JP7332701B2 - 流体印刷装置 - Google Patents
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Description
フォトレジスト層のフォトリソグラフィーパターン形成、次いで、パターン形成フォトレジストをマスクとして用いた下地金属層のエッチングによって、金属線を形成することができる。しかし、フォトリソグラフィー及びエッチング設備のコストが高いので、特に約1μmから約10μmの範囲にある線幅に対して、非常に生産的な代替案が必要である。
1つの態様において、流体印刷装置は、基板台、印字ヘッド、空気圧システム、及び印字ヘッド位置決めシステムを含む。印字ヘッドは、流体を連続的な流れで排出する。印字ヘッドは、出力部、細長い入力部、及び出力部と細長い入力部との間のテーパー部を含む微細構造流体排出器を含む。出力部は、0.1μm~5μmの間の範囲にある内径の出口オリフィス、及び0.1μm未満の表面粗さを有する端面を含む。微細構造流体排出器の出力部が下方に向いた状態で、印字ヘッドを基板の上に位置決めする。印刷中に、印字ヘッド位置決めシステムは、端面と基板の印刷可能面との間の縦方向距離を0μmから5μmの範囲内に維持し、空気圧システムは、-50,000パスカル(Pa)から1,000,000パスカル(Pa)の範囲で、微細構造流体排出器における流体に圧力を加える。
開示は、添付図面に関連して開示の様々な実施形態の下記の詳細な説明を考慮してより完全に理解されるであろう。
本出願の出願人は、各開示内容全体を参照により本明細書に引用したものとする下記のポーランド特許出願を所有する。
Claims (32)
- 流体を基板の印刷可能面に印刷する装置であって、
印刷中に、前記基板が適切な位置に固定されている基板台と、
前記基板の上に位置決めされ、微細構造流体排出器を含む印字ヘッドであって、前記微細構造流体排出器は、(1)0.1μmと5μmとの間の範囲にある出力内径の出口オリフィス、及び前記印刷中に前記印刷可能面に向く端面を含む出力部と、(2)少なくとも100倍分だけ前記出力内径よりも大きい入力内径を有する細長い入力部と、(3)前記細長い入力部と前記出力部との間のテーパー部と、を含み、前記端面は、前記端面の外径と前記端面の内径との寸法差が0.4μm以下になるように構成されている、印字ヘッドと、
前記細長い入力部を介して前記微細構造流体排出器における前記流体に空気圧システムが圧力を加えるように、前記印字ヘッドに連結されている空気圧システムであって、前記印刷中に、前記圧力は、-50,0000パスカル(Pa)から1,000,000パスカル(Pa)の範囲内に調節されている空気圧システムと、
前記基板に対して前記印字ヘッドの縦方向変位及び横方向変位を制御する印字ヘッド位置決めシステムと
を含み、
前記微細構造流体排出器は、前記出力部が下方に向き、前記端面が前記印刷可能面の方に面した状態で、方向付けられており、
前記印字ヘッド位置決めシステムは、前記印刷中に、前記端面と前記印刷可能面との間の縦方向距離を0μmから5μmの範囲内に維持し、
前記印字ヘッドは、前記印字ヘッドと前記基板との間の印加電界無しで連続的な流れで前記出口オリフィスを介して流体を排出し、前記連続的な流れは、前記印刷可能面に流体の線を形成する
装置。 - 前記印字ヘッド位置決めシステムは、前記印刷中に、0.01mm/secから1000mm/secの範囲にある速度で前記基板に対して前記印字ヘッドを横方向に変位させる、請求項1に記載の装置。
- 前記印刷可能面の上の前記線は、1.0倍分から20.0倍分の範囲だけ前記出力内径よりも大きい線幅を有する、請求項2に記載の装置。
- 前記印字ヘッド位置決めシステムは、前記縦方向距離を10μm以上に増加し、前記印刷可能面への流体の流れを停止する、請求項1~3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記微細構造流体排出器は、ガラスを含む、請求項1~4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記空気圧システムは、ポンプ及び圧力調節器を含む、請求項1~5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記印字ヘッド位置決めシステムは、前記印刷中に、前記縦方向変位を調整して、前記印刷可能面と接触して前記出力部を維持する、請求項1~6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記印字ヘッド位置決めシステムは、前記印刷中に、横方向変位の方向に沿って前記基板に対して前記印字ヘッドを変位させ、前記テーパー部は、前記印刷中に、横方向変位の前記方向に沿って傾斜されている又は曲げられている、請求項7に記載の装置。
