JP7289933B2 - リニアコンベアおよびそのリニアコンベアの設置方法 - Google Patents

Description

この発明は、リニアコンベアおよびそのリニアコンベアの設置方法に関し、特に、架台に固定される複数のリニアコンベアモジュールを備えるリニアコンベアおよびそのリニアコンベアの設置方法に関する。

従来、架台に固定される複数のリニアコンベアモジュールを備えるリニアコンベアが知られている。このようなリニアコンベアは、たとえば、国際公開第２０１８／０５５７０９号に開示されている。

上記国際公開第２０１８／０５５７０９号には、架台に固定される複数のリニアコンベアモジュールを備えるリニアコンベア装置（リニアコンベア）が開示されている。このリニアコンベアモジュールは、スライダと、リニアモータ固定子と、ガイドレールとを含んでいる。スライダは、リニアモータ可動子を有している。

上記国際公開第２０１８／０５５７０９号のスライダは、ガイドレールの延びる方向に移動可能な状態でガイドレールに支持されている。スライダは、リニアモータ固定子およびリニアモータ可動子により、ガイドレールの延びる方向に移動する。ここで、スライダの上面は、基板などのワークの載置部である。このように、リニアコンベア装置では、スライダを移動させることによりワークを所定位置まで移動させることによって、電子部品などの基板への実装作業が実行される。

上記国際公開第２０１８／０５５７０９号のリニアコンベア装置は、ベース部材を備えている。ベース部材は、ガイドレールの延びる方向に複数並んでいる。複数のベース部材は、架台に固定されている。ベース部材は、ガイドレールの延びる方向に互いに隣接する一対のリニアコンベアモジュールを連結するとともに、位置決めして支持している。これにより、リニアコンベアモジュールを架台から取り外して再度架台に固定する場合でも、架台に固定されたままのベース部材によりリニアコンベアモジュールが位置決めされるので、リニアコンベアモジュールが元の位置に精度よく位置決めされる。

また、上記国際公開第２０１８／０５５７０９号のベース部材は、一対のリニアコンベアモジュールの連結部分において、一対のリニアコンベアモジュールの各々の下面と、架台との間に配置されている。これにより、リニアコンベアモジュールがベース部材に位置決めされた状態において、リニアコンベアモジュールと架台との間には、上下方向に隙間が設けられている。

国際公開第２０１８／０５５７０９号

しかしながら、上記国際公開第２０１８／０５５７０９号のリニアコンベア装置では、リニアコンベアモジュールと架台との間に隙間があることにより、リニアコンベアモジュールが架台に支持されない部分を有している。このため、リニアコンベアモジュールは、スライダおよびスライダの上面に載置されたワークからガイドレールに加えられた荷重などに対しての剛性が不足する場合があると考えられる。したがって、上記国際公開第２０１８／０５５７０９号のリニアコンベア装置では、ガイドレールに加えられる荷重に対する剛性を確保しつつ、リニアコンベアモジュールの配置位置を精度よく再現することが望まれている。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、ガイドレールに加えられる荷重に対する剛性を確保しつつ、リニアコンベアモジュールの配置位置を精度よく再現することが可能なリニアコンベアおよびリニアコンベアの設置方法を提供することである。

この発明の第１の局面によるリニアコンベアは、リニアモータ可動子を有するスライダの移動をガイドするガイドレールと、リニアモータ固定子とを含み、架台に固定される複数のリニアコンベアモジュールと、架台に固定され、複数のリニアコンベアモジュール同士を互いに連結するとともに、架台に固定された状態でリニアコンベアモジュールを位置決めする連結部材とを備え、架台またはリニアコンベアモジュールの少なくともいずれか一方は、架台に固定された状態の連結部材が収容される凹部を含み、リニアコンベアモジュールは、連結部材により位置決めされるとともに、リニアコンベアモジュールの底面を架台に当接させた状態で、架台に固定されているとともに、連結部材は、リニアコンベアモジュールとは別個に、直接架台に固定されている。

この発明の第１の局面によるリニアコンベアでは、上記のように、リニアコンベアモジュールを、連結部材により位置決めするとともに、リニアコンベアモジュールの底面を架台に当接させた状態で、架台に固定する。これにより、スライダおよびスライダの上面に載置されるワークからガイドレールに加えられた荷重を架台により直接的に受けることができるので、ガイドレールに加えられた荷重に対する剛性を確保することができる。また、リニアコンベアモジュールを架台から取り外して再度架台に固定する場合でも、架台に固定されたままの連結部材によりリニアコンベアモジュールを再度位置決めするので、リニアコンベアモジュールを元の位置に精度よく位置決めすることができる。これらの結果、ガイドレールに加えられる荷重に対する剛性を確保しつつ、リニアコンベアモジュールの配置位置を精度よく再現することができる。

上記第１の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、上下方向において、凹部の深さが連結部材の厚みよりも大きいことにより、リニアコンベアモジュールと連結部材との間に隙間が形成されている。このように構成すれば、架台にリニアコンベアモジュールを固定した状態で、リニアコンベアモジュールと連結部材との間の上下方向の隙間により、上下方向において連結部材とリニアコンベアモジュールとが当接しないので、連結部材とリニアコンベアモジュールとが上下方向に当接することに起因するリニアコンベアモジュールの変形を防止することができる。

上記第１の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、リニアコンベアモジュールは、モジュール側位置決め部を含み、連結部材は、モジュール側位置決め部に対応する位置に設けられる連結部材側位置決め部を含み、リニアコンベアモジュールと連結部材とは、モジュール側位置決め部と連結部材側位置決め部とによりリニアコンベアモジュールが連結部材に対して水平方向において位置決めされた状態で、別々に架台に固定されている。このように構成すれば、リニアコンベアモジュールと連結部材とを共締めした状態で架台に設置した際に、架台と連結部材との間に浮きが生じるような場合であっても、リニアコンベアモジュールと連結部材とを共締めした状態ではなく別々に架台に固定することにより、上記浮きが生じた状態で連結部材を架台に固定することを防止することができる。その結果、上記浮きが生じた状態で連結部材を架台に固定することに伴うリニアコンベアモジュールの変形を防止することができる。

この場合、好ましくは、リニアコンベアモジュールは、ガイドレールおよびリニアモータ固定子を支持し、第１金属材料により構成された支持部材をさらに含み、モジュール側位置決め部は、リニアコンベアモジュールの底面から下方向に突出し、第１金属材料より大きい剛性または硬度を有する第２金属材料により構成された位置決め凸部を有し、連結部材は、位置決め凸部が嵌合する連結部材側位置決め部としての位置決め孔を含むとともに、第１金属材料より大きい剛性または硬度を有する第３金属材料により構成されている。このように構成すれば、位置決め凸部と位置決め孔が形成される連結部材とのいずれかを剛性または硬度の低い第１金属材料により構成する場合と比較して、位置決め凸部を位置決め孔に嵌め込む際の位置決め凸部または位置決め孔の変形を抑制することができる。その結果、位置決め凸部を位置決め孔に繰り返し嵌め込むことに起因する位置決め凸部および位置決め孔の変形を抑制することができる。

上記位置決め凸部を備えるリニアコンベアにおいて、好ましくは、リニアコンベアモジュールは、下方向から視て、矩形形状を有し、位置決め凸部は、下方向から視て、リニアコンベアモジュールの底面における少なくとも対角線上の２箇所に設けられている。このように構成すれば、対角線上の２箇所の位置決め凸部により、リニアコンベアモジュールの水平方向の移動および水平面内での回転を規制することができるので、簡易な構造でリニアコンベアモジュールを正確に位置決めすることができる。

上記第１の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、ガイドレールの延びる方向において、凹部と連結部材との間には、隙間が形成されている。このように構成すれば、ガイドレールの延びる方向において凹部および連結部材のサイズにばらつきがある場合でも、凹部と連結部材との間の隙間により、凹部および連結部材のサイズのばらつきを許容することができる。その結果、連結部材によるリニアコンベアモジュールの連結をより容易に行うことができる。

