JP7327705B2 - Mixed fluid delivery device - Google Patents

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Description

本発明は、混合流体送出装置に関する。 The present invention relates to a mixed fluid delivery device.

従来、混合流体送出装置として、特開2013-132471号公報(特許文献1)には、圧縮空気をノズル孔から噴出させ、ノズル孔の出口領域で当該圧縮空気に液体を付与することで、当該液体を霧化して外部に送出するネブライザが開示されている。 Conventionally, as a mixed fluid delivery device, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2013-132471 (Patent Document 1), compressed air is ejected from a nozzle hole, and a liquid is added to the compressed air in the outlet area of the nozzle hole. A nebulizer is disclosed that atomizes and delivers liquid to the outside.

特開2013-132471号公報JP 2013-132471 A

圧縮空気を生成する装置として、圧電ポンプを使用する場合には、振動板を振動させる圧電素子が発熱することにより、圧電ポンプの温度が上昇する。圧電ポンプの温度が上昇して高温となった場合には、圧電ポンプ、ひいては混合流体送出装置が正常に動作しなくなることが懸念される。 When a piezoelectric pump is used as a device for generating compressed air, the temperature of the piezoelectric pump rises due to the heat generated by the piezoelectric element that vibrates the diaphragm. When the temperature of the piezoelectric pump rises to a high temperature, there is a concern that the piezoelectric pump and, by extension, the mixed fluid delivery device will not operate normally.

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、ケース体に設けられたポンプ収容室に収容された圧電ポンプを冷却可能な混合流体送出装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a mixed fluid delivery device capable of cooling a piezoelectric pump housed in a pump housing chamber provided in a case body. That's what it is.

本開示に基づく混合流体送出装置は、噴出された気体と液体とを混合することにより、混合流体を生成して送出口から外部に送出する装置である。当該混合流体送出装置は、圧電素子と振動板とを有する圧電振動子、および上記圧電振動子を内部に収容するポンプ筐体を含み、気体を吐出するための圧電ポンプと、上記圧電ポンプを収容するポンプ収容室と、液体を貯留する液体貯留部と、上記混合流体を生成する混合部と、上記圧電ポンプから吐出された上記気体を上記混合部へ噴出するノズル部と、液体を上記混合部へ導出する導出部と、上記送出口と上記混合部とを接続し、上記混合部で生成された上記混合流体を外部へ送出するための流路部と、を備える。上記流路部が上記ポンプ収容室を形成する壁部の少なくとも一部に沿うように設けられている。 A mixed fluid delivery device based on the present disclosure is a device that mixes ejected gas and liquid to generate a mixed fluid and delivers it to the outside from a delivery port. The mixed fluid delivery device includes a piezoelectric vibrator having a piezoelectric element and a vibrating plate, and a pump housing housing the piezoelectric vibrator therein, and housing the piezoelectric pump for discharging gas and the piezoelectric pump. a pump housing chamber for storing the liquid, a liquid storage portion for storing the liquid, a mixing portion for generating the mixed fluid, a nozzle portion for ejecting the gas discharged from the piezoelectric pump to the mixing portion, and a liquid to the mixing portion. and a flow path connecting the delivery port and the mixing section to deliver the mixed fluid generated in the mixing section to the outside. The channel portion is provided along at least a portion of a wall portion forming the pump housing chamber.

上記本開示に基づく混合流体送出装置は、上記ポンプ収容室、上記液体貯留部、上記混合部、および上記導出部が設けられたケース体と上記ケース体に着脱自在に固定され、上記流路部を形成するための流路形成体と、を備えていてもよい。この場合には、上記ポンプ収容室を形成する上記壁部は、上記ケース体の一部によって構成されていてもよく、上記流路形成体は、上記壁部との間に、上記流路部の一部を形成するように構成されていてもよい。 The mixed fluid delivery device based on the present disclosure is detachably fixed to a case body provided with the pump housing chamber, the liquid storage section, the mixing section, and the outlet section, and the case body, and the flow path section and a flow path forming body for forming the In this case, the wall portion forming the pump housing chamber may be a part of the case body, and the flow path forming body may be disposed between the wall portion and the flow path portion. may be configured to form part of the

上記本開示に基づく混合流体送出装置は、上記ポンプ収容室、上記液体貯留部、上記混合部、上記導出部、および上記流路部が設けられたケース体を備えていてもよい。この場合には、前記ポンプ収容室を形成する前記壁部は、前記ケース体の一部によって構成されていてもよく、上記ケース体は、上記流路部を形成するための流路形成部を含んでいてもよい。また、上記流路形成部は、上記壁部との間に、上記流路部の一部を形成するように設けられていてもよい。 The mixed fluid delivery device according to the present disclosure may include a case body provided with the pump housing chamber, the liquid storage section, the mixing section, the outlet section, and the flow path section. In this case, the wall portion forming the pump housing chamber may be configured by a part of the case body, and the case body may include a flow path forming portion for forming the flow path portion. may contain. Moreover, the said flow-path formation part may be provided so that a part of said flow-path part may be formed between the said wall parts.

上記本開示に基づく混合流体送出装置にあっては、上記ケース体には、外部に送出されずに残留した残留液体を上記混合部から上記液体貯留部に還流する還流路が設けられていてもよい。この場合には、上記還流路は、上記ポンプ筐体の少なくとも一部に接触するように設けられていることが好ましい。 In the mixed fluid delivery device based on the present disclosure, the case body may be provided with a return path for returning residual liquid remaining without being delivered to the outside from the mixing section to the liquid storage section. good. In this case, it is preferable that the return path is provided so as to contact at least a portion of the pump housing.

本発明によれば、ケース体に設けられたポンプ収容室に収容された圧電ポンプを冷却可能な混合流体送出装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the mixed fluid delivery apparatus which can cool the piezoelectric pump accommodated in the pump accommodation chamber provided in the case body can be provided.

実施の形態1に係るネブライザの概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a nebulizer according to Embodiment 1; FIG. 実施の形態1に係るネブライザに具備される圧電ポンプの断面図である。4 is a cross-sectional view of a piezoelectric pump provided in the nebulizer according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態1に係るネブライザに具備される圧電ポンプの分解斜視図である。2 is an exploded perspective view of a piezoelectric pump provided in the nebulizer according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態2に係るネブライザの概略断面図である。4 is a schematic cross-sectional view of a nebulizer according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態3に係るネブライザの概略断面図である。FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of a nebulizer according to Embodiment 3; 実施の形態3に係るネブライザに具備される圧電ポンプの断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of a piezoelectric pump provided in a nebulizer according to Embodiment 3; 実施の形態4に係るネブライザの概略断面図である。FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of a nebulizer according to Embodiment 4;

以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the embodiments shown below, the same or common parts are denoted by the same reference numerals in the drawings, and the description thereof will not be repeated.

(実施の形態1)
[ネブライザ]
図1は、実施の形態1に係るネブライザの概略断面図である。図1を参照して、実施の形態1に係るネブライザ200について説明する。
(Embodiment 1)
[Nebulizer]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a nebulizer according to Embodiment 1. FIG. A nebulizer 200 according to Embodiment 1 will be described with reference to FIG.

図1に示すように、実施の形態1に係るネブライザ200は、噴出された気体に液体を付与することにより、霧化した液体と気体とが混合した混合流体を生成して、後述する送出口122aから外部に送出する装置である。なお、本実施の形態では、上記液体が、気化されていない場合を例示して説明するが、当該液体は、気化された液体であってもよい。ネブライザ200は、ケース体110と、流路形成体120とを含む。 As shown in FIG. 1, the nebulizer 200 according to Embodiment 1 applies liquid to the jetted gas to generate a mixed fluid in which the atomized liquid and gas are mixed. 122a to the outside. In this embodiment, the case where the liquid is not vaporized will be described as an example, but the liquid may be vaporized liquid. Nebulizer 200 includes case body 110 and channel forming body 120 .

ケース体110は、第1方向(DR1方向)に沿って延びるように設けられている。なお、第1方向は、後述するノズル部113の軸方向と平行な方向であり、たとえば、上下方向と平行な方向である。 Case body 110 is provided to extend along the first direction (DR1 direction). The first direction is a direction parallel to the axial direction of the nozzle portion 113 described later, for example, a direction parallel to the vertical direction.

ケース体110には、液体貯留部111と、ポンプ収容室112と、ノズル部113と、混合部M、および導出部118が設けられている。 Case body 110 is provided with liquid storage portion 111 , pump housing chamber 112 , nozzle portion 113 , mixing portion M, and lead-out portion 118 .

