JP7348794B2 - バルク弾性波共振器およびその製造方法 - Google Patents
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- 支持基板と、該支持基板上に積層し、表面が平坦な下層電極膜と、該下層電極膜上に積層し、周縁部の表面に、該表面の一部を切り欠いた複数の凹部が形成された圧電膜と、該圧電膜上に積層した上層電極膜とを備えたバルク弾性波共振器であって、
前記上層電極膜は、前記複数の凹部のうちの一部の前記凹部を被覆し、その結果、周縁部に、前記上層電極膜が前記凹部に充填された厚さの厚い部分を含みかつ長さがλ/4(λは弾性波の波長)の奇数倍であるフレーム部を備え、
前記複数の凹部のうち、前記フレーム部より前記圧電膜の外周側に配置される前記凹部は、前記上層電極膜で被覆されず露出していることを特徴とするバルク弾性波共振器。 - 支持基板上に下層電極膜、圧電膜および上層電極膜を積層するバルク弾性波共振器の製造方法において、
支持基板を用意する工程と、
該支持基板上に、表面が平坦な前記下層電極膜を形成する工程と、
前記下層電極膜上に表面が平坦な前記圧電膜を積層形成し、所望の形状にパターニングするとともに、周縁部の表面に、該表面の一部を切り欠いた複数の凹部を形成する工程と、
前記圧電膜上に、前記凹部の一部を被覆する前記上層電極膜を形成する工程と
を含み、
前記上層電極膜を形成する工程は、前記複数の凹部のうちの一部の前記凹部を被覆し、その結果、周縁部に、前記上層電極膜が前記凹部に充填された厚さの厚い部分を含みかつ長さがλ/4(λは弾性波の波長)の奇数倍であるフレーム部が形成され、かつ前記フレーム部より前記圧電膜の外周側に配置される前記凹部が、前記上層電極膜で被覆されず露出している、工程であることを特徴とするバルク弾性波共振器の製造方法。
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JP2007006501A (ja) | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte Ltd | 交互配列の縁部構造を利用した音響共振器の性能向上 |
JP2007189431A (ja) | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片及び圧電デバイス |
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