JP7333749B2 - 吸引力の測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、吸引力の測定方法に関する。

研磨や切削等の加工を行う加工装置の場合、加工室内には加工屑がミスト化された加工中に供給される加工用冷却水と混じって内部に飛散する。そのため、飛散したミストや加工屑を加工室の壁に形成された排気口から加工装置に接続される設備側のダクトへ吸引し、加工装置の外部に排出している。ミストの排気を確実に行うため、排気口と設備側ダクトとの間には排気用ファンが備えられ、排気用ファンと設備側の吸引源との双方でミストの排出を確実に行う装置が提供されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０００－１２４１６５号公報

しかしながら、特許文献１に示された装置は、設備側の吸引源が吸引する加工装置が多くなる、または特定の加工装置が大量の吸引力を利用するなどの状態になると、排気ダクトに発生する吸引力が低下し、正常にミスト等を排出できないという問題がある。

このために、排気ダクト内の吸引力を測定することが望まれている。しかしながら、排気ダクトの吸引力を測定するには、専用の風速計を排気ダクト内に設置する必要があり、吸引力の測定に必要な手間が増加する傾向であった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、設備側の吸引源による排気ダクト内の吸引力を簡便に測定することができる吸引力の測定方法を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の吸引力の測定方法は、加工装置と該加工装置が設置される設備の吸引源とを接続する排気ダクトの吸引力を測定する吸引力の測定方法であって、該加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該加工ユニットが配設される加工領域に発生するミストを外部に排出する排気口と、該排気口と、該排気ダクトと、に接続され、該加工装置に配設された排気ファンと、を備え、該排気ファンは、該排気ファンを回転するモーターと、該排気ファンの回転数を検知するセンサと、を有し、吸引力の測定方法は、該モーターによる該排気ファンの回転を停止し、該排気ダクトの吸引力により発生する風で回転する該排気ファンの回転数を測定する測定ステップと、該測定ステップで測定された回転数が、任意のしきい値を下回る場合、該排気ダクトの吸引力が不足していると判定する判定ステップと、を備えることを特徴とする。

前記吸引力の測定方法において、該判定ステップで、該排気ダクトの吸引力が不足していると判定された場合、該排気ファンの回転数を増やし該排気ファンによる該ミストの排出を促進しても良い。

本発明は、設備側の吸引源による排気ダクト内の吸引力を簡便に測定することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る吸引力の測定方法を実施する加工装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された加工装置の要部を断面で示す側面図である。 図３は、図２に示された加工装置の排気ファンの羽根車を示す斜視図である。 図４は、実施形態１に係る吸引力の測定方法の流れを示すフローチャートである。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る吸引力の測定方法を図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係る吸引力の測定方法を実施する加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置の要部を断面で示す側面図である。図３は、図２に示された加工装置の排気ファンの羽根車を示す斜視図である。図４は、実施形態１に係る吸引力の測定方法の流れを示すフローチャートである。

（加工装置）
実施形態１に係る吸引力の測定方法は、図１に示す加工装置１により実施される。図１に示す加工装置１は、設備である工場設備３００に設置される。工場設備３００は、図１に例示する加工装置１を複数設置する。工場設備３００は、加工装置１に接続される吸引源３０１と、加工装置１と吸引源３０１とを接続する排気ダクト３０２と、を備える。吸引源３０１は、排気ダクト３０２に接続し、排気ダクト３０２内の雰囲気を加工装置１外に排気する。吸引源３０１は、例えば、真空ポンプなどにより構成される。排気ダクト３０２は、筒状に形成されている。

図１に示された加工装置１は、被加工物２００を切削（加工に相当）する切削装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ラインによって格子状に区画された領域にデバイスが形成されている。

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウェーハでもよく、ウェーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックスされた基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板、ガラス基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０２が外周縁に環状フレーム２０３が装着された粘着テープ２０４に貼着されて、環状フレーム２０３に支持されている。

図１に示された加工装置１は、被加工物２００をチャックテーブル１０で保持し分割予定ラインに沿って切削ブレード２１で切削する切削装置である。加工装置１は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削ブレード２１で切削する加工ユニットである切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット３０と、制御ユニット１００とを備える。

また、加工装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的に移動させる移動ユニットを備える。移動ユニットは、チャックテーブル１０を水平方向及び装置本体２の短手方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニットと、切削ユニット２０を水平方向及び装置本体２の長手方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニットと、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニットと、チャックテーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転するとともにＸ軸移動ユニットによりチャックテーブル１０とともにＸ軸方向に加工送りされる回転移動ユニットとを備える。

Ｘ軸移動ユニットは、チャックテーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｘ軸移動ユニットは、チャックテーブル１０を被加工物２００が搬入出される搬入出領域３と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００が切削ユニット２０により切削加工される加工領域４とに亘ってＸ軸方向に移動させる。

Ｙ軸移動ユニットは、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニットは、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットは、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより搬入出領域３と加工領域４とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニットによりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１０は、粘着テープ２０４を介して被加工物２００の裏面２０２側を吸引、保持する。

切削ユニット２０は、加工領域４に配設され、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した切削手段である。切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットにより、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットによりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転可能に設けられかつ図示しないモータにより回転されるとともに先端に切削ブレード２１が装着されるスピンドル２３と、切削ブレード２１に切削水を供給する図示しない切削水供給ノズルとを備える。

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、円環状の円形基台と、円形基台の外周縁に配設されて被加工物２００を切削する円環状の切り刃とを備える所謂ハブブレードである。切り刃は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード２１は、切り刃２１２のみで構成された所謂ワッシャーブレードでもよい。

スピンドル２３は、モータにより軸心回りに回転することで、切削ブレード２１を回転させる。切削ブレード２１は、スピンドル２３により軸心回りに回転されるため、被加工物２００を切削する切り刃の下端から被加工物２００を切削して生じる切削屑とともに切削水を飛散する。なお、スピンドル２３の回転数が、例えば３００００ｒｐｍ以上でかつ１０００００ｒｐｍ以下の高速であるために、切削ブレード２１の切り刃の下端より飛散される切削水は、ミストになった状態で飛散される。

撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０の保持面１１で保持された被加工物２００を撮像するものである。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮像して、被加工物２００の分割予定ラインと切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。

制御ユニット１００は、加工装置１の上述した各ユニットをそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を加工装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理装置が演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を入出力インターフェース装置を介して加工装置１の上述した構成要素に出力する。

また、制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

また、加工装置１は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、各位置は、予め定められた基準位置からのＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の距離で定められる。

また、加工装置１は、図１に示すように、切削前後の被加工物２００を収容するカセット４１が載置されかつカセット４１をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ４０と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット５０と、カセット４１に被加工物２００を出し入れするとともに被加工物２００を搬送する搬送ユニット６０とを備える。

また、加工装置１は、装置本体２の上方を囲む複数の外装側壁５と、複数の外装側壁５の上端に連なって複数の外装側壁５の上側の開口を塞ぐ天井壁６とを備える。外装側壁５は、チャックテーブル１０、切削ユニット２０、撮像ユニット３０、移動ユニット、カセットエレベータ４０、洗浄ユニット５０及び搬送ユニット６０を囲い加工装置１自体の側壁となる壁である。天井壁６は、複数の外装側壁５の上側の開口を塞いで加工装置１自体の天井となる壁である。

また、加工装置１は、図２に示すように、複数の外装側壁５内に設けられかつ加工領域４の外側を外装側壁５及び天井壁６とともに囲って切削水のミストの拡散を抑制する加工室壁７と、切削ユニット２０が配設される加工領域４に発生するミストを外部に排出する排気口８と、該排気口８と排気ダクト３０２とに接続する接続ダクト９と、加工装置１に配設された排気ファン７０と、を備える。

