JP7322698B2 - ミラー駆動機構 - Google Patents
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Description
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。本開示に係るミラー駆動機構は、貫通孔を有する板状のベース部と、ミラーを含み、貫通孔内に配置されるミラー部と、貫通孔を取り囲むベース部の内壁面とミラー部の外縁とを連結し、ミラー部を揺動可能に支持する板状の支持部と、ミラー部の外縁に接続されており、支持部の揺動の中心軸に平行な面である抵抗面を有する抵抗体と、を備える。支持部は、支持部の揺動の中心軸に直交する方向にそれぞれ延び、互いに平行に配置される複数の第1部分と、隣り合う第1部分の長手方向の一方側の端部同士および他方側の端部同士を交互に接続する第2部分と、複数の第1部分のそれぞれの長手方向に沿って延び、第1部分に対応する領域における、厚み方向の一方側に位置する面上に配置される圧電素子と、を含む。
次に、本開示のミラー駆動機構の一実施形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付しその説明は繰り返さない。
本開示の実施の形態1に係るミラー駆動機構について説明する。図1は、実施の形態1におけるミラー駆動機構を示す概略平面図である。図2は、実施の形態1におけるミラー駆動機構を線分II-IIで切断した場合の概略断面図である。図3は、実施の形態1におけるミラー駆動機構を線分III-IIIで切断した場合の概略断面図である。
次に、他の実施の形態である実施の形態2について説明する。図4は、実施の形態2におけるミラー駆動機構において、図1における線分II-IIに相当する線分で切断した場合の概略断面図である。図5は、実施の形態2におけるミラー駆動機構を図4中の線分V-Vで切断した場合の概略断面図である。実施の形態2のミラー駆動機構は、第1部分が厚肉部を有する点において実施の形態1の場合とは異なっている。
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態3について説明する。図6は、実施の形態3におけるミラー駆動機構において、第1部分が配置される領域の概略平面図である。図7は、実施の形態3におけるミラー駆動機構を図6中の線分VII-VIIで切断した場合の概略断面図である。実施の形態3のミラー駆動機構は、厚肉部がリブである点において実施の形態2の場合とは異なっている。
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態4について説明する。図8は、実施の形態4におけるミラー駆動機構において、第1部分が配置される領域の概略平面図である。図9は、実施の形態4におけるミラー駆動機構を図8中の線分IX-IXで切断した場合の概略断面図である。実施の形態4のミラー駆動機構は、複数のリブを備える点において実施の形態3の場合とは異なっている。
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態5について説明する。図10は、実施の形態5におけるミラー駆動機構において、第1部分が配置される領域の概略平面図である。図11は、実施の形態5におけるミラー駆動機構を図10中の線分XI-XIで切断した場合の概略断面図である。図12は、実施の形態5におけるミラー駆動機構を図10中の線分XII-XIIで切断した場合の概略断面図である。図11および図12に示す断面は、Y方向の位置が異なっている断面である。実施の形態5のミラー駆動機構は、リブが第1部分の長手方向の途中で分岐している点において実施の形態3の場合とは異なっている。
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態6について説明する。図13は、実施の形態6におけるミラー駆動機構において、第1部分が配置される領域の概略平面図である。図14は、実施の形態6におけるミラー駆動機構を図13中の線分XIV-XIVで切断した場合の概略断面図である。実施の形態6のミラー駆動機構は、リブが第1部分の長手方向に蛇行しながら延びている点において実施の形態3の場合とは異なっている。
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態7について説明する。図15は、実施の形態7におけるミラー駆動機構において、第1部分が配置される領域の概略平面図である。図16は、実施の形態7におけるミラー駆動機構を図16中の線分XVI-XVIで切断した場合の概略断面図である。実施の形態7のミラー駆動機構において、厚肉部は、平面視において正六角柱状の部材を等間隔で除去した形状であって、残部の幅が同じになるように構成されている点において実施の形態2の場合とは異なっている。
なお、上記の実施の形態においては、複数の第1部分の全てが厚肉部を有することとしたが、これに限らず、複数の第1部分のうちの少なくともいずれか一つが、上記厚肉部を有する構成としてもよい。厚肉部を一つだけ形成するのであれば、複数の第1部分のうち、最もミラー部に近い位置に配置される第1部分に形成するのが良い。このような第1部分は、最も変形量が大きく、不要な振動の発生による画質への影響が大きいためである。
12 ベース部
13 第1貫通孔
14 ミラー部
15 ミラー
15a ミラー面
16 第2貫通孔
17a,17b 軸部
18,22 内壁面
19,23 外縁
21a,21b,21c,21d,36a,36b,36c,36d,36e,36f,36g,36h ピエゾ素子
24a,24b 中心軸
25 揺動部
31a 支持部
32a,32b,32c,32d,32e,32f,32g,32h,32i,32j,32k,32m,32n 第1部分
33a,33b,33c,33d,33e,33f 第2部分
34a,34b,34c,34d 連結部
35a 面
37d,37n 厚肉部
37i,37j,37k,37m,38j リブ
41k,42k,44k,45k 分岐領域
43k 中央領域
61a,61b 抵抗体
62a,62b 抵抗面
63a,63b 伸張部
64a,64b 接続部
Claims (3)
- 貫通孔を有する板状のベース部と、
ミラーを含み、前記貫通孔内に配置されるミラー部と、
前記貫通孔を取り囲む前記ベース部の内壁面と前記ミラー部の外縁とを連結し、前記ミラー部を揺動可能に支持する板状の支持部と、
前記ミラー部の外縁に接続されており、前記支持部の揺動の中心軸に平行な面である抵抗面を有する抵抗体と、を備え、
前記支持部は、
前記支持部の揺動の中心軸に直交する方向にそれぞれ延び、互いに平行に配置される複数の第1部分と、
隣り合う前記第1部分の長手方向の一方側の端部同士および他方側の端部同士を交互に接続する第2部分と、
前記複数の第1部分のそれぞれの長手方向に沿って延び、前記第1部分に対応する領域における、厚み方向の一方側に位置する面上に配置される圧電素子と、を含み、
前記抵抗体は、
前記支持部の揺動の中心軸に沿って延びる伸張部と、
前記伸張部と前記ミラー部の外縁とを接続する接続部と、を含み、
前記伸張部は、前記支持部の揺動の中心軸方向において、前記複数の第1部分が配置される位置まで延びている、ミラー駆動機構。 - 前記抵抗体は、前記支持部の揺動の中心軸に直交する方向における前記ミラー部の外縁に一対配置される、請求項1に記載のミラー駆動機構。
- 前記複数の第1部分のうちの少なくともいずれか一つは、前記第1部分の長手方向に延び、前記第2部分の厚みよりも厚い厚肉部を有する、請求項1または請求項2に記載のミラー駆動機構。
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