液体貯留部111とポンプ収容室112とは、後述する第2壁部112bによって区画されており、たとえば、第1方向に直交する第2方向(DR2方向)に並ぶように配置されている。なお、第2方向は、ノズル部113の軸方向と直交する方向であり、たとえば、左右方向と平行な方向である。 The liquid reservoir 111 and the pump storage chamber 112 are separated by a second wall 112b, which will be described later, and are arranged, for example, in a second direction (DR2 direction) perpendicular to the first direction. The second direction is a direction perpendicular to the axial direction of nozzle portion 113, for example, a direction parallel to the left-right direction.

液体貯留部111は、第1方向に延在するように設けられている。液体貯留部111は、水、食塩水、気管支等の疾患を治癒させるための薬液、または、ワクチンといった液体Wを一時的に貯留する。 Liquid reservoir 111 is provided to extend in the first direction. The liquid storage unit 111 temporarily stores a liquid W such as water, saline, medicine for curing a disease such as bronchi, or a vaccine.

ノズル部113は、ポンプ収容室112に対して第1方向の一方側(上方側)に配置されている。ノズル部113は、先端にノズル孔113hを有する。ノズル部113は、先端に向かうにつれて先細る先細り形状を有する。ノズル部113の基端113bは、後述する圧電ポンプ1の下流側ノズル部15に接続されている。ノズル部113は、圧電ポンプ1から送出された空気をノズル孔113hから噴出させる。 The nozzle portion 113 is arranged on one side (upper side) in the first direction with respect to the pump housing chamber 112 . The nozzle portion 113 has a nozzle hole 113h at its tip. The nozzle portion 113 has a tapered shape that tapers toward the tip. A proximal end 113b of the nozzle portion 113 is connected to a downstream nozzle portion 15 of the piezoelectric pump 1, which will be described later. The nozzle portion 113 ejects the air sent from the piezoelectric pump 1 from the nozzle hole 113h.

混合部Mは、ノズル部113から噴出された気体と、導出部118から導出された液体とを混合する。これにより、当該液体が霧化して、霧化した液体と気体が混合した混合流体が生成される。混合部Mは、ノズル孔113hの出口領域に位置する。より特定的には、混合部Mは、ノズル部113からの気体の噴出方向において、ノズル部113の下流側に位置する。 The mixing section M mixes the gas ejected from the nozzle section 113 and the liquid drawn out from the outlet section 118 . As a result, the liquid is atomized to generate a mixed fluid in which the atomized liquid and gas are mixed. The mixing section M is located in the outlet region of the nozzle hole 113h. More specifically, the mixing section M is positioned downstream of the nozzle section 113 in the direction in which the gas is ejected from the nozzle section 113 .

導出部118は、混合部Mに向けて液体Wを導出する。導出部118は、混合部Mに面するように設けられている。具体的には、導出部118は、混合部Mに対して第2方向の一方側に設けられている。 The lead-out portion 118 leads the liquid W toward the mixing portion M. As shown in FIG. The lead-out portion 118 is provided so as to face the mixing portion M. As shown in FIG. Specifically, the outlet section 118 is provided on one side of the mixing section M in the second direction.

導出部118は、導出路115を含む。導出路115は、液体貯留部111から混合部Mに向けて延びるように設けられている。具体的には、導出路115は、略L字状に設けられており、第1方向に沿って延びる第1部分1151と、第2方向に沿って延びる第2部分1152とを有する。 Lead-out portion 118 includes lead-out path 115 . The lead-out path 115 is provided so as to extend from the liquid storage section 111 toward the mixing section M. As shown in FIG. Specifically, lead-out path 115 is provided in a substantially L shape, and has first portion 1151 extending along the first direction and second portion 1152 extending along the second direction.

第1方向における他方側(下方側)に位置する第1部分1151の端部は、導出路115の一端115aを構成し、液体貯留部111に接続されている。第2部分1152の先端は、導出路115の他端115bを構成する。当該第2部分1152の先端から、液体Wが混合部Mに導出される。 An end portion of the first portion 1151 located on the other side (lower side) in the first direction constitutes one end 115 a of the lead-out path 115 and is connected to the liquid reservoir portion 111 . The tip of the second portion 1152 constitutes the other end 115b of the lead-out path 115. As shown in FIG. The liquid W is led out to the mixing section M from the tip of the second portion 1152 .

ポンプ収容室112は、ケース体110が有する壁部によって形成される。当該壁部は、第1壁部112a、第2壁部112b、接続壁部112cを有する。本実施の形態においては、第1壁部112aおよび第2壁部112bは、第2方向に並んで配置されている。第1壁部112aは、後述する圧電ポンプ1の第1主面10aに対向し、第2壁部112bは、後述する圧電ポンプ1の第2主面10bに対向する。接続壁部112cは、ケース体110の底部を構成する。接続壁部112cは、第1壁部112a、および第2壁部112bの第1方向の他方側の端部(下端部)を接続する。 Pump housing chamber 112 is formed by a wall portion of case body 110 . The wall portion has a first wall portion 112a, a second wall portion 112b, and a connection wall portion 112c. In the present embodiment, first wall portion 112a and second wall portion 112b are arranged side by side in the second direction. The first wall portion 112a faces the first main surface 10a of the piezoelectric pump 1 described later, and the second wall portion 112b faces the second main surface 10b of the piezoelectric pump 1 described later. The connection wall portion 112 c constitutes the bottom portion of the case body 110 . The connection wall portion 112c connects the ends (lower ends) on the other side in the first direction of the first wall portion 112a and the second wall portion 112b.

ポンプ収容室112は、2つの圧電ポンプ1を収容する。なお、ポンプ収容室112に収容される圧電ポンプ1の個数は、2つに限定されず、1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。ケース体110には、ポンプ収容室112に外気を吸気するための吸気口(不図示)が設けられている。当該吸気口は、上流側に位置する圧電ポンプ1が有する後述の上流側ノズル部14に吸気経路(不図示)を介して接続されている。 The pump accommodation chamber 112 accommodates two piezoelectric pumps 1 . The number of piezoelectric pumps 1 housed in the pump housing chamber 112 is not limited to two, and may be one or three or more. The case body 110 is provided with an intake port (not shown) for drawing outside air into the pump housing chamber 112 . The intake port is connected via an intake path (not shown) to an upstream nozzle portion 14 (described later) of the piezoelectric pump 1 positioned upstream.

2つの圧電ポンプ1は、第1方向に直列して配置されている。2つの圧電ポンプ1は、後述するようにポンプ筐体10を含む。ポンプ筐体10は、後述するように互いに相対する第1主面10aおよび第2主面10b、上流側ノズル部14、ならびに下流側ノズル部15を有する。 Two piezoelectric pumps 1 are arranged in series in the first direction. The two piezoelectric pumps 1 include pump housings 10 as described below. The pump housing 10 has a first main surface 10a and a second main surface 10b facing each other, an upstream nozzle portion 14, and a downstream nozzle portion 15, as will be described later.

2つの圧電ポンプ1の各々は、ポンプ筐体10の第1主面10aおよび第2主面10bがそれぞれ上記第1壁部112aおよび第2壁部112bに当接するように、ポンプ収容室112内に配置されている。この場合において、第1主面10aおよび第2主面10bは、ノズル部113の軸方向に直交する方向に相対している。 Each of the two piezoelectric pumps 1 is placed in the pump housing chamber 112 so that the first main surface 10a and the second main surface 10b of the pump housing 10 are in contact with the first wall portion 112a and the second wall portion 112b, respectively. are placed in In this case, the first principal surface 10a and the second principal surface 10b face each other in a direction perpendicular to the axial direction of the nozzle portion 113. As shown in FIG.

2つの圧電ポンプ1のうち下流側に位置する圧電ポンプ1の上流側ノズル部14と、2つの圧電ポンプ1のうち上流側に位置する圧電ポンプ1の下流側ノズル部15とは、不図示のチューブ等の管状部材によって接続されている。なお、2つの圧電ポンプ1のうち下流側に位置する圧電ポンプ1の下流側ノズル部15と、ノズル部113の基端113bとも管状部材によって接続されていてもよい。 The upstream nozzle portion 14 of the piezoelectric pump 1 positioned downstream of the two piezoelectric pumps 1 and the downstream nozzle portion 15 of the piezoelectric pump 1 positioned upstream of the two piezoelectric pumps 1 are not shown. They are connected by a tubular member such as a tube. Note that the downstream nozzle portion 15 of the piezoelectric pump 1 positioned downstream of the two piezoelectric pumps 1 and the proximal end 113b of the nozzle portion 113 may also be connected by a tubular member.

流路形成体120は、ケース体110とともに流路部130を形成する。流路部130は、送出口122aと混合部Mとを接続し、混合部Mで生成された混合流体を外部へ送出する。 Flow path forming body 120 forms flow path section 130 together with case body 110 . The flow path part 130 connects the delivery port 122a and the mixing part M, and delivers the mixed fluid generated in the mixing part M to the outside.

