JP7312011B2 - Mask manufacturing method and mask manufacturing apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、メタルマスクを製造するためのマスク製造方法及びマスク製造装置に関するものである。 The present invention relates to a mask manufacturing method and mask manufacturing apparatus for manufacturing a metal mask.

従来、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用されるメタルマスクを製造する際に、張力装置で帯状のメタルマスクシートに一定の張力を付与することにより歪みや弛みのない状態でメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに貼り付けるマスク製造装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, when manufacturing a metal mask used for vacuum deposition of an organic light-emitting layer in the manufacturing process of an organic EL device, a tension device is used to apply a constant tension to a strip-shaped metal mask sheet to reduce distortion and slack. There is known a mask manufacturing apparatus that affixes a metal mask sheet to a frame-shaped metal mask frame without a metal mask sheet (see, for example, Patent Document 1).

特開２０１５－１０１２号公報Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2015-1012

特許文献１に記載のマスク製造装置においては、メタルマスクシートをメタルマスクフレームに貼り付ける際、貼付の前後におけるメタルマスクフレームの変形を防止するために、予めメタルマスクフレームの両側部をメタルマスクフレームの開口部に向けて押圧することによりメタルマスクフレームを変形させる。このとき、メタルマスクフレームをテーブル上に載置した状態で、メタルマスクフレームを押圧し変形させているため、メタルマスクフレームとテーブルとの間の摩擦力やメタルマスクフレームの摩擦力に対する応力等によりメタルマスクフレームが所望の形状とならず、メタルマスクを設計通りに製造することができないという問題があった。 In the mask manufacturing apparatus described in Patent Document 1, when attaching the metal mask sheet to the metal mask frame, both sides of the metal mask frame are preliminarily attached to the metal mask frame in order to prevent deformation of the metal mask frame before and after attachment. The metal mask frame is deformed by pressing toward the opening of the . At this time, since the metal mask frame is pressed and deformed while it is placed on the table, the frictional force between the metal mask frame and the table and the stress caused by the frictional force of the metal mask frame cause the deformation. There was a problem that the metal mask frame did not have a desired shape and the metal mask could not be manufactured as designed.

本発明の目的は、メタルマスクの寸法精度を向上させることができるマスク製造方法及びマスク製造装置を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a mask manufacturing method and a mask manufacturing apparatus capable of improving the dimensional accuracy of a metal mask.

本発明のマスク製造方法は、帯状のメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに溶接することによりメタルマスクを製造するマスク製造方法であって、前記メタルマスクフレームをテーブルに載置した状態で、前記メタルマスクフレームの側部を前記メタルマスクフレームに形成されている開口部に向けて押圧することにより、前記メタルマスクフレームを変形させる押圧工程と、前記側部を押圧した状態で、前記テーブルに形成された気体孔から供給される気体を前記メタルマスクフレームの下面に噴射する噴射工程と、前記噴射工程による前記気体の噴射を停止する停止工程と、前記メタルマスクフレームの変形量を計測する計測工程と、前記変形量が所定範囲内であるか否かを判定する判定工程と、前記判定工程において前記変形量が前記所定範囲内であると判定された場合、前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する溶接工程と、を含むことを特徴とする。 A mask manufacturing method of the present invention is a mask manufacturing method for manufacturing a metal mask by welding a strip-shaped metal mask sheet to a frame-shaped metal mask frame, wherein the metal mask frame is placed on a table, a pressing step of deforming the metal mask frame by pressing a side portion of the metal mask frame toward an opening formed in the metal mask frame; an injection step of injecting the gas supplied from the formed gas holes onto the lower surface of the metal mask frame; a stopping step of stopping injection of the gas by the injection step; and a measurement of measuring a deformation amount of the metal mask frame. a determining step of determining whether the amount of deformation is within a predetermined range; and if the amount of deformation is determined to be within the predetermined range in the determining step, the metal mask sheet is replaced with the metal mask. and a welding step of welding to the frame.

また、本発明のマスク製造方法は、前記噴射工程が前記気体孔から供給された前記気体を前記テーブル上に形成された流路溝を介して前記メタルマスクフレームの下面に噴射することを特徴とする。 Further, in the mask manufacturing method of the present invention, the injection step is characterized in that the gas supplied from the gas hole is injected onto the lower surface of the metal mask frame through a channel groove formed on the table. do.

また、本発明のマスク製造方法は、前記判定工程において前記変形量が前記所定範囲内でないと判定された場合、前記判定工程による判定結果に基づいて前記押圧工程による押圧力を調整する調整工程を含み、前記調整工程により調整された前記押圧力で前記押圧工程、前記噴射工程、前記停止工程及び前記計測工程を再度行なうことを特徴とする。 Further, in the mask manufacturing method of the present invention, when it is determined in the determining step that the amount of deformation is not within the predetermined range, the adjustment step of adjusting the pressing force in the pressing step based on the determination result in the determining step is performed. and performing the pressing step, the injection step, the stopping step, and the measuring step again with the pressing force adjusted in the adjusting step.

また、本発明のマスク製造方法は、前記メタルマスクが複数の前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接することにより製造され、前記押圧工程、前記噴射工程、前記停止工程及び前記計測工程は、前記溶接工程において前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する度に行なうことを特徴とする。 Further, in the mask manufacturing method of the present invention, the metal mask is manufactured by welding a plurality of the metal mask sheets to the metal mask frame, and the pressing step, the injection step, the stopping step and the measuring step include: The welding step is performed each time the metal mask sheet is welded to the metal mask frame.

