JP7293042B2 - 荷電粒子ビーム照射装置および荷電粒子ビーム照射方法 - Google Patents
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- 荷電粒子ビームの進行方向に直交する直交方向に前記荷電粒子ビームを偏向させる磁場を発生させる走査電磁石のコイルと、
前記コイルを支持し、外部が真空状態ではなく、かつ内部の空気が吸引されることで前記内部が真空状態にされて前記荷電粒子ビームが通過する筒状を成す特定構造体と、
を備え、
前記特定構造体は、円筒形状を成す複数の部材で構成されており、前記複数の部材が、合成樹脂または非磁性材料で形成され、かつ前記荷電粒子ビームの通過空間を中心軸として同心円状を成すように配置されている、
荷電粒子ビーム照射装置。 - 前記特定構造体の前記コイルが配置される部分に設けられ、前記コイルを冷却する冷却媒体が流れる流路を備える、
請求項1に記載の荷電粒子ビーム照射装置。 - 前記コイルが前記流路を流れる前記冷却媒体に含浸される、
請求項2に記載の荷電粒子ビーム照射装置。 - 前記特定構造体は、
前記進行方向に直交する第1直交方向に前記荷電粒子ビームを偏向させる磁場を発生させる第1走査電磁石の第1コイルが外面に配置される第1構造部材と、
前記第1構造部材の外側に配置され、前記進行方向および前記第1直交方向に直交する第2直交方向に前記荷電粒子ビームを偏向させる磁場を発生させる第2走査電磁石の第2コイルが外面に配置される第2構造部材と、
を備える、
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム照射装置。 - 少なくとも2つの前記第1コイルが前記第1構造部材を挟んで前記第1直交方向に並んで配置され、
少なくとも2つの前記第2コイルが前記第2構造部材を挟んで前記第2直交方向に並んで配置され、
前記第2構造部材が前記第2直交方向に沿って互いに離れるように分割可能となっている、
請求項4に記載の荷電粒子ビーム照射装置。 - 前記第1構造部材の前記第1コイルが配置される部分に設けられ、前記第1コイルを冷却する冷却媒体が流れる第1流路と、
前記第2構造部材の前記第2コイルが配置される部分に設けられ、前記第2コイルを冷却する冷却媒体が流れる第2流路と、
を備える、
請求項4または請求項5に記載の荷電粒子ビーム照射装置。 - 前記第1構造部材と前記第2構造部材との間に設けられ、前記第1コイルが配置される空間を確保するスペーサ部材を備える、
請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム照射装置。 - 前記特定構造体の内面がシームレス面となっている、
請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム照射装置。 - 前記特定構造体は、前記進行方向に従って内径が大きくなる形状となっている、
請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム照射装置。 - 前記コイルは、リッツ線を巻き回して形成されたものである、
請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム照射装置。 - 走査電磁石のコイルにより荷電粒子ビームの進行方向に直交する直交方向に前記荷電粒子ビームを偏向させる磁場を発生させるステップと、
前記コイルを支持し、外部が真空状態ではなく、かつ筒状を成す特定構造体の内部の空気が吸引されることで前記内部が真空状態にされて前記荷電粒子ビームが通過するステップと、
を含み、
前記特定構造体は、円筒形状を成す複数の部材で構成されており、前記複数の部材が、合成樹脂または非磁性材料で形成され、かつ前記荷電粒子ビームの通過空間を中心軸として同心円状を成すように配置されている、
荷電粒子ビーム照射方法。
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