JP7337663B2 - 放射線検出装置の製造方法 - Google Patents
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- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Description
112 画素アレイ
114 基板
120 シンチレータ
141 ローラー
143 固定部材
144 固定部
145 撓み部
Claims (10)
- 基板の上に設けられた可撓性絶縁層に設けられた、各々が光電変換素子を有する複数の画素を有する画素アレイの上に、放射線を光に変換するシンチレータを形成する形成工程と、
前記可撓性絶縁層の端に設けられた固定部材が固定されたローラーを用いて前記可撓性絶縁層を前記基板から剥離する剥離工程と、
を行う放射線検出装置の製造方法であって、
前記固定部材は、端部に位置して前記ローラーと固定する部分である固定部と、可撓性を有する撓み部と、を含み、
前記剥離工程は、前記固定部を前記ローラーに固定しつつ前記撓み部を撓ませながら前記ローラーを用いて前記可撓性絶縁層を前記基板から剥離することを特徴とする放射線検出装置の製造方法。 - 前記固定部は、前記固定部材の両側の端部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の放射線検出装置の製造方法。
- 前記固定部は、前記シンチレータよりも外側に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線検出装置の製造方法。
- 前記固定部は、前記可撓性絶縁層の外側まではみ出して設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の放射線検出装置の製造方法。
- 前記固定部は、前記シンチレータの端部境界を越えた位置まで設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の放射線検出装置の製造方法。
- 前記固定部材は、前記可撓性絶縁層の一部であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の放射線検出装置の製造方法。
- 前記剥離工程は、前記固定部材の端部のみを前記ローラーに固定して前記ローラーを用いて前記可撓性絶縁層を前記基板から剥離することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の放射線検出装置の製造方法。
- 前記基板から剥離された前記可撓性絶縁層の前記シンチレータが配置された表面と反対側の表面に支持基板が配置される工程が更に行われることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の放射線検出装置の製造方法。
- 前記可撓性絶縁層は、前記画素アレイと電気的に接続された外部回路接続部を有し、
前記外部回路接続部に配線部材が電気的に接続される接続工程が更に行われることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の放射線検出装置の製造方法。 - 前記接続工程は、前記形成工程の前に行われることを特徴とする請求項9に記載の放射線検出装置の製造方法。
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