流路形成体120は、第1方向の一方側に位置するケース体110の端部側(上端側)に着脱可能に固定される。流路形成体120は、キャップ部121と案内部122とを含む。 The flow path forming body 120 is detachably fixed to the end portion side (upper end side) of the case body 110 positioned on one side in the first direction. Flow path forming body 120 includes cap portion 121 and guide portion 122 .

キャップ部121は、ケース体110の第1方向の一方側の端部(上端)側を覆うように設けられており、混合部Mを覆う。案内部122は、キャップ部121に連続して設けられている。案内部122は、ノズル孔113hから噴出された気体を使用者の口、または鼻に向かうように案内する。 The cap portion 121 is provided so as to cover one end (upper end) side of the case body 110 in the first direction, and covers the mixing portion M. As shown in FIG. The guide portion 122 is provided continuously with the cap portion 121 . The guide part 122 guides the gas ejected from the nozzle hole 113h toward the user's mouth or nose.

具体的には、案内部122は、当該第1壁部112aに沿う第1部分1221と、当該第1部分1221に接続され、第1壁部112aから離れる方向に延びる第2部分1222とを含む。 Specifically, the guide portion 122 includes a first portion 1221 along the first wall portion 112a and a second portion 1222 connected to the first portion 1221 and extending away from the first wall portion 112a. .

第1部分1221は、第1壁部112aに対向するように配置されており、第1壁部112aとともに上記流路部130の一部を形成する。当該第1壁部112aは、後述するように、流路部130を流れる混合流体によって冷却されることで、ポンプ筐体10を冷却する冷却部CPとして機能する。第1部分1221は、冷却部CPとの間に、上記流路部130の一部を形成する。 The first portion 1221 is arranged to face the first wall portion 112a and forms a part of the flow path portion 130 together with the first wall portion 112a. As will be described later, the first wall portion 112a functions as a cooling portion CP that cools the pump housing 10 by being cooled by the mixed fluid that flows through the flow path portion 130 . The first portion 1221 forms part of the flow path portion 130 between itself and the cooling portion CP.

案内部122の先端(第2部分1122の先端)には、送出口122aが設けられている。なお、案内部122の先端には、マウスピースが取り付けられてもよい。また、流路形成体120自身が、マウスピースとして機能してもよい。 A delivery port 122a is provided at the tip of the guide portion 122 (the tip of the second portion 1122). A mouthpiece may be attached to the tip of the guide portion 122 . Also, the flow path forming body 120 itself may function as a mouthpiece.

[圧電ポンプ]
図2および図3は、実施の形態1に係るネブライザに具備される圧電ポンプの断面図および分解斜視図である。図2および図3を参照して、実施の形態1に係る圧電ポンプ1について説明する。
[Piezoelectric pump]
2 and 3 are a sectional view and an exploded perspective view of the piezoelectric pump provided in the nebulizer according to Embodiment 1. FIG. A piezoelectric pump 1 according to Embodiment 1 will be described with reference to FIGS. 2 and 3. FIG.

図2および図3に示すように、本実施の形態に係る圧電ポンプ1は、ポンプ筐体としてのポンプ筐体10と、駆動部20とを主として備えている。ポンプ筐体10の内部には、偏平な円柱状の空間である収容空間13が設けられており、駆動部20は、この収容空間13に配置されている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the piezoelectric pump 1 according to the present embodiment mainly includes a pump housing 10 as a pump housing and a driving section 20. As shown in FIGS. An accommodation space 13 that is a flat columnar space is provided inside the pump housing 10 , and the drive unit 20 is arranged in this accommodation space 13 .

ポンプ筐体10は、樹脂製または金属製等の円盤状の第1筐体11と、樹脂製または金属製の偏平な有底円筒状の第2筐体12とを有している。ポンプ筐体10は、これら第1筐体11および第2筐体12が組み合わされてたとえば接着剤等によって接合されることにより、内部に上述した収容空間13を有している。 The pump housing 10 has a disc-shaped first housing 11 made of resin or metal, and a flat bottomed cylindrical second housing 12 made of resin or metal. The pump housing 10 has the accommodation space 13 described above therein by combining the first housing 11 and the second housing 12 and joining them with an adhesive or the like.

ポンプ筐体10は、軸線100方向に互いに相対する第1主面10aおよび第2主面10bを有する。なお、軸線100方向は、後述する第1振動板31に垂直な方向である。 The pump housing 10 has a first main surface 10a and a second main surface 10b facing each other in the direction of the axis 100 . Note that the direction of the axis 100 is a direction perpendicular to the first diaphragm 31, which will be described later.

第1主面10aおよび第2主面10bは、軸線100方向と略直交する。第1主面10aおよび第2主面10bは、後述する圧電素子60の主面に平行に配置されており、当該圧電素子60の主面に対向する。 The first main surface 10a and the second main surface 10b are substantially perpendicular to the axis 100 direction. The first main surface 10a and the second main surface 10b are arranged in parallel with the main surface of the piezoelectric element 60 to be described later, and face the main surface of the piezoelectric element 60 .

第1主面10aは、主として、第1筐体11の外表面によって構成されている。第2主面10bは、主として、第1筐体11に対向する部分の第2筐体12の外表面によって構成されている。 The first major surface 10 a is mainly configured by the outer surface of the first housing 11 . The second main surface 10 b is mainly configured by the outer surface of the second housing 12 at the portion facing the first housing 11 .

また、ポンプ筐体10は、第1主面10aおよび第2主面10bを繋ぐ側面を有する。当該側面は、上記軸線方向100を取り囲む第2筐体12の外周面によって構成されている。 Further, the pump housing 10 has a side surface connecting the first main surface 10a and the second main surface 10b. The side surface is configured by the outer peripheral surface of the second housing 12 surrounding the axial direction 100 .

第2筐体12の外周部の対向する位置には、それぞれ外側に向けて突出する上流側ノズル部14および下流側ノズル部15が設けられている。すなわち、上流側ノズル部14および下流側ノズル部15は、ポンプ筐体10の上記側面に設けられている。圧電ポンプ1の外部の空間と上述した収容空間13とは、これら上流側ノズル部14および下流側ノズル部15を介してそれぞれ連通している。 An upstream nozzle portion 14 and a downstream nozzle portion 15 that project outward are provided at opposing positions on the outer peripheral portion of the second housing 12 . That is, the upstream nozzle portion 14 and the downstream nozzle portion 15 are provided on the side surface of the pump housing 10 . The space outside the piezoelectric pump 1 and the accommodation space 13 described above communicate with each other via the upstream nozzle portion 14 and the downstream nozzle portion 15, respectively.

駆動部20は、板状の第1振動体30と、板状の第2振動体40と、周壁部としてのスペーサ50と、駆動体としての圧電素子60とを主として有している。駆動部20は、これら部材が互いに積み重ねられた状態で一体化されることで構成されており、上述したポンプ筐体10の収容空間13に配置された状態で当該ポンプ筐体10によって保持されている。第1振動体30と圧電素子60とは、互いに積層されており、圧電振動子を構成する。 The drive unit 20 mainly includes a plate-like first vibrating body 30, a plate-like second vibrating body 40, a spacer 50 as a peripheral wall portion, and a piezoelectric element 60 as a driving body. The drive unit 20 is configured by stacking and integrating these members, and is held by the pump housing 10 while being arranged in the accommodation space 13 of the pump housing 10 described above. there is The first vibrating body 30 and the piezoelectric element 60 are stacked together to form a piezoelectric vibrator.

ポンプ筐体10の収容空間13は、駆動部20により、第1筐体11側の空間(すなわち、後述するポンプ室21を介することなく上流側ノズル部14に連通する空間)と、第2筐体12側の空間(すなわち、後述するポンプ室21を介することなく下流側ノズル部15に連通する空間)とに区画されている。 The accommodation space 13 of the pump housing 10 is divided by the drive unit 20 into a space on the side of the first housing 11 (that is, a space communicating with the upstream nozzle unit 14 without passing through the pump chamber 21 described later) and a space on the side of the second housing. A space on the side of the body 12 (that is, a space communicating with the downstream nozzle portion 15 without passing through a pump chamber 21 to be described later).

第1振動体30は、第1振動板31によって構成されている。第1振動板31は、たとえばステンレス鋼等からなる金属製の薄板にて構成されており、その外形は平面視円形状である。第1振動板31の中央部および周縁部を除く中間部には、複数個の孔部31aが円環状に点列して設けられている。 The first vibrating body 30 is composed of a first diaphragm 31 . The first diaphragm 31 is made of, for example, a thin metal plate made of stainless steel or the like, and has a circular outer shape in plan view. A plurality of hole portions 31a are provided in an annular manner in an intermediate portion of the first diaphragm 31 excluding the central portion and the peripheral edge portion.

第2振動体40は、第2振動板41、補助振動板42、逆止弁43および弁体保持部材44の積層体によって構成されている。第2振動体40は、第1振動体30に対向しており、より詳細には、第1振動体30から見て第2筐体12が位置する側に配置されている。第2振動板41、補助振動板42、逆止弁43および弁体保持部材44は、第1振動体30に近い側からこの順で積層配置されている。 The second vibrating body 40 is composed of a laminate of a second vibrating plate 41 , an auxiliary vibrating plate 42 , a check valve 43 and a valve body holding member 44 . The second vibrating body 40 faces the first vibrating body 30 , and more specifically, is arranged on the side where the second housing 12 is positioned when viewed from the first vibrating body 30 . The second diaphragm 41 , the auxiliary diaphragm 42 , the check valve 43 and the valve body holding member 44 are stacked in this order from the side closer to the first vibrating body 30 .

第2振動板41は、たとえばステンレス鋼等からなる金属製の薄板にて構成されており、その外形は平面視円形状である。第2振動板41の中央部およびその近傍には、複数個の孔部41aが設けられている。 The second diaphragm 41 is made of, for example, a thin metal plate made of stainless steel or the like, and has a circular outer shape in plan view. A plurality of holes 41a are provided in the central portion of the second diaphragm 41 and its vicinity.

補助振動板42は、第2振動板41よりもさらに薄いたとえばステンレス鋼等からなる金属製の薄板にて構成されており、その外形は平面視円形状である。補助振動板42は、逆止弁43を配置するためのスペースを形成されるための部材であり、補助振動板42の第2筐体12側に位置する主面の周縁部には、当該スペースを形成するための環状形状の突出部が設けられている。補助振動板42の周縁部は、第2振動板41の周縁部にたとえば導電性接着剤等によって接合されている。補助振動板42の中央部およびその近傍には、第2振動板41に設けられた複数個の孔部41aに連通する複数個の孔部42aが設けられている。 The auxiliary diaphragm 42 is made of a thin metal plate made of, for example, stainless steel, which is thinner than the second diaphragm 41, and has a circular outer shape in plan view. The auxiliary diaphragm 42 is a member for forming a space for arranging the check valve 43. The peripheral portion of the main surface of the auxiliary diaphragm 42 located on the second housing 12 side has the space. An annular shaped protrusion is provided for forming the . The peripheral edge of auxiliary diaphragm 42 is bonded to the peripheral edge of second diaphragm 41 with, for example, a conductive adhesive. A plurality of holes 42a communicating with the plurality of holes 41a provided in the second diaphragm 41 are provided in the central portion of the auxiliary diaphragm 42 and its vicinity.

逆止弁43は、たとえばポリイミド樹脂等の樹脂製の薄板にて構成されており、その外形は平面視円形状である。逆止弁43は、上述した補助振動板42によって形成されたスペース(すなわち、補助振動板42の環状形状の突出部によって取り囲まれた空間)に配置されている。逆止弁43の中央部およびその近傍には、補助振動板42に設けられた複数個の孔部42aに直接的に対面することはないもののこれら複数個の孔部42aに近接して、複数個の孔部43aが設けられている。 The check valve 43 is made of a thin plate made of resin such as polyimide resin, and has a circular outer shape in plan view. The check valve 43 is arranged in the space formed by the auxiliary diaphragm 42 (that is, the space surrounded by the annular projection of the auxiliary diaphragm 42). The central portion of the check valve 43 and the vicinity thereof do not directly face the plurality of holes 42a provided in the auxiliary diaphragm 42, but are adjacent to the plurality of holes 42a. A single hole portion 43a is provided.

弁体保持部材44は、たとえばステンレス鋼等からなる金属製の薄板にて構成されており、その外形は平面視円形状である。弁体保持部材44は、補助振動板42の上述したスペースに配置された逆止弁43を覆うように補助振動板42に取付けられている。より詳細には、弁体保持部材44の周縁部は、補助振動板42の上述した環状形状の突出部にたとえば導電性接着剤等によって接合されている。弁体保持部材44の中央部およびその近傍には、逆止弁43に設けられた複数個の孔部43aに連通する複数個の孔部44aが設けられている。 The valve body holding member 44 is made of a metal thin plate made of stainless steel, for example, and has a circular outer shape in a plan view. The valve body holding member 44 is attached to the auxiliary diaphragm 42 so as to cover the check valve 43 arranged in the above-described space of the auxiliary diaphragm 42 . More specifically, the peripheral portion of the valve body holding member 44 is joined to the above-described annular projection of the auxiliary diaphragm 42 by, for example, a conductive adhesive. A plurality of holes 44a communicating with a plurality of holes 43a provided in the check valve 43 are provided in the central portion of the valve body holding member 44 and in the vicinity thereof.

逆止弁43は、補助振動板42と弁体保持部材44との間の空間に遊嵌されている。これにより、逆止弁43は、補助振動板42に設けられた複数個の孔部42aを開閉できるように補助振動板42および弁体保持部材44によって移動可能に保持されている。より詳細には、逆止弁43は、補助振動板42に接近してこれに密着した状態において、複数個の孔部42aを閉鎖し、補助振動板42から遠ざかった状態において、複数個の孔部42aを開放する。 The check valve 43 is loosely fitted in the space between the auxiliary diaphragm 42 and the valve body holding member 44 . As a result, the check valve 43 is movably held by the auxiliary diaphragm 42 and the valve body holding member 44 so as to open and close the plurality of holes 42 a provided in the auxiliary diaphragm 42 . More specifically, the check valve 43 closes the plurality of holes 42 a when it is in close contact with the auxiliary diaphragm 42 , and closes the plurality of holes 42 a when it is away from the auxiliary diaphragm 42 . The part 42a is opened.

スペーサ50は、第1振動体30と第2振動体40との間に位置しており、これら第1振動体30と第2振動体40とによって挟み込まれている。スペーサ50は、たとえばステンレス鋼等からなる金属製の部材にて構成されており、その外形は円環板状である。 The spacer 50 is located between the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 and is sandwiched between the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 . The spacer 50 is made of, for example, a metal member made of stainless steel or the like, and has an annular plate-like outer shape.

スペーサ50は、第1振動体30の周縁部と第2振動体40の周縁部とを接続している。これにより、第1振動体30および第2振動体40は、スペーサ50によって所定の距離だけ隔てて配置されることになる。なお、スペーサ50と第1振動体30とは、たとえば導電性接着剤等によって接合されており、スペーサ50と第2振動体40とは、たとえば導電性接着剤等によって接合されている。 The spacer 50 connects the peripheral edge of the first vibrating body 30 and the peripheral edge of the second vibrating body 40 . As a result, the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 are arranged with a predetermined distance therebetween by the spacer 50 . Note that the spacer 50 and the first vibrating body 30 are bonded together with a conductive adhesive or the like, and the spacer 50 and the second vibrating body 40 are bonded together with a conductive adhesive or the like.

第1振動体30と第2振動体40との間に位置する空間は、ポンプ室21として機能する。当該ポンプ室21は、第1振動体30、第2振動体40およびスペーサ50によって規定されており、偏平な円柱状の空間にて構成されている。ここで、スペーサ50は、ポンプ室21を規定するとともに第1振動体30および第2振動体40を接続する周壁部に該当することになる。 A space located between the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 functions as a pump chamber 21 . The pump chamber 21 is defined by the first vibrating body 30, the second vibrating body 40 and the spacer 50, and is configured as a flat columnar space. Here, the spacer 50 corresponds to a peripheral wall portion that defines the pump chamber 21 and connects the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 .

圧電素子60は、たとえば導電性接着剤を介して第1振動体30に貼り付けられている。より詳細には、圧電素子60は、第1振動体30のポンプ室21に面する側とは反対側に位置する主面側(すなわち、第1筐体11側)に貼り付けられている。圧電素子60は、たとえばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の圧電材料からなる薄板にて構成されており、その外形は平面視円形状である。 The piezoelectric element 60 is attached to the first vibrating body 30 via a conductive adhesive, for example. More specifically, the piezoelectric element 60 is attached to the main surface side (that is, the first housing 11 side) of the first vibrating body 30 opposite to the side facing the pump chamber 21 . The piezoelectric element 60 is composed of a thin plate made of a piezoelectric material such as lead zirconate titanate (PZT), and has a circular outer shape in plan view.

