JP7342109B2 - 向上した感度のz軸加速度計 - Google Patents
向上した感度のz軸加速度計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7342109B2 JP7342109B2 JP2021513855A JP2021513855A JP7342109B2 JP 7342109 B2 JP7342109 B2 JP 7342109B2 JP 2021513855 A JP2021513855 A JP 2021513855A JP 2021513855 A JP2021513855 A JP 2021513855A JP 7342109 B2 JP7342109 B2 JP 7342109B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- proof mass
- accelerometer
- mass
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0831—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type having the pivot axis between the longitudinal ends of the mass, e.g. see-saw configuration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0837—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being suspended so as to only allow movement perpendicular to the plane of the substrate, i.e. z-axis sensor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
本出願は、2018年9月12日に、代理人整理番号G0766.70239US00の下に出願された、「INCREASED SENSITIVITY Z-AXIS ACCELEROMETER」と題する米国仮特許出願第16/129,755号の米国特許法第119条(e)の下での利益を主張するものであり、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
本出願は、微小電気機械システム(MEMS)z軸加速度計に関する。
z軸加速度計の代替構成が、図2に関連して説明され得る。加速度計200は、ビーム210と、プルーフマス220と、基板と、少なくとも1つのアンカー240と、を含み得る。加速度計200は、ビームが枢動する第1の軸に近接するプルーフマスの第1の側部222によってビーム210に連結されたプルーフマス220を含み得る。
z軸加速度計の代替構成が、図3に関連して説明され得る。加速度計300は、ビーム310と、プルーフマス320と、基板と、少なくとも1つのアンカー340と、を含み得る。加速度計300は、ビームが枢動する第1の軸に隣接しないビーム310の部分に連結されたプルーフマス320を含み得る。そのような構成は、z方向の加速度に対する加速度計のさらに向上した感度を提供し得る。ビーム310の第2の部分314は、第1の軸392と、プルーフマス320との間にあり、これにより、プルーフマスが第1の軸からより遠い距離に配設される結果をもたらし得る。様々な実施形態では、プルーフマスは、第1の軸392から様々な距離に配置され得る。
z軸加速度計の代替構成が、図4に関連して説明され得る。図4に示された加速度計400は、ビーム410と、プルーフマス420と、基板と、少なくとも1つのアンカー440と、を含み得る。加速度計400は、ビーム410の外縁に連結されたプルーフマス420を含み得る。
z軸加速度計の代替構成が、図5に関連して説明され得る。加速度計500は、ビーム510と、プルーフマス520と、基板と、少なくとも1つのアンカー540と、を含み得る。加速度計は、アンカー540に対して中央に配置されたビーム510を含み得る。ビーム510は、ビームが枢動する第1の軸の片側のビームの質量を減少させるように構成された開口部を含み得る。
z軸加速度計の代替構成が、図6に関連して説明され得る。図6に示された加速度計600は、ビーム610と、プルーフマス620と、基板と、少なくとも1つのアンカー640と、を含み得る。加速度計600は、ビーム610が枢動する軸に平行でない角度で構成された軸を中心に枢動するプルーフマス620を含み得る。
z軸加速度計の代替構成が、図7に関連して説明され得る。加速度計700は、ビーム710と、プルーフマス720と、基板と、少なくとも1つのアンカー740と、を含み得る。加速度計700は、ビーム710の第1の部分内に配置されたプルーフマス720を含み得る。
z軸加速度計の代替構成が、図8A~8Cに関連して説明され得る。図8A~8Cに示された加速度計800は、ビーム810と、プルーフマス820と、基板830と、少なくとも1つのアンカー840と、を含み得る。加速度計800は、ビーム810の枢動面に対して並進するように構成されたプルーフマス820を含み得る。
110 ビーム
112 第1の部分
114 第2の部分
116 第3の部分
120 プルーフマス
122 第1の側部
124 第2の側部
128 ばね
130 基板
132 第1の電極
134 第2の電極
136 セルフテスト電極
140 アンカー
142 ばね
150 第1の開口部
152 第1の側部
154 第2の側部
160 第2の開口部
162 第1の側部
164 第2の側部
168 スタブ
192 第1の軸
194 第2の軸
Claims (19)
- z軸シーソー式加速度計であって、
基板と、
アンカーと、
前記アンカーによって前記基板に接続され、第1の軸を中心に枢動するように構成されたビームであって、前記第1の軸が前記基板に平行であり、前記ビームが前記第1の軸に対して非対称である、ビームと、
前記ビームに連結され、前記ビームに対して、前記第1の軸とは異なる第2の軸を中心に枢動するように構成されたプルーフマスと、を備え、前記プルーフマスが、一方の側部で前記ビームに連結され、前記第2の軸が、前記一方の側部に平行であり、前記ビームと面内に固定される、z軸シーソー式加速度計。 - 前記プルーフマスが、前記第1の軸に近接する第1の側部と、前記第1の軸の遠位にある第2の側部と、を備え、前記ビームに連結された前記プルーフマスの前記一方の側部が、前記第1の側部である、請求項1に記載の加速度計。
