JP7312579B2 - 偏心量検出装置及び偏心量検出方法 - Google Patents
偏心量検出装置及び偏心量検出方法 Download PDFInfo
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Description
11 :搬送ロボット
11a :アーム部
11b :チャック部
12 :ワークテーブル
12B :ワークテーブル
12a :上面
12b :外周縁
13 :カメラ
13a :画角
13a :対角線
13a1 :対角線
13a2 :対角線
13b1 :交点
13b2 :交点
13b3 :交点
13b4 :交点
14 :制御部
15 :回転駆動部
16 :フラット照明光源体
16a :発光面
17 :照明光
O :軸中心
W :ウエハ
Wa :外周縁
Claims (7)
- ウエハの基準位置と前記ウエハを載置するワークテーブルの基準位置との偏心量を検出する偏心量検出装置であって、
前記ウエハの外形よりも大きく、かつ、光透過性の部材で形成された前記ワークテーブルと、
前記ワークテーブルの裏面側に設けられ、前記ワークテーブルの外周縁が発光面内に位置するように位置決めされた照明光源体と、
前記ワークテーブルの表面側に配置されて、前記ワークテーブル上の前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁とを同時に撮像するカメラと、
前記カメラで撮像された画像から前記ワークテーブルの基準位置及び前記ウエハの基準位置を検出し、前記ワークテーブル及び前記ウエハの基準位置に基づいて前記ワークテーブルの基準位置に対する前記ウエハの基準位置の偏心量を算出する制御部と、
を備えることを特徴とする偏心量検出装置。 - 前記ウエハの基準位置を前記ウエハの中心に設定し、前記ワークテーブルの基準位置を前記ワークテーブルの中心位置に設定してなるとともに、
前記制御部は、前記カメラで撮像した画像の前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁から前記ワークテーブルの前記中心に対する前記ウエハの前記中心の偏心量を算出する、ことを特徴とする請求項1に記載の偏心量検出装置。 - 前記ワークテーブルは、載置された前記ウエハを全面吸着して保持する、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の偏心量検出装置。
- 前記ワークテーブルは、前記ウエハを保持して回転可能で、
前記制御部は、前記ウエハを保持した前記ワークテーブルを任意の角度ずつ回転させて、その回転角度毎に得られる前記各画像から前記偏心量を算出する、ことを特徴とする請求項1、2又は3に記載の偏心量検出装置。 - ウエハの基準位置と前記ウエハを載置するワークテーブルの基準位置との偏心量を検出する偏心量検出方法であって、
前記ウエハの外形よりも大きい光透過性を有する部材で形成した前記ワークテーブルの上に前記ウエハを載置し、
前記ワークテーブルの裏面側に配置され、前記ワークテーブルの外周縁が発光面内に位置するように位置決めされた照明光源体から前記ワークテーブルの裏面に光を照射し、
前記ワークテーブルの表面側に配置したカメラで前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁とを同時に撮像し、
制御部が、前記カメラで撮像された画像から前記ワークテーブルの基準位置及び前記ウエハの基準位置を検出し、前記ワークテーブル及び前記ウエハの基準位置に基づいて前記ワークテーブルの基準位置に対する前記ウエハの基準位置の偏心量を検出する、ことを特徴とする偏心量検出方法。 - 前記ウエハを保持した前記ワークテーブルを任意の角度ずつ回転させ、前記ワークテーブルの回転角度毎に得られる前記各画像から前記ワークテーブルの中心に対する前記ウエハの中心の偏心量を算出する、ことを特徴とする請求項5に記載の偏心量検出方法。
- 前記ウエハの外周縁と前記ワークテーブルの外周縁の撮像は、前記ワークテーブル上に前記ウエハを全面吸着保持して行う、ことを特徴とする請求項5又は6に記載の偏心量検出方法。
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