また、本発明のマスク製造装置は、帯状のメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに溶接してメタルマスクを製造するマスク製造装置であって、前記メタルマスクフレームを載置するテーブルと、前記メタルマスクフレームの側部を前記メタルマスクフレームに形成されている開口部に向けて押圧することにより、前記メタルマスクフレームを変形させる押圧部と、前記テーブルに形成された気体孔から前記テーブル上に形成された流路溝を介して、気体を前記押圧部により変形された前記メタルマスクフレームの下面に噴射する噴射部と、前記噴射部による前記気体の噴射を停止した後に前記メタルマスクフレームの変形量を計測する計測部と、前記変形量が所定範囲内であるか否かを判定する判定部と、前記判定部において前記変形量が前記所定範囲内であると判定された場合、前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する溶接部と、を備えることを特徴とする。 A mask manufacturing apparatus according to the present invention is a mask manufacturing apparatus for manufacturing a metal mask by welding a strip-shaped metal mask sheet to a frame-shaped metal mask frame, comprising: a table on which the metal mask frame is placed; a pressing portion that deforms the metal mask frame by pressing the side portion of the metal mask frame toward an opening formed in the metal mask frame; an injection unit that injects gas through the formed flow channel groove onto the lower surface of the metal mask frame deformed by the pressing unit; and deformation of the metal mask frame after the injection of the gas by the injection unit is stopped. a measuring unit for measuring an amount, a determining unit for determining whether the amount of deformation is within a predetermined range, and if the determining unit determines that the amount of deformation is within the predetermined range, the metal mask and a welding part for welding the sheet to the metal mask frame.

また、本発明のマスク製造装置は、前記判定部において前記変形量が前記所定範囲内でないと判定された場合、前記押圧部は前記メタルマスクフレームの側部を、調整変更された押圧力で再度押圧し、前記噴射部は前記気体を前記メタルマスクフレームの下面に再度噴射し、前記計測部は前記変形量を再度計測することを特徴とする。 Further, in the mask manufacturing apparatus of the present invention, when the determining unit determines that the deformation amount is not within the predetermined range, the pressing unit presses the side portion of the metal mask frame again with the adjusted and changed pressing force. The pressure is applied, the injection section injects the gas to the lower surface of the metal mask frame again, and the measurement section measures the deformation amount again.

また、本発明のマスク製造装置は、前記メタルマスクが複数の前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接することにより製造され、前記溶接部において前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する度に、前記押圧部は前記メタルマスクフレームの側部を押圧し、前記噴射部は前記気体を前記メタルマスクフレームの下面に噴射し、前記計測部は前記変形量を計測し、前記判定部は前記変形量が前記所定範囲内であるか否かを判定することを特徴とする。 Further, in the mask manufacturing apparatus of the present invention, the metal mask is manufactured by welding a plurality of the metal mask sheets to the metal mask frame, and each time the metal mask sheet is welded to the metal mask frame at the welding portion, The pressing portion presses the side portion of the metal mask frame, the injection portion injects the gas to the lower surface of the metal mask frame, the measurement portion measures the deformation amount, and the determination portion measures the deformation amount. It is characterized by determining whether or not the amount of deformation is within the predetermined range.

本発明のマスク製造方法及びマスク製造装置によれば、メタルマスクの寸法精度を向上させることができる。 According to the mask manufacturing method and the mask manufacturing apparatus of the present invention, it is possible to improve the dimensional accuracy of the metal mask.

実施の形態に係るマスク製造装置の概略構成を示す斜視図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows schematic structure of the mask manufacturing apparatus which concerns on embodiment. 実施の形態に係るメタルマスクの構成を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the configuration of a metal mask according to the embodiment; 実施の形態に係るテーブルの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the table which concerns on embodiment. 実施の形態に係る噴射部の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the injection part which concerns on embodiment. 実施の形態に係る押圧部の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the press part which concerns on embodiment. 実施の形態に係るマスク製造装置のシステム構成を示すブロック図である。1 is a block diagram showing a system configuration of a mask manufacturing apparatus according to an embodiment; FIG. 実施の形態に係るマスク製造方法について説明するためのフローチャートである。4 is a flowchart for explaining a mask manufacturing method according to an embodiment;

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係るマスク製造装置について、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用されるメタルマスクを製造するメタルマスク製造装置を例に挙げて説明する。図１は、この実施の形態に係るメタルマスク製造装置の概略構成を示す斜視図である。なお、以下の説明においては、図１に示すＸＹＺ直交座標系を設定し、この直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係等について説明する。ＺＸ平面は、メタルマスク製造装置を載置する水平面に平行な面に設定されており、Ｙ軸は、鉛直方向に設定されている。 Hereinafter, with reference to the drawings, a mask manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described as a metal mask manufacturing apparatus for manufacturing a metal mask used when vacuum-depositing an organic light-emitting layer in a manufacturing process of an organic EL element. An example will be described. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a metal mask manufacturing apparatus according to this embodiment. In the following description, the XYZ orthogonal coordinate system shown in FIG. 1 is set, and the positional relationship of each member will be described with reference to this orthogonal coordinate system. The ZX plane is set parallel to the horizontal plane on which the metal mask manufacturing apparatus is placed, and the Y axis is set in the vertical direction.

メタルマスク製造装置２は、帯状のメタルマスクシート１８（図２参照）を枠状のメタルマスクフレーム２０（図２参照）に溶接することによりメタルマスク１６（図２参照）を製造するための装置であって、図１に示すように、テーブル４、押圧部５ａ～５ｆ、張力部６、計測部９、溶接部１０、及び基台１４を備えている。図２は、実施の形態に係るメタルマスク製造装置２により製造されるメタルマスク１６を示す図である。図２に示すように、メタルマスク１６は、複数のメタルマスクシート１８の両端部をメタルマスクフレーム２０の対向する二辺に順次溶接することにより製造され、有機ＥＬ素子の製造工程において有機材の真空蒸着を行う際に使用される。メタルマスクシート１８には、複数の正方形状、円形状、長方形状等の開口パターンがエッチングなどにより形成されている。 The metal mask manufacturing apparatus 2 is an apparatus for manufacturing a metal mask 16 (see FIG. 2) by welding a strip-shaped metal mask sheet 18 (see FIG. 2) to a frame-shaped metal mask frame 20 (see FIG. 2). As shown in FIG. 1, it comprises a table 4, pressing portions 5a to 5f, a tensioning portion 6, a measuring portion 9, a welding portion 10, and a base . FIG. 2 shows a metal mask 16 manufactured by the metal mask manufacturing apparatus 2 according to the embodiment. As shown in FIG. 2, the metal mask 16 is manufactured by successively welding both ends of a plurality of metal mask sheets 18 to two opposing sides of a metal mask frame 20. In the manufacturing process of the organic EL element, organic materials are used. Used for vacuum deposition. The metal mask sheet 18 is formed with a plurality of square, circular, rectangular opening patterns by etching or the like.