上記位置決め凸部を備えるリニアコンベアにおいて、好ましくは、連結部材を架台に締結する第１締結部材をさらに備え、リニアコンベアモジュールは、第１締結部材が挿入されるガイド貫通孔を含み、上下方向において、第１締結部材の頭部の高さは、位置決め凸部のリニアコンベアモジュールの底面からの突出高さよりも大きく、第１締結部材の頭部がガイド貫通孔に挿入されてガイドされることにより、リニアコンベアモジュールの位置決め凸部と連結部材の位置決め孔とが嵌合するように構成されている。このように構成すれば、位置決め凸部が見えない位置（リニアコンベアモジュールの底面側）に設けられている場合にも、上方から第１締結部材の頭部をガイド貫通孔を介して視認しつつ、第１締結部材の頭部をガイド貫通孔に合わせて挿入することにより、位置決め凸部も合わせて位置決め孔に嵌合することができる。その結果、リニアコンベアモジュールを連結部材に容易に設置することができる。

上記第１の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、連結部材は、リニアコンベアモジュールが架台に固定される前に、リニアコンベアモジュールと連結部材とを仮止めするための第２締結部材が螺合されるめねじ部を有する仮止め孔を含む。このように構成すれば、リニアコンベアモジュールおよび連結部材の両方を動かして調整可能な状態で、第２締結部材を仮止め孔のめねじ部に螺合することにより、連結部材を用いてリニアコンベアモジュールを連結することができるので、連結部材によるリニアコンベアモジュールの連結を容易に行うことができる。したがって、リニアコンベアモジュールと連結部材とを仮止めすることなく、架台に固定された連結部材によりリニアコンベアモジュールを直接連結する場合と比較して、連結部材とリニアコンベアモジュールとの連結を容易に行うことができる。その結果、連結部材およびリニアコンベアモジュールの架台への設置を容易に行うことができる。

上記第１の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、リニアコンベアモジュールは、ガイドレールの延びる方向におけるリニアコンベアモジュールの両端部に形成される切り欠きをさらに含み、凹部は、ガイドレールの延びる方向において隣接するリニアコンベアモジュール同士の切り欠きを合わせることにより形成されている。このように構成すれば、ガイドレールの延びる方向において隣接するリニアコンベアモジュールの端部同士を合わせて形成される上記凹部内に連結部材を配置することにより、ガイドレールの延びる方向において隣接するリニアコンベアモジュール同士の連結部材による連結、および、位置合わせを行うことができる。その結果、簡易な構造により、リニアコンベアモジュール同士の連結部材による連結、および、位置合わせを行うことができるので、リニアコンベアモジュールの構造の複雑化を抑制することができる。

上記第１の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、連結部材は、ガイドレールの延びる方向において隣接するリニアコンベアモジュール同士の境界部分において分割可能に構成されている。このように構成すれば、隣接するリニアコンベアモジュール同士を連結部材により精度よく位置決めした後に、連結部材を分割することができるので、位置決め精度を維持した状態で隣接するリニアコンベアモジュール同士を切り離すことができる。

上記第１の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、連結部材は、ガイドレールの延びる方向において位置調整可能に構成されている。このように構成すれば、ガイドレールの延びる方向におけるリニアコンベアモジュールのサイズのばらつきを、連結部材における位置調整により吸収することができるので、連結部材を架台に固定した後においても、連結部材によるリニアコンベアモジュールの位置合わせを容易に行うことができる。

この発明の第２の局面によるリニアコンベアの設置方法は、複数のリニアコンベアモジュール同士を互いに連結部材により連結するとともに、連結部材によりリニアコンベアモジュールを位置決めするステップと、リニアコンベアモジュールの底面を架台に当接させた状態で、架台またはリニアコンベアモジュールの少なくともいずれか一方に設けられた凹部に収容された連結部材を、リニアコンベアモジュールとは別個に、直接架台に固定するとともに、架台にリニアコンベアモジュールを固定するステップとを備える。

この第２の局面によるリニアコンベアの設置方法では、上記のように、リニアコンベアモジュールの底面を架台に当接させた状態で、架台に連結部材を固定するとともに、架台にリニアコンベアモジュールを固定するステップを設ける。これにより、スライダおよびスライダの上面に載置されるワークからガイドレールに加えられた荷重を架台により直接的に受けることができるので、ガイドレールに加えられた荷重に対する剛性を確保することができる。また、リニアコンベアモジュールを架台から取り外して再度架台に固定する場合でも、架台に固定されたままの連結部材によりリニアコンベアモジュールを再度位置決めするので、リニアコンベアモジュールを元の位置に精度よく位置決めすることができる。これらの結果、ガイドレールに加えられる荷重に対する剛性を確保しつつ、リニアコンベアモジュールの配置位置を精度よく再現することが可能なリニアコンベアの設置方法を得ることができる。

上記第２の局面によるリニアコンベアの設置方法において、好ましくは、連結部材によりリニアコンベアモジュール同士を互いに連結するとともに位置決めするステップは、リニアコンベアモジュールを連結部材に仮止めするステップを含み、架台に連結部材およびリニアコンベアモジュールを固定するステップは、仮止めした状態のリニアコンベアモジュールおよび連結部材を架台に載置するとともに、リニアコンベアモジュールおよび連結部材の仮止めを解除するステップと、リニアコンベアモジュールおよび連結部材の仮止めを解除した状態で、連結部材を架台に固定するとともに、リニアコンベアモジュールを架台に固定するステップとを含む。このように構成すれば、リニアコンベアモジュールと連結部材との仮止めを解除し、リニアコンベアモジュールおよび連結部材の各々を架台に載置させた後に、連結部材およびリニアコンベアモジュールを独立して架台に固定するので、リニアコンベアモジュールと連結部材とを共締めした状態で架台に固定しないようにすることができる。その結果、架台に対する連結部材の浮きに起因するリニアコンベアモジュールの変形を防止することができる。

上記第２の局面によるリニアコンベアの設置方法において、好ましくは、連結部材によりリニアコンベアモジュール同士を互いに連結するとともに位置決めするステップは、リニアコンベアモジュールを連結部材に仮止めするステップを含み、架台に連結部材およびリニアコンベアモジュールを固定するステップは、仮止めした状態のリニアコンベアモジュールおよび連結部材を架台に載置するとともに、仮止めした状態のリニアコンベアモジュールを架台に固定するステップと、リニアコンベアモジュールおよび連結部材の仮止めを解除するステップと、リニアコンベアモジュールおよび連結部材の仮止めを解除した状態で、連結部材を架台に固定するステップとを含む。このように構成すれば、リニアコンベアモジュールと連結部材との仮止めを解除する前に、リニアコンベアモジュールを架台に載置させて固定することにより、リニアコンベアモジュールと連結部材との相対的な位置を維持してリニアコンベアモジュールを架台に固定することができる。また、リニアコンベアモジュールと連結部材との仮止めを解除した後に、連結部材を架台に固定するので、リニアコンベアモジュールと連結部材とを共締めした状態で架台に固定しないようにすることができる。これらの結果、リニアコンベアモジュールと連結部材との相対的な位置ずれを抑制することができるとともに、架台に対する連結部材の浮きに起因するリニアコンベアモジュールの変形を防止することができる。

上記第２の局面によるリニアコンベアの設置方法では、上記のように、メンテナンス時に、リニアコンベアモジュールを架台から取り外した後、架台に固定された連結部材に対して位置決めするようにリニアコンベアモジュールを配置することにより、架台にリニアコンベアモジュールを再度設置するステップをさらに備える。このように構成すれば、メンテナンス後に、連結部材に合わせてリニアコンベアモジュールを配置することにより、リニアコンベアモジュールを元の位置に精度よく位置決めして戻すことができるので、リニアコンベアモジュールのメンテナンスに要する手間を省くことができる。

