JP7299375B2 - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Description
本発明の他の側面は、対称的に配置される2つの駆動要素を用いて下部室を上方及び下方に移動させる間に、前記下部室の安定性を向上させる基板処理装置を提供する。
Claims (20)
- 上部室と、
前記上部室に結合されるか前記上部室から離れる下部室と、
前記下部室を上方及び下方に移動させる少なくとも1つの駆動部材とを含んでおり、
前記少なくとも1つの駆動部材は、
前記下部室を支持する支持要素と、
前記下部室及び前記支持要素を前記上方及び下方に移動させる第1の駆動要素と、
前記下部室、前記支持要素、及び前記第1の駆動要素を前記上方及び下方に移動させるべく、前記第1の駆動要素に隣接して配置される第2の駆動要素と、
前記第1の駆動要素と前記第2の駆動要素とを連結する連結要素とを備えており、
前記上部室と前記下部室とが結合されるとき、前記上部室と前記下部室との間に処理空間が設けられることを特徴とする、
基板処理装置。 - 前記第1の駆動要素は、第1の駆動軸と、第1の本体とを備えており、
前記第2の駆動要素は、第2の駆動軸と、第2の本体とを備えており、
前記第1及び第2の駆動要素は、平行に配置されることを特徴とする、
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記連結要素は、
前記第1の本体の底面に水平に連結される第1の部分と、
前記第2の駆動軸の上面に水平に連結される第2の部分と、
前記第1の部分と前記第2の部分とを垂直に連結する中間部とを備えることを特徴とする、
請求項2に記載の基板処理装置。 - 更に、前記駆動部材は、前記支持要素の一側に連結されており、
前記基板処理装置は、前記支持要素の他側に連結されるとともに前記支持要素及び前記下部室のバランスを取る補償部材を含むことを特徴とする、
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記補償部材は、前記支持要素の他側を通過するガイド要素を含んでおり、
前記ガイド要素は、LMガイドを備えることを特徴とする、
請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記補償部材は、前記支持要素の他側及び前記基板処理装置の内側上部に連結されるバネ要素を備えることを特徴とする、
請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記補償部材は、前記第1の駆動要素及び前記基板処理装置の底面に連結されるロッド要素を備えており、
前記ロッド要素は、前記支持要素及び前記下部室が上方に移動した後に、前記基板処理装置の前記底面に移動することを特徴とする、
請求項4に記載の基板処理装置。 - 更に、前記第2の駆動要素の前記第2の本体の側部に連結されるとともに前記連結要素に向けて延在するバランス部材を含んでおり、
前記バランス部材は、前記支持要素及び前記下部室が前記上方及び下方に移動する間に、前記第1の駆動要素と前記第2の駆動要素とのうちの少なくとも一方の傾きを防止することを特徴とする、
請求項2に記載の基板処理装置。 - 更に、前記支持要素を通るとともに、前記下部室の底面の中央部に連結される排出部材を含むことを特徴とする、
請求項1に記載の基板処理装置。 - 上部室と、前記上部室に結合されるか前記上部室から離れる下部室とを備える工程室と、
前記下部室を上方及び下方に移動させる第1の駆動部材及び第2の駆動部材とを含んでおり、
前記第1の駆動部材は、
前記下部室を支持する支持要素と、
前記下部室及び前記支持要素の一側に連結される第1の駆動要素と、
前記支持要素及び前記第1の駆動要素を前記上方及び下方に移動させるとともに、前記第1の駆動要素に隣接して配置される第2の駆動要素と、
前記第1の駆動要素と前記第2の駆動要素とを連結する第1の連結要素とを備えており、
前記第2の駆動部材は、
前記支持要素の他側に連結されるとともに、前記下部室及び前記支持要素を前記上方及び下方に移動させる第3の駆動要素と、
前記下部室、前記支持要素、及び前記第3の駆動要素を前記上方及び下方に移動させるとともに、前記第3の駆動要素に隣接して配置される第4の駆動要素と、
前記第3の駆動要素と前記第4の駆動要素とを連結する第2の連結要素とを備えることを特徴とする、
基板処理装置。 - 前記第1の駆動要素は、第1の駆動軸と、第1の本体とを備えており、
前記第2の駆動要素は、第2の駆動軸と、第2の本体とを備えており、
前記第3の駆動要素は、第3の駆動軸と、第3の本体とを備えており、
前記第4の駆動要素は、第4の駆動軸と、第4の本体とを備えることを特徴とする、
請求項10に記載の基板処理装置。 - 前記第1及び第2の駆動部材は、対称に配置されており、
前記第1及び第2の駆動要素は、平行に配置されており、
前記第3及び第4の駆動要素は、平行に配置されることを特徴とする、
請求項10に記載の基板処理装置。 - 更に、前記第1及び第2の駆動要素に連結されるとともに前記第1の駆動要素と前記第2の駆動要素とのうちの少なくとも一方の傾きを防止する第1のバランス部材と、
前記第3及び第4の駆動要素に連結されるとともに前記第3の駆動要素と前記第4の駆動要素とのうちの少なくとも一方の傾きを防止する第2のバランス部材とを含むことを特徴とする、
請求項10に記載の基板処理装置。 - 更に、前記第1の駆動部材と前記第2の駆動部材とを連結することで、前記支持要素及び前記下部室が撓むことを防止する調整部材を含むことを特徴とする、
請求項10に記載の基板処理装置。 - 前記調整部材は、中央部の厚さが両側部の厚さよりも小さいプレートの構造を有しており、
前記中央部には、中央部分に排出部材が通過する貫通孔を有することを特徴とする、
請求項14に記載の基板処理装置。 - 上部室に連結される支持部材上に基板を位置させるステップと、
下部室を支持する支持要素、前記下部室、及び前記支持要素を上方及び下方に移動させる第1の駆動要素と、前記下部室、前記支持要素、及び前記第1の駆動要素を前記上方及び下方に移動させるとともに、前記第1の駆動要素に隣接して配置される第2の駆動要素と、前記第1の駆動要素と前記第2の駆動要素とを連結する連結要素とを備える少なくとも1つの駆動部材を用いて、前記下部室を前記上部室に結合させるステップと、
前記下部室と前記上部室との間に設けられる処理空間内で、前記基板に対して、所定の工程を行うステップとを含むことを特徴とする、
基板処理方法。 - 前記駆動部材は前記支持要素の一側に連結されており、
前記支持要素の他側に連結される補償部材によって、前記支持要素及び前記下部室のバランスが維持されることを特徴とする、
請求項16に記載の基板処理方法。 - 前記第1の駆動要素は、第1の駆動軸と、第1の本体とを備えており、
前記第2の駆動要素は、第2の駆動軸と、第2の本体とを備えており、
前記第1及び第2の駆動要素は、平行に配置されることを特徴とする、
請求項16に記載の基板処理方法。 - 前記支持要素及び前記下部室が前記上方及び下方に移動する間に、前記第1の駆動要素と前記第2の駆動要素とのうちの少なくとも一方の傾きは、前記第2の駆動要素の前記第2の本体の側部に連結されるとともに前記連結要素に向けて延在するバランス部材によって防止されることを特徴とする、
請求項18に記載の基板処理方法。 - 前記所定の工程は、超臨界の流体を用いる洗浄工程を含むことを特徴とする、
請求項16に記載の基板処理方法。
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