図３はメタルマスク製造装置２のテーブル４の構成を示す平面図である。テーブル４は、メタルマスクフレーム２０を載置するためのテーブルであって、図３に示すように、矩形状のガラステーブル２２及びメタルマスクフレーム２０を載置するセラミック製のフレーム２４を備えている。フレーム２４の中央部には矩形状の開口部が形成されており、開口部にはガラステーブル２２が配置される。フレーム２４には、エアーを噴射する噴射部２６（図６参照）が設けられている。噴射部２６は、複数のバルブ２８ａ～２８ｄ、複数の気体孔３０ａ～３０ｄ、及び複数の流路溝３２ａ～３２ｄを備えている。噴射部２６は、メタルマスクシート２０をテーブル４（フレーム２４）に載置した状態で、気体孔３０ａ～３０ｄから流路溝３２ａ～３２ｄを介して、エアーを押圧部５ａ～５ｆにより変形されたメタルマスクフレーム２０の下面に噴射する。 FIG. 3 is a plan view showing the configuration of the table 4 of the metal mask manufacturing apparatus 2. As shown in FIG. The table 4 is a table for placing the metal mask frame 20. As shown in FIG. 3, the table 4 includes a rectangular glass table 22 and a ceramic frame 24 for placing the metal mask frame 20. . A rectangular opening is formed in the center of the frame 24, and the glass table 22 is arranged in the opening. The frame 24 is provided with an injection portion 26 (see FIG. 6) for injecting air. The injection section 26 includes a plurality of valves 28a-28d, a plurality of gas holes 30a-30d, and a plurality of flow channels 32a-32d. In a state in which the metal mask sheet 20 is placed on the table 4 (frame 24), the injection section 26 ejects air from the gas holes 30a to 30d through the channel grooves 32a to 32d and deformed by the pressing sections 5a to 5f. It is sprayed onto the lower surface of the metal mask frame 20 .

エアーはバルブ２８ａ～２８ｄから供給され、２個のバルブ２８ａはフレーム２４の＋Ｚ方向側の側面に、２個のバルブ２８ｂはフレーム２４の－Ｚ方向側の側面に、２個のバルブ２８ｃはフレーム２４の＋Ｘ方向側の側面に、２個のバルブ２８ｄはフレーム２４の－Ｘ方向側の側面にそれぞれ設けられている。 Air is supplied from valves 28a to 28d, two valves 28a on the +Z side of the frame 24, two valves 28b on the -Z side of the frame 24, and two valves 28c on the frame. Two valves 28d are provided on the side surface of the frame 24 on the +X direction side, and on the side surface of the frame 24 on the -X direction side.

また、気体孔３０ａ～３０ｄは、バルブ２８ａ～２８ｄから供給されたエアーをフレーム２４の表面（＋Ｙ方向側の面）へと導く流路である。６個の気体孔３０ａはフレーム２４の＋Ｚ方向側に、６個の気体孔３０ｂはフレーム２４の－Ｚ方向側に、８個の気体孔３０ｃはフレーム２４の＋Ｘ方向側に、８個の気体孔３０ｄはフレーム２４の－Ｘ方向側にそれぞれ設けられている。 Further, the gas holes 30a to 30d are channels for guiding the air supplied from the valves 28a to 28d to the surface of the frame 24 (surface on the +Y direction side). Six gas holes 30a are on the +Z direction side of the frame 24, six gas holes 30b are on the -Z direction side of the frame 24, eight gas holes 30c are on the +X direction side of the frame 24, and eight gas holes The holes 30d are provided on the -X direction side of the frame 24, respectively.

また、流路溝３２ａ～３２ｄは、気体孔３０ａ～３０ｄを経たエアーをフレーム２４の表面内において流す溝である。６個の流路溝３２ａはフレーム２４の＋Ｚ方向側の表面に、６個の流路溝３２ｂはフレーム２４の－Ｚ方向側の表面に、８個の流路溝３２ｃはフレーム２４の＋Ｘ方向側の表面に、８個の流路溝３２ｄはフレーム２４の－Ｘ方向側の表面にそれぞれ設けられている。 Further, the flow channel grooves 32a to 32d are grooves that allow the air that has passed through the gas holes 30a to 30d to flow within the surface of the frame 24. As shown in FIG. Six flow grooves 32a are formed on the surface of the frame 24 in the +Z direction, six flow grooves 32b are formed on the surface of the frame 24 in the -Z direction, and eight flow grooves 32c are formed on the +X direction of the frame 24. Eight flow channel grooves 32d are provided on the -X direction side surface of the frame 24, respectively.

なお、この実施の形態においては、８個のバルブ２８ａ～２８ｄを備えているが７個以下９個以上であってもよい。同様に、２８個の気体孔３０ａ～３０ｄを備えているが２７個以下２９個以上であってもよく、２８個の流路溝３２ａ～３２ｄを備えているが２７個以下２９個以上であってもよい。 Although eight valves 28a to 28d are provided in this embodiment, the number may be seven or less and nine or more. Similarly, 28 gas holes 30a to 30d are provided, but the number may be 29 or less, and 28 flow grooves 32a to 32d are provided, but 27 or less but 29 or more. may

図４は、噴射部２６（バルブ２８ａ、気体孔３０ａ及び流路溝３２ａ）の構成について説明するための拡大図である。バルブ２８ａから供給されたエアーは、気体孔３０ａを介してフレーム２４の表面から排出され、フレーム２４の表面に形成されている流路溝３２ａを流れ、流路溝３２ａから＋Ｙ方向に向けて噴射する。即ち、エアーは、フレーム２４の表面からフレーム２４上に載置されるメタルマスクフレーム２０の下面に噴射される。メタルマスクフレーム２０は、その下面にエアーが噴射されることによりテーブル４（フレーム２４）から押し上げられる。なお、流路溝３２ａは、フレーム２４の表面に設けられているネジ穴等を回避する領域且つ機械加工可能な領域に設けられ、流路溝３２ａの面積（流路溝３２ａの幅）及び流路溝３２ａの深さは、メタルマスクフレーム２０を適度に押し上げることができるように、製造されるメタルマスク１６毎に設計される。また、この実施の形態においては、噴射部２６がエアー（空気）を噴射する場合を例に挙げて説明したが、エアー以外の気体を噴射する構成であってもよい。 FIG. 4 is an enlarged view for explaining the configuration of the injection section 26 (valve 28a, gas hole 30a, and channel groove 32a). The air supplied from the valve 28a is discharged from the surface of the frame 24 through the gas hole 30a, flows through the flow channel 32a formed on the surface of the frame 24, and is jetted from the flow channel 32a in the +Y direction. do. That is, air is jetted from the surface of the frame 24 to the lower surface of the metal mask frame 20 placed on the frame 24 . The metal mask frame 20 is pushed up from the table 4 (frame 24) by jetting air to its lower surface. The channel groove 32a is provided in a region that avoids a screw hole or the like provided on the surface of the frame 24 and a region that can be machined. The depth of the groove 32a is designed for each manufactured metal mask 16 so that the metal mask frame 20 can be properly pushed up. Moreover, in this embodiment, the case where the injection part 26 injects air (air) has been described as an example, but it may be configured to inject a gas other than air.

