220520 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230822 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230906 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7350296 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |