JP7337331B2 - 共振子及び共振装置 - Google Patents
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Description
まず、図1及び図2を参照しつつ、本発明の第1実施形態に係る共振装置の概略構成について説明する。図1は、第1実施形態における共振装置1の外観を概略的に示す斜視図である。図2は、図1に示した共振装置1の構造を概略的に示す分解斜視図である。
図10は、図3に示した共振子10の変形例を示す平面図である。なお、図10に示す共振子10’の積層構造は、図4及び図5に示した共振子10の断面の構成と同様であるため、図示及びその構成についての説明を省略する。
次に、図11から図15を参照しつつ、本発明の第2実施形態に係る共振装置及び共振子について説明する。なお、第1実施形態と同一又は類似の構成について同一又は類似の符号を付している。以下、第1実施形態と異なる点について説明する。また、同様の構成による同様の作用効果については、逐次言及しない。
次に、図16及び図17を参照しつつ、本発明の第3実施形態に係る共振装置及び共振子について説明する。なお、第1実施形態及び第2実施形態と同一又は類似の構成について同一又は類似の符号を付している。以下、第1実施形態及び第2実施形態と異なる点について説明する。また、同様の構成による同様の作用効果については、逐次言及しない。
Claims (12)
- 第1主面が第1方向の幅と第2方向の長さとを有する基板を含み、
輪郭振動を主振動として振動する振動部と、
前記振動部の少なくとも一部を囲むように形成される保持部と、
前記第2方向に沿って延在し、前記保持部と前記振動部における前記第2方向の一端部とを接続する支持部と、を備え、
前記振動部は、前記第1主面を平面視したときに、前記第1方向の幅が、前記第2方向の一端部から他端部に向けて前記振動部の全域に亘って変化するように構成され、かつ、前記第1方向の幅が、最大となる前記第2方向の位置から前記一端部に向けて、及び前記位置から前記第2方向の他端部に向けて、小さくなり、
前記位置は、前記振動部における前記第2方向の中心からずれている、
共振子。 - 前記振動部は、前記第1主面を平面視したときに、前記第1方向の幅が、最大となる前記第2方向の位置から前記一端部に向けて、及び前記位置から前記第2方向の他端部に向けて、前記振動部の全域に亘って漸次的に小さくなる、
請求項1に記載の共振子。 - 前記位置は、前記振動部における前記第2方向の中心から前記一端部側にずれている、
請求項1または2に記載の共振子。 - 前記第2方向の長さは、前記第1方向の幅より大きい、
請求項1から3のいずれか一項に記載の共振子。 - 前記支持部は、前記一端部における前記第1方向の中央部と接続される、
請求項1から4のいずれか一項に記載の共振子。 - 前記振動部は、第1電極と、前記基板と前記第1電極との間に配置される圧電体層とを含む、
請求項1から5のいずれか一項に記載の共振子。 - 前記振動部は、前記基板と前記圧電体層との間に配置される第2電極をさらに含む、
請求項6に記載の共振子。 - 前記振動部は、前記第1電極を覆うように形成される保護層をさらに含む、
請求項6または7に記載の共振子。 - 前記基板の材料は、シリコンである、
請求項1から8のいずれか一項に記載の共振子。 - 前記基板の材料は、縮退シリコンである、
請求項1から8のいずれか一項に記載の共振子。 - 前記振動部は、前記基板の第2主面に形成される補正層をさらに含む、
請求項1から10のいずれか一項に記載の共振子。 - 請求項1から11のいずれか一項に記載の共振子と、
蓋体と、を備える、
共振装置。
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