本発明によれば、上記のように、ガイドレールに加えられる荷重に対する剛性を確保しつつ、リニアコンベアモジュールの配置位置を精度よく再現することができる。

本実施形態のリニアコンベアを架台に設置した状態を示した斜視図である。 図１のＫ１部分の拡大図である。 本実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールおよび連結部材を示した斜視図である。 図２の１００－１００線に沿った断面図である。 本実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールをＺ２方向側から視た斜視図である。 図２のＫ２部分の拡大図である。 本実施形態のリニアコンベアの連結部材の斜視図である。 本実施形態のリニアコンベアにおいて、隣接するリアコンベアモジュール同士を連結部材により連結した状態を示した底面図である。 本実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールと連結部材とを仮止めした状態を示した斜視図である。 本実施形態のリニアコンベアの設置方法を示したフローチャートである。 本実施形態のリニアコンベアを架台に再度設置する際のリニアコンベアの設置方法を示したフローチャートである。 本実施形態の第１変形例によるリニアコンベアの図２のＫ２部分に相当する拡大図である。 本実施形態の第２変形例によるリニアコンベアの図２のＫ２部分に相当する拡大図である。 本実施形態の第３変形例によるリニアコンベアの図２のＫ２部分に相当する拡大図である。 本実施形態の第４変形例によるリニアコンベアにおいて隣接するリニアコンベアモジュール同士を連結部材により連結した状態を示した底面図である。 本実施形態の第５変形例によるリニアコンベアの設置方法を示したフローチャートである。

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

（リニアコンベアの構成）
図１～図９を参照して、本実施形態によるリニアコンベア１０１の構成について説明する。

図１および図２に示すように、リニアコンベア１０１は、架台１０２の上面１０２ａに敷設されている。また、図示はしないが、架台１０２には、基板などのワークの移載、電子部品などの基板への実装作業などを実行する各種ロボットが設置されている。各種ロボットは、後述するスライダ２の周回経路１０３に沿って配置されている。

リニアコンベア１０１は、各種ロボットの作業位置に向けてスライダ２を移動させるように構成されている。具体的には、リニアコンベア１０１は、複数（２個）の方向転換用モジュール１と、スライダ２と、複数（８個）のリニアコンベアモジュール３と、複数（６個）の凹部４と、複数（６個）の連結部材５と、締結部材６と、締結部材７とを備えている。複数の方向転換用モジュール１および複数のリニアコンベアモジュール３は、スライダ２の周回経路１０３を形成している。なお、締結部材７は、請求の範囲の「第１締結部材」の一例である。

ここで、リニアコンベアモジュール３の延びる方向をＸ方向とし、Ｘ方向のうち一方をＸ１方向とし、Ｘ方向のうちの他方をＸ２方向とする。方向転換用モジュール１の延びる方向をＹ方向とし、Ｙ方向のうち一方をＹ１方向とし、Ｙ方向のうちの他方をＹ２方向とする。Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向をＺ方向（上下方向）とし、Ｚ方向のうち一方をＺ１方向（上方向）とし、Ｚ方向のうちの他方をＺ２方向（下方向）とする。なお、Ｘ方向は、請求の範囲の「ガイドレールの延びる方向」の一例である。

複数（２個）の方向転換用モジュール１は、それぞれ、Ｘ１方向側およびＸ２方向側に配置されている。複数の方向転換用モジュール１の各々の構造は、同じであるので、Ｘ１方向側の方向転換用モジュール１についてのみ説明する。

方向転換用モジュール１は、スライダ２をＹ方向へ移動させる搬送装置である。

方向転換用モジュール１は、ガイドレール１１と、モジュール本体１２と、駆動機構（図示せず）とを含む。ガイドレール１１は、架台１０２の上面１０２ａに敷設されている。ガイドレール１１は、Ｙ方向に延びている。モジュール本体１２は、ガイドレール１１にＹ方向に移動可能に支持されている。駆動機構は、モジュール本体１２をガイドレール１１に沿ってＹ方向に移動させるように構成されている。

複数のリニアコンベアモジュール３は、Ｘ方向に直線状に連結されている。複数のリニアコンベアモジュール３は、Ｙ１方向側に４個配置されている。複数のリニアコンベアモジュール３は、Ｙ２方向側に４個配置されている。複数のリニアコンベアモジュール３の各々の構造は、同じであるので、Ｙ１方向側であり、かつ、Ｘ方向の中央部分のＸ１方向側に配置された（図１のＫ１部分の）リニアコンベアモジュール３について説明する。なお、リニアコンベアモジュール３は、２～７個および９個以上架台１０２に配置されてもよい。

リニアコンベアモジュール３は、スライダ２をＸ方向へ移動させる搬送装置である。すなわち、リニアコンベアモジュール３は、ロボットの作業位置でスライダ２を停止させるとともに、作業後に次のロボットの作業位置へ向けてスライダ２を移動させるように構成されている。また、リニアコンベアモジュール３は、約０．２～約１．０［ｍ］の長さを有する直線的なモジュールである。

具体的には、図３および図４に示すように、リニアコンベアモジュール３は、カバー部材３１と、支持部材３２と、リニアモータ固定子３３と、ガイドレール３４と、磁気センサユニット３５と、ガイド貫通孔３６と、位置決め凸部３７と、切り欠き３８とを含んでいる。なお、位置決め凸部３７は、請求の範囲の「モジュール側位置決め部」の一例である。

スライダ２は、周回経路１０３上に複数（４個）配置されている。複数のスライダ２はいずれも同じ構成を有しているので、複数のスライダ２のうちの１つについて説明する。

スライダ２は、周回経路１０３上を直線的にスライド移動するように構成されている。具体的には、スライダ２は、スライダフレーム２ａと、リニアモータ可動子２ｂと、一対のガイドブロック２ｃと、磁気スケール２ｄとを含んでいる。

スライダフレーム２ａは、アルミニウムなどの金属材料により形成されている。スライダフレーム２ａのＺ１方向側の上面は、ワークを載置する載置面２ｅである。スライダフレーム２ａには、カバー部材３１が挿入される挿入空間２ｆが形成されている。

リニアモータ可動子２ｂは、バックヨーク２ｇと、永久磁石２ｈとを有している。バックヨーク２ｇは、永久磁石２ｈを保持するとともに磁路を形成する部材である。バックヨーク２ｇは、Ｚ２方向に向けて開口する門型構造を有している。永久磁石２ｈは、Ｙ方向において、Ｎ極とＳ極とが対向するように配置されている。永久磁石２ｈは、Ｘ方向に沿って複数並んで配置されている。このような配列で永久磁石２ｈは、バックヨーク２ｇに保持されている。

ガイドブロック２ｃは、ガイドレール３４に係合するとともに、ガイドレール３４の延びる方向（Ｘ方向）に沿って移動可能に構成されている。ガイドブロック２ｃは、ガイドレール３４に接して転動するベアリングを備えている。ガイドブロック２ｃは、Ｙ方向において、一対配置されている。ガイドブロック２ｃのＺ１方向側の端部は、スライダフレーム２ａに取り付けられている。

磁気スケール２ｄは、スケール基板２１と、ホルダ（図示せず）とを有している。スケール基板２１は、ホルダ（図示せず）に保持されている。スケール基板２１は、後述する磁気センサユニット３５との対向面に、Ｎ極とＳ極とが交互に現れるようにＸ方向に配列された永久磁石（図示せず）を含んでいる。図示はしないが、スケール基板２１の永久磁石は、磁気センサユニット３５の複数（３個）の磁気センサに対向するように、Ｚ方向に複数並んで配置されている。

カバー部材３１は、アルミニウムなどの金属材料により形成されている。カバー部材３１は、支持部材３２の上面（Ｚ１方向側の面）を覆うように構成されている。すなわち、カバー部材３１は、支持部材３２に取り付けられたリニアモータ固定子３３、ガイドレール３４および磁気センサユニット３５をＺ１方向側から覆っている。カバー部材３１は、締結部材（図示せず）により、支持部材３２のＺ１方向側の端部に固定されている。カバー部材３１は、スライドフレームの挿入空間２ｆに挿入可能な形状を有している。すなわち、カバー部材３１は、Ｙ方向に沿った断面において、略Ｔ字形状を有している。