押圧部５ａ～５ｆは、メタルマスクフレーム２０の側部をメタルマスクフレーム２０に形成されている開口部に向けて押圧することにより、メタルマスクフレーム２０を変形させる。具体的には、押圧部５ａ～５ｃは、メタルマスクフレーム２０の＋Ｘ方向側の側部を－Ｘ方向側に向けて押圧し、メタルマスクフレーム２０の＋Ｘ方向側の側部を－Ｘ方向側に撓ませる。押圧部５ｄ～５ｆは、メタルマスクフレーム２０の－Ｘ方向側の側部を＋Ｘ方向側に向けて押圧し、メタルマスクフレーム２０の－Ｘ方向側の側部を＋Ｘ方向側に撓ませる。 The pressing portions 5 a to 5 f press the side portions of the metal mask frame 20 toward openings formed in the metal mask frame 20 to deform the metal mask frame 20 . Specifically, the pressing portions 5a to 5c press the +X direction side portion of the metal mask frame 20 toward the -X direction side, and press the +X direction side portion of the metal mask frame 20 toward the -X direction side. bend to The pressing portions 5d to 5f press the −X direction side portion of the metal mask frame 20 toward the +X direction side, and bend the −X direction side portion of the metal mask frame 20 toward the +X direction side.

図５は、押圧部５ａの構成を説明するための図である。押圧部５ａは、図５に示すように、モーター３４、ローラーユニット３６及び押付ユニット３８を備えている。ローラーユニット３６は、モーター３４が駆動することにより±Ｙ方向に移動する。ローラーユニット３６は押付ユニット３８と接する部分（－Ｘ方向側）にくさび形状部を有し、押付ユニット３８はローラーユニット３６と接する部分（＋Ｘ方向側）にくさび形状部を有する。したがって、ローラーユニット３６が＋Ｙ方向に移動すると押付ユニット３８は－Ｘ方向に移動する。また、押付ユニット３８はメタルマスクフレーム２０と接する部分（－Ｘ方向側）にＬ字形状部を有する。したがって、押付ユニット３８は－Ｘ方向に移動すると、押付ユニット３８のＬ字形状部に載置されたメタルマスクフレーム２０が押付ユニット３８により－Ｘ方向に押圧される。押付ユニット３８のメタルマスクフレーム２０を押圧する面にはロードセル４０が設けられている。ロードセル４０は、押付ユニット３８によりメタスマスクフレーム２０を押圧する押圧力を制御する。なお、押圧部５ｂ及び５ｃの構成は、押圧部５ａの構成と同一である。また、押圧部５ｄ～５ｆの構成は、テーブル４のＺ軸方向の中心線を線対称として押圧部５ａの構成と同一である。 FIG. 5 is a diagram for explaining the configuration of the pressing portion 5a. The pressing section 5a includes a motor 34, a roller unit 36 and a pressing unit 38, as shown in FIG. The roller unit 36 is moved in the ±Y direction by being driven by the motor 34 . The roller unit 36 has a wedge-shaped portion in contact with the pressing unit 38 (−X direction side), and the pressing unit 38 has a wedge-shaped portion in contact with the roller unit 36 (+X direction side). Therefore, when the roller unit 36 moves in the +Y direction, the pressing unit 38 moves in the -X direction. Further, the pressing unit 38 has an L-shaped portion at a portion (−X direction side) in contact with the metal mask frame 20 . Therefore, when the pressing unit 38 moves in the -X direction, the metal mask frame 20 placed on the L-shaped portion of the pressing unit 38 is pressed in the -X direction. A load cell 40 is provided on the surface of the pressing unit 38 that presses the metal mask frame 20 . The load cell 40 controls the pressing force with which the pressing unit 38 presses the metasmask frame 20 . The configuration of the pressing portions 5b and 5c is the same as that of the pressing portion 5a. Further, the configuration of the pressing portions 5d to 5f is the same as the configuration of the pressing portion 5a symmetrical about the center line of the table 4 in the Z-axis direction.

張力部６は、メタルマスクシート１８の両端部を互いに離間させる方向（±Ｘ方向）に移動させることによりメタルマスクシート１８に所定の張力を付与する。張力部６は、±Ｚ方向にスライド可能に構成されており、メタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２に溶接される際に溶接箇所までスライド移動する。 The tension unit 6 applies a predetermined tension to the metal mask sheet 18 by moving both ends of the metal mask sheet 18 in directions (±X directions) to separate them from each other. The tension part 6 is configured to be slidable in the ±Z directions, and slides to the welding point when the metal mask sheet 18 is welded to the metal mask frame 2 .

計測部９は、メタルマスクフレーム２０の変形量、即ち押圧部５ａ～５ｆにより押圧されたメタルマスクフレーム２０側部の撓み量を計測する。溶接部１０は、メタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接する。計測部９及び溶接部１０は、±Ｘ方向及び±Ｚ方向にスライド可能に構成されており、計測部９が計測する際には計測箇所まで、溶接部１０が溶接する際には溶接箇所までスライド移動する。 The measuring unit 9 measures the amount of deformation of the metal mask frame 20, that is, the amount of bending of the side portions of the metal mask frame 20 pressed by the pressing units 5a to 5f. The welding part 10 welds the metal mask sheet 18 to the metal mask frame 20 . The measuring part 9 and the welding part 10 are configured to be slidable in the ±X direction and the ±Z direction. slide move.