排気口８は、加工室壁７に開口している。接続ダクト９は、筒状に形成され、一端が排気口８に接続し、他端が排気ダクト３０２の一端に接続している。排気ファン７０は、接続ダクト９内に配設された羽根車７１（図３に示す）と、排気ファン７０の羽根車７１を回転するモーター７２と、該排気ファン７０の羽根車７１の回転数を検知するセンサ７３と、を有している。

排気ファン７０は、羽根車７１が該排気口８と排気ダクト３０２とに接続する接続ダクト９内に配設されて、該排気口８と排気ダクト３０２とに接続されている。羽根車７１は、軸心回りに回転自在に設けられている。モーター７２は、羽根車７１を軸心回りに回転する。実施形態１では、排気ファン７０は、モーター７２が直流電力を供給されて羽根車７１を回転する、所謂ＤＣ（Direct Current）ファンである。

センサ７３は、羽根車７１の回転数を検知して、検知結果を制御ユニット１００に出力する。センサ７３は、磁石の磁場の変化で回転数を検知するホールセンサ、又は、回転によりモーター７２側に発生する電圧を検知するパルスセンサを用いることができる。

排気ファン７０は、モーター７２が軸心回りに羽根車７１を回転することで、排気口８を通して加工領域４内の雰囲気即ちミストを接続ダクト９及び排気ダクト３０２を介して排気する。

また、加工装置１の制御ユニット１００は、記憶部１０１と、判定部１０２とを備える。記憶部１０１は、設定回転数４０１と、回転数の任意のしきい値４０２とを記憶している。なお、排気ファン７０の羽根車７１の回転数と、排気ダクト３０２内の風速とは、互いに対応し、実施形態１では互いに比例する。即ち、実施形態１では、排気ファン７０の回転数が増加すると、排気ダクト３０２内の風速が増加し、排気ファン７０の回転数が減少すると、排気ダクト３０２内の風速が減少する。

モーター７２による排気ファン７０の羽根車７１の回転を停止した状態で、排気ダクト３０２内に専用の風速計を設置し、排気ダクト３０２の風速が事前に規定された加工装置１の加工動作中に必要な風速５０２以上であることを確認する。そして規定値以上の風速５０２が生じている状態で、モーター７２による排気ファン７０の羽根車７１の回転を停止させ、排気ダクト３０２の吸引力によって回転する羽根車７１の回転を測定し、測定された回転数または測定された回転数より適宜加減された測定数を任意のしきい値４０２として設定する。

また、排気ダクト３０２の風速が容易に調整できる場合は、排気ダクト３０２の風速が加工装置１の加工動作中に必要最低限の風速になるように、排気ダクト３０２内に専用の風速計を設置して調整する。そしてモーター７２による排気ファン７０の羽根車７１の回転を停止させ、排気ダクト３０２の吸引力によって回転する羽根車７１の回転を測定し、測定された回転数をしきい値４０２として設定してもよい。

なお、上記の任意のしきい値４０２を設定する処理は、例えば加工装置１の工場設置後に工場設備３００の吸引源３０１に排気ダクト３０２を接続した状態などで行われる。

判定部１０２は、モーター７２による排気ファン７０の羽根車７１の回転を停止し、吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力により発生する風で回転する排気ファン７０の羽根車７１の回転数が、任意のしきい値４０２を下回る場合、吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力が不足していると判定するものである。判定部１０２は、モーター７２による排気ファン７０の羽根車７１の回転を停止し、吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力により発生する風で回転する排気ファン７０の羽根車７１の回転数が、任意のしきい値４０２以上である場合、吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力が十分であると判定するものである。

また、記憶部１０１は、判定部１０２の判定結果を記憶する。判定部１０２の判定結果は、制御ユニット１００の記憶装置の予め設定された第２の所定の記憶領域に記憶される。判定部１０２の判定結果は、所定の記憶領域に一つのみ記憶され、演算処理装置により新たなものが書き込まれると、すでに書き込まれたものが消失する。即ち、判定部１０２の判定結果は、演算処理装置により常に最新のものが所定の記憶領域に上書きされる。

