JP7328134B2

JP7328134B2 - ブラケット

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Publication number: JP7328134B2
Application number: JP2019223593A
Authority: JP
Inventors: 暁征孫
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-12-11
Filing date: 2019-12-11
Publication date: 2023-08-16
Anticipated expiration: 2039-12-11
Also published as: JP2021092460A

Description

本発明は、センサーを装置に固定するブラケットに関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

また、保持手段の保持面に保持されたウエーハの上面高さを計測する背圧センサー、超音波センサー、レーザー光センサー等のセンサーが搭載され、これらのセンサーを利用してウエーハの上面高さを検出し、該上面を基準に加工を施すダイシング装置、レーザー加工装置が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２を参照）。

特開２００１－２９８００３号公報特開２００８－１７０３６６号公報

上記した特許文献１、特許文献２に記載された技術では、各装置に対し、センサーの測定軸をＸ軸方向、及び該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向によって規定される保持手段の保持面に対して垂直になるように配設して、該保持面に保持された被加工物の上面高さを高精度に検出する。しかし、実際には、センサーが該保持面に対して完全に垂直になっていない場合があり、その場合は精度の高い測定ができないという問題がある。

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、センサーを装置に固定するためのブラケットであって、保持面に対してセンサーの測定軸を垂直に調整することができるブラケットを提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、センサーを装置に固定し、該センサーの位置をＸ軸方向、及び該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に微調整できるブラケットであって、表面から裏面に至りＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向にセンサーを固定する貫通口を備えた第一のブロックと、該第一のブロックの表面からＸ軸方向に第一の板バネ部を介し第一の隙間を有して連結される表面を有する第二のブロックと、該第二のブロックの裏面からＹ軸方向に第二の板バネ部を介し第二の隙間を有して連結される裏面を有する第三のブロックと、該第三のブロックに形成され装置に固定される固定部とを含み、該第一の隙間を形成する該第一のブロックのＹ軸方向に沿う側面に第一のボルトがＸ軸方向に螺合する第一の雌ネジを備えると共に、該第二のブロックのＹ軸方向に沿う一方の側面に第一のボルトがＸ軸方向に挿入される第一のボルト挿入口とを備え、該第二の隙間を形成する該第三のブロックのＸ軸方向に沿う側面に第二のボルトがＹ軸方向に螺合する第二の雌ネジを備えると共に、該第二のブロックのＸ軸方向に沿う一方の側面に該第二のボルトがＹ軸方向に挿入される第二のボルト挿入口とを備え、該第一のボルトには、先端から該第一の隙間の幅を超える位置に螺合を規制する第一の規制部が配設されると共に、該第一の規制部と該第一のボルト挿入口が形成された該第二のブロックを挟む位置に螺合を規制する第二の規制部が配設され、該第一のボルトを該第一の雌ネジに進入させると該第二の規制部が該第二のブロックのＹ軸方向に沿う一方の側面に当接し、更に進入させると該第一のブロックが該第二のブロックに接近し、該第一のボルトを該第一の雌ネジから退避させると該第一の規制部が該第二のブロックのＹ軸方向に沿う他方の側面に当接し、更に退避させると該第一のブロックが該第二のブロックから離反して、該貫通口に固定されたセンサーのＸ軸方向の微調整を可能とし、該第二のボルトには、先端から該第二の隙間の幅を超える位置に螺合を規制する第三の規制部が配設されると共に、該第三の規制部と該第二のボルト挿入口が形成された該第二のブロックを挟む位置に螺合を規制する第四の規制部が配設され、該第二のボルトを該第二の雌ネジに進入させると該第四の規制部が該第二のブロックのＸ軸方向に沿う一方の側面に当接し、更に進入させると該第二のブロックが該第三のブロックに接近し、該第二のボルトを該第二の雌ネジから退避させると該第三の規制部が該第二のブロックのＸ軸方向に沿う他方の側面に当接し、更に退避させると該第二のブロックが該第三のブロックから離反して、該貫通口に固定されたセンサーのＹ軸方向の微調整を可能とするブラケットが提供される。

本発明のブラケットは、センサーを装置に固定し、該センサーの位置をＸ軸方向、及び該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に微調整できるブラケットであって、表面から裏面に至りＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向にセンサーを固定する貫通口を備えた第一のブロックと、該第一のブロックの表面からＸ軸方向に第一の板バネ部を介し第一の隙間を有して連結される表面を有する第二のブロックと、該第二のブロックの裏面からＹ軸方向に第二の板バネ部を介し第二の隙間を有して連結される裏面を有する第三のブロックと、該第三のブロックに形成され装置に固定される固定部とを含み、該第一の隙間を形成する該第一のブロックのＹ軸方向に沿う側面に第一のボルトがＸ軸方向に螺合する第一の雌ネジを備えると共に、該第二のブロックのＹ軸方向に沿う一方の側面に第一のボルトがＸ軸方向に挿入される第一のボルト挿入口とを備え、該第二の隙間を形成する該第三のブロックのＸ軸方向に沿う側面に第二のボルトがＹ軸方向に螺合する第二の雌ネジを備えると共に、該第二のブロックのＸ軸方向に沿う一方の側面に該第二のボルトがＹ軸方向に挿入される第二のボルト挿入口とを備え、該第一のボルトには、先端から該第一の隙間の幅を超える位置に螺合を規制する第一の規制部が配設されると共に、該第一の規制部と該第一のボルト挿入口が形成された該第二のブロックを挟む位置に螺合を規制する第二の規制部が配設され、該第一のボルトを該第一の雌ネジに進入させると該第二の規制部が該第二のブロックのＹ軸方向に沿う一方の側面に当接し、更に進入させると該第一のブロックが該第二のブロックに接近し、該第一のボルトを該第一の雌ネジから退避させると該第一の規制部が該第二のブロックのＹ軸方向に沿う他方の側面に当接し、更に退避させると該第一のブロックが該第二のブロックから離反して、該貫通口に固定されたセンサーのＸ軸方向の微調整を可能とし、該第二のボルトには、先端から該第二の隙間の幅を超える位置に螺合を規制する第三の規制部が配設されると共に、該第三の規制部と該第二のボルト挿入口が形成された該第二のブロックを挟む位置に螺合を規制する第四の規制部が配設され、該第二のボルトを該第二の雌ネジに進入させると該第四の規制部が該第二のブロックのＸ軸方向に沿う一方の側面に当接し、更に進入させると該第二のブロックが該第三のブロックに接近し、該第二のボルトを該第二の雌ネジから退避させると該第三の規制部が該第二のブロックのＸ軸方向に沿う他方の側面に当接し、更に退避させると該第二のブロックが該第三のブロックから離反して、該貫通口に固定されたセンサーのＹ軸方向の微調整を可能とするように構成されていることにより、センサーをＸ軸方向、Ｙ軸方向で微調整して、保持面に対して垂直にすることが可能であり、センサーによる測定精度が向上する。

本実施形態のブラケットの全体斜視図である。（ａ）第一のボルトの他の実施形態、（ｂ）第二のボルトの他の実施形態である。図１に示すブラケットを介してセンサーを装置に固定した状態を示す斜視図である。（ａ）センサーをＸ軸方向において調整する態様を示す正面図、（ｂ）センサーをＹ軸方向において調整する態様を示す側面図である。

以下、本発明に基づいて構成されるブラケットに係る実施形態について添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

図１には、本実施形態のブラケット１の全体斜視図が示されている。図１に示すブラケット１は、実質的に水平面を構成するＸ軸方向、及び該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向と、該Ｘ軸方向及び該Ｙ軸方向に直交するＺ軸方向とで規定される空間に配置される。ブラケット１は、第一のブロック１０、第二のブロック２０、第三のブロック３０、第一のボルト４、及び第二のボルト５を備えている。

第一のブロック１０は、表面１１から裏面１２に至り、後述するセンサーが挿入されて固定される貫通口１４を備えている。第二のブロック２０は、第一のブロック１０の表面１１からＸ軸方向に第一の板バネ部２を介して第一の隙間Ｓ１を有して連結される表面２１を有する。さらに、第三のブロック３０は、第二のブロック２０の裏面２２からＹ軸方向に第二の板バネ部３を介し第二の隙間Ｓ２を有して連結される裏面３２と、後述する任意の装置に固定される固定部３３とを備えている。なお、第一のブロック１０、第二のブロック２０、及び第三のブロック３０は一体で成形されることが好ましく、弾性変形に優れる金属、アクリル樹脂等によって形成されることが好ましい。

上記した第一の隙間Ｓ１を形成する第一のブロック１０のＹ軸方向に沿う側面１３には、第一のボルト４がＸ軸方向に螺合する第一の雌ネジ１６が形成され、第二のブロック２０のＹ軸方向に沿う一方の側面２３には、第一のボルト４がＸ軸方向に挿入される貫通孔を形成する第一のボルト挿入口２４が形成されている。

また、上記した第二の隙間Ｓ２を形成する第三のブロック３０のＸ軸方向に沿う側面３５には、第二のボルト５がＹ軸方向に螺合する第二の雌ネジ３７が形成され、第二のブロック２０のＸ軸方向に沿う一方の側面２６には、第二のボルト５がＹ軸方向に挿入される貫通孔を形成する第二のボルト挿入口２８が形成されている。

第一のボルト４は、プラスの工具孔が形成された頭部４１と、胴部４２（雄ネジは形成されていない）と、胴部４２の先端側に雄ネジが形成された領域Ａを有する雄ネジ部４３と、雄ネジ部４３に後述する手順に従い螺合され固定される雌ネジが形成されたリング状の第一の規制部４４（図１ではまだ螺合されていない）と、胴部４２の所定の位置に固定された第二の規制部４５と、を備えている。また、第二のボルト５も、第一のボルト４とほぼ同様の構成を備えており、プラスの工具孔が形成された頭部５１と、胴部５２（雄ネジは形成されていない）と、胴部５２の先端側に雄ネジが形成された領域Ｂを有する雄ネジ部５３と、雄ネジ部５３に後述する手順に従い螺合され固定される雌ネジが形成されたリング状の第三の規制部５４（図１ではまだ螺合されていない）と、胴部５２の所定の位置に固定された第四の規制部５５と、を備えている。

例えば、右ネジに形成された第一のボルト４をブラケット１に組み付ける手順について説明する。ブラケット１に第一のボルト４を組み付ける際には、まず、図１に示すように、第一の規制部４４を第一のボルト４とは別に用意する。次いで、第一のボルト４を、第二のブロック２０の第一のボルト挿入口２４から挿入し、雄ネジ部４３の先端を第一の隙間Ｓ１に位置付けて、雄ネジ部４３に第一の規制部４４を螺合する。次いで、雄ネジ部４３の先端を第一のブロック１０の側面１３に形成された第一の雌ネジ１６に位置付け、第一のボルト４を時計回りに回転させて第一の雄ネジ１６に進入させる。この際、第一の規制部４４が、第一のブロック１０の側面１３に当たらないように適宜回転させる。やがて、第一のボルト４の胴部４２に形成された第二の規制部４５が、第二のブロック２０のＹ軸方向に沿う一方の側面２３近傍に位置付けられる。

第二の規制部４５が第二のブロック２０の側面２３近傍に位置付けられた状態で、第一の規制部４４をさらに回転して雄ネジ部４３の胴部４２側の終端部４３ａに位置付ける。雄ネジ部４３が形成された領域Ａは、第一の隙間Ｓ１の幅を超える長さに設定されていることから、第一の規制部４４は、第一のボルト４の先端からみて第一の隙間Ｓ１の幅を超える位置に位置付けられる。また、この際、第一の規制部４４及び第二の規制部４５の間隔は、第二のブロック２０をＸ軸方向において僅かな隙間をもって挟むように設定される。すなわち、胴部４２の長さは、第二のブロック２０のＸ軸方向の幅より僅かに長く（例えば１ｍｍ）形成されている。第一の規制部４４が、雄ネジ部４３の終端部４３ａに位置付けられたならば、第一の規制部４４を第一のボルト４に対し、接着剤、又は溶接等の適宜の手段を用いて固定する。なお、第二のブロック２０に形成された第一のボルト挿入口２４は、第一のボルト４の胴部４２の直径よりもやや大きい寸法で設定され、径方向に所定の隙間を形成する。

次いで、例えば、右ネジに形成された第二のボルト５をブラケット１に組み付ける手順について説明する。この手順も上記した第一のボルト４を組み付ける手順をほぼ同様である。すなわち、ブラケット１に第二のボルト５を組み付ける際に、まず、図１に示すように、第三の規制部５４を第二のボルト５とは別に用意する。第二のボルト５を、第二のブロック２０の第二のボルト挿入口２８から挿入し、雄ネジ部５３の先端を、第二の隙間Ｓ２に位置付けて、雄ネジ部５３に第三の規制部５４を螺合する。次いで、雄ネジ部５３の先端を第三のブロック３０の側面３５に形成された第二の雌ネジ３７に位置付け、第二のボルト５を時計回りに回転させて第二のボルト５を第二の雄ネジ３７に進入させる。この際、第三の規制部５４が、第三のブロック３０の側面３５に当たらないように適宜回転させる。やがて、第二のボルト５の胴部５２に形成された第四の規制部５５が、第二のブロック２０のＸ軸方向に沿う一方の側面２６の近傍に位置付けられる。

第四の規制部５５が該一方の側面２６近傍に位置付けられた状態で、第三の規制部５４をさらに回転して雄ネジ部５３の胴部５２側の終端部５３ａに位置付ける。雄ネジ部５３が形成された領域Ｂは、第二の隙間Ｓ２の幅を超える長さに設定されていることから、第三の規制部５４は、第二のボルト５の先端からみて第二の隙間Ｓ２の幅を超える位置に位置付けられる。また、この際、第三の規制部５４及び第四の規制部５５の間隔は、第二のブロック２０をＹ軸方向において僅かな隙間をもって挟むように設定される。すなわち、胴部５２の長さは、第二のブロック２０のＹ軸方向の幅より僅かに長く（例えば１ｍｍ）形成されている。第三の規制部５４が、雄ネジ部５３の終端部５３ａに位置付けられたならば、第三の規制部５４を第二のボルト５に対し、接着剤、又は溶接等の適宜の手段を用いて固定する。なお、第二のブロック２０に形成された第二のボルト挿入口２８は、第二のボルト５の胴部５２の直径よりもやや大きい寸法で設定され、径方向に所定の隙間を形成する。

なお、上記した実施形態では、第一のボルト４、第二のボルト５に対して第一の規制部４４、第三の規制部５４を配設するに際し、第一の規制部４４、第三の規制部５４に雌ネジを形成して、第一のボルト４の雄ネジ部４３、第二のボルト５の雄ネジ部５３に螺合して固定する例を示したが、第一のボルト４、及び第二のボルト５に対して、螺合を規制する規制部を配設する形態はこれに限定されない。図２（ａ）には、第一のボルト４の他の実施形態である第一のボルト４’、図２（ｂ）には、第二のボルト５の他の実施形態である第二のボルト５’が示されている。図２（ａ）に示すように、第一のボルト４’の雄ネジ部４３’と胴部４３’との境界位置に対し、径が細く形成されたくびれ部４６を形成し、一部にくびれ部４６の径よりも狭く形成された開口を有するＣ型形状の規制部４７を別途用意して、該くびれ部４６に嵌め込むことによって螺合を規制する規制部を配設するようにしてもよい。なお、図２（ｂ）に示す第二のボルト５’も、図２（ａ）に示す第一のボルト４’と同一の構成であることから、詳細な説明については省略する。

図３には、被加工物を切削する切削装置１００（一部のみ示している）に配設されたブラケット１が示されている。ブラケット１は、切削装置１００の支持部１１０の支持面１２０に対し、第三のブロック３０の固定部３３を介してボルト３８によって固定される。ブラケット１の第一のブロック１０の貫通口１４（図１を参照）にはセンサー６０が挿入され、センサー６０の測定軸ＣがＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向を指向するように支持されて、フランジ６２を介してボルト６２ａによって固定される。切削装置１００の支持部１１０は、図示しない駆動手段によりＺ軸方向（上下方向）で駆動され、所望の高さに位置付けることができる。なお、図４（ａ）に示す正面図、図４（ｂ）に示す側面図からも理解されるように、ブラケット１には、上記した手順に従い、第一のボルト４と、第二のボルト５が予め組付けられている。

センサー６０は、例えば、切削装置１００の保持面１３０、又は保持面１３０に保持される被加工物（図示は省略）の表面に対して、先端部６４から圧縮気体を測定軸Ｃに沿って下方に吹き付けて反射させて、センサー６０に圧縮気体を供給する経路６６の内部の圧力の変化に基づいて、センサー６０から保持面１３０、又は保持面１３０に保持された被加工物の表面までの距離を検出する背圧式のセンサーである（特許文献１を参照）。

上記したブラケット１によってセンサー６０を切削装置１００に取り付けた場合、設計上は、センサー６０の測定軸Ｃが保持面１３０に対して垂直になるように設定されている。しかし、製造誤差、取り付け誤差等によって、センサー６０の位置に、微小なずれが生じる場合がある。本実施形態のブラケット１によれば、このずれを適切に微調整することが可能である。この微調整を実施するための手順について、図４（ａ）、図４（ｂ）を参照しながら、より具体的に説明する。

図４（ａ）に示す正面図では、調整前においては、第二の規制部４５と、第二のブロック２０の一方の側面２３との間には、微小な隙間Ｓ３（１ｍｍ）が形成されている。センサー６０のＸ軸方向における微調整を実施するに際しては、まず、センサー６０を作動させて保持面１３０との距離を検出する状態とする。そして、第一のボルト４を時計回りに回転させて、第一の雌ネジ１６に進入させる。その結果、第二の規制部４５が、第二のブロック２０の一の側面２３に当接して、第一のボルト４のそれ以上の螺合を規制する。この状態から、さらに第一のボルト４を時計回りに回転させて第一の雌ネジ１６に進入させると、第一の板バネ部２が弾性変形し、第一のブロック１０が第二のブロック２０に引っ張られて接近する。この結果、第一のブロック１０に固定されたセンサー６０の測定軸Ｃが、矢印Ｘ２の方向に変化する。逆に、第一のボルト４を反時計回りに回転させて、第一の雌ネジ１６から退避させると、今度は、図４（ａ）に示すように第一の規制部４４が第二のブロック２０の他方の側面２５に当接し、第一のボルト４の螺合を規制する。この状態から、さらに第一のボルト４を反時計回りに回転させて退避させようとすると、第一の板バネ部２が逆方向に弾性変形して、第一のブロック１０が、第二のブロック２０側から押されて離反する。その結果、センサー６０の測定軸Ｃが、矢印Ｘ１の方向に変化する。

上記したように第一のボルト４を時計回り、反時計回りに少しずつ回転させて、センサー６０を、Ｘ軸方向（Ｘ１方向、又はＸ２方向）で変化させると共に、センサー６０によって検出される保持面１３０までの距離を参照する。センサー６０をＸ軸方向で変化させた場合、センサー６０によって検出されるセンサー６０の先端６４から保持面１３０までの距離は、センサー６０の測定軸Ｃが保持面１３０に対して傾いていると長くなり、センサー６０が、保持面１３０に対して垂直に近づくと短くなる。よって、センサー６０の測定軸ＣをＸ１方向、及びＸ２方向で変化させながら、センサー６０から保持面１３０までの距離が最も短くなる位置を見出し、センサー６０の位置をその位置に固定する。これにより、センサー６０の測定軸ＣをＸ軸方向に対して垂直となるように位置付けることができる。

図４（ｂ）に示す側面図では、第四の規制部５５と、第二のブロック２０との間には、微小な隙間Ｓ４（１ｍｍ）が形成されている。この状態において、センサー６０によって保持面１３０の位置を検出しながら、第二のボルト５を時計回りに回転させて、第二の雌ネジ３７に更に進入させる。その結果、第四の規制部５５が、第二のブロック２０のＸ軸方向に沿う一方の側面２６に当接して、第二のボルト５の螺合を規制する。この状態から、さらに第二のボルト５を時計回りに回転させて第二の雌ネジ３７に進入させると、第二の板バネ部３が弾性変形して、第二のブロック１０が第三のブロック２０側に引っ張られて接近し、第一のブロック１０に固定されたセンサー６０の測定軸Ｃが、矢印Ｙ２の方向に変化する。逆に、第二のボルト５を反時計回りに回転させて、第二の雌ネジ３７から退避させると、今度は、第三の規制部５４が第二のブロック２０の他方の側面２７に当接し、第二のボルト５の螺合を規制する。この状態から、さらに第二のボルト５を反時計回りに回転させて退避させようとすると、第二の板バネ部３が弾性変形して、第二のブロック２０が、第三のブロック３０側から押されて離反する。その結果、センサー６０の測定軸Ｃが、矢印Ｙ１の方向に変化する。上記したように第二のボルト５を時計回り、及び反時計回りに少しずつ回転させて、センサー６０の測定軸Ｃを、上記したようにＹ軸方向（Ｙ１方向、又はＹ２方向）で変化させながら、センサー６０から保持面１３０までの距離が最も短くなる位置に調整する。これにより、センサー６０の測定軸ＣをＹ軸方向に対しても垂直となるように位置付けることができ、センサー６０の測定軸Ｃが、保持面１３０を規定するＸ軸方向、Ｙ軸方向のいずれに対しても垂直となる位置Ｏ（図３を参照）に調整される。