図６は、マスク製造装置２のシステム構成を示すブロック図である。マスク製造装置２は、図６に示すように、マスク製造装置２の各部を統括的に制御する制御部５０を備えている。制御部５０には、押圧部５ａ～５ｆ、噴射部２６、張力部６、計測部９及び溶接部１０がそれぞれ接続されている。 FIG. 6 is a block diagram showing the system configuration of the mask manufacturing apparatus 2. As shown in FIG. As shown in FIG. 6, the mask manufacturing apparatus 2 includes a control section 50 that controls each section of the mask manufacturing apparatus 2 in an integrated manner. The pressing units 5a to 5f, the injection unit 26, the tension unit 6, the measurement unit 9, and the welding unit 10 are connected to the control unit 50, respectively.

制御部５０は、メタルマスクフレーム２０がテーブル４に載置されると、押圧部５ａ～５ｆ（ロードセル４０）に対してメタルマスクフレーム２０の側部をメタルマスクフレーム２０に形成されている開口部に向けて押圧するよう指示する制御信号を出力する。制御部５０は、１枚目（ｎ枚目：ｎは自然数）のメタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２０に溶接された後であって、２枚目（ｎ＋１枚目）のメタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２０に溶接される前においても、押圧部５ａ～５ｆに対してメタルマスクフレーム２０の側部を押圧するよう指示する制御信号を出力する。制御部５０は、メタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２０に溶接される箇所によって、押圧部５ａ～５ｆそれぞれの押圧力を調整する。例えば、メタルマスクシート１８の溶接箇所がメタルマスクフレーム２０の中央部である場合には押圧部５ｂ及び５ｅの押圧力を押圧部５ａ，５ｃ，５ｄ，５ｆの押圧力より強くし、メタルマスクシート１８の溶接箇所がメタルマスクフレーム２０の＋Ｚ方向側である場合には押圧部５ａ及び５ｄの押圧力を押圧部５ｂ，５ｃ，５ｅ，５ｆの押圧力より強くする。 When the metal mask frame 20 is placed on the table 4, the control unit 50 causes the side portions of the metal mask frame 20 to move toward the openings formed in the metal mask frame 20 with respect to the pressing portions 5a to 5f (load cells 40). output a control signal instructing to press toward After the first (nth: n is a natural number) metal mask sheet 18 is welded to the metal mask frame 20, the control unit 50 controls the second (n+1st) metal mask sheet 18 to be welded to the metal mask frame 20. Even before being welded to the metal mask frame 20, a control signal instructing the pressing portions 5a to 5f to press the side portions of the metal mask frame 20 is output. The control unit 50 adjusts the pressing force of each of the pressing portions 5a to 5f depending on where the metal mask sheet 18 is welded to the metal mask frame 20. FIG. For example, when the metal mask sheet 18 is welded to the central portion of the metal mask frame 20, the pressing force of the pressing portions 5b and 5e is made stronger than the pressing force of the pressing portions 5a, 5c, 5d, and 5f. When the welding point 18 is on the +Z direction side of the metal mask frame 20, the pressing force of the pressing portions 5a and 5d is made stronger than the pressing force of the pressing portions 5b, 5c, 5e and 5f.

また、制御部５０は、メタルマスクフレーム２０を変形させた後、噴射部２６に対してエアーを噴射するよう指示する制御信号を出力する。制御部５０は、メタルマスクフレーム２０が押圧部５ａ～５ｆにより押圧される毎に、噴射部２６に対してエアーを噴射するよう指示する制御信号を出力する。また、制御部５０は、噴射部２６により噴射されるエアーの流量及び圧力等を調整する。また、制御部５０は、噴射部２６によるエアー噴射の停止を制御する。 After deforming the metal mask frame 20, the control unit 50 outputs a control signal instructing the injection unit 26 to inject air. The control section 50 outputs a control signal instructing the injection section 26 to inject air each time the metal mask frame 20 is pressed by the pressing sections 5a to 5f. Also, the control unit 50 adjusts the flow rate, pressure, etc. of the air injected by the injection unit 26 . In addition, the control unit 50 controls stopping the air injection by the injection unit 26 .

また、制御部５０は、噴射部２６によるエアーの噴射を停止した後、計測部９に対してメタルマスクフレーム２０の変形量を計測するよう指示する制御信号を出力する。また、制御部５０は、計測部９による計測結果を取得し、計測部９により計測されたメタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であるか否かを判定する。所定範囲は、製造されるメタルマスク１６毎に予め設定されている。 After stopping the injection of air by the injection unit 26 , the control unit 50 outputs a control signal instructing the measuring unit 9 to measure the amount of deformation of the metal mask frame 20 . Further, the control unit 50 acquires the measurement result by the measurement unit 9 and determines whether or not the deformation amount of the metal mask frame 20 measured by the measurement unit 9 is within a predetermined range. The predetermined range is set in advance for each metal mask 16 to be manufactured.

また、制御部５０は、メタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であると判定された場合、張力部６に対してメタルマスクシート１８に所定の張力を付与するよう指示する制御信号を出力する。そして、制御部５０は、溶接部１０に対してメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接するよう指示する制御信号を出力する。 Further, when the amount of deformation of the metal mask frame 20 is determined to be within the predetermined range, the control section 50 outputs a control signal instructing the tension section 6 to apply a predetermined tension to the metal mask sheet 18 . do. Then, the control unit 50 outputs a control signal instructing the welding unit 10 to weld the metal mask sheet 18 to the metal mask frame 20 .

次に、図面を参照して、この実施の形態に係るメタルマスク製造装置２において、メタルマスク１６を製造するメタルマスク製造方法について説明する。図７は、メタルマスク製造装置２においてメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接する際の処理について説明するためのフローチャートである。 Next, a metal mask manufacturing method for manufacturing the metal mask 16 in the metal mask manufacturing apparatus 2 according to this embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a flow chart for explaining the processing when the metal mask sheet 18 is welded to the metal mask frame 20 in the metal mask manufacturing apparatus 2. As shown in FIG.