- 前記テーパー部の傾斜又は曲げを検出する撮像システムを更に含み、前記印字ヘッド位置決めシステムは、前記検出傾斜又は曲げに応じて前記縦方向変位を調整する、請求項8に記載の装置。
- 前記印刷可能面の上の基準位置に対する基準縦方向変位を測定する縦方向変位センサーを更に含み、前記印字ヘッド位置決めシステムは、前記測定基準縦方向変位に応じて前記縦方向変位を調整する、請求項1~9のいずれか一項に記載の装置。
- 前記縦方向変位センサーは、レーザー変位センサーである、請求項10に記載の装置。
- 前記印字ヘッド位置決めシステムは、前記印刷中に、横方向変位の方向に沿って前記基板に対して前記印字ヘッドを変位させ、前記縦方向変位センサーは、前記印刷中に、横方向変位の前記方向に沿って前記微細構造流体排出器の前方に位置決めされている、請求項10に記載の装置。
- 第1の歯を含む音叉であって、マーカー部位は、前記第1の歯に位置し、前記マーカー部位の座標は、第1の座標系で正確に知られ、第2の座標系で近似的に知られており、前記出力部が前記マーカー部位と接触している場合、非摂動共振周波数f0、及び前記非摂動共振周波数f0と測定可能に異なる摂動共振周波数fNを特徴とする音叉と、
前記音叉に連結されている測定回路と
を含む、出力部位置較正システムを更に含み、
前記測定回路は、前記非摂動共振周波数f0及び前記摂動共振周波数fNを含む周波数の範囲にある可変周波数信号を生成し、前記信号を前記音叉に伝送して、前記音叉が振動するようにし、
前記測定回路は、前記出力部を多数の座標に変位させながら、前記信号に対する前記音叉の周波数応答を測定して、前記摂動共振周波数が検出される前記出力部の前記座標を判定し、
前記印字ヘッド位置決めシステムは、前記摂動共振周波数が検出される前記出力部の前記座標に応じて較正されている、請求項1~12のいずれか一項に記載の装置。 - 前記マーカー部位は、マーカー点を含み、前記マーカー点を含む前記マーカー部位のマップは、前記装置のメモリ記憶装置に記憶されている、請求項13に記載の装置。
- 前記流体は、1センチポイズから2000センチポイズの範囲にある粘度を有する、請求項1~14のいずれか一項に記載の装置。
- 前記流体は、1センチポイズから10センチポイズの範囲にある粘度を有し、前記印刷中に、前記圧力は、-50,000パスカル(Pa)から0パスカル(Pa)の範囲内に調節されている、請求項15に記載の装置。
- 前記流体は、100センチポイズから200センチポイズの範囲にある粘度を有し、前記印刷中に、前記圧力は、20,000パスカル(Pa)から80,000パスカル(Pa)の範囲内に調節されている、請求項15に記載の装置。
- 前記流体は、ナノ粒子を含む、請求項1~17のいずれか一項に記載の装置。
- 前記ナノ粒子は、量子ドットを含む、請求項18に記載の装置。
- 前記流体は、銀、チタン、及び炭素を含む群から選択されている元素を含む、請求項1~19のいずれか一項に記載の装置。
- 前記印字ヘッドは、第2の微細構造流体排出器を更に含む、請求項1~20のいずれか一項に記載の装置。
- 前記印字ヘッドに連結されている流体タンクを更に含む、請求項1~21のいずれか一項に記載の装置。
- 前記流体タンクに連結されている圧電アクチュエータを更に含む、請求項22に記載の装置。
- 前記流体タンクと前記細長い入力部との間に弾性流体導管を更に含む、請求項22に記載の装置。
- 前記印字ヘッドに連結されている圧電アクチュエータを更に含む、請求項1~24のいずれか一項に記載の装置。
- 請求項1~25のいずれか一項に記載の装置を含む、オープン欠陥修理装置。
- 微細構造流体排出器が装着されている装着容器であって、前記微細構造流体排出器は、前記装着容器に装着されている場合、前記微細構造流体排出器の縦軸を中心として回転可能である装着容器と、
前記微細構造流体排出器に連結されている回転デバイスであって、前記微細構造流体排出器の縦軸を中心として前記微細構造流体排出器に制御回転を与える回転デバイスと
を更に含む、請求項1~25のいずれか一項に記載の装置。 - 流体を基板の印刷可能面に印刷する装置であって、
印刷中に、前記基板が適切な位置に固定されている基板台と、
前記基板の上に位置決めされている印字ヘッドモジュールであって、
第1の端部、及び前記第1の端部と反対側の第2の端部を有する共通レールと、
前記第1の端部と前記第2の端部との間の前記共通レールに沿って配列されている微細構造流体排出器のバンクであって、前記微細構造流体排出器の各々は、(1)0.1μmと5μmとの間の範囲にある出力内径の出口オリフィス、及び前記印刷中に前記印刷可能面に向く端面を含む出力部と、(2)少なくとも100倍分だけ前記出力内径よりも大きい入力内径を有する細長い入力部と、(3)前記細長い入力部と前記出力部との間のテーパー部と、を含み、前記端面は、前記端面の外径と前記端面の内径との寸法差が0.4μm以下になるように構成されている、バンクと、
