JP7312622B2 - 光照射装置、光照射方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
(装置全体構成)
本実施形態に係る光照射装置1は、基板の表面に形成されている感光性被膜又は感光性パターンに対しエネルギー線を照射する装置である。基板の具体例としては、半導体ウェハが挙げられる。感光性被膜の具体例としてはレジスト膜が挙げられる。感光性パターンの具体例としては、レジスト膜の現像処理により形成されたレジストパターンが挙げられる。
続いて、ガス吐出部80の構成を詳細に例示する。図2に示すように、ガス吐出部80は、包囲部81と、バッファ空間82と、スリット83と、通気孔84とを有する。包囲部81は、窓部15の表面を囲むように隔壁13に設けられている。包囲部81は、窓部15の表面を囲む環状部において、窓部15の表面よりもウェハW側(下方)に膨出している。
以上においては、線源室12からバッファ空間82に処理用ガスを供給する構成を例示したがこれに限られない。例えば図3~図5に示すように、光照射装置1は、隔壁13に沿うように設けられたガス流路16によりバッファ空間82に処理用ガスを供給するように構成されていてもよい。ガス流路16は、隔壁13内に形成される。隔壁13には、ガス流路16と線源室12との間を貫通する少なくとも一箇所の通気孔17が形成されていてもよい。この構成において、ガス吐出部80は上記通気孔84を有しない。
例えば図6に示すように、排気部90は、処理室11内におけるウェハWの配置領域を囲む複数箇所から排気ポンプ91にガスを導く排気誘導部93を更に有してもよい。例えば排気誘導部93は、ウェハWの配置領域を挟む2本の排気管94と、2本の排気管94の端部同士を接続する接続管95とを有する。排気管94には、その長手方向に並ぶ複数の排気口96が形成されている。各排気口96は、例えばウェハWの配置領域側に開口している。接続管95はバルブ92を介して排気ポンプ91に接続されている。
光照射装置1は、コントローラ900を更に備えていてもよい。コントローラ900は、複数の窓部15を通して、線源30から処理室11内のウェハWにエネルギー線を照射するようにシャッター40を制御することと、少なくともウェハWにエネルギー線が照射される期間に、複数のガス吐出部80から、複数の窓部15の表面に沿って不活性ガスを吐出するように処理用ガス供給部70及び排気部90を制御することと、を実行する。
続いて、光照射方法の一例として、光照射装置1が実行する光照射手順を例示する。この手順は、ウェハWを収容する処理室11と、エネルギー線の線源30を収容する線源室12とを仕切る隔壁13に設けられた複数の窓部15を通して、線源30から処理室11内のウェハWにエネルギー線を照射することと、少なくともウェハWにエネルギー線が照射される期間に、処理室11内において複数の窓部15の周囲にそれぞれ設けられた複数のガス吐出部80から、複数の窓部15の表面に沿って不活性ガスを吐出することと、を含む。
以上に説明したように、光照射装置1は、ウェハWを収容する処理室11と、エネルギー線の線源30を収容する線源室12と、処理室11と線源室12とを仕切る隔壁13と、線源30から処理室11内のウェハWに向かって出射されたエネルギー線を透過させるように隔壁13に設けられた複数の窓部15と、処理室11内において複数の窓部15の周囲にそれぞれ設けられ、複数の窓部15の表面に沿って不活性ガスを吐出する複数のガス吐出部80と、を備える。
Claims (11)
- 基板を収容する処理室と、
エネルギー線の線源を収容する線源室と、
前記処理室と前記線源室とを仕切る隔壁と、
前記処理室内の前記基板における互いに異なる部位にそれぞれ対向するように前記隔壁に設けられ、前記線源から前記基板に向かって出射されたエネルギー線を透過させる複数の窓部と、
前記処理室内において前記複数の窓部の周囲にそれぞれ設けられ、前記複数の窓部の表面に沿って不活性ガスを吐出する複数のガス吐出部と、
前記複数のガス吐出部に前記不活性ガスを供給するガス流路と、
を備え、
前記複数のガス吐出部のそれぞれは、
対応する窓部を囲むように隔壁に設けられた包囲部と、
前記窓部の表面を囲むように前記包囲部内に設けられた第1バッファ空間と、