また、判定部１０２は、記憶部１０１に記憶された判定部１０２の判定結果が吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力が不足している場合、加工動作中に排気ファン７０の羽根車７１の回転数を設定回転数４０１よりも所定回転数高くして、排気ファン７０の羽根車７１を回転する。判定部１０２は、記憶部１０１に記憶された判定部１０２の判定結果が吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力が十分である場合、加工動作中に排気ファン７０の羽根車７１の回転数を増やす処理を行う。

なお、記憶部１０１の機能は、記憶装置により実現され、判定部１０２の機能は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを演算処理装置が実行することで実現される。

実施形態１に係る吸引力の測定方法は、定期的に、又は加工装置１の加工結果に不良が多い等の任意のタイミングに実施される。実施形態１に係る吸引力の測定方法は、加工装置１と工場設備３００の吸引源３０１とを接続する排気ダクト３０２の吸引力を測定する方法であって、図４に示すように、測定ステップＳＴ１と、判定ステップＳＴ２とを備える。

判定ステップＳＴ２は、モーター７２による排気ファン７０の羽根車７１の回転を停止し、吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力により発生する風で回転する排気ファン７０の羽根車７１の回転数を測定するステップである。判定ステップＳＴ２では、加工装置１の制御ユニット１００は、排気ファン７０のモーター７２による羽根車７１の回転を停止する。すると、排気ファン７０の羽根車７１は、吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力により発生する風で回転する。判定ステップＳＴ２では、センサ７３が、排気ファン７０の羽根車７１の回転数を検知し、検知結果を制御ユニット１００に出力する。

判定ステップＳＴ２は、測定ステップＳＴ１で測定された羽根車７１の回転数が、任意のしきい値４０２を下回る場合、吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力が不足していると判定するステップである。判定ステップＳＴ２では、制御ユニット１００の判定部１０２が、センサの検知結果である羽根車７１の回転数と、所定のしきい値４０２とを比較する。判定ステップＳＴ２では、制御ユニット１００の判定部１０２が、センサの検知結果である羽根車７１の回転数が所定のしきい値４０２を下回ると、吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力が不足していると判定する。判定ステップＳＴ２では、制御ユニット１００の判定部１０２が、センサの検知結果である羽根車７１の回転数が所定のしきい値４０２以上であると、吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力が十分であると判定する。判定ステップＳＴ２では、制御ユニット１００が、判定部１０２の判定結果を記憶部１０１に記憶して、吸引力の判定方法を終了する。

前述した構成の加工装置１は、オペレータが加工内容情報を制御ユニット１００に登録し、被加工物２００を収容したカセット５１をカセットエレベータ４０に載置し、オペレータからの加工動作の開始指示を制御ユニット１００が受け付けると、加工動作を開始する。加工動作を開始すると、加工装置１は、制御ユニット１００の判定部１０２が、記憶部１０１の判定部１０２の判定結果を参照し、判定部１０２の判定結果が吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力が不足している場合、排気ファン７０の羽根車７１を設定回転数４０１よりも所定回転数高い回転数で回転する。また、加工装置１は、制御ユニット１００の判定部１０２が、判定部１０２の判定結果が吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力が十分である場合、排気ファン７０の羽根車７１を設定回転数４０１で回転する。こうして、加工装置１及び吸引力の判定方法は、判定ステップＳＴ２で、吸引源３０１による排気ダクト３０２の吸引力が不足していると判定された場合、排気ファン７０の羽根車７１の回転数を設定回転数４０１よりも増やし排気ファン７０の羽根車７１によるミストの排出を促進する。

また、加工装置１は、切削水供給ノズルから切削水を供給しながらスピンドル２３を軸心回りに回転して切削ブレード２１を回転し、搬送ユニット６０がカセット５１内から被加工物２００を一枚取り出して、チャックテーブル１０の保持面１１に粘着テープ２０４を介して裏面２０２側を載置する。

加工装置１は、粘着テープ２０４を介して被加工物２００を保持面１１に吸引保持し、移動ユニットによりチャックテーブル１０を撮像ユニット３０の下方まで移動し、撮像ユニット３０によりチャックテーブル１０に吸引保持した被加工物２００を撮像して、アライメントを遂行する。

加工装置１は、加工内容情報に基づいて、移動ユニットにより、切削ブレード２１と被加工物２００とを分割予定ラインに沿って相対的に移動させながら切削水供給ノズルから切削水を供給しながら、被加工物２００の分割予定ラインに切削ブレード２１を粘着テープ２０４に到達するまで切り込ませて切削する。加工装置１は、被加工物２００の全ての分割予定ラインを切削すると、搬送ユニット６０により被加工物２００を洗浄ユニット５０に搬送し、洗浄ユニット５０で洗浄した後、搬送ユニット６０によりカセット５１内に搬入する。

以上説明したように、実施形態１に係る吸引力の判定方法は、モーター７２による排気ファン７０の羽根車７１の回転を停止し、吸引源３０１のみによる排気ダクト３０２の吸引力により発生する風で回転する排気ファン７０の羽根車７１の回転数をセンサ７３で測定する。このために、実施形態１に係る吸引力の判定方法は、排気ファン７０の羽根車７１の回転数によって工場設備３００側の吸引源３０１の排気ダクト３０２の吸引力を測定できるので、排気ダクト３０２内に風速センサ等の測定機を設置する必要が無く効率的である。その結果、実施形態１に係る吸引力の測定方法は、工場設備３００側の吸引源３０１による排気ダクト３０２内の吸引力を簡便に測定することができるという効果を奏する。

また、実施形態１に係る吸引力の測定方法は、判定ステップＳＴ２において吸引源３０１のみによる排気ダクト３０２の吸引力が不足していると判定された場合、加工動作中に排気ファン７０の羽根車７１の回転数を設定回転数４０１よりも増やし排気ファン７０による加工領域４内のミストの排出を促進する。その結果、実施形態１に係る吸引力の測定方法は、加工領域４内のミストの排出を促進するので、被加工物２００の加工不良の発生を抑制することができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。実施形態１では、加工装置１は、被加工物２００を切削する切削装置であるが、本発明では、切削装置に限定されることなく、被加工物２００を研削（加工に相当）する研削装置、研磨（加工に相当）する研磨装置でも良い。

１ 加工装置
４ 加工領域
８ 排気口
１０ チャックテーブル
２０ 切削ユニット（加工ユニット）
７０ 排気ファン
７２ モーター
７３ センサ
２００ 被加工物
３００ 工場設備（設備）
３０１ 吸引源
３０２ 排気ダクト
ＳＴ１ 測定ステップ
ＳＴ２ 判定ステップ

Claims (2)

1. 加工装置と該加工装置が設置される設備の吸引源とを接続する排気ダクトの吸引力を測定する吸引力の測定方法であって、
   該加工装置は、
   被加工物を保持するチャックテーブルと、
   該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
   該加工ユニットが配設される加工領域に発生するミストを外部に排出する排気口と、
   該排気口と、該排気ダクトと、に接続され、該加工装置に配設された排気ファンと、を備え、
   該排気ファンは、
   該排気ファンを回転するモーターと、
   該排気ファンの回転数を検知するセンサと、を有し、
   吸引力の測定方法は、
   該モーターによる該排気ファンの回転を停止し、
   該排気ダクトの吸引力により発生する風で回転する該排気ファンの回転数を測定する測定ステップと、
   該測定ステップで測定された回転数が、任意のしきい値を下回る場合、該排気ダクトの吸引力が不足していると判定する判定ステップと、
   を備えることを特徴とする吸引力の測定方法。
2. 該判定ステップで、
   該排気ダクトの吸引力が不足していると判定された場合、
   該排気ファンの回転数を増やし該排気ファンによる該ミストの排出を促進することを特徴とする請求項１に記載の吸引力の測定方法。

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