- 前記プルーフマスが、前記第1の軸に近接する第1の側部と、前記第1の軸の遠位にある第2の側部と、を備え、前記ビームに連結された前記プルーフマスの前記一方の側部が、前記第2の側部である、請求項1に記載の加速度計。
- 前記ビームが、
前記ビームと、前記プルーフマスと、に連結されたばねと、
前記ばねから前記第1の軸の反対側に位置付けられた複数のスタブと、をさらに備え、
前記スタブが、前記ばねと実質的に同じ量の前記ビームの面積を占めるように構成されている、請求項1に記載の加速度計。 - 前記アンカーが、前記第1の軸と垂直な方向において、前記ビームに対して中央に配置されている、請求項1に記載の加速度計。
- 前記ビームが、前記第1の軸によって分離された第1の部分および第2の部分と、を備え、前記第2の部分が、前記第1の部分よりも大きな質量を有し、前記プルーフマスが、前記ビームの前記第1の部分に連結されている、請求項1に記載の加速度計。
- 前記ビームが、前記第1の軸によって分離された第1の部分および第2の部分と、を備え、前記第2の部分が、前記第1の部分よりも大きな質量を有し、前記プルーフマスが、前記ビームの前記第2の部分に連結されている、請求項1に記載の加速度計。
- 前記基板上に配設され、前記基板と、前記プルーフマスとの間のキャパシタンスを検知するように構成された回路をさらに備える、請求項1に記載の加速度計。
- 前記基板上に配設された電極をさらに備え、前記プルーフマスが前記電極に向かって枢動するときに、前記プルーフマスが、前記ビームよりも短い距離だけ前記電極から離間するように構成されている、請求項1に記載の加速度計。
- 前記第2の軸が、前記第1の軸に実質的に平行である、請求項1に記載の加速度計。
- z軸加速度計を操作する方法であって、前記加速度計が、基板と、アンカーと、前記アンカーによって前記基板に接続されたビームと、前記ビームに連結されたプルーフマスと、を備え、前記方法が、
第1の検知キャパシタンスを使用して、前記基板に対する前記ビームの第1の部分の位置の指示を検知することと、
第2の検知キャパシタンスを使用して、前記基板に対する前記プルーフマスの位置の指示を検知することであって、前記プルーフマスが、前記ビームの第2の部分に連結されている、検知することと、
前記第1の検知キャパシタンスおよび前記第2の検知キャパシタンスを示す信号を出力することと、を含み、
前記ビームが、第1の軸を中心に枢動するように構成されており、前記第1の軸が、前記基板に平行であり、
前記プルーフマスが、前記ビームに対して、前記第1の軸以外の、かつ前記基板に平行な第2の軸を中心に枢動するように構成されており、
前記第1の検知キャパシタンスが、第1の振幅を有し、
前記第2の検知キャパシタンスが、前記第1の振幅よりも大きい第2の振幅を有し、
信号を出力することが、前記第1および第2のキャパシタンスの差を出力することを含む、方法。 - 前記第1の軸と、前記プルーフマスの前記ビームへの接続点との間に位置する前記プルーフマスの自由側を移動させることによって、前記プルーフマスを前記ビームに対して枢動させることをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記プルーフマスの前記ビームへの接続点によって前記第1の軸から分離された前記プルーフマスの自由側を移動させることによって、前記プルーフマスを前記ビームに対して枢動させることをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記プルーフマスが、第1のプルーフマスであり、前記z軸加速度計が、前記ビームに対して枢動するように構成された第2のプルーフマスを備え、前記方法が、前記基板に対する前記第2のプルーフマスの位置を検知することをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- z軸加速度計であって、
基板と、
アンカーと、
前記アンカーによって前記基板に接続され、第1の軸を中心に枢動するように構成されたビームであって、前記第1の軸が、前記基板に平行である、ビームと、
前記ビーム内に埋め込まれ、前記ビームの枢動面に対して垂直に面外に並進するように構成されたプルーフマスと、
前記基板上に配設され、前記基板と、前記ビームとによって形成された第1のキャパシタの第1のキャパシタンス、ならびに前記基板と、前記プルーフマスとによって形成された第2のキャパシタの第2のキャパシタンスを検知するように構成された回路と、を備える、z軸加速度計。 - 前記ビームが、前記第1の軸に対して非対称な質量であって、前記第1の軸の第1の側の第1の質量部分および前記第1の軸の第2の側の第2の質量部分と、を有する、非対称な質量を有し、前記第1の質量部分が、前記第2の質量部分よりも大きく、前記プルーフマスが、前記第1の質量部分内に埋め込まれている、請求項15に記載のz軸加速度計。
- 前記ビームが、前記第1の軸に対して非対称な質量であって、前記第1の軸の第1の側の第1の質量部分および前記第1の軸の第2の側の第2の質量部分と、を有する、非対称な質量を有し、前記第1の質量部分が、前記第2の質量部分よりも大きく、前記プルーフマスが、前記第2の質量部分内に埋め込まれている、請求項15に記載のz軸加速度計。
- 前記第1および第2のキャパシタンスを表す少なくとも1つの信号を処理するように構成されている追加の回路をさらに備える、請求項15に記載のz軸加速度計。
- 前記ビームが、前記第1の軸に対して非対称であり、前記プルーフマスが、前記第1の軸の片側の前記ビーム内に埋め込まれている、請求項15に記載のz軸加速度計。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/129,755 US11255873B2 (en) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | Increased sensitivity z-axis accelerometer |
US16/129,755 | 2018-09-12 | ||
PCT/US2019/050587 WO2020055983A1 (en) | 2018-09-12 | 2019-09-11 | Increased sensitivity z-axis accelerometer |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022503690A JP2022503690A (ja) | 2022-01-12 |
JPWO2020055983A5 JPWO2020055983A5 (ja) | 2022-09-20 |