支持部材３２は、ガイドレール３４およびリニアモータ固定子３３を支持している。支持部材３２は、第１金属材料により構成されている。第１金属材料は、アルミニウムなどの金属である。このように、支持部材３２は、金属製のフレームである。支持部材３２は、Ｙ方向に沿った断面において、略Ｕ字形状を有している。支持部材３２は、上壁部３２ａと、一対の側壁部３２ｂと、フランジ部３２ｃと、固定用貫通孔３２ｄと、仮止め用貫通孔３２ｅとを有している。

図４および図５に示すように、リニアコンベアモジュール３は、Ｚ２方向側から視て、略矩形形状を有している。具体的には、支持部材３２のＺ２方向側の底面３２ｆは、Ｚ２方向側から視て、Ｘ方向に長手方向を有し、Ｙ方向に短手方向を有する長方形形状を有している。底面３２ｆは、架台１０２の上面１０２ａに当接している。

上壁部３２ａは、Ｘ方向に長く延びた長方形形状を有している。上壁部３２ａの上面には、リニアモータ固定子３３、ガイドレール３４および磁気センサユニット３５が設置されている。側壁部３２ｂは、Ｘ方向に長く延びた長方形形状を有している。側壁部３２ｂは、Ｙ方向において対向するように一対設けられている。側壁部３２ｂの少なくとも一部は、ガイドレール３４のＺ２方向側の位置に配置されている。フランジ部３２ｃは、側壁部３２ｂのＺ２方向側の端部からＹ方向において外側に突出している。フランジ部３２ｃは、Ｘ方向に長く延びた長方形形状を有している。

固定用貫通孔３２ｄは、フランジ部３２ｃをＺ方向に貫通している。固定用貫通孔３２ｄは、フランジ部３２ｃにおける切り欠き３８以外の部分に形成されている。固定用貫通孔３２ｄには、支持部材３２を架台１０２に固定するための締結部材６が挿入される。締結部材６は、ボルトである。

仮止め用貫通孔３２ｅは、フランジ部３２ｃをＺ方向に貫通している。仮止め用貫通孔３２ｅは、フランジ部３２ｃにおける切り欠き３８に対応する部分に形成されている。仮止め用貫通孔３２ｅは、Ｙ方向において、位置決め凸部３７、ガイド貫通孔３６および仮止め用貫通孔３２ｅのうちで最も外側に配置されている。仮止め用貫通孔３２ｅには、連結部材５とリニアコンベアモジュール３とを仮固定するための締結部材８（図９参照）が挿入される。締結部材８は、ボルトである。なお、締結部材８は、請求の範囲の「第２締結部材」の一例である。

リニアモータ固定子３３は、複数の電磁石により構成されている。すなわち、リニアモータ固定子３３は、コア３３ａと、コア３３ａに巻回されたコイル３３ｂと、ホルダ３３ｃとを有している。リニアモータ固定子３３は、Ｘ方向に一列に単位電磁石が配置されることによって形成されている。ホルダ３３ｃは、コア３３ａおよびコイル３３ｂを保持している。ホルダ３３ｃは、締結部材（図示せず）により、支持部材３２に固定されている。

ガイドレール３４は、スライダ２をガイドする機能を有している。ガイドレール３４は、Ｙ方向に対向して一対設けられている。ガイドレール３４は、Ｘ方向に延びている。

磁気センサユニット３５は、Ｘ方向に所定ピッチで複数個配列されている。磁気センサユニット３５は、ハウジング３５ａと、センサ基板（図示せず）と、磁気センサ（図示せず）とを有している。磁気センサは、センサ基板に取り付けられている。磁気センサは、たとえば、ホール素子およびＭＲ（Ｍａｇｎｅｔ Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）素子などである。磁気センサは、スライダ２側の磁気スケール２ｄの磁束を検出することにより、磁束密度に応じた出力電圧の信号を発生する。磁気センサは、Ｙ方向に複数並んでセンサ基板に取り付けられている。ハウジング３５ａは、センサ基板を保持している。ハウジング３５ａは、締結部材（図示せず）により、支持部材３２に固定されている。

上記したようなリニアコンベア１０１は、リニアモータ、リニアガイドおよびリニアスケールを有している。リニアモータは、リニアモータ可動子２ｂおよびリニアモータ固定子３３により構成されている。リニアガイドは、ガイドレール３４およびガイドブロック２ｃにより構成されている。リニアスケールは、磁気センサユニット３５および磁気スケール２ｄにより構成されている。

リニアモータでは、互いに位相が異なるＵ相、Ｖ相およびＷ相のうちのいずれかの相の電流がリニアモータ固定子３３に供給されることによりコイル３３ｂに生じる磁束と、リニアモータ可動子２ｂが備える永久磁石２ｈの磁束との相互作用によって、磁気的な推進力が生成されている。すなわち、スライダ２は、上記推進力により、Ｘ１方向またはＸ２方向に移動可能である。

ガイド貫通孔３６は、フランジ部３２ｃをＺ方向に貫通している。ガイド貫通孔３６は、フランジ部３２ｃにおける切り欠き３８に対応する部分に形成されている。ガイド貫通孔３６は、Ｙ方向において、位置決め凸部３７と仮止め用貫通孔３２ｅとの間に配置されている。ガイド貫通孔３６には、締結部材７の頭部７１が挿入されている。ガイド貫通孔３６の直径は、締結部材７の頭部７１の直径よりも大きい。ガイド貫通孔３６の深さは、締結部材７の頭部７１の高さＨ１よりも大きい。

図４および図５に示すように、位置決め凸部３７は、リニアコンベアモジュール３の支持部材３２の底面３２ｆの孔部１３２に圧入された位置決め用のピンである。すなわち、位置決め凸部３７は、リニアコンベアモジュール３の底面３２ｆからＺ２方向に突出している。また、位置決め凸部３７は、第１金属材料より大きい剛性または硬度を有する第２金属材料により構成されている。第２金属材料は、鉄およびステンレスなどである。

位置決め凸部３７は、リニアコンベアモジュール３の底面３２ｆにおける少なくとも対角線上の２箇所に設けられている。位置決め凸部３７は、下方向から視て、支持部材３２の矩形形状の底面３２ｆの角部近傍に配置されている。位置決め凸部３７は、支持部材３２の底面３２ｆの対角線が延びる方向に対向して、支持部材３２に２組配置されている。このように、位置決め凸部３７は、Ｚ２方向側から視て、支持部材３２の底面３２ｆの４つの角部の全てに配置されている。

（切り欠き）
図５および図６に示すように、切り欠き３８は、Ｘ方向におけるリニアコンベアモジュール３の両端部に形成されている。切り欠き３８は、支持部材３２の底面３２ｆのＸ１方向側の端部に形成された第１切り欠き３８ａを含む。第１切り欠き３８ａは、Ｙ１方向側から視て、支持部材３２の底面３２ｆのＸ１方向側の端部をＸ２方向側に切り欠いて形成されている。切り欠き３８は、支持部材３２の底面３２ｆのＸ２方向側の端部に形成された第２切り欠き３８ｂを含む。第２切り欠き３８ｂは、Ｙ２方向側から視て、支持部材３２の底面３２ｆのＸ２方向側の端部をＸ１方向側に切り欠いて形成されている。第１切り欠き３８ａおよび第２切り欠き３８ｂは、Ｘ方向に並ぶ複数のリニアコンベアモジュール３の全ての支持部材３２に形成されている。

（凹部）
凹部４は、Ｘ方向において隣接するリニアコンベアモジュール３同士の切り欠き３８を合わせることにより形成されている。すなわち、凹部４は、Ｘ１方向側に配置されたリニアコンベアモジュール３の第２切り欠き３８ｂと、Ｘ２方向側に配置されたリニアコンベアモジュール３の第１切り欠き３８ａとを合わせることにより形成されている。