まず、制御部５０は、メタルマスクフレーム２０をテーブル４（フレーム２４）に載置する（ステップＳ１０）。次に、制御部５０は、メタルマスクフレーム２０をテーブル４に載置した状態で、押圧部５ａ～５ｆを用いてメタルマスクフレーム２０の±Ｘ方向の両側部をメタルマスクフレーム２０に形成されている開口部に向けて（±Ｘ方向に）押圧することにより、メタルマスクフレーム２０を変形させる（ステップＳ１１）。具体的には、制御部５０は、押圧部５ａ～５ｆそれぞれに対して所定の押圧力で押圧するよう指示する制御信号を出力する。所定の押圧力は、メタルマスクシート１８が溶接される箇所に基づいて、押圧力５ａ～５ｆそれぞれに対して個別に設定されている。各押圧部５ａ～５ｆは、メタルマスクフレーム２０の側部を各々設定された押圧力で押圧する。 First, the controller 50 places the metal mask frame 20 on the table 4 (frame 24) (step S10). Next, with the metal mask frame 20 placed on the table 4, the control unit 50 forms both sides of the metal mask frame 20 in the ±X direction on the metal mask frame 20 using the pressing units 5a to 5f. The metal mask frame 20 is deformed by pressing it toward the opening (in the ±X direction) (step S11). Specifically, the control unit 50 outputs a control signal instructing each of the pressing portions 5a to 5f to press with a predetermined pressing force. A predetermined pressing force is individually set for each of the pressing forces 5a to 5f based on the location where the metal mask sheet 18 is welded. Each of the pressing portions 5a to 5f presses the side portion of the metal mask frame 20 with a set pressing force.

次に、制御部５０は、噴射部２６を用いて、メタルマスクフレーム２０の±Ｘ方向の両側部を押圧した状態で、気体孔３０ａ～３０ｄ及び流路溝３２ａ～３２ｄから供給されるエアーをメタルマスクフレーム２０の下面に噴射する（ステップＳ１２）。具体的には、制御部５０は、噴射部２６に対してエアーを噴射するよう指示する制御信号を出力する。噴射部２６は、バルブ２８ａ～２８ｄから気体孔３０ａ～３０ｄを通過して流路溝３２ａ～３２ｄを介して供給されるエアーをメタルマスクフレーム２０の下面に噴射する。エアーはフレーム２４表面の広範囲に形成された流路溝３２ａ～３２ｄから噴射されるため、メタルマスクフレーム２０は、下面の略全域にエアーを噴射され、テーブル４（フレーム２４）から押し上げられる。メタルマスクフレーム２０がテーブル４（フレーム２４）から押し上げられることにより、メタルマスクフレーム２０の下面とフレーム２４の表面との間の摩擦力やメタルマスクフレーム２０の摩擦力に対する応力が除去される。 Next, the control unit 50 uses the injection unit 26 to press both sides of the metal mask frame 20 in the ±X direction, and presses the air supplied from the gas holes 30a to 30d and the flow channel grooves 32a to 32d. It is sprayed onto the lower surface of the metal mask frame 20 (step S12). Specifically, the control unit 50 outputs a control signal instructing the injection unit 26 to inject air. The injection unit 26 injects the air supplied from the valves 28a to 28d through the air holes 30a to 30d and the flow channels 32a to 32d onto the lower surface of the metal mask frame 20. FIG. Since the air is jetted from the channel grooves 32a to 32d formed over a wide range on the surface of the frame 24, the metal mask frame 20 is pushed up from the table 4 (frame 24) by being jetted to substantially the entire lower surface. By pushing up the metal mask frame 20 from the table 4 (frame 24), the frictional force between the lower surface of the metal mask frame 20 and the surface of the frame 24 and the stress on the frictional force of the metal mask frame 20 are removed.

次に、制御部５０は、摩擦力や摩擦力に対する応力が除去されるのに十分な時間が経過した後、噴射部２６によるエアーの噴射を停止する（ステップＳ１３）。具体的には、制御部５０は、噴射部２６に対してエアーの噴射を停止するよう指示する制御信号を出力する。噴射部２６は、バルブ２８ａ～２８ｄによるエアーの供給を停止する。 Next, the control unit 50 stops the injection of air by the injection unit 26 after sufficient time has passed for the frictional force and the stress against the frictional force to be removed (step S13). Specifically, the control unit 50 outputs a control signal instructing the injection unit 26 to stop the injection of air. The injection unit 26 stops supplying air from the valves 28a to 28d.

次に、制御部５０は、計測部９を用いて、メタルマスクフレーム２０の変形量を計測する（ステップＳ１４）。具体的には、制御部５０は、計測部９に対してメタルマスクフレーム２０の変形量を計測するよう指示する制御信号を出力する。計測部９は、計測箇所までスライド移動し、メタルマスクフレーム２０の変形量を計測し、計測結果を制御部５０に対して出力する。 Next, the control unit 50 measures the amount of deformation of the metal mask frame 20 using the measurement unit 9 (step S14). Specifically, the control unit 50 outputs a control signal instructing the measurement unit 9 to measure the amount of deformation of the metal mask frame 20 . The measurement unit 9 slides to a measurement location, measures the amount of deformation of the metal mask frame 20 , and outputs the measurement result to the control unit 50 .

次に、制御部５０は、計測部９より取得した計測結果に基づいて、メタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ１５）。ステップＳ１５においてメタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内でないと判定された場合には（ステップＳ１５，Ｎｏ）、制御部５０は、ステップＳ１５における判定結果（計測部９による計測結果）に基づいて、押圧部５ａ～５ｆによるメタルマスクフレーム２０の両側部への押圧力を調整する（ステップＳ１６）。即ち、制御部５０は、メタルマスクフレーム２０が所望の形状となるように、押圧部５ａ～５ｆそれぞれの押圧力を調整する。そして、制御部５０は、ステップＳ１１の処理に戻り、ステップＳ１１～Ｓ１６の処理を再度実行する。即ち、制御部５０は、ステップＳ１６において調整変更された押圧力でメタルマスクフレーム２０の両側部を押圧し（ステップＳ１１）、メタルマスクフレーム２０の下面にエアーを噴射し（ステップＳ１２）、エアー噴射を停止し（ステップＳ１３）、メタルマスクフレーム２０の変形量を計測し（ステップＳ１４）、メタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ１５）。制御部５０は、ステップＳ１６においてメタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であると判定されるまで、ステップＳ１１～Ｓ１６の処理を繰り返す。 Next, the control unit 50 determines whether or not the amount of deformation of the metal mask frame 20 is within a predetermined range based on the measurement results obtained from the measurement unit 9 (step S15). If it is determined in step S15 that the deformation amount of the metal mask frame 20 is not within the predetermined range (step S15, No), the control unit 50 performs , and adjust the pressing force on both sides of the metal mask frame 20 by the pressing portions 5a to 5f (step S16). That is, the control unit 50 adjusts the pressing force of each of the pressing portions 5a to 5f so that the metal mask frame 20 has a desired shape. Then, the control unit 50 returns to the process of step S11 and executes the processes of steps S11 to S16 again. That is, the control unit 50 presses both sides of the metal mask frame 20 with the pressing force adjusted and changed in step S16 (step S11), injects air to the lower surface of the metal mask frame 20 (step S12), and injects air. is stopped (step S13), the amount of deformation of the metal mask frame 20 is measured (step S14), and it is determined whether or not the amount of deformation of the metal mask frame 20 is within a predetermined range (step S15). The control unit 50 repeats the processing of steps S11 to S16 until it is determined in step S16 that the amount of deformation of the metal mask frame 20 is within the predetermined range.

一方、ステップＳ１５においてメタルマスクフレーム２０の変形量が所定範囲内であると判定された場合には（ステップＳ１５，Ｙｅｓ）、制御部５０は、張力部６及び溶接部１０を用いて、メタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０の所定の位置に溶接する（ステップＳ１７）。具体的には、制御部５０は、張力部６に対してメタルマスクシート１８に所定の張力を付与するよう指示する制御信号を出力する。張力部６は、メタルマスクシート１８に所定の張力を付与し、溶接箇所までスライド移動する。更に、制御部５０は、溶接部１０に対してメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接するよう指示する制御信号を出力する。溶接部１０は、溶接箇所までスライド移動し、メタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０の所定の箇所に溶接する。 On the other hand, if it is determined in step S15 that the amount of deformation of the metal mask frame 20 is within the predetermined range (step S15, Yes), the control section 50 uses the tension section 6 and the welding section 10 to move the metal mask The sheet 18 is welded to a predetermined position on the metal mask frame 20 (step S17). Specifically, the control unit 50 outputs a control signal instructing the tension unit 6 to apply a predetermined tension to the metal mask sheet 18 . The tension part 6 applies a predetermined tension to the metal mask sheet 18 and slides to the welding point. Furthermore, the control unit 50 outputs a control signal instructing the welding unit 10 to weld the metal mask sheet 18 to the metal mask frame 20 . The welding part 10 is slid to the welding point and welds the metal mask sheet 18 to a predetermined point of the metal mask frame 20 .

次に、制御部５０は、すべてのメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接し終えたか否かを判定する（ステップＳ１８）。すべてのメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接し終えてないと判定した場合には（ステップＳ１８、Ｎｏ）、制御部５０は、ステップＳ１１の処理に戻り、すべてのメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接し終えたと判定されるまで（ステップＳ１８、Ｙｅｓ）、ステップＳ１１～Ｓ１７の処理を繰り返す。すべてのメタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２０に溶接されることにより、図２に示すようなメタルマスク１６が製造される。 Next, the control unit 50 determines whether or not all the metal mask sheets 18 have been welded to the metal mask frame 20 (step S18). If it is determined that welding of all the metal mask sheets 18 to the metal mask frame 20 has not been completed (step S18, No), the control unit 50 returns to the process of step S11 and welds all the metal mask sheets 18 to the metal mask. The processing of steps S11 to S17 is repeated until it is determined that the welding to the mask frame 20 is finished (step S18, Yes). By welding all the metal mask sheets 18 to the metal mask frame 20, the metal mask 16 as shown in FIG. 2 is manufactured.

この実施の形態に係るメタルマスク製造装置２及びメタルマスク製造方法によれば、噴射部２６を備えているため、メタルマスクフレーム２０の側部を押圧してメタルマスクフレーム２０を変形させた後、メタルマスクフレーム２０をテーブル４から押し上げることができる。したがって、メタルマスクフレーム２０とテーブル４との間の摩擦力やメタルマスクフレーム２０の摩擦力に対する応力を取り除くことができるため、摩擦力や応力の影響によりメタルマスク１６を設計通りに製造することができないという問題を解消することができ、メタルマスク１６の寸法精度を向上させることができる。 According to the metal mask manufacturing apparatus 2 and the metal mask manufacturing method according to this embodiment, since the jetting section 26 is provided, the side portion of the metal mask frame 20 is pressed to deform the metal mask frame 20. The metal mask frame 20 can be pushed up from the table 4. Therefore, the frictional force between the metal mask frame 20 and the table 4 and the stress caused by the frictional force of the metal mask frame 20 can be removed. It is possible to solve the problem that the metal mask 16 cannot be manufactured, and to improve the dimensional accuracy of the metal mask 16 .

２…メタルマスク製造装置、４…テーブル、５ａ～５ｆ…押圧部、６…張力部、９…計測部、１０…溶接部、１４…基台、１６…メタルマスク、１８…メタルマスクシート、２０…メタルマスクフレーム、２２…ガラステーブル、２４…フレーム、２６…噴射部、２８ａ～２８ｄ…バルブ、３０ａ～３０ｄ…気体孔、３２ａ～３２ｄ…流路溝、３４…モーター、３６…ローラーユニット、３８…押付ユニット、４０…ロードセル、５０…制御部。 2 Metal mask manufacturing apparatus 4 Table 5a to 5f Pressing part 6 Tension part 9 Measurement part 10 Welding part 14 Base 16 Metal mask 18 Metal mask sheet 20 ... metal mask frame, 22 ... glass table, 24 ... frame, 26 ... injection part, 28a to 28d ... valve, 30a to 30d ... gas hole, 32a to 32d ... channel groove, 34 ... motor, 36 ... roller unit, 38 ... pressing unit, 40 ... load cell, 50 ... control unit.

Claims (7)

帯状のメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに溶接することによりメタルマスクを製造するマスク製造方法であって、
前記メタルマスクフレームをテーブルに載置した状態で、前記メタルマスクフレームの側部を前記メタルマスクフレームに形成されている開口部に向けて押圧することにより、前記メタルマスクフレームを変形させる押圧工程と、
前記側部を押圧した状態で、前記テーブルに形成された気体孔から供給される気体を前記メタルマスクフレームの下面に噴射する噴射工程と、
前記噴射工程による前記気体の噴射を停止する停止工程と、
前記メタルマスクフレームの変形量を計測する計測工程と、
前記変形量が所定範囲内であるか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程において前記変形量が前記所定範囲内であると判定された場合、前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する溶接工程と、
を含むことを特徴とするマスク製造方法。 A mask manufacturing method for manufacturing a metal mask by welding a strip-shaped metal mask sheet to a frame-shaped metal mask frame,
a pressing step of deforming the metal mask frame by pressing a side portion of the metal mask frame toward an opening formed in the metal mask frame while the metal mask frame is placed on a table; ,
an injection step of injecting gas supplied from a gas hole formed in the table onto the lower surface of the metal mask frame while pressing the side portion;
a stopping step of stopping injection of the gas by the injection step;
a measuring step of measuring a deformation amount of the metal mask frame;
a determination step of determining whether the deformation amount is within a predetermined range;
a welding step of welding the metal mask sheet to the metal mask frame when it is determined in the determination step that the amount of deformation is within the predetermined range;
A mask manufacturing method comprising: 前記噴射工程は、前記気体孔から供給された前記気体を前記テーブル上に形成された流路溝を介して前記メタルマスクフレームの下面に噴射することを特徴とする請求項１記載のマスク製造方法。 2. The method of manufacturing a mask according to claim 1, wherein in said injection step, said gas supplied from said gas holes is injected onto the lower surface of said metal mask frame through a channel groove formed on said table. . 前記判定工程において前記変形量が前記所定範囲内でないと判定された場合、前記判定工程による判定結果に基づいて前記押圧工程による押圧力を調整する調整工程を含み、
前記調整工程により調整された前記押圧力で前記押圧工程、前記噴射工程、前記停止工程及び前記計測工程を再度行なうことを特徴とする請求項１または請求項２記載のマスク製造方法。 An adjusting step of adjusting the pressing force of the pressing step based on the determination result of the determining step when the deformation amount is determined not to be within the predetermined range in the determining step,
3. The mask manufacturing method according to claim 1, wherein said pressing step, said injection step, said stopping step and said measuring step are performed again with said pressing force adjusted in said adjusting step. 前記メタルマスクは、複数の前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接することにより製造され、
前記押圧工程、前記噴射工程、前記停止工程及び前記計測工程は、前記溶接工程において前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する度に行なうことを特徴とする請求項１～請求項３の何れか一項に記載のマスク製造方法。 The metal mask is manufactured by welding a plurality of the metal mask sheets to the metal mask frame,
4. The pressing step, the injection step, the stopping step and the measuring step are performed each time the metal mask sheet is welded to the metal mask frame in the welding step. 1. Mask manufacturing method according to item 1. 帯状のメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに溶接してメタルマスクを製造するマスク製造装置であって、
前記メタルマスクフレームを載置するテーブルと、
前記メタルマスクフレームの側部を前記メタルマスクフレームに形成されている開口部に向けて押圧することにより、前記メタルマスクフレームを変形させる押圧部と、
前記テーブルに形成された気体孔から前記テーブル上に形成された流路溝を介して、気体を前記押圧部により変形された前記メタルマスクフレームの下面に噴射する噴射部と、
前記噴射部による前記気体の噴射を停止した後に前記メタルマスクフレームの変形量を計測する計測部と、
前記変形量が所定範囲内であるか否かを判定する判定部と、
前記判定部において前記変形量が前記所定範囲内であると判定された場合、前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する溶接部と、
を備えることを特徴とするマスク製造装置。 A mask manufacturing apparatus for manufacturing a metal mask by welding a strip-shaped metal mask sheet to a frame-shaped metal mask frame,
a table on which the metal mask frame is placed;
a pressing portion that deforms the metal mask frame by pressing the side portion of the metal mask frame toward an opening formed in the metal mask frame;
an injection unit that injects gas from a gas hole formed in the table to the lower surface of the metal mask frame deformed by the pressing unit through a flow channel groove formed on the table;
a measurement unit that measures the amount of deformation of the metal mask frame after stopping the injection of the gas by the injection unit;
a determination unit that determines whether the deformation amount is within a predetermined range;
a welding portion that welds the metal mask sheet to the metal mask frame when the determining portion determines that the amount of deformation is within the predetermined range;
A mask manufacturing apparatus comprising: 前記判定部において前記変形量が前記所定範囲内でないと判定された場合、前記押圧部は前記メタルマスクフレームの側部を、調整変更された押圧力で再度押圧し、前記噴射部は前記気体を前記メタルマスクフレームの下面に再度噴射し、前記計測部は前記変形量を再度計測することを特徴とすることを特徴とする請求項５記載のマスク製造装置。 When the determination unit determines that the deformation amount is not within the predetermined range, the pressing unit presses the side portion of the metal mask frame again with the adjusted and changed pressing force, and the injection unit releases the gas. 6. The mask manufacturing apparatus according to claim 5, wherein the metal mask frame is jetted to the lower surface of the metal mask frame again, and the measurement unit measures the deformation amount again. 前記メタルマスクは、複数の前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接することにより製造され、
前記溶接部において前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに溶接する度に、前記押圧部は前記メタルマスクフレームの側部を押圧し、前記噴射部は前記気体を前記メタルマスクフレームの下面に噴射し、前記計測部は前記変形量を計測し、前記判定部は前記変形量が前記所定範囲内であるか否かを判定することを特徴とする請求項５または請求項６記載のマスク製造装置。
The metal mask is manufactured by welding a plurality of the metal mask sheets to the metal mask frame,
Each time the metal mask sheet is welded to the metal mask frame at the welding portion, the pressing portion presses the side portion of the metal mask frame, and the injection portion injects the gas to the lower surface of the metal mask frame. 7. The mask manufacturing apparatus according to claim 5, wherein said measurement unit measures said deformation amount, and said determination unit determines whether said deformation amount is within said predetermined range.
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020527748A (en) 2018-03-30 2020-09-10 クンシャン ゴー−ビシオノクス オプト−エレクトロニクス カンパニー リミテッドＫｕｎｓｈａｎ Ｇｏ−Ｖｉｓｉｏｎｏｘ Ｏｐｔｏ−Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． Mask and display panel

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