JP7342109B2 true JP7342109B2 (ja) | 2023-09-11 |
Family
ID=69719498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021513855A Active JP7342109B2 (ja) | 2018-09-12 | 2019-09-11 | 向上した感度のz軸加速度計 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11255873B2 (ja) |
JP (1) | JP7342109B2 (ja) |
CN (1) | CN112703406B (ja) |
DE (1) | DE112019004565T5 (ja) |
TW (1) | TWI762816B (ja) |
WO (1) | WO2020055983A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11307218B2 (en) | 2020-05-22 | 2022-04-19 | Invensense, Inc. | Real-time isolation of self-test and linear acceleration signals |
CN116075728A (zh) | 2020-06-08 | 2023-05-05 | 美国亚德诺半导体公司 | 驱动和感测应力释放装置 |
US11686581B2 (en) | 2020-06-08 | 2023-06-27 | Analog Devices, Inc. | Stress-relief MEMS gyroscope |
US11698257B2 (en) | 2020-08-24 | 2023-07-11 | Analog Devices, Inc. | Isotropic attenuated motion gyroscope |
DE112021006521T5 (de) | 2020-12-18 | 2023-12-07 | Analog Devices, Inc. | Beschleunigungsmesser mit translationsbewegung von massen |
US11714102B2 (en) | 2021-06-08 | 2023-08-01 | Analog Devices, Inc. | Fully differential accelerometer |
CN114609413A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-06-10 | 绍兴圆方半导体有限公司 | 三轴加速度计 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003016919A1 (en) | 2001-08-20 | 2003-02-27 | Honeywell International Inc. | Micro-machined electromechanical system (mems) accelerometer device having arcuately shaped flexures |
US20120125104A1 (en) | 2010-11-24 | 2012-05-24 | Invensense, Inc. | Anchor-tilt cancelling accelerometer |
JP2014153363A (ja) | 2013-02-06 | 2014-08-25 | Freescale Semiconductor Inc | スティクション耐性memsデバイスおよび動作方法 |
US20140331770A1 (en) | 2011-12-12 | 2014-11-13 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Ene Alt | Mechanical connection forming a pivot for mems and nems mechanical structures |
JP2016509209A (ja) | 2012-12-27 | 2016-03-24 | トロニックス マイクロシステムズ | 平面外に移動可能なモバイルマスを有するマイクロ電子機械装置 |
Family Cites Families (54)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4002077A (en) | 1975-03-06 | 1977-01-11 | The Bendix Corporation | Integrating angular accelerometer |
US4454756A (en) | 1982-11-18 | 1984-06-19 | Wilson Industries, Inc. | Inertial borehole survey system |
US5488864A (en) | 1994-12-19 | 1996-02-06 | Ford Motor Company | Torsion beam accelerometer with slotted tilt plate |
US6038924A (en) | 1997-12-22 | 2000-03-21 | Research Foundation Of State Of New York | Low frequency seismic accelerometer |
US6230566B1 (en) | 1999-10-01 | 2001-05-15 | The Regents Of The University Of California | Micromachined low frequency rocking accelerometer with capacitive pickoff |
EP1257783A1 (en) | 2000-01-12 | 2002-11-20 | American GNC Corporation | Micro inertial measurement unit |
WO2002057799A2 (en) | 2001-01-17 | 2002-07-25 | Honeywell International Inc. | Accelerometer whose seismic mass is shaped as whiffletree |
US6845670B1 (en) | 2003-07-08 | 2005-01-25 | Freescale Semiconductor, Inc. | Single proof mass, 3 axis MEMS transducer |