圧電素子60は、交流電圧が印加されることで屈曲振動するものであり、当該圧電素子60に生じる屈曲振動が第1振動体30および第2振動体40に伝播されることにより、第1振動体30および第2振動体40も屈曲振動することになる。すなわち、圧電素子60は、第1振動体30および第2振動体40を屈曲振動させる駆動体に該当し、所定周波数の交流電圧が印加されることで第1振動体30および第2振動体40をそれぞれ共振周波数で振動させ、これにより第1振動体30および第2振動体40の双方に定在波を発生させる。 The piezoelectric element 60 undergoes bending vibration when an AC voltage is applied thereto, and the bending vibration generated in the piezoelectric element 60 is propagated to the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 to generate the first vibration. The body 30 and the second vibrating body 40 also undergo bending vibration. In other words, the piezoelectric element 60 corresponds to a driving body that bends and vibrates the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40, and when an AC voltage of a predetermined frequency is applied, the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 are driven. are vibrated at their resonance frequencies, thereby generating standing waves in both the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 .

なお、弁体保持部材44の周縁部は、たとえば接着剤等によって第2筐体12に接合されている。これにより、第1振動体30、第2振動体40、スペーサ50および圧電素子60等からなる駆動部20が、ポンプ筐体10の内部において保持されることになる。 A peripheral portion of the valve body holding member 44 is joined to the second housing 12 by, for example, an adhesive. As a result, the driving section 20 including the first vibrating body 30 , the second vibrating body 40 , the spacer 50 , the piezoelectric element 60 and the like is held inside the pump housing 10 .

駆動部20は、圧電素子60に外部から電圧を印加するための給電線としての一対の外部接続端子をさらに有している。一対の外部接続端子は、上述した第1振動体30、第2振動体40およびスペーサ50とは別部材にて構成された第1端子70と、第2振動体40に含まれる弁体保持部材44に設けられた第2端子44bとによって構成されている。 The drive unit 20 further has a pair of external connection terminals as power supply lines for applying voltage to the piezoelectric element 60 from the outside. The pair of external connection terminals includes a first terminal 70 formed by a member separate from the above-described first vibrating body 30, second vibrating body 40 and spacer 50, and a valve body holding member included in the second vibrating body 40. 44 and a second terminal 44b.

第1端子70は、その一端が圧電素子60の第1筐体11側の主面にたとえば半田付け等によって接合され、その他端が、ポンプ筐体10の外部に露出するように引き出されている。一方、第2端子44bは、弁体保持部材44の外端の所定位置から外側に向けて延設された舌片状の部位からなり、その先端は、ポンプ筐体10の外部に露出するように引き出されている。 One end of the first terminal 70 is joined to the main surface of the piezoelectric element 60 on the side of the first housing 11 by, for example, soldering, and the other end is drawn out so as to be exposed to the outside of the pump housing 10 . . On the other hand, the second terminal 44b consists of a tongue-shaped portion extending outward from a predetermined position on the outer end of the valve body holding member 44, and the tip thereof is exposed to the outside of the pump housing 10. is drawn out to

第2端子44bが設けられた弁体保持部材44は、圧電素子60と第1振動板31とを接合する導電接着剤等と、第1振動板31、スペーサ50、第2振動板41、補助振動板42およびこれらを相互に接合する導電性接着剤等と、弁体保持部材44と補助振動板42とを接合する導電接着剤等とを介して、圧電素子60の第2筐体12側の主面と導通しており、これにより上述した第2端子44bが、一対の外部接続端子の一方として機能することになる。 The valve body holding member 44 provided with the second terminal 44b includes a conductive adhesive or the like that joins the piezoelectric element 60 and the first diaphragm 31 together with the first diaphragm 31, the spacer 50, the second diaphragm 41, the auxiliary The piezoelectric element 60 is attached to the second housing 12 side via the diaphragm 42 and the conductive adhesive or the like that joins them together, and the conductive adhesive or the like that joins the valve body holding member 44 and the auxiliary diaphragm 42 . , so that the second terminal 44b functions as one of the pair of external connection terminals.

なお、第1端子70の上述した他端および第2端子44bの上述した先端は、いずれも第2筐体12の外周部の所定位置に設けられた端子台17上に引き出されることでポンプ筐体10の外部に露出している。 The above-described other end of the first terminal 70 and the above-described tip of the second terminal 44b are both pulled out onto a terminal block 17 provided at a predetermined position on the outer periphery of the second housing 12, thereby It is exposed outside the body 10 .

[圧電ポンプの動作]
本実施の形態に係る圧電ポンプ1においては、圧電素子60が、第1振動体30の中央部および第2振動体40の中央部に直交する軸線100を中心として第1振動体30および第2振動体40の双方に定在波が発生するように第1振動体30および第2振動体40を屈曲振動させる。
[Piezoelectric pump operation]
In the piezoelectric pump 1 according to the present embodiment, the piezoelectric element 60 rotates around the axis 100 perpendicular to the central portion of the first vibrating body 30 and the central portion of the second vibrating body 40 . The first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 are flexurally vibrated so that standing waves are generated in both vibrating bodies 40 .

その際、圧電素子60は、当該圧電素子60が貼り付けられた第1振動体30を直接的に駆動し、当該圧電素子60が貼り付けられていない第2振動体40を周壁部としてのスペーサ50を介して間接的に駆動する。このとき、第1振動体30の形状および第2振動体40の形状(特にこれら振動板の厚み)を適切に設計することにより、第1振動体30と第2振動体40とが、それぞれ逆方向に向けて変位することになる。 At that time, the piezoelectric element 60 directly drives the first vibrating body 30 to which the piezoelectric element 60 is attached, and the second vibrating body 40 to which the piezoelectric element 60 is not attached serves as a peripheral wall portion of the spacer. 50 indirectly. At this time, by appropriately designing the shape of the first vibrating body 30 and the shape of the second vibrating body 40 (especially the thickness of these vibrating plates), the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 can be reversed. It will be displaced in the direction

この逆方向に向けての第1振動体30および第2振動体40の振動により、ポンプ室21は、膨張および収縮を繰り返すことになる。これにより、ポンプ室21の内部において共鳴が発生することになり、これに伴ってポンプ室21に大きな圧力変動が生じることになる。その結果、時間的に交互にポンプ室21に正圧および負圧が発生することになり、この圧力変動によって気体を圧送するポンプ機能が実現されることになる。これにより、図1中矢印DR1、DR2に示すように、気体が圧送される。上流側ノズル部14から外部の気体が吸入されて、下流側ノズル部15から外部に気体が吐出される。 Due to the vibration of the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 in the opposite directions, the pump chamber 21 repeats expansion and contraction. As a result, resonance occurs inside the pump chamber 21 , and large pressure fluctuations occur in the pump chamber 21 along with this. As a result, positive pressure and negative pressure are generated in the pump chamber 21 alternately with time, and this pressure fluctuation realizes the pump function of pumping the gas. As a result, the gas is pressure-fed as indicated by arrows DR1 and DR2 in FIG. External gas is sucked from the upstream nozzle portion 14 and discharged to the outside from the downstream nozzle portion 15 .

[ネブライザの動作]
再び図1に示すように、上述した2つの圧電ポンプ1が駆動されると、ケース体110に設けられた上記吸気口から空気が吸引される。当該吸気口から吸引された空気は、2つの圧電ポンプ1を通過してノズル部113に導入される。ノズル部113に導入された空気は、ノズル孔113hから混合部Mに向けて噴出される。この際、上記導出部118の近傍に負圧が発生する。
[Nebulizer operation]
As shown in FIG. 1 again, when the two piezoelectric pumps 1 described above are driven, air is sucked from the intake ports provided in the case body 110 . The air sucked from the intake port passes through the two piezoelectric pumps 1 and is introduced into the nozzle portion 113 . The air introduced into the nozzle portion 113 is ejected toward the mixing portion M from the nozzle hole 113h. At this time, a negative pressure is generated in the vicinity of the lead-out portion 118 .

当該負圧によって、液体貯留部111から導出路115に液体Wが吸い上げられる。吸い上げられた液体Wは、導出部118(より特定的には導出路115の他端115b)から混合部Mに徐々に導出される。混合部Mに導出された液体は、噴出された空気との衝突によって粉砕され、霧状粒子に変化する。当該霧状粒子によってエアロゾルが生成され、生成されたエアロゾルが、案内部122に案内されて上記送出口122aから排出される。 The liquid W is sucked up from the liquid reservoir 111 to the lead-out path 115 by the negative pressure. The sucked liquid W is gradually led out to the mixing part M from the lead-out part 118 (more specifically, the other end 115b of the lead-out path 115). The liquid introduced to the mixing section M is pulverized by collision with the ejected air and changed into atomized particles. Aerosol is generated by the atomized particles, and the generated aerosol is guided by the guide portion 122 and discharged from the delivery port 122a.

ここで、圧電ポンプ1を駆動させるために圧電素子60を駆動し、第1振動体30および第2振動体40を振動させる場合には、圧電素子60が発熱し、ポンプ筐体10の温度が上昇する。 Here, when the piezoelectric element 60 is driven to vibrate the first vibrating body 30 and the second vibrating body 40 in order to drive the piezoelectric pump 1, the piezoelectric element 60 generates heat, and the temperature of the pump housing 10 rises. Rise.

上述のように、流路部130が、ポンプ収容室112を形成する壁部の少なくとも一部(より特定的には第1壁部112a)に沿うように設けられている。これにより、流路部130を流れる混合流体によって、当該第1壁部112aを介してポンプ収容室112に収容された圧電ポンプ1を冷却することができる。この結果、圧電ポンプ1が発熱よって正常に動作しなくなることを抑制できる。 As described above, the channel portion 130 is provided along at least a portion of the wall portion (more specifically, the first wall portion 112a) forming the pump housing chamber 112 . Thus, the mixed fluid flowing through the flow path portion 130 can cool the piezoelectric pump 1 housed in the pump housing chamber 112 via the first wall portion 112a. As a result, it is possible to prevent the piezoelectric pump 1 from operating normally due to heat generation.

(実施の形態2)
図4は、実施の形態2に係るネブライザの概略断面図である。図4を参照して、実施の形態2に係るネブライザ200Aについて説明する。
(Embodiment 2)
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a nebulizer according to Embodiment 2. FIG. Nebulizer 200A according to Embodiment 2 will be described with reference to FIG.

図4に示すように、実施の形態2に係るネブライザ200Aは、実施の形態1に係るネブライザ200と比較した場合に、ケース体110に還流路116が設けられている点において相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。 As shown in FIG. 4, nebulizer 200A according to the second embodiment differs from nebulizer 200 according to the first embodiment in that case body 110 is provided with return path 116 . Other configurations are almost the same.

還流路116は、導出部118から混合部Mに導出されたものの外部に送出されずに残留した残留液体を当該混合部Mから液体貯留部111に還流する。なお、残留液体は、ノズル部113から噴出された気体に混合部Mにおいて付与されなかった液体、および上記気体に付与されたものの流路形成体120の内壁に衝突して液化したものを含む。ノズル部113の基端113b側には、液体を受ける液体受け部117が設けられており、還流路116は、当該液体受け部117と液体貯留部111とを接続するように設けられている。なお、液体受け部117は、ノズル部113を取り囲むように設けられている。 The return path 116 returns the residual liquid, which has been led from the lead-out portion 118 to the mixing portion M but has remained without being delivered to the outside, from the mixing portion M to the liquid storage portion 111 . The residual liquid includes the liquid that is not added to the gas ejected from the nozzle portion 113 in the mixing portion M, and the liquid added to the gas that collides with the inner wall of the flow path forming body 120 and liquefies. A liquid receiving portion 117 for receiving liquid is provided on the base end 113 b side of the nozzle portion 113 , and a return path 116 is provided to connect the liquid receiving portion 117 and the liquid storage portion 111 . In addition, the liquid receiving portion 117 is provided so as to surround the nozzle portion 113 .

還流路116は、ポンプ筐体10の少なくとも一部に接触するように設けられている。具体的には、還流路116は、第1流路1161、第2流路1162、および第3流路1163を含む。 The return path 116 is provided so as to contact at least a portion of the pump housing 10 . Specifically, return path 116 includes first flow path 1161 , second flow path 1162 , and third flow path 1163 .

第1流路1161は、上記第1壁部112aに流路孔が設けられることにより構成されており、当該第1流路1161は、ポンプ筐体10の第1主面10aに接触している。 The first flow path 1161 is formed by providing a flow path hole in the first wall portion 112a, and the first flow path 1161 is in contact with the first main surface 10a of the pump housing 10. .

第2流路1162は、上記第2壁部112bに流路孔が設けられることにより構成されており、当該第2流路1162は、ポンプ筐体10の第2主面10bに接触している。 The second flow path 1162 is formed by providing a flow path hole in the second wall portion 112b, and the second flow path 1162 is in contact with the second main surface 10b of the pump housing 10. .

第3流路1163は、上記接続壁部112cに流路孔が設けられることにより構成されており、当該第3流路1163は、第1流路1161と第2流路1162とを合流させる合流路を形成するとともに液体貯留部111に接続されている。 The third flow path 1163 is formed by providing a flow path hole in the connection wall portion 112c. It forms a channel and is connected to the liquid reservoir 111 .

このように構成される場合においても、流路部130を流れる混合流体によって、第1壁部112aが、ポンプ筐体10を冷却する冷却部として機能するため、実施の形態2に係るネブライザ200Aは、実施の形態1に係るネブライザ200とほぼ同様の効果が得られる。 Even in such a configuration, first wall portion 112a functions as a cooling portion for cooling pump housing 10 by the mixed fluid flowing through flow path portion 130. Therefore, nebulizer 200A according to Embodiment 2 is , substantially the same effect as that of the nebulizer 200 according to the first embodiment can be obtained.

加えて、還流路116が、ポンプ筐体10の少なくとも一部に接触するように設けられることにより、還流路116を流れる残留液体によってポンプ筐体10をさらに冷却することができる。 In addition, the return path 116 is provided so as to contact at least a portion of the pump housing 10 , so that the pump housing 10 can be further cooled by the residual liquid flowing through the return path 116 .

なお、実施の形態2においては、還流路116が、圧電ポンプ1の第1主面10aおよび第2主面10bの双方に接触するように設けられる場合を例示して説明したが、これに限定されず、圧電ポンプ1の第1主面10aおよび第2主面10bの少なくとも一方に接触するように設けられていてもよい。すなわち、第1流路1161および第2流路1162の少なくとも一方が設けられていればよい。 In the second embodiment, the return path 116 is provided in contact with both the first main surface 10a and the second main surface 10b of the piezoelectric pump 1, but the present invention is limited to this. Instead, it may be provided so as to contact at least one of the first main surface 10 a and the second main surface 10 b of the piezoelectric pump 1 . That is, at least one of the first channel 1161 and the second channel 1162 should be provided.

また、圧電素子60の主面に対向する圧電ポンプ1の第1主面10aおよび/または第2主面10bを冷却することにより、圧電ポンプ1を効果的に冷却することができる。 Further, by cooling the first main surface 10a and/or the second main surface 10b of the piezoelectric pump 1 facing the main surface of the piezoelectric element 60, the piezoelectric pump 1 can be effectively cooled.

上述したように、上流側ノズル部14および下流側ノズル部15は、ポンプ筐体10の上記側面に設けられており、下流側ノズル部15がノズル部113の基端113bに接続されている。すなわち、ノズル部113が、ポンプ筐体10の上記側面に配置されている。このため、上記第1主面10aおよび/または第2主面10bに還流路116を容易に接触させることができ、圧電ポンプ1を容易に冷却することができる。また、記第1主面10aおよび/または第2主面10bに還流路116を容易に接触させることができるため、還流路116の形状が複雑化することを防止できるとともに、還流路116の設計の自由度を向上させることができる。 As described above, the upstream nozzle portion 14 and the downstream nozzle portion 15 are provided on the side surface of the pump housing 10 , and the downstream nozzle portion 15 is connected to the base end 113 b of the nozzle portion 113 . That is, the nozzle portion 113 is arranged on the side surface of the pump housing 10 . Therefore, the return path 116 can be easily brought into contact with the first main surface 10a and/or the second main surface 10b, and the piezoelectric pump 1 can be easily cooled. In addition, since the return path 116 can be easily brought into contact with the first main surface 10a and/or the second main surface 10b, the shape of the return path 116 can be prevented from becoming complicated, and the design of the return path 116 can be improved. degree of freedom can be improved.

(実施の形態3)
図5は、実施の形態3に係るネブライザの概略断面図である。図5を参照して、実施の形態3に係るネブライザ200Bについて説明する。
(Embodiment 3)
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a nebulizer according to Embodiment 3. FIG. A nebulizer 200B according to the third embodiment will be described with reference to FIG.

図5に示すように、実施の形態3に係るネブライザ200Bは、実施の形態2に係るネブライザ200Aと比較した場合に、圧電ポンプ1Bの構成が主として相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。 As shown in FIG. 5, nebulizer 200B according to the third embodiment differs from nebulizer 200A according to the second embodiment mainly in the configuration of piezoelectric pump 1B. Other configurations are substantially the same.

圧電ポンプ1Bにおいては、ポンプ筐体10B(図6参照)は、ノズル部113の軸方向に平行な方向に相対する第1主面10aおよび第2主面10bを有する。また、ポンプ筐体10Bは、当該第1主面10aおよび第2主面10bの周縁を接続する周面部を有する。当該周面部は、第2方向の一方側に位置する一方側周面部10cおよび第2方向の他方側に位置する他方側周面部10dを含む。 In the piezoelectric pump 1B, the pump housing 10B (see FIG. 6) has a first principal surface 10a and a second principal surface 10b facing each other in a direction parallel to the axial direction of the nozzle portion 113. As shown in FIG. Further, the pump housing 10B has a peripheral surface portion that connects peripheral edges of the first main surface 10a and the second main surface 10b. The peripheral surface portion includes a one-side peripheral surface portion 10c located on one side in the second direction and the other-side peripheral surface portion 10d located on the other side in the second direction.

圧電ポンプ1Bは、ポンプ収容室112内において、第2主面10bが第1方向の一方側(上方側)を向き、第1主面10aが第1方向の他方側(下方側)を向くように配置されている。2つの圧電ポンプ1Bは、圧電ポンプ1B1、1B2を含み、圧電ポンプ1B1は、圧電ポンプ1B2に対して第1方向の一方側に配置されている。 The piezoelectric pump 1B is configured such that the second main surface 10b faces one side (upward side) in the first direction and the first main surface 10a faces the other side (downward side) in the first direction in the pump housing chamber 112. are placed in The two piezoelectric pumps 1B include piezoelectric pumps 1B1 and 1B2, and the piezoelectric pump 1B1 is arranged on one side in the first direction with respect to the piezoelectric pump 1B2.

図6は、実施の形態3に係るネブライザに具備される圧電ポンプの断面図である。図6に示すように、圧電ポンプ1Bのポンプ筐体10は、第1筐体11および第2筐体12を有しており、第1筐体11には、その中央部から外側に向けて突出するように上流側ノズル部14が設けられており、第2筐体12には、その中央部から外側に向けて突出するように下流側ノズル部15が設けられている。 6 is a cross-sectional view of a piezoelectric pump provided in a nebulizer according to Embodiment 3. FIG. As shown in FIG. 6, the pump housing 10 of the piezoelectric pump 1B has a first housing 11 and a second housing 12. The first housing 11 has a central portion extending outward from the housing. An upstream nozzle portion 14 is provided so as to protrude, and the second housing 12 is provided with a downstream nozzle portion 15 so as to protrude outward from the central portion thereof.

上流側ノズル部14および下流側ノズル部15は、いずれも軸線100の延在方向と平行な方向において駆動部20に重なるように配置されている。なお、駆動部20の構成については、実施の形態1と同様であるため、その説明については省略する。 Both the upstream nozzle portion 14 and the downstream nozzle portion 15 are arranged so as to overlap the driving portion 20 in a direction parallel to the extending direction of the axis 100 . Note that the configuration of the drive unit 20 is the same as that of the first embodiment, so the description thereof will be omitted.

圧電ポンプ1Bをこのように構成した場合にも、駆動部20が駆動することにより、図6中矢印にて示すように、空気が流動する。 Even when the piezoelectric pump 1B is configured in this way, the driving of the drive unit 20 causes the air to flow as indicated by the arrows in FIG.

再び図5に示すように、実施の形態3に係るネブライザ200Bにおいても、流路部130を流れる混合流体によって、第1壁部112aが、ポンプ筐体10を冷却する冷却部CPとして機能するとともに、還流路116を流れる残留液体によってポンプ筐体10Bを冷却することができる。このため、実施の形態3に係るネブライザ200Bは、実施の形態2に係るネブライザ200Aとほぼ同様の効果が得られる。 As shown in FIG. 5 again, in the nebulizer 200B according to the third embodiment as well, the first wall portion 112a functions as the cooling portion CP for cooling the pump housing 10 by the mixed fluid flowing through the flow path portion 130. , the pump housing 10B can be cooled by the residual liquid flowing through the return path 116 . Therefore, nebulizer 200B according to the third embodiment can obtain substantially the same effect as nebulizer 200A according to the second embodiment.

さらに、実施の形態3に係るネブライザ200Bにおいては、実施の形態2に係るネブライザ200Aと比較して、ポンプ筐体10Bに接触する還流路116の接触面積が増加するため、実施の形態3に係るネブライザ200Bは、実施の形態2に係るネブライザ200Aと比較して、ポンプ筐体10Bをより効果的に冷却することができる。 Furthermore, in nebulizer 200B according to Embodiment 3, compared with nebulizer 200A according to Embodiment 2, the contact area of return path 116 that contacts pump housing 10B is increased. Nebulizer 200B can cool pump housing 10B more effectively than nebulizer 200A according to the second embodiment.

(実施の形態4)
図7は、実施の形態4に係るネブライザの概略断面図である。図7を参照して、実施の形態4に係るネブライザ200Cについて説明する。
(Embodiment 4)
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a nebulizer according to Embodiment 4. FIG. A nebulizer 200C according to Embodiment 4 will be described with reference to FIG.

図7に示すように、実施の形態4に係るネブライザ200Cは、実施の形態1に係るネブライザ200と比較した場合に、ならびに、流路形成体を備えておらず、流路部130がケース体110によって構成されている点が主として相違する。すなわち、ケース体110には、ポンプ収容室112、液体貯留部111、混合部M、導出部118、および流路部130が設けられている。 As shown in FIG. 7, nebulizer 200C according to Embodiment 4 does not include a flow path forming body, and flow path portion 130 is different from case body when compared with nebulizer 200 according to Embodiment 1. 110 is the main difference. That is, the case body 110 is provided with a pump housing chamber 112 , a liquid reservoir 111 , a mixing section M, a lead-out section 118 , and a flow path section 130 .

また、実施の形態4に係るネブライザ200Cは、実施の形態2に係るネブライザ200Aと比較した場合に、液体貯留部111およびポンプ収容室112の配置も相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。 Further, nebulizer 200C according to the fourth embodiment differs from nebulizer 200A according to the second embodiment in the arrangement of liquid reservoir 111 and pump storage chamber 112 as well. Other configurations are substantially the same.

実施の形態4においては、第1方向(DR1方向)が、左右方向と平行になっており、第2方向(DR2方向)が、上下方向と平行になっている。すなわち、実施の形態4においては、液体貯留部111とポンプ収容室112とは、上下方向に並ぶように配置されており、第1壁部112aおよび第2壁部112bも、上下方向に並ぶように配置されている。接続壁部112cは、第2方向の他方側における第1壁部112a、および第2壁部112bの両端部を接続する。これら、第1壁部112a、第2壁部112b、および接続壁部112cは、ケース体110の一部によって構成されている。 In Embodiment 4, the first direction (DR1 direction) is parallel to the horizontal direction, and the second direction (DR2 direction) is parallel to the vertical direction. That is, in Embodiment 4, liquid reservoir 111 and pump housing chamber 112 are arranged vertically side by side, and first wall portion 112a and second wall portion 112b are also arranged vertically. are placed in The connection wall portion 112c connects both ends of the first wall portion 112a and the second wall portion 112b on the other side in the second direction. The first wall portion 112a, the second wall portion 112b, and the connection wall portion 112c are part of the case body 110. As shown in FIG.

また、ケース体110は、流路部130を構成する流路形成部119を含む。流路形成部119は、第1部分1191と第2部分1192とを含む。第1部分1191は、第1壁部112aに対向するように配置されており、当該第1壁部112aに沿って延びる。第1部分1191は、第1壁部112a(より特定的には冷却部CP)との間に、流路部130の一部を形成している。第2部分1192は、ノズル部113から噴出された気体の向きを変更するように設けられている。具体的には、第2部分1192は、第1部分1191と第1壁部112aとの間に混合流体が流れるように、ノズル部113から噴出された気体の向きを変更する。 Further, case body 110 includes flow path forming portion 119 that configures flow path portion 130 . Flow path forming portion 119 includes a first portion 1191 and a second portion 1192 . The first portion 1191 is arranged to face the first wall portion 112a and extends along the first wall portion 112a. The first portion 1191 forms part of the flow path portion 130 with the first wall portion 112a (more specifically, the cooling portion CP). The second portion 1192 is provided so as to change the direction of gas ejected from the nozzle portion 113 . Specifically, the second portion 1192 changes the direction of the gas ejected from the nozzle portion 113 so that the mixed fluid flows between the first portion 1191 and the first wall portion 112a.

このように構成される場合においても、流路部130を流れる混合流体によって、第1壁部112aが、ポンプ筐体10を冷却する冷却部として機能するため、実施の形態4に係るネブライザ200Cは、実施の形態1に係るネブライザ200とほぼ同様の効果が得られる。 Even in such a configuration, first wall portion 112a functions as a cooling portion for cooling pump housing 10 by the mixed fluid flowing through channel portion 130. Therefore, nebulizer 200C according to Embodiment 4 is , substantially the same effect as that of the nebulizer 200 according to the first embodiment can be obtained.

(その他の変形例)
上述した実施の形態においては、ノズル部113から噴出された気体によって発生する負圧によって導出部118から液体Wが混合部Mに導出される場合を例示して説明したが、これに限定されず、液体Wを流動させるためのポンプを別途設け、ポンプを駆動させることにより、液体Wが混合部Mに導出されてもよい。また、圧電ポンプ1に液体Wが流れる第1ポンプ室と、気体が流れる第2ポンプ室とが形成されるように圧電ポンプ1を構成してもよい。この場合には、導出路115は、上記第1ポンプ室を通るように設けられる。
(Other modifications)
In the above-described embodiment, the case where the liquid W is led out from the lead-out part 118 to the mixing part M by the negative pressure generated by the gas ejected from the nozzle part 113 has been described as an example, but the present invention is not limited to this. Alternatively, a separate pump may be provided for causing the liquid W to flow, and the liquid W may be led out to the mixing section M by driving the pump. Alternatively, the piezoelectric pump 1 may be configured such that the piezoelectric pump 1 is formed with a first pump chamber through which the liquid W flows and a second pump chamber through which the gas flows. In this case, the lead-out path 115 is provided so as to pass through the first pump chamber.

また、上述した実施の形態においては、混合流体送出装置が、ネブライザである場合を例示して説明したがこれに限定されず、アロマディヒューザーや加湿器にも適用することができる。混合流体送出装置が、加湿器である場合には、液体貯留部に貯留された液体を加熱あるいは超音波振動等によって気化し、気化された液体を導出部118から混合部Mに導出してもよい。この場合には、混合部Mにて、ノズル部113から噴出された気体に、当該気化された液体が混合された混合流体が形成される。 Further, in the above-described embodiment, the case where the mixed fluid delivery device is a nebulizer has been described as an example, but the present invention is not limited to this, and can also be applied to an aroma diffuser or a humidifier. In the case where the mixed fluid delivery device is a humidifier, the liquid stored in the liquid storage section may be vaporized by heating or ultrasonic vibration, and the vaporized liquid may be discharged from the discharge section 118 to the mixing section M. good. In this case, in the mixing section M, a mixed fluid is formed in which the vaporized liquid is mixed with the gas ejected from the nozzle section 113 .

以上、今回発明された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。 As described above, the embodiments invented this time are illustrative in all respects and are not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of claims, and includes all modifications within the meaning and scope of equivalence to the scope of claims.

1,1A1,1A2,1B,1B1,1B2 圧電ポンプ、10,10B ポンプ筐体、10a 第1主面、10b 第2主面、10c 一方側周面部、10d 他方側周面部、11 第1筐体、12 第2筐体、13 収容空間、14 上流側ノズル部、15 下流側ノズル部、17 端子台、20 駆動部、21 ポンプ室、30 第1振動体、31 第1振動板、31a 孔部、40 第2振動体、41 第2振動板、41a 孔部、42 補助振動板、42a 孔部、43 逆止弁、43a 孔部、44 弁体保持部材、44a 孔部、44b 第2端子、50 スペーサ、60 圧電素子、70 第1端子、100 軸線、110 ケース体、111 液体貯留部、112 ポンプ収容室、112a 第1壁部、112b 第2壁部、112c 接続壁部、113 ノズル部、113b 基端、113h ノズル孔、115 導出路、115a 一端、115b 他端、116 還流路、117 液体貯留部、118 導出部、119 流路形成部、120,120C 流路形成体、121 キャップ部、122,122C 案内部、122a 送出口、130 流路部、150 封止部材、200,200A,200B,200C ネブライザ、1151 第1部分、1152 第2部分、1161 第1流路、1162 第2流路、1163 第3流路、1191 第1部分、1192 第2部分、1221 第1部分、1222 第2部分。 1, 1A1, 1A2, 1B, 1B1, 1B2 Piezoelectric pump 10, 10B Pump housing 10a First main surface 10b Second main surface 10c One side peripheral surface 10d Other side peripheral surface 11 First housing , 12 second housing, 13 accommodation space, 14 upstream nozzle portion, 15 downstream nozzle portion, 17 terminal block, 20 driving portion, 21 pump chamber, 30 first vibrating body, 31 first vibrating plate, 31a hole , 40 second vibrating body, 41 second diaphragm, 41a hole, 42 auxiliary diaphragm, 42a hole, 43 check valve, 43a hole, 44 valve body holding member, 44a hole, 44b second terminal, 50 spacer, 60 piezoelectric element, 70 first terminal, 100 axis, 110 case body, 111 liquid reservoir, 112 pump housing chamber, 112a first wall, 112b second wall, 112c connection wall, 113 nozzle, 113b base end, 113h nozzle hole, 115 lead-out path, 115a one end, 115b other end, 116 return path, 117 liquid reservoir, 118 lead-out part, 119 flow path formation part, 120, 120C flow path formation body, 121 cap part, Reference Signs List 122, 122C guide portion 122a delivery port 130 channel portion 150 sealing member 200, 200A, 200B, 200C nebulizer 1151 first portion 1152 second portion 1161 first channel 1162 second channel , 1163 third channel, 1191 first portion, 1192 second portion, 1221 first portion, 1222 second portion.

Claims (4)

噴出された気体と液体とを混合することにより、混合流体を生成して送出口から外部に送出する混合流体送出装置であって、
圧電素子と振動板とを有する圧電振動子、および前記圧電振動子を内部に収容するポンプ筐体を含み、気体を吐出するための圧電ポンプと、
前記圧電ポンプを収容するポンプ収容室と、
液体を貯留する液体貯留部と、
前記混合流体を生成する混合部と、
前記圧電ポンプから吐出された前記気体を前記混合部へ噴出するノズル部と、
液体を前記混合部へ導出する導出部と、
前記送出口と前記混合部とを接続し、前記混合部で生成された前記混合流体を外部へ送出するための流路部と、を備え、
前記流路部が前記ポンプ収容室を形成する壁部の少なくとも一部に沿うように設けられている、混合流体送出装置。
A mixed fluid delivery device that mixes ejected gas and liquid to generate a mixed fluid and delivers it to the outside from a delivery port,
a piezoelectric pump for discharging gas, comprising a piezoelectric vibrator having a piezoelectric element and a diaphragm, and a pump housing housing the piezoelectric vibrator therein;
a pump housing chamber housing the piezoelectric pump;
a liquid reservoir that stores a liquid;
a mixing unit that generates the mixed fluid;
a nozzle section for ejecting the gas discharged from the piezoelectric pump to the mixing section;
a lead-out portion for leading the liquid to the mixing portion;
a flow path section for connecting the delivery port and the mixing section and for delivering the mixed fluid generated in the mixing section to the outside;
A mixed fluid delivery device, wherein the flow path portion is provided along at least a portion of a wall portion forming the pump housing chamber.
前記ポンプ収容室、前記液体貯留部、前記混合部、および前記導出部が設けられたケース体と、
前記ケース体に着脱自在に固定され、前記流路部を形成するための流路形成体と、を備え、
前記ポンプ収容室を形成する前記壁部は、前記ケース体の一部によって構成され、
前記流路形成体は、前記壁部との間に、前記流路部の一部を形成するように構成されている、請求項1に記載の混合流体送出装置。
a case body provided with the pump housing chamber, the liquid storage section, the mixing section, and the lead-out section;
a flow path forming body that is detachably fixed to the case body and forms the flow path section;
the wall portion forming the pump housing chamber is configured by a portion of the case body,
2. The mixed fluid delivery device according to claim 1, wherein said channel forming body is configured to form a part of said channel portion with said wall portion.
前記ポンプ収容室、前記液体貯留部、前記混合部、前記導出部、および前記流路部が設けられたケース体を備え、
前記ポンプ収容室を形成する前記壁部は、前記ケース体の一部によって構成され、
前記ケース体は、前記流路部を形成するための流路形成部を含み、
前記流路形成部は、前記壁部との間に、前記流路部の一部を形成するように設けられている、請求項1に記載の混合流体送出装置。
A case body provided with the pump housing chamber, the liquid storage section, the mixing section, the outlet section, and the flow path section,
The wall portion forming the pump housing chamber is configured by a part of the case body,
The case body includes a flow channel forming portion for forming the flow channel portion,
2. The mixed fluid delivery device according to claim 1, wherein said channel forming portion is provided so as to form a part of said channel portion between said wall portion.
前記ケース体には、外部に送出されずに残留した残留液体を前記混合部から前記液体貯留部に還流する還流路が設けられており、
前記還流路は、前記ポンプ筐体の少なくとも一部に接触するように設けられている、請求項2または3に記載の混合流体送出装置。
The case body is provided with a return path for returning residual liquid remaining without being delivered to the outside from the mixing section to the liquid storage section,
The mixed fluid delivery device according to claim 2 or 3, wherein the return path is provided so as to contact at least a portion of the pump housing.
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