凹部４には、架台１０２に固定された状態の連結部材５が収容されている。すなわち、Ｙ１方向側から視て、凹部４の内面と、架台１０２の上面１０２ａとの間には、架台１０２に固定された状態の連結部材５が配置されている。ここで、Ｙ１方向側から視て、凹部４の内面と、連結部材５との間には、空間が形成されている。詳細には、Ｚ方向において、凹部４の深さＤは、連結部材５の厚みＴよりも大きいことにより、リニアコンベアモジュール３（凹部４）と連結部材５との間に隙間４１が形成されている。また、Ｘ方向において、リニアコンベアモジュール３（凹部４）と連結部材５との間には、隙間４２が形成されている。すなわち、Ｘ方向において、凹部４の幅ｗ１は、連結部材５の幅ｗ２よりも大きい。

（連結部材）
図６に示すように、本実施形態の連結部材５は、架台１０２に固定され、複数のリニアコンベアモジュール３同士を互いに連結するとともに、架台１０２に固定された状態でリニアコンベアモジュール３を位置決めするように構成されている。ここで、連結部材５は、Ｘ方向において、隣接するリニアコンベアモジュール３にまたがって設けられている。

具体的には、図７および図８に示すように、連結部材５は、位置決め孔５１と、固定孔５２と、仮止め孔５３とを有している。なお、位置決め孔５１は、請求の範囲の「連結部材側位置決め部」の一例である。

位置決め孔５１は、位置決め凸部３７が嵌合するように構成されている。すなわち、位置決め凸部３７が位置決め孔５１に嵌合した状態で、連結部材５は、リニアコンベアモジュール３のＺ方向の移動を規制することなく、リニアコンベアモジュール３のＸ方向およびＹ方向の移動を規制するように、リニアコンベアモジュール３同士を連結するように構成されている。この際、連結部材５は、Ｘ方向およびＹ方向において、リニアコンベアモジュール３を位置決めしている。

位置決め孔５１は、連結部材５をＺ方向に貫通している。位置決め孔５１の直径は、位置決め凸部３７の直径と略同じである。位置決め孔５１は、Ｘ方向に複数（２個）並んで配置されている。位置決め孔５１の直径は、固定孔５２の直径および仮止め孔５３の直径よりも大きい。位置決め孔５１は、位置決め凸部３７に対応する位置に設けられている。位置決め孔５１は、Ｙ方向において、位置決め孔５１、固定孔５２および仮止め孔５３のうち最も内側に配置されている。

位置決め孔５１は、位置決め凸部３７の挿入に起因する変形が抑制されるように構成されている。具体的には、連結部材５は、第１金属材料より大きい剛性または硬度を有する第３金属材料により構成されている。ここで、第３金属材料は、鉄およびステンレスなどである。連結部材５は、Ｚ１方向側から視て、Ｙ方向に長く延びた長方形形状の金属板である。

固定孔５２は、締結部材７が挿入されるように構成されている。すなわち、締結部材７を固定孔５２に挿入することにより、連結部材５は、架台１０２に直接固定されている。この際、連結部材５の移動は、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向において規制されている。すなわち、連結部材５は、位置決めされた状態で架台１０２に固定されている。

固定孔５２は、連結部材５をＺ方向に貫通している。固定孔５２の直径は、締結部材７のおねじ部よりも若干大きい。固定孔５２の直径は、位置決め孔５１の直径より小さく、かつ、仮止め孔５３の直径よりも大きい。固定孔５２は、Ｘ方向に複数（２個）並んで配置されている。固定孔５２は、ガイド貫通孔３６に対応する位置に設けられている。固定孔５２は、Ｙ方向において、位置決め孔５１と仮止め孔５３との間に配置されている。

図９に示すように、仮止め孔５３は、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを、位置決めした状態で固定するために形成されている。具体的には、仮止め孔５３は、リニアコンベアモジュール３が架台１０２に固定される前に、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを仮止めするための締結部材８が螺合されるめねじ部５３ａ（図７参照）を有している。

仮止め孔５３は、締結部材８により、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを仮止めするように構成されている。すなわち、締結部材８を仮止め孔５３に螺合することにより、連結部材５とリニアコンベアモジュール３とは、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向の移動を規制した状態で連結されている。この際、連結部材５は、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向において、リニアコンベアモジュール３を位置決めしている。

仮止め孔５３は、連結部材５をＺ方向に貫通している。仮止め孔５３の直径は、締結部材８のおねじ部８１と略同じである。仮止め孔５３の直径は、位置決め孔５１の直径および固定孔５２の直径よりも小さい。仮止め孔５３は、Ｘ方向に複数（２個）並んで配置されている。仮止め孔５３は、仮止め用貫通孔３２ｅに対応する位置に設けられている。仮止め孔５３は、Ｙ方向において、位置決め孔５１、固定孔５２および仮止め孔５３のうち最も外側に配置されている。

ここで、Ｘ方向側において隣接するリニアコンベアモジュール３のうち、Ｘ１方側のリニアコンベアモジュール３には、Ｘ１方向側に配置された位置決め孔５１、固定孔５２および仮止め孔５３が用いられる。また、Ｘ２方側のリニアコンベアモジュール３には、Ｘ２方向側に配置された位置決め孔５１、固定孔５２および仮止め孔５３が用いられる。

このように、リニアコンベアモジュール３は、連結部材５により位置決めされるとともに、リニアコンベアモジュール３の底面３２ｆを架台１０２に当接させた状態で、架台１０２に固定されている。この際、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とは、位置決め凸部３７と位置決め孔５１とによりＸ方向およびＹ方向（水平方向）において位置決めされた状態で、別々に架台１０２に固定されている。

（締結部材）
図４に示すように、締結部材７は、架台１０２に固定された連結部材５の位置決め孔５１にリニアコンベアモジュール３の位置決め凸部３７を嵌合可能なようにガイドする機能を有している。詳細には、Ｚ方向において、締結部材７の頭部７１の高さＨ１は、位置決め凸部３７におけるリニアコンベアモジュール３の底面３２ｆからの突出高さＨ２よりも大きい。すなわち、位置決め凸部３７が位置決め孔５１に挿入される前に、締結部材７の頭部７１がガイド貫通孔３６に挿入される。これにより、締結部材７の頭部７１がガイド貫通孔３６に挿入されることにより、リニアコンベアモジュール３の位置決め凸部３７と連結部材５の位置決め孔５１とが嵌合する。

このように、リニアコンベア１０１では、リニアコンベアモジュール３を架台１０２から取り外した後、再度同じリニアコンベアモジュール３を架台１０２に取り付けるか、または、新たなリニアコンベアモジュール３を架台１０２に取り付ける際に、位置決め凸部３７を位置決め孔５１に容易に嵌合することが可能である。

（リニアコンベアの設置方法のフローチャート）
以下に、リニアコンベア１０１の設置方法について図１０および図１１を参照して説明する。リニアコンベア１０１の設置方法は、作業者によるリニアコンベアモジュール３の架台１０２への設置の過程を示すとともに、作業者によるリニアコンベアモジュール３の再設置の過程を示す。

図１０に示すように、ステップＳ１において、作業者は、リニアコンベアモジュール３を連結部材５に仮止めする。すなわち、ステップＳ１において、作業者は、複数のリニアコンベアモジュール３同士を互いに連結部材５により連結するとともに、連結部材５によりリニアコンベアモジュール３を位置決めする。

詳細には、作業者は、リニアコンベアモジュール３同士の端部を当接させた状態にした後、凹部４に連結部材５を嵌め込む。ここで、作業者は、連結部材５の仮止め孔５３とリニアコンベアモジュール３の仮止め用貫通孔３２ｅとを合わせて、凹部４に連結部材５を挿入する。また、作業者は、連結部材５の位置決め孔５１とリニアコンベアモジュール３の位置決め凸部３７とを合わせて、凹部４に連結部材５を挿入する。そして、作業者は、締結部材８により、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを互いに位置決めした状態で仮固定する。