US7121141B2 (en) | 2005-01-28 | 2006-10-17 | Freescale Semiconductor, Inc. | Z-axis accelerometer with at least two gap sizes and travel stops disposed outside an active capacitor area |
US7140250B2 (en) | 2005-02-18 | 2006-11-28 | Honeywell International Inc. | MEMS teeter-totter accelerometer having reduced non-linearty |
EP1717669A1 (en) | 2005-04-26 | 2006-11-02 | Chic Technology Corp. | Highly sensitive inertial mouse |
US7210352B2 (en) | 2005-06-14 | 2007-05-01 | Innovative Micro Technology | MEMS teeter-totter apparatus with curved beam and method of manufacture |
US20070034007A1 (en) | 2005-08-12 | 2007-02-15 | Cenk Acar | Multi-axis micromachined accelerometer |
US20070090475A1 (en) | 2005-10-05 | 2007-04-26 | Honeywell International Inc. | Mems performance improvement using high gravity force conditioning |
US7777596B2 (en) | 2007-12-18 | 2010-08-17 | Robert Bosch Gmbh | MEMS resonator structure and method |
CA2733940A1 (en) | 2008-08-15 | 2010-02-18 | Sural | Solid-state inertial sensor on chip |
TWI374268B (en) * | 2008-09-05 | 2012-10-11 | Ind Tech Res Inst | Multi-axis capacitive accelerometer |
US8304274B2 (en) | 2009-02-13 | 2012-11-06 | Texas Instruments Incorporated | Micro-electro-mechanical system having movable element integrated into substrate-based package |
ITTO20090597A1 (it) | 2009-07-31 | 2011-02-01 | St Microelectronics Srl | Struttura di rilevamento microelettromeccanica ad asse z con ridotte derive termiche |
GB201005875D0 (en) | 2010-04-08 | 2010-05-26 | Silicon Sensing Systems Ltd | Sensors |
GB201009062D0 (en) | 2010-05-28 | 2010-07-14 | Cambridge Entpr Ltd | MEMS inertial sensor and method of inertial sensing |
FR2961305B1 (fr) | 2010-06-14 | 2012-06-22 | Eurocopter France | Dispositif de mesure inertielle ameliore et aeronef comportant un tel dispositif |
CN102466736B (zh) | 2010-11-19 | 2014-06-11 | 美新半导体(无锡)有限公司 | Z轴电容式加速度计 |
IT1405796B1 (it) | 2010-11-26 | 2014-01-24 | St Microelectronics Srl | Struttura di accelerometro biassiale risonante di tipo microelettromeccanico |
US8555719B2 (en) | 2011-01-24 | 2013-10-15 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEMS sensor with folded torsion springs |
US8539836B2 (en) | 2011-01-24 | 2013-09-24 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEMS sensor with dual proof masses |
US8927311B2 (en) | 2011-02-16 | 2015-01-06 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEMS device having variable gap width and method of manufacture |
ITTO20110782A1 (it) | 2011-08-31 | 2013-03-01 | Milano Politecnico | Struttura di rilevamento perfezionata per un accelerometro risonante ad asse z |
US8689632B2 (en) | 2012-01-17 | 2014-04-08 | Freescale Semiconductor, Inc. | Fully decoupled lateral axis gyroscope with thickness-insensitive Z-axis spring and symmetric teeter totter sensing element |
