JP7335336B2 - リソグラフィ装置用基板ホルダ及び基板ホルダの製造方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2018年12月28日に提出された米国出願第62/786,300号の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
これにより、各バール上のコーティング内の結晶化パターン又は忠実性の調整を可能にすることができ、その結果、例えばバールのエッジに向かってダイヤモンド位相厚を減少/増加させることによって、コーティングの応力又は付着を改善又は最適化することができる。図4は、これがどのように達成され得るのかを概略的に示す。図4Aのグラフは、図4Bに示されるバールの遠位端面のコーティング220の表面全体にわたって空間的にレーザ強度の変化を示す。図4Cは、それによって生じる、DLCコーティング220内にダイヤモンド(又は高sp3含有量)微結晶224の(サイズ及び位置に関して)制御された分布を作り出す際の、コーティングに対する効果を示す。
Claims (15)
- リソグラフィ装置用の基板ホルダを作製する方法であって、前記基板ホルダは本体表面を有する本体を備えており、前記方法は、
前記本体の少なくとも一部を、炭素を備える第1のコーティング材料の層によって被覆するステップと、
複数の離散的領域における前記第1のコーティング材料を異なる構造又は密度を有する第2のコーティング材料に選択的に変換するために、前記第1のコーティング材料の前記領域をレーザ照射で処理するステップと、
を含み、
前記第2のコーティング材料の炭素含有量は、90%を超えるsp3混成炭素である、方法。 - 前記基板ホルダは更に、前記本体表面から突出する複数のバールであって各々が前記基板と係合するように構成された遠位端面を有するバールを備えており、
前記被覆するステップは、前記複数のバールの少なくとも前記遠位端面を前記第1のコーティング材料の層によって被覆し、
前記処理するステップは、前記遠位端面の少なくとも複数の離散的領域を前記レーザ照射で処理する、請求項1に記載の方法。 - 前記方法は、前記バールのうち1つ以上が前記遠位端面で摩耗している既存の基板ホルダを修復する方法であって、前記被覆するステップ及び前記処理するステップは、前記摩耗したバールの前記遠位端面を被覆及び処理する、請求項2に記載の方法。
- 前記被覆するステップ及び前記処理するステップは、前記離散的領域を蓄積して前記基板ホルダの前記本体から突出するバールを形成するために繰り返し実施される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のコーティング材料は複数の穴を有するマスクであり、前記処理するステップは、前記穴内の領域を処理すると共に、前記穴内にバールを形成するために繰り返される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のコーティング材料の前記未処理のエリアを前記除去するステップを更に含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2のコーティング材料は前記第1のコーティング材料よりも硬い、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記処理するステップは前記離散的領域のうちの異なる領域には異なるレーザ照射を適用し、それによって、前記第2のコーティング材料の少なくとも1つの特性が前記領域間で異なる、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記処理するステップは前記基板ホルダの外側領域の1つ以上のバールには前記基板ホルダの内側領域の1つ以上のバールと比較して異なるレーザ照射を適用し、それによって、前記外側領域の前記バールの前記第2のコーティング材料は、前記内側領域の前記バールの前記第2のコーティング材料よりも硬くなる及び/又は厚くなる及び/又は前記内側領域の前記バールの前記第2のコーティング材料とは異なる摩擦係数を有する、請求項8に記載の方法。
- 前記離散的領域は前記本体表面から突出する複数のバールの遠位端面を含む、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記離散的領域は単一のバールの遠位端面上の離散的領域を含む、請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記処理するステップは前記第2のコーティング材料の複数の種結晶を作り出し、前記種結晶上に前記第2のコーティング材料を前記成長させるステップを更に含む、請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
- リソグラフィ装置用の、基板を支持するように構成された基板ホルダであって、前記基板ホルダは、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出する複数のバールであって、
各バールは、前記基板と係合するように構成された遠位端面を有し、
前記バールの前記遠位端面は、支持面に実質的に一致し、前記基板を支持するように構成されている、複数のバールと、
を備えており、
前記バールのうち少なくともいくつかの前記遠位端面は、炭素を備える第1のコーティングを有しており、前記炭素は、90%を超えるsp3混成炭素を含み、前記本体の前記バール間領域は、異なるコーティングを有するか又はコーティングを有さず、
前記第1のコーティングの前記炭素は、炭素を備え、異なる構造又は密度を有する材料からレーザ照射によって変換されている、基板ホルダ。 - 前記バールのうち1つの前記遠位端面の前記第1のコーティングの少なくとも1つの特性は、前記バールのうち別の1つの前記第1のコーティングの前記特性とは異なる、請求項13に記載の基板ホルダ。
- 前記バールのうち1つの前記遠位端面の前記第1のコーティングの少なくとも1つの特性はそのバールの前記遠位端面全体にわたって異なる、請求項13又は請求項14に記載の基板ホルダ。
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