ステップＳ２において、作業者は、仮止めした状態のリニアコンベアモジュール３および連結部材５を架台１０２に載置するとともに、リニアコンベアモジュール３および連結部材５の仮止めを解除する。そして、作業者は、ステップＳ３において、リニアコンベアモジュール３および連結部材５の仮止めを解除した状態で、連結部材５を締結部材７により架台１０２に固定するとともに、リニアコンベアモジュール３を締結部材６により架台１０２に固定する。

詳細には、作業者は、リニアコンベアモジュール３の底面３２ｆを架台１０２に当接させた状態で、架台１０２に連結部材５を固定するとともに、架台１０２にリニアコンベアモジュール３を固定する。すなわち、作業者は、リニアコンベアモジュール３の底面３２ｆを架台１０２に当接させた状態で、リニアコンベアモジュール３および連結部材５を架台１０２上に載置する。そして、作業者は、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを別々に架台１０２に固定する。

図１１を参照して、作業者によるリニアコンベアモジュール３の架台１０２への再設置の過程を説明する。

図１１に示すように、ステップＳ１１において、作業者は、リニアコンベアモジュール３のメンテンナンスを行う際、リニアコンベアモジュール３を架台１０２から取り外すとともに、取り外したリニアコンベアモジュール３を架台１０２に対して再度設置する。この際、作業者は、連結部材５を利用して、リニアコンベアモジュール３を再度略同じ箇所に設置する。

詳細には、作業者は、メンテナンス時に、リニアコンベアモジュール３を架台１０２から取り外した後、架台１０２に固定された連結部材５に対して位置決めするようにリニアコンベアモジュール３を配置することにより、架台１０２にリニアコンベアモジュール３を再度設置する。すなわち、作業者は、締結部材７の頭部７１とリニアコンベアモジュール３のガイド貫通孔３６とを合わせて、凹部４に連結部材５を挿入する。この際、リニアコンベアモジュール３の位置決め凸部３７が、連結部材５の位置決め孔５１に合わせて挿入される。これにより、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とが、互いに位置決めした状態で再度設置される。

（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

本実施形態では、上記のように、リニアコンベアモジュール３を、連結部材５により位置決めするとともに、リニアコンベアモジュール３の底面３２ｆを架台１０２に当接させた状態で、架台１０２に固定する。これにより、スライダ２およびスライダ２の載置面２ｅに載置されるワークからガイドレール３４に加えられた荷重を架台１０２により直接的に受けることができるので、ガイドレール３４に加えられた荷重に対する剛性を確保することができる。また、リニアコンベアモジュール３を架台１０２から取り外して再度架台１０２に固定する場合でも、架台１０２に固定されたままの連結部材５によりリニアコンベアモジュール３を再度位置決めするので、リニアコンベアモジュール３を元の位置に精度よく位置決めすることができる。これらの結果、ガイドレール３４に加えられる荷重に対する剛性を確保しつつ、リニアコンベアモジュール３の配置位置を精度よく再現することができる。

また、本実施形態では、上記のように、Ｚ方向において、凹部４の深さＤを連結部材の厚みＴよりも大きくすることにより、リニアコンベアモジュール３と連結部材５との間に隙間４１を形成する。これにより、架台１０２にリニアコンベアモジュール３を固定した状態で、リニアコンベアモジュール３と連結部材５との間のＺ方向の隙間４１により、Ｚ方向において連結部材５とリニアコンベアモジュール３とが当接しないので、連結部材５とリニアコンベアモジュール３とがＺ方向に当接することに起因するリニアコンベアモジュール３の変形を防止することができる。

また、本実施形態では、上記のように、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを、位置決め凸部３７と位置決め孔５１とによりリニアコンベアモジュール３が連結部材５に対して水平方向において位置決めされた状態で、別々に架台１０２に固定する。これにより、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを共締めした状態で架台１０２に設置した際に、架台１０２と連結部材５との間に浮きが生じるような場合であっても、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを共締めした状態ではなく別々に架台１０２に固定することにより、上記浮きが生じた状態で連結部材５を架台１０２に固定することを防止することができる。この結果、上記浮きが生じた状態で連結部材５を架台１０２に固定することに伴うリニアコンベアモジュール３の変形を防止することができる。

また、本実施形態では、上記のように、リニアコンベアモジュール３に、ガイドレール３４およびリニアモータ固定子３３を支持し、第１金属材料により構成された支持部材３２を設ける。位置決め凸部３７に、リニアコンベアモジュール３の底面３２ｆからＺ２方向に突出し、第１金属材料より大きい剛性または硬度を有する第２金属材料により構成された位置決め凸部３７を設ける。連結部材５に、位置決め凸部３７が嵌合する連結部材側位置決め部としての位置決め孔５１を設ける。連結部材５を、第１金属材料より大きい剛性または硬度を有する第３金属材料により構成する。これにより、位置決め凸部３７と位置決め孔５１が形成される連結部材５とのいずれかを剛性または硬度の低い第１金属材料により構成する場合と比較して、位置決め凸部３７を位置決め孔５１に嵌め込む際の位置決め凸部３７または位置決め孔５１の変形を抑制することができる。この結果、位置決め凸部３７を位置決め孔５１に繰り返し嵌め込むことに起因する位置決め凸部３７および位置決め孔５１の変形を抑制することができる。

また、本実施形態では、上記のように、リニアコンベアモジュール３を、Ｚ２方向から視て、矩形形状に設ける。位置決め凸部３７を、Ｚ２方向から視て、リニアコンベアモジュール３の底面３２ｆにおける対角線上の４箇所に設ける。これにより、対角線上の４箇所の位置決め凸部３７により、リニアコンベアモジュール３の水平方向の移動および水平面内での回転を規制することができるので、簡易な構造でリニアコンベアモジュール３を正確に位置決めすることができる。

また、本実施形態では、上記のように、Ｘ方向において、凹部４と連結部材５との間に、隙間４２を形成する。これにより、Ｘ方向において凹部４および連結部材５のサイズにばらつきがある場合でも、凹部４と連結部材５との間の隙間４２により、凹部４および連結部材５のサイズのばらつきを許容することができる。この結果、連結部材５によるリニアコンベアモジュール３の連結をより容易に行うことができる。

また、本実施形態では、上記のように、リニアコンベアモジュール３に、締結部材７が挿入されるガイド貫通孔３６を設ける。Ｚ方向において、締結部材７の頭部７１の高さＨ１を、位置決め凸部３７におけるリニアコンベアモジュール３の底面３２ｆからの突出高さＨ２よりも大きくする。リニアコンベア１０１を、締結部材７の頭部７１がガイド貫通孔３６に挿入されガイドされることにより、リニアコンベアモジュール３の位置決め凸部３７と連結部材５の位置決め孔５１とが嵌合するように構成する。これにより、位置決め凸部３７が見えない位置（リニアコンベアモジュール３の底面側）に設けられている場合にも、Ｚ１方向から締結部材７の頭部７１をガイド貫通孔３６を介して視認しつつ、締結部材７の頭部７１をガイド貫通孔３６に合わせて挿入することにより、位置決め凸部３７も合わせて位置決め孔５１に嵌合することができる。この結果、リニアコンベアモジュール３を連結部材５に容易に設置することができる。

また、本実施形態では、上記のように、連結部材５に、リニアコンベアモジュール３が架台１０２に固定される前に、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを仮止めするための締結部材８が螺合されるめねじ部５３ａを有する仮止め孔５３を設ける。これにより、リニアコンベアモジュール３および連結部材５の両方を動かして調整可能な状態で、締結部材８を仮止め孔５３のめねじ部５３ａに螺合することにより、連結部材５を用いてリニアコンベアモジュール３を連結することができるので、連結部材５によるリニアコンベアモジュール３の連結を容易に行うことができる。したがって、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを仮止めすることなく、架台１０２に固定された連結部材５によりリニアコンベアモジュール３を直接連結する場合と比較して、連結部材５とリニアコンベアモジュール３との連結を容易に行うことができる。この結果、連結部材５およびリニアコンベアモジュール３の架台１０２への設置を容易に行うことができる。