US8978475B2 (en) | 2012-02-01 | 2015-03-17 | Fairchild Semiconductor Corporation | MEMS proof mass with split z-axis portions |
US9246017B2 (en) | 2012-02-07 | 2016-01-26 | Mcube, Inc. | MEMS-based dual and single proof-mass accelerometer methods and apparatus |
CN104684841A (zh) | 2012-06-13 | 2015-06-03 | 普渡研究基金会 | 微电子机械***和使用方法 |
US10371714B2 (en) | 2012-06-14 | 2019-08-06 | Analog Devices, Inc. | Teeter-totter type MEMS accelerometer with electrodes on circuit wafer |
US9030655B2 (en) | 2012-06-27 | 2015-05-12 | Honeywell International Inc. | Closed loop atomic inertial sensor |
JP6002481B2 (ja) * | 2012-07-06 | 2016-10-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
ITTO20120855A1 (it) | 2012-09-28 | 2014-03-29 | Milano Politecnico | Struttura integrata di rilevamento risonante di accelerazione e velocita' angolare e relativo dispositivo sensore mems |
US9470709B2 (en) | 2013-01-28 | 2016-10-18 | Analog Devices, Inc. | Teeter totter accelerometer with unbalanced mass |
US9297825B2 (en) | 2013-03-05 | 2016-03-29 | Analog Devices, Inc. | Tilt mode accelerometer with improved offset and noise performance |
US9218065B2 (en) | 2013-03-11 | 2015-12-22 | Intel Corporation | Stress tolerant MEMS accelerometer |
EP2808295B1 (en) * | 2013-05-31 | 2015-12-30 | Tronics Microsystems S.A. | MEMS-Sensor |
US20150268268A1 (en) | 2013-06-17 | 2015-09-24 | Freescale Semiconductor, Inc. | Inertial sensor with trim capacitance and method of trimming offset |
US10324107B2 (en) * | 2014-04-28 | 2019-06-18 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Acceleration detection device |
US9360496B2 (en) | 2014-10-03 | 2016-06-07 | Freescale Semiconductor, Inc. | Three-axis microelectromechanical systems device with single proof mass |
US10203351B2 (en) * | 2014-10-03 | 2019-02-12 | Analog Devices, Inc. | MEMS accelerometer with Z axis anchor tracking |
WO2016108770A1 (en) | 2014-12-31 | 2016-07-07 | Aydemir Akin | A three axis capacitive mems accelerometer on a single substrate |
CN104614553A (zh) * | 2015-01-30 | 2015-05-13 | 歌尔声学股份有限公司 | 一种加速度计中的z轴结构 |
US10078098B2 (en) | 2015-06-23 | 2018-09-18 | Analog Devices, Inc. | Z axis accelerometer design with offset compensation |
CN104931729B (zh) * | 2015-06-29 | 2017-12-05 | 歌尔股份有限公司 | 一种mems三轴加速度计 |
US20170023606A1 (en) | 2015-07-23 | 2017-01-26 | Freescale Semiconductor, Inc. | Mems device with flexible travel stops and method of fabrication |
US10545167B2 (en) | 2015-10-20 | 2020-01-28 | Analog Devices, Inc. | Multiple-axis resonant accelerometers |
TWI570054B (zh) | 2015-12-28 | 2017-02-11 | 財團法人工業技術研究院 | 具中央固定座的微機電裝置 |
EP3190421B1 (en) | 2016-01-07 | 2019-05-22 | Analog Devices, Inc. | Two- or three-axis angular accelerometer |
CN107817364B (zh) * | 2017-09-30 | 2019-10-11 | 西安交通大学 | 一种mems直拉直压式两轴加速度计芯片及其制备方法 |
US10816569B2 (en) | 2018-09-07 | 2020-10-27 | Analog Devices, Inc. | Z axis accelerometer using variable vertical gaps |
-
2018
- 2018-09-12 US US16/129,755 patent/US11255873B2/en active Active