前記第1の端部の近くに位置決めされている第1の縦方向変位センサーと、
前記第2の端部の近くに位置決めされている第2の縦方向変位センサーと、
ベース支持体と、
前記第1の端部を前記ベース支持体に取り付ける第1の圧電スタック線形アクチュエータと、
前記第2の端部を前記ベース支持体に取り付ける第2の圧電スタック線形アクチュエータと
を含む印字ヘッドモジュールと、
前記それぞれの細長い入力部を介して前記微細構造流体排出器における前記流体に空気圧システムが圧力を加えるように、前記印字ヘッドに連結されている空気圧システムであって、前記印刷中に、前記圧力は、-50,0000パスカル(Pa)から1,000,000パスカル(Pa)の範囲内に調節されている空気圧システムと、
前記基板に対して前記印字ヘッドモジュールの前記ベース支持体の縦方向変位及び前記印字ヘッドモジュールの前記ベース支持体の横方向変位を制御する印字ヘッドモジュール位置決めシステムと
を含み、
前記微細構造流体排出器は、前記出力部が下方に向き、前記端面が前記印刷可能面の方に面した状態で、方向付けられており、
前記第1の縦方向変位センサーは、前記印刷可能面の上の第1の基準位置に対する第1の基準縦方向変位を測定するように方向付けられており、
前記第2の縦方向変位センサーは、前記印刷可能面の上の第2の基準位置に対する第2の基準縦方向変位を測定するように方向付けられており、
前記第1の圧電スタック線形アクチュエータは、前記第1の基準縦方向変位に応じて前記第1の端部と前記ベース支持体との間の第1の縦方向間隔を調整するように方向付けられて構成されており、
前記第2の圧電スタック線形アクチュエータは、前記第2の基準縦方向変位に応じて前記第2の端部と前記ベース支持体との間の第2の縦方向間隔を調整するように方向付けられて構成されており、
前記印字ヘッドは、連続的な流れで前記出口オリフィスを介して流体を排出する
装置。 - 前記印字ヘッドモジュール位置決めシステムは、前記印刷中に、横方向変位の方向に沿って前記基板に対して前記ベース支持体を変位させ、横方向変位の前記方向は、前記第1の端部から前記第2の端部へのベクトルに対して略垂直である、請求項28に記載の装置。
- 前記第1の縦方向変位センサー及び前記第2の縦方向変位センサーは、横方向変位の前記方向に沿って前記微細構造流体排出器の前方に位置決めされている、請求項29に記載の装置。
- 第2の印字ヘッドモジュールを更に含む、請求項28~30のいずれか一項に記載の装置。
- 印刷中に、流体を基板の印刷可能面に排出するための微細構造流体排出器であって、
0.1μmと5μmとの間の範囲にある出力内径の出口オリフィスと、前記印刷中に、前記印刷可能面に向きかつ前記印刷可能面と接触可能な端面と、を含む出力部と、
少なくとも100倍分だけ前記出力内径よりも大きい入力内径を有する細長い入力部と、
前記細長い入力部と前記出力部との間のテーパー部と、
を含み、
前記出力部の前記端面は、前記端面の外径と前記端面の内径との寸法差が0.4μm以下になるように構成されており、
前記テーパー部は、前記印刷中に、前記端面の前記印刷可能面との接触の有無により、前記テーパー部の前記印刷可能面に対する傾き又は前記テーパー部の曲がりの量が変化するように構成されている、
微細構造流体排出器。
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7332701B2 (ja) | 2019-02-01 | 2023-08-23 | エックスティーピーエル エス.アー. | 流体印刷装置 |
JP7451972B2 (ja) * | 2019-11-29 | 2024-03-19 | 株式会社リコー | 液吐出ユニット、液吐出装置および液吐出方法 |
US20230264262A1 (en) * | 2020-10-07 | 2023-08-24 | Xtpl S.A. | Methods of extruding a nanoparticle composition onto a substrate |
CN114701262B (zh) * | 2022-03-03 | 2024-02-27 | 芯体素(杭州)科技发展有限公司 | 用于非平整基材面的多独立喷头打印设备及其打印方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002096474A (ja) | 2000-07-21 | 2002-04-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細パターン形成装置と微細ノズルの製造方法および微細パターンの形成方法 |