前記第1バッファ空間を更に囲むように前記包囲部内に形成され、少なくとも一箇所で前記ガス流路に接続された第2バッファ空間と、を有し、
前記第1バッファ空間と前記第2バッファ空間とは前記窓部の表面を囲む複数個所で接続されており、
前記第1バッファ空間内から前記窓部の中心に集まるように前記不活性ガスを吐出する、光照射装置。 - 前記処理室内にて前記隔壁に重なった第2隔壁を更に備え、
前記複数のガス吐出部のそれぞれの前記包囲部は、前記第2隔壁の一部であり、
前記第2隔壁は、
前記隔壁に向かって開口し、前記複数のガス吐出部の前記第1バッファ空間をそれぞれ構成する複数の第1環状溝と、
前記隔壁に向かって開口し、前記複数のガス吐出部の前記第2バッファ空間をそれぞれ構成する複数の第2環状溝と、
前記隔壁に向かって開口し、前記ガス流路を構成する少なくとも一本の線状溝と、を有する、請求項1記載の光照射装置。 - 前記少なくとも一本の線状溝は、
互いに別の前記第2バッファ空間に接続された複数の線状溝と、
前記複数の線状溝同士を接続する線状溝と、を含む、請求項2記載の光照射装置。 - 前記複数のガス吐出部のそれぞれは、前記バッファ空間内から前記窓部の中心に向けて前記不活性ガスを導出するように、前記窓部の表面の外周に沿って前記包囲部の内周面に開口するスリットから、前記窓部の中心に集まるように前記不活性ガスを吐出する、請求項1~3のいずれか一項記載の光照射装置。
- 前記線源室に前記不活性ガスを供給するガス供給部を更に備え、
前記複数のガス吐出部のそれぞれは、前記線源室から前記バッファ空間に前記不活性ガスを導入するように前記隔壁に設けられた通気孔を更に有する、請求項1~4のいずれか一項記載の光照射装置。 - 前記隔壁に沿うように設けられ、前記複数のガス吐出部の前記バッファ空間に前記不活性ガスを供給する少なくとも一本のガス流路と、
前記ガス流路に前記不活性ガスを供給するガス供給部と、を更に備える、請求項1~5のいずれか一項記載の光照射装置。 - 前記複数のガス吐出部のそれぞれから前記窓部の中心に集まった前記不活性ガスを前記処理室内の前記基板側に導いて前記処理室外に排出する排気部を更に備える、請求項1~6のいずれか一項記載の光照射装置。
- 前記排気部は、
前記処理室内における前記基板の配置領域を挟む2本の排気管と、
前記2本の排気管のそれぞれにおいて長手方向に沿って並び、前記2本の排気管内にガスを導く複数の排気口と、
前記2本の排気管の端部同士を接続し、前記複数の排気口から2本の排気管内に流入したガスを排気ポンプに導く接続管と、を有する、請求項7記載の光照射装置。 - 基板を収容する処理室と、エネルギー線の線源を収容する線源室とを仕切る隔壁に設けられた複数の窓部を通して、前記線源から前記処理室内の前記基板にエネルギー線を照射することと、
少なくとも前記基板に前記エネルギー線が照射される期間に、前記処理室内において前記複数の窓部の周囲にそれぞれ設けられた複数のガス吐出部に、ガス流路によってガスを供給し、前記複数のガス吐出部から、前記複数の窓部の表面にそれぞれ沿って不活性ガスを吐出することと、を含み、
前記複数のガス吐出部のそれぞれは、
対応する窓部を囲むように隔壁に設けられた包囲部と、
前記窓部の表面を囲むように前記包囲部内に設けられた第1バッファ空間と、
前記第1バッファ空間を更に囲むように前記包囲部内に形成され、少なくとも一箇所で前記ガス流路に接続された第2バッファ空間と、を有し、
前記第1バッファ空間と前記第2バッファ空間とは前記窓部の表面を囲む複数個所で接続されており、
前記ガス流路により、前記複数のガス吐出部のそれぞれの前記第2バッファ空間にガスを供給し、前記第1バッファ空間から前記対応する窓部の中心に集まるように前記不活性ガスを吐出する、光照射方法。 - 前記第1バッファ空間内から前記窓部の中心に向けて前記不活性ガスを導出するように、前記窓部の表面の外周に沿って前記包囲部の内周面に開口するスリットから、前記窓部の中心に集まるように前記不活性ガスを吐出する、請求項9記載の光照射方法。
- 請求項9又は10記載の光照射方法を装置に実行させるためのプログラムを記憶した、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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