-
2019
- 2019-09-10 TW TW108132543A patent/TWI762816B/zh active
- 2019-09-11 WO PCT/US2019/050587 patent/WO2020055983A1/en active Application Filing
- 2019-09-11 DE DE112019004565.2T patent/DE112019004565T5/de active Pending
- 2019-09-11 JP JP2021513855A patent/JP7342109B2/ja active Active
- 2019-09-11 CN CN201980059746.0A patent/CN112703406B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003016919A1 (en) | 2001-08-20 | 2003-02-27 | Honeywell International Inc. | Micro-machined electromechanical system (mems) accelerometer device having arcuately shaped flexures |
US20120125104A1 (en) | 2010-11-24 | 2012-05-24 | Invensense, Inc. | Anchor-tilt cancelling accelerometer |
US20140331770A1 (en) | 2011-12-12 | 2014-11-13 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Ene Alt | Mechanical connection forming a pivot for mems and nems mechanical structures |
JP2016509209A (ja) | 2012-12-27 | 2016-03-24 | トロニックス マイクロシステムズ | 平面外に移動可能なモバイルマスを有するマイクロ電子機械装置 |
JP2014153363A (ja) | 2013-02-06 | 2014-08-25 | Freescale Semiconductor Inc | スティクション耐性memsデバイスおよび動作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112019004565T5 (de) | 2021-05-27 |
WO2020055983A1 (en) | 2020-03-19 |
TWI762816B (zh) | 2022-05-01 |
US11255873B2 (en) | 2022-02-22 |
JP2022503690A (ja) | 2022-01-12 |
US20200081029A1 (en) | 2020-03-12 |
CN112703406A (zh) | 2021-04-23 |
TW202016548A (zh) | 2020-05-01 |
CN112703406B (zh) | 2024-02-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7342109B2 (ja) | 向上した感度のz軸加速度計 | |
EP3121605B1 (en) | Multi-axis inertial sensor with dual mass and integrated damping structure | |
US8333113B2 (en) | Triaxial acceleration sensor | |
JP7433299B2 (ja) | 3軸加速度計 | |
EP1947420B1 (en) | Inertial force sensor | |
JP2009505064A (ja) | 多軸微細機械加工加速度計 | |
US8701490B2 (en) | Z-axis capacitive accelerometer | |
KR20120043056A (ko) | 미세가공된 관성 센서 장치들 | |
KR20090052832A (ko) | 커플링 바를 구비한 회전 속도 센서 | |
WO2006114832A1 (ja) | 加速度センサ | |
JP4905574B2 (ja) | 可動部分を備えている積層構造体 | |
EP3792638B1 (en) | Low-noise multi axis mems accelerometer | |
CN112748258A (zh) | 基于单质量块的三轴加速度计 | |
TW201625953A (zh) | 微機電系統感測器和半導體封裝 | |
CN113624995A (zh) | 一种三轴加速度计 | |
CN216900613U (zh) | 一种三轴加速度计 | |
CN216900614U (zh) | 一种三轴加速度计 | |
JP2015125124A (ja) | 多軸センサ | |
CN211206555U (zh) | 三轴加速度计 | |
TW202033962A (zh) | 微機械慣性感測器 | |
US10900996B2 (en) | Micromechanical sensor and method for manufacturing a micromechanical sensor | |
CN113624994A (zh) | 一种三轴加速度计 | |
US20230192475A1 (en) | Mems die and mems-based vibration sensor | |
JP2008261771A (ja) | 慣性力センサ | |
JP6070111B2 (ja) | 加速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210315 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220909 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230731 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230830 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7342109 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |