JP7340167B2 - 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 Download PDFInfo
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Description
第1発光面から第1照明光を射出する第1発光部と、
前記第1発光面から間隔を隔てて配置された第2発光面から第2照明光を射出する第2発光部と、
前記第1発光面からの前記第1照明光を集光する第1集光部および前記第2発光面からの前記第2照明光を集光する第2集光部を有する集光部材と、
前記第1集光部を経た前記第1照明光と前記第2集光部を経た前記第2照明光との少なくとも一部を、前記被照射面と光学的に共役な共役面または前記被照射面で重畳させるリレー光学系とを備えていることを特徴とする照明光学系を提供する。
前記所定のパターンが転写された前記基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記基板の表面に形成することと、
前記マスク層を介して前記基板の表面を加工することと、を含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
1a チップ(発光部)
2 コレクタレンズ
3 リレーレンズ
4 フライアイレンズ
4a レンズエレメント
5 開口絞り
6 コンデンサレンズ
IL 照明光学系
M マスク
MS マスクステージ
PL 投影光学系
W ウェハ
WS ウェハステージ
CR 制御系
Claims (18)
- 被照射面を照明する照明光学系において、
第1発光面から第1照明光を射出する第1発光部と、
第2発光面から第2照明光を射出する第2発光部と、
前記第1照明光を集光する第1集光部と、前記第2照明光を集光する第2集光部とを有する集光部材と、
前記第1集光部を経た前記第1照明光による前記第1発光面の像と、前記第2集光部を経た前記第2照明光による前記第2発光面の像との少なくとも一部を、前記被照射面と光学的に共役な共役面で重畳させるリレー光学系と、
前記リレー光学系と前記被照射面との間の光路中に配置された複数の波面分割要素を有するオプティカルインテグレータと、
前記オプティカルインテグレータにより波面分割された複数の光束を前記被照射面で重畳させるコンデンサー光学系と、を備え、
前記共役面は、前記オプティカルインテグレータの入射面とほぼ一致し、
前記第1集光部及び前記第2集光部の前側焦点位置が、それぞれ前記第1発光面及び第2発光面の位置とほぼ一致し、
前記リレー光学系の前側焦点位置が、前記第1集光部及び前記第2集光部の後側焦点位置が位置する面にあり、
前記リレー光学系の後側焦点面の近傍に前記オプティカルインテグレータの前記入射面が位置する、照明光学系。 - 前記集光部材と前記リレー光学系は、前記オプティカルインテグレータの前記入射面と、前記第1発光面および前記第2発光面とが、互いに光学的に共役関係となるように配置されている、請求項1に記載の照明光学系。
- 前記リレー光学系は、前記複数の波面分割要素のうち1つの波面分割要素の入射面の大きさよりも、前記第1発光面の像と前記第2発光面の像とが大きくなるように、前記第1発光面の像と前記第2発光面の像とを拡大する、請求項1または2に記載の照明光学系。
- 前記第1発光面の像と前記第2発光面の像とは、前記オプティカルインテグレータの前記入射面の有効領域を覆う大きさまで拡大される、請求項3に記載の照明光学系。
- 前記オプティカルインテグレータの前記入射面において、前記第1発光面の像と、前記第2発光面の像とがほぼ重なり合う、請求項1~4のいずれか一項に記載の照明光学系。
- 前記集光部材の前記第1集光部は第1レンズを有し、前記集光部材の前記第2集光部は第2レンズを有し、
前記第1レンズの光軸と前記第2レンズの光軸とは互いに平行である、請求項1~5のいずれか一項に記載の照明光学系。 - 前記第1レンズと前記第2レンズとは一体に形成されている、請求項6に記載の照明光学系。
- 前記オプティカルインテグレータの射出端側に設けられ、前記第1照明光および前記第2照明光の一部を通過させる開口部を有する開口絞りをさらに有し、
前記開口部の形状は、前記第1発光面および前記第2発光面の形状と相似形である、請求項1~7のいずれか一項に記載の照明光学系。 - 前記第1発光面および前記第2発光面の形状は、円形状である、請求項1~8のいずれか一項に記載の照明光学系。
- 前記集光部材と前記リレー光学系との間の光路に挿入可能に配置されて、入射光の角度を変化させて射出する偏向部材を有する、請求項1~9のいずれか一項に記載の照明光学系。
- 前記偏向部材は、回折光学素子である、請求項10に記載の照明光学系。
- 前記第1発光部および前記第2発光部は、それぞれ第1光源および第2光源としての固体発光素子を有する、請求項1~11のいずれか一項に記載の照明光学系。
- 前記固体発光素子はLEDである、請求項12に記載の照明光学系。
- 前記第1発光部は前記第1光源からの光を伝搬する第1ライトガイドを備え、
前記第2発光部は前記第2光源からの光を伝搬する第2ライトガイドを備え、
前記第1発光面は前記第1ライトガイドの射出面であり、
前記第2発光面は前記第2ライトガイドの射出面である、請求項12または13に記載の照明光学系。 - 前記固体発光素子を冷却する冷却部材を有する、請求項12~14のいずれか一項に記載の照明光学系。
- 請求項1~15のいずれか一項に記載の照明光学系を有し、
前記照明光学系で前記被照射面が有する所定のパターンを照明し、前記所定のパターンを基板に露光する、露光装置。 - 前記所定のパターンの像を前記基板上に形成する投影光学系をさらに有する、請求項16に記載の露光装置。
- 請求項16または17に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記基板に露光することと、
前記所定のパターンが転写された前記基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状を前記基板の表面に形成することと、を含むデバイス製造方法。
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