本実施形態のブラケット１によれば、第一のボルト４、第二のボルト５を回転させて、センサー６０の測定軸ＣをＸ軸方向及びＹ軸方向で微調整して、保持面１３０に対して垂直になるように微調整することが可能であり、センサー６０による測定精度が向上する。

上記した実施形態では、ブラケット１に支持されるセンサー６０が背圧式のセンサーである例を示したが、本発明はこれに限定されず、保持面１３０、又は被加工物に対して測定軸が垂直に位置付けられる超音波センサー、レーザー光センサー等であってもよい。レーザー光センサーである場合、センサー６０は、集光レンズを備えた集光器であってもよい。

上記した実施形態では、ブラケット１を使用してセンサー６０を取り付ける装置が切削装置１００である場合を示したが、本発明はこれに限定されず、他の装置、例えば、レーザー加工装置、研削装置等であってもよい。

１：ブラケット
２：第一の板バネ部
３：第二の板バネ部
４：第一のボルト
４１：頭部
４２：胴部
４３：雄ネジ部
４４：第一の規制部
４５：第二の規制部
５：第二のボルト
５１：頭部
５２：胴部
５３：雄ネジ部
５４：第三の規制部
５５：第四の規制部
１０：第一のブロック
１１：表面
１２：裏面
１４：貫通口
１６：第一の雄ネジ
２０：第二のブロック
２１：表面
２２：裏面
２３：一方の側面
２４：第一のボルト挿入口
２５：他方の側面
２６：一方の側面
２７：他方の側面
２８：第二のボルト挿入口
３０：第三のブロック
３２：裏面
３５：側面
３７：第二の雌ネジ
Ｓ１：第一の隙間
Ｓ２：第二の隙間

Claims

センサーを装置に固定し、該センサーの位置をＸ軸方向、及び該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に微調整できるブラケットであって、
表面から裏面に至りＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向にセンサーを固定する貫通口を備えた第一のブロックと、該第一のブロックの表面からＸ軸方向に第一の板バネ部を介し第一の隙間を有して連結される表面を有する第二のブロックと、該第二のブロックの裏面からＹ軸方向に第二の板バネ部を介し第二の隙間を有して連結される裏面を有する第三のブロックと、該第三のブロックに形成され装置に固定される固定部とを含み、
該第一の隙間を形成する該第一のブロックのＹ軸方向に沿う側面に第一のボルトがＸ軸方向に螺合する第一の雌ネジを備えると共に、該第二のブロックのＹ軸方向に沿う一方の側面に第一のボルトがＸ軸方向に挿入される第一のボルト挿入口とを備え、
該第二の隙間を形成する該第三のブロックのＸ軸方向に沿う側面に第二のボルトがＹ軸方向に螺合する第二の雌ネジを備えると共に、該第二のブロックのＸ軸方向に沿う一方の側面に該第二のボルトがＹ軸方向に挿入される第二のボルト挿入口とを備え、
該第一のボルトには、先端から該第一の隙間の幅を超える位置に螺合を規制する第一の規制部が配設されると共に、該第一の規制部と該第一のボルト挿入口が形成された該第二のブロックを挟む位置に螺合を規制する第二の規制部が配設され、
該第一のボルトを該第一の雌ネジに進入させると該第二の規制部が該第二のブロックのＹ軸方向に沿う一方の側面に当接し、更に進入させると該第一のブロックが該第二のブロックに接近し、該第一のボルトを該第一の雌ネジから退避させると該第一の規制部が該第二のブロックのＹ軸方向に沿う他方の側面に当接し、更に退避させると該第一のブロックが該第二のブロックから離反して、該貫通口に固定されたセンサーのＸ軸方向の微調整を可能とし、
該第二のボルトには、先端から該第二の隙間の幅を超える位置に螺合を規制する第三の規制部が配設されると共に、該第三の規制部と該第二のボルト挿入口が形成された該第二のブロックを挟む位置に螺合を規制する第四の規制部が配設され、
該第二のボルトを該第二の雌ネジに進入させると該第四の規制部が該第二のブロックのＸ軸方向に沿う一方の側面に当接し、更に進入させると該第二のブロックが該第三のブロックに接近し、該第二のボルトを該第二の雌ネジから退避させると該第三の規制部が該第二のブロックのＸ軸方向に沿う他方の側面に当接し、更に退避させると該第二のブロックが該第三のブロックから離反して、該貫通口に固定されたセンサーのＹ軸方向の微調整を可能とするブラケット。