また、本実施形態では、上記のように、凹部４を、Ｘ方向において隣接するリニアコンベアモジュール３同士の切り欠き３８を合わせることにより形成する。これにより、Ｘ方向において隣接するリニアコンベアモジュール３の端部同士を合わせて形成される凹部４内に連結部材５を配置することにより、Ｘ方向において隣接するリニアコンベアモジュール３同士の連結部材５による連結、および、位置合わせを行うことができる。この結果、簡易な構造により、リニアコンベアモジュール３同士の連結部材５による連結、および、位置合わせを行うことができるので、リニアコンベアモジュール３の構造の複雑化を抑制することができる。

また、本実施形態では、上記のように、リニアコンベア１０１の設置方法に、リニアコンベアモジュール３の底面３２ｆを架台１０２に当接させた状態で、架台１０２に連結部材５を固定するとともに、架台１０２にリニアコンベアモジュール３を固定するステップを設ける。これにより、スライダ２およびスライダ２の載置面２ｅに載置されるワークからガイドレール３４に加えられた荷重を架台１０２により直接的に受けることができるので、ガイドレール３４に加えられた荷重に対する剛性を確保することができる。また、リニアコンベアモジュール３を架台１０２から取り外して再度架台１０２に固定する場合でも、架台１０２に固定されたままの連結部材５によりリニアコンベアモジュール３を再度位置決めするので、リニアコンベアモジュール３を元の位置に精度よく位置決めすることができる。これらの結果、ガイドレール３４に加えられる荷重に対する剛性を確保しつつ、リニアコンベアモジュール３の配置位置を精度よく再現することができる。

また、本実施形態では、上記のように、架台１０２に連結部材５およびリニアコンベアモジュール３を固定するステップに、仮止めした状態のリニアコンベアモジュール３および連結部材５を架台１０２に載置するとともに、リニアコンベアモジュール３および連結部材５の仮止めを解除するステップＳ２を設ける。架台１０２に連結部材５およびリニアコンベアモジュール３を固定するステップに、リニアコンベアモジュール３および連結部材５の仮止めを解除した状態で、連結部材５を架台１０２に固定するとともに、リニアコンベアモジュール３を架台１０２に固定するステップＳ３を設ける。これにより、リニアコンベアモジュール３および連結部材５の仮止めを解除し、リニアコンベアモジュール３および連結部材５の各々を架台１０２に載置させた後に、連結部材５およびリニアコンベアモジュール３を独立して架台１０２に固定するので、リニアコンベアモジュール３と連結部材５とを共締めした状態で架台１０２に固定しないようにすることができる。この結果、架台１０２に対する連結部材５の浮きに起因するリニアコンベアモジュール３の変形を防止することができる。

また、本実施形態では、上記のように、リニアコンベア１０１の設置方法に、メンテナンス時に、リニアコンベアモジュール３を架台１０２から取り外した後、架台１０２に固定された連結部材５に対して位置決めするようにリニアコンベアモジュール３を配置することにより、架台１０２にリニアコンベアモジュール３を再度設置するステップＳ１１を設ける。これにより、メンテナンス後に、連結部材５に合わせてリニアコンベアモジュール３を配置することにより、リニアコンベアモジュール３を元の位置に精度よく位置決めして戻すことができるので、リニアコンベアモジュール３のメンテナンスに要する手間を省くことができる。

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、連結部材５は、Ｘ方向（ガイドレール３４の延びる方向）において、隣接するリニアコンベアモジュール３同士にわたって一体的に設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図１２に示す本実施形態の第１変形例のように、連結部材２０５は、ガイドレール３４の延びる方向において隣接するリニアコンベアモジュール３同士の境界部分において分割可能に構成されていてもよい。これにより、隣接するリニアコンベアモジュール３同士を連結部材２０５により精度よく位置決めした後に、連結部材２０５を分割することができるので、位置決め精度を維持した状態で隣接するリニアコンベアモジュール３同士を切り離すことができる。

また、上記実施形態では、位置決め凸部３７を位置決め孔５１に嵌合することにより、連結部材５は、水平方向の移動を規制した状態のリニアコンベアモジュール３同士を連結するように構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、連結部材は、ガイドレールの延びる方向において位置調整可能に構成されていてもよい。これにより、ガイドレールの延びる方向におけるリニアコンベアモジュールのサイズのばらつきを、連結部材における位置調整により吸収することができるので、連結部材を架台に固定した後においても、連結部材によるリニアコンベアモジュールの位置合わせを容易に行うことができる。詳細には、図１３に示す本実施形態の第２変形例のように、連結部材３０５は、Ｘ１方向側に配置された固定部３５１と、Ｘ２方向側に配置された可動部３５２とを有していてもよいし、図１４に示す本実施形態の第３変形例のように、連結部材４０５は、Ｘ方向の両方に可動部４５２を有していてもよい。また、図１５に示す本実施形態の第４変形例のように、連結部材５０５は、Ｘ方向に並ぶ位置決め孔５１のうちの一方をＸ方向に延びた長孔５５１にしてもよい。

また、上記実施形態では、Ｘ方向の長さが同じリニアコンベアモジュール３が、Ｘ方向に複数並んでいる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、Ｘ方向の長さの異なるリニアコンベアモジュール同士が、Ｘ方向に並んでいてもよい。

また、上記実施形態では、凹部４は、Ｘ方向において隣接するリニアコンベアモジュール３同士の切り欠き３８を合わせることにより形成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、凹部は、架台の上面を下方に窪ませて形成されてもよい。

また、上記実施形態では、位置決め凸部３７は、リニアコンベアモジュール３の支持部材３２の底面３２ｆに圧入された位置決め用のピンである例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、位置決め凸部は、位置決め用の球体であってもよい。

また、上記実施形態では、Ｚ方向（上下方向）において、凹部４の深さＤは、連結部材５の厚みＴよりも大きいことにより、凹部４と連結部材５との間に隙間４１が形成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、上下方向において、凹部の深さは、連結部材の厚みとおなじであってもよい。

また、上記実施形態では、連結部材５は、鉄およびステンレスなどにより構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、連結部材は、支持部材と同じ金属材料（アルミニウム）などであってもよい。

また、上記実施形態では、位置決め凸部３７は、鉄およびステンレスなどにより構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、位置決め凸部は、支持部材と同じ金属材料（アルミニウム）などであってもよい。

また、上記実施形態では、位置決め凸部３７は、Ｚ２方向（下方向）側から視て、支持部材３２の底面３２ｆの４つの角部の全てに配置されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、位置決め凸部は、下方向側から視て、支持部材の底面の角部のうち、２つまたは３つの角部に配置されていてもよい。

また、上記実施形態では、位置決め凸部３７は、支持部材３２に設けられているとともに、位置決め孔５１は連結部材５に設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、位置決め凸部は、連結部材に設けられているとともに、位置決め孔は支持部材に設けられていてもよい。

また、上記実施形態では、作業者は、仮止めした状態のリニアコンベアモジュール３および連結部材５を架台１０２に載置した後、リニアコンベアモジュール３および連結部材５の仮止めを解除した状態で、連結部材５を締結部材７により架台１０２に固定するとともに、リニアコンベアモジュール３を締結部材６により架台１０２に固定する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図１６の第５変形例に示すリニアコンベアの設置方法であってもよい。詳細には、図１６に示すように、ステップＳ１において、作業者は、リニアコンベアモジュールを連結部材に仮止めする。ステップＳ６０２において、作業者は、仮止めした状態のリニアコンベアモジュールおよび連結部材を架台に載置するとともに、リニアコンベアモジュールを架台に固定する。ステップＳ６０３において、作業者は、リニアコンベアモジュールを架台に固定した後、リニアコンベアモジュールおよび連結部材の仮止めを解除する。ステップＳ６０４において、作業者は、仮止めを解除した状態の連結部材を架台に固定する。これにより、リニアコンベアモジュールと連結部材との仮止めを解除する前に、リニアコンベアモジュールを架台に載置させて固定することにより、リニアコンベアモジュールと連結部材との相対的な位置を維持してリニアコンベアモジュールを架台に固定することができる。また、リニアコンベアモジュールと連結部材との仮止めを解除した後に、連結部材を架台に固定するので、リニアコンベアモジュールと連結部材とを共締めした状態で架台に固定しないようにすることができる。これらの結果、リニアコンベアモジュールと連結部材との相対的な位置ずれを抑制することができるとともに、架台に対する連結部材の浮きに起因するリニアコンベアモジュールの変形を防止することができる。

２ スライダ
２ｂ リニアモータ可動子
３ リニアコンベアモジュール
４ 凹部
５、２０５、３０５、４０５、５０５ 連結部材
７ 締結部材（第１締結部材）
８ 締結部材（第２締結部材）
３２ 支持部材
３２ｆ 底面
３３ リニアモータ固定子
３４ ガイドレール
３６ ガイド貫通孔
３７ 位置決め凸部（モジュール側位置決め部）
３８ 切り欠き
４１ 隙間
４２ 隙間
５１ 位置決め孔（連結部材側位置決め部）
５３ 仮止め孔
５３ａ めねじ部
７１ 頭部
１０１ リニアコンベア
１０２ 架台
Ｄ 凹部の深さ
Ｈ１ （締結部材の頭部の）高さ
Ｈ２ 突出高さ
Ｔ 連結部材の厚み

Claims (15)

1. リニアモータ可動子を有するスライダの移動をガイドするガイドレールと、リニアモータ固定子とを含み、架台に固定される複数のリニアコンベアモジュールと、
   前記架台に固定され、前記複数のリニアコンベアモジュール同士を互いに連結するとともに、前記架台に固定された状態で前記リニアコンベアモジュールを位置決めする連結部材とを備え、
   前記架台または前記リニアコンベアモジュールの少なくともいずれか一方は、前記架台に固定された状態の前記連結部材が収容される凹部を含み、
   前記リニアコンベアモジュールは、前記連結部材により位置決めされるとともに、前記リニアコンベアモジュールの底面を前記架台に当接させた状態で、前記架台に固定されているとともに、前記連結部材は、前記リニアコンベアモジュールとは別個に、直接前記架台に固定されている、リニアコンベア。
2. 上下方向において、前記凹部の深さが前記連結部材の厚みよりも大きいことにより、前記リニアコンベアモジュールと前記連結部材との間に隙間が形成されている、請求項１に記載のリニアコンベア。
3. 前記リニアコンベアモジュールは、モジュール側位置決め部を含み、
   前記連結部材は、前記モジュール側位置決め部に対応する位置に設けられる連結部材側位置決め部を含み、
   前記リニアコンベアモジュールと前記連結部材とは、前記モジュール側位置決め部と前記連結部材側位置決め部とにより前記リニアコンベアモジュールが前記連結部材に対して水平方向において位置決めされた状態で、別々に前記架台に固定されている、請求項１または２に記載のリニアコンベア。
4. 前記リニアコンベアモジュールは、前記ガイドレールおよび前記リニアモータ固定子を支持し、第１金属材料により構成された支持部材をさらに含み、
   前記モジュール側位置決め部は、前記リニアコンベアモジュールの底面から下方向に突出し、前記第１金属材料より大きい剛性または硬度を有する第２金属材料により構成された位置決め凸部を有し、
   前記連結部材は、前記位置決め凸部が嵌合する前記連結部材側位置決め部としての位置決め孔を含むとともに、前記第１金属材料より大きい剛性または硬度を有する第３金属材料により構成されている、請求項３に記載のリニアコンベア。
5. 前記リニアコンベアモジュールは、下方向から視て、矩形形状を有し、
   前記位置決め凸部は、下方向から視て、前記リニアコンベアモジュールの底面における少なくとも対角線上の２箇所に設けられている、請求項４に記載のリニアコンベア。
6. 前記ガイドレールの延びる方向において、前記凹部と前記連結部材との間には、隙間が形成されている、請求項１～５のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
7. 前記連結部材を前記架台に締結する第１締結部材をさらに備え、
   前記リニアコンベアモジュールは、前記第１締結部材が挿入されるガイド貫通孔を含み、上下方向において、前記第１締結部材の頭部の高さは、前記位置決め凸部の前記リニアコンベアモジュールの底面からの突出高さよりも大きく、
   前記第１締結部材の前記頭部が前記ガイド貫通孔に挿入されてガイドされることにより、前記リニアコンベアモジュールの前記位置決め凸部と前記連結部材の前記位置決め孔とが嵌合するように構成されている、請求項４または５に記載のリニアコンベア。
8. 前記連結部材は、前記リニアコンベアモジュールが前記架台に固定される前に、前記リニアコンベアモジュールと前記連結部材とを仮止めするための第２締結部材が螺合されるめねじ部を有する仮止め孔を含む、請求項１～７のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
9. 前記リニアコンベアモジュールは、前記ガイドレールの延びる方向における前記リニアコンベアモジュールの両端部に形成される切り欠きをさらに含み、
   前記凹部は、前記ガイドレールの延びる方向において隣接する前記リニアコンベアモジュール同士の前記切り欠きを合わせることにより形成されている、請求項１～８のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
10. 前記連結部材は、前記ガイドレールの延びる方向において隣接する前記リニアコンベアモジュール同士の境界部分において分割可能に構成されている、請求項１～９のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
11. 前記連結部材は、前記ガイドレールの延びる方向において位置調整可能に構成されている、請求項１～１０のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
12. 複数のリニアコンベアモジュール同士を互いに連結部材により連結するとともに、前記連結部材により前記リニアコンベアモジュールを位置決めするステップと、
    前記リニアコンベアモジュールの底面を架台に当接させた状態で、前記架台または前記リニアコンベアモジュールの少なくともいずれか一方に設けられた凹部に収容された前記連結部材を、前記リニアコンベアモジュールとは別個に、直接前記架台に固定するとともに、前記架台に前記リニアコンベアモジュールを固定するステップとを備える、リニアコンベアの設置方法。
13. 前記連結部材により前記リニアコンベアモジュール同士を互いに連結するとともに位置決めするステップは、前記リニアコンベアモジュールを前記連結部材に仮止めするステップを含み、
    前記架台に前記連結部材および前記リニアコンベアモジュールを固定するステップは、
    仮止めした状態の前記リニアコンベアモジュールおよび前記連結部材を前記架台に載置するとともに、前記リニアコンベアモジュールおよび前記連結部材の仮止めを解除するステップと、
    前記リニアコンベアモジュールおよび前記連結部材の仮止めを解除した状態で、前記連結部材を前記架台に固定するとともに、前記リニアコンベアモジュールを前記架台に固定するステップとを含む、請求項１２に記載のリニアコンベアの設置方法。
14. 前記連結部材により前記リニアコンベアモジュール同士を互いに連結するとともに位置決めするステップは、前記リニアコンベアモジュールを前記連結部材に仮止めするステップを含み、
    前記架台に前記連結部材および前記リニアコンベアモジュールを固定するステップは、
    仮止めした状態の前記リニアコンベアモジュールおよび前記連結部材を前記架台に載置するとともに、仮止めした状態の前記リニアコンベアモジュールを前記架台に固定するステップと、
    前記リニアコンベアモジュールおよび前記連結部材の仮止めを解除するステップと、
    前記リニアコンベアモジュールおよび前記連結部材の仮止めを解除した状態で、前記連結部材を前記架台に固定するステップとを含む、請求項１２に記載のリニアコンベアの設置方法。
15. メンテナンス時に、前記リニアコンベアモジュールを前記架台から取り外した後、前記架台に固定された前記連結部材に対して位置決めするように前記リニアコンベアモジュールを配置することにより、前記架台に前記リニアコンベアモジュールを再度設置するステップをさらに備える、請求項１２～１４のいずれか１項に記載のリニアコンベアの設置方法。

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