JP2002104595A (ja) | 2000-10-03 | 2002-04-10 | Olympus Optical Co Ltd | 液体吐出方法および装置、並びにマイクロアレイ製造方法および装置 |
JP2004202432A (ja) | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Fujitsu Ltd | 塗布装置 |
JP2004259852A (ja) | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Ricoh Co Ltd | 溶液噴射製造装置ならびに製造されるパターン配線基板及びデバイス基板 |
US20140092158A1 (en) | 2010-11-01 | 2014-04-03 | Andrew ALLEYNE | High Resolution Sensing and Control of Electrohydrodynamic Jet Printing |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05155009A (ja) * | 1991-12-05 | 1993-06-22 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録装置 |
CN1315913A (zh) * | 1998-07-07 | 2001-10-03 | 笛卡尔技术公司 | 用于微量液体移液的管尖设计和随机存取*** |
DE10017105A1 (de) * | 2000-04-06 | 2001-10-11 | Basf Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Biopolymer-Feldern |
US9061494B2 (en) * | 2007-07-19 | 2015-06-23 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | High resolution electrohydrodynamic jet printing for manufacturing systems |
KR101374401B1 (ko) * | 2010-10-07 | 2014-03-17 | 포항공과대학교 산학협력단 | 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터 및 이를 이용한 정렬된 유기 와이어 패턴의 제조 방법 |
US10518527B2 (en) * | 2015-04-20 | 2019-12-31 | Eth Zurich | Print pattern generation on a substrate |
CN111319358A (zh) * | 2018-12-13 | 2020-06-23 | 株式会社Enjet | 电流体动力学印刷装置 |
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-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002096474A (ja) | 2000-07-21 | 2002-04-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細パターン形成装置と微細ノズルの製造方法および微細パターンの形成方法 |
JP2002104595A (ja) | 2000-10-03 | 2002-04-10 | Olympus Optical Co Ltd | 液体吐出方法および装置、並びにマイクロアレイ製造方法および装置 |
JP2004202432A (ja) | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Fujitsu Ltd | 塗布装置 |
JP2004259852A (ja) | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Ricoh Co Ltd | 溶液噴射製造装置ならびに製造されるパターン配線基板及びデバイス基板 |
US20140092158A1 (en) | 2010-11-01 | 2014-04-03 | Andrew ALLEYNE | High Resolution Sensing and Control of Electrohydrodynamic Jet Printing |
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