JP7287515B2 - 放射線検出器 - Google Patents
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Description
前記第1のポリイミドフィルムとは異なる第2のポリイミドフィルム上に受光素子及びスイッチング素子を有する光電変換パネルであって、前記受光素子が前記シンチレータ層と対向している前記光電変換パネルと、
前記シンチレータパネルと前記光電変換パネルを接着する粘着層と、
少なくとも前記シンチレータ層を封止する金属箔と、
前記金属箔を剛性板である筐体に接着する接着剤層と、
を備えた放射線検出器。
[2]前記粘着層は、感圧性粘着層であることを特徴とする[1]に記載の放射線検出器。
[3]前記金属箔はアルミニウムであることを特徴とする[1]または[2]に記載の放射線検出器。
[4]前記光電変換パネルは可撓性を有することを特徴とする[1]~[3]のいずれかに記載の放射線検出器。
[5]前記感圧性粘着層の膜厚は、1~100μmであることを特徴とする[1]~[4]のいずれかに記載の放射線検出器。
このような本発明の構成部材を以下に示す。
シンチレータ層は、蛍光体を含有する。 蛍光体層は、外部から入射された放射線であるX線のエネルギーを、可視光に変換する役割を有する。
まず、基本組成式(I):
MIX・aMIIX'2・bMIIIX''3:zA
で表わされる金属ハロゲン化物系蛍光体が挙げられる。
Aは、Y,Ce、Pr,Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Lu,Na,Mg,Cu,Ag(銀),TlおよびBi(ビスマス)からなる群より選択される少なくとも1種の元素を表す。
a,bおよびzはそれぞれ独立に、0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<z<1.0の範囲内の数値を表す。
MIIFX:zLn
で表わされる希土類付活金属フッ化ハロゲン化物系蛍光体も挙げられる。
Ln2O2S:zA
で表される希土類酸硫化物系蛍光体も挙げられる。
MIIS:zA
で表される金属硫化物系蛍光体も挙げられる。
Ma(AG)b:zA
で表される金属オキソ酸塩系蛍光体も挙げられる。
またaおよびbは、金属及びオキソ酸基の価数に応じて取り得る値全てを表す。zは、0<z<1である。
MaOb:zA
で表わされる金属酸化物系蛍光体が挙げられる。
またaおよびbは、金属及びオキソ酸基の価数に応じて取り得る値全てを表す。zは、0<z<1である。
LnOX:zA
で表わされる金属酸ハロゲン化物系蛍光体が挙げられる。
粒子分散液を使用する場合、高分子結合材(以下「バインダー」ともいう。)が含まれていてもよく、高分子結合材としては、具体的には、ポリウレタン、塩化ビニル共重合体、塩化ビニル-酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル-塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル-アクリロニトリル共重合体、ブタジエン-アクリロニトリル共重合体、ポリアミド樹脂、ポリビニルブチラール、ポリエステル、セルロース誘導体(ニトロセルロース等)、スチレン-ブタジエン共重合体、各種の合成ゴム系樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノキシ樹脂、シリコン樹脂、アクリル系樹脂、尿素ホルムアミド樹脂等が挙げられる。なかでもポリウレタン、ポリエステル、塩化ビニル系共重合体、ポリビニルブチラール、ニトロセルロースを使用することが好ましい。
シンチレータ層は、支持基板に形成されていても、光電変換パネルを構成する受光素子などの表面に設けられていてもよい。
本発明で用いられる光電変換パネルは、光を、電気信号に変換して、外部に出力する役割を有するものであり、可撓性を有するものが使用される。ここで、本発明で用いられる光電変換パネルの構成は特に制限はないものの、通常、支持基板と、受光素子およびスイッチング素子とを有し、支持基板上に素子が積層された形態を有している。これらの素子は、シンチレータ層で発生した光を吸収して、電荷の形に変換する機能を有している。ここで、これらの素子は、そのような機能を有する限り、どのような具体的な構造を有していてもよい。例えば、受光素子は、透明電極と、入光した光により励起されて電荷を発生する電荷発生層と、対電極とからなるものとすることができる。これら透明電極、電荷発生層および対電極は、いずれも、従来公知のものを用いることができ、ガラス板又は樹脂フィルムを主成分として構成されることが好ましい。また、本発明で用いられる受光素子は、適当なフォトセンサーから構成されていても良く、例えば、複数のフォトダイオードを2次元的に配置してなるものであってもよく、あるいは、CCD(Charge Coupled Devices)、CMOS(Complementary metal-oxide-semiconductor)センサーなどの2次元的なフォトセンサーからなるものであっても良い。
図9にフレキシブルTFTの画素断面図を示す。図9における支持基板は、可撓性のあるフィルムやプラスチック基板が使用される。
・ガラス基板表面にフィルム材を塗布した後にTFTやPDを作製
・TFTやPDを作製後にフィルムをガラスから剥離
・必要に応じてプラスチック基板等の支持基板を貼り付け
といったフローで実現される。
・ガラス基板表面にフィルム材を塗布
・フィルム上に防湿層を形成した後にTFTやPDを作製
・TFTやPDを作製後にフィルムをガラスから剥離
・必要に応じてプラスチック基板等の支持基板を貼り付け
といったフローで実現することも可能である。
支持基板は、上記120℃での弾性率(E120)が、0.1~300GPaであることが好ましく、1~100GPaであることがより好ましい。
本発明の放射線検出器は、上記シンチレータパネルと、光電変換パネルとから構成される。光電変換パネルは、受光素子およびスイッチング素子はシンチレータ層と対向している。
本発明の放射線検出器は、その構成により、以下の態様が挙げられる。
本発明にかかる放射線検出器の第1の態様を、図2(a)~(g)に示す。
第1の態様は、図2(a)に示されるように前記防湿材料かなる防湿層が、シンチレータパネルの表面の防湿層(A)、および放射線検出器の対向面のシンチレータパネルを覆う防湿層(B)から構成される。
接着層には感圧性接着シートを用いてもよい。本発明の接着層に用いることができる感圧性接着シートとしては、例えば、感圧性粘着剤を塗布した、いわゆる両面テープがある。感圧性粘着剤には、例えば、アクリル系、ウレタン系、ゴム系又はシリコーン系の樹脂を主成分とするものがある。なかでも、光透過性及び接着性の観点から、アクリル系又はシリコーン系の樹脂を主成分とするものが好ましい。市販の両面テープには、例えば、日東電工(株)製 No.5601、No.5603、No.5605等、(株)寺岡製作所製 No.7027、No.7029等、積水化学工業(株)製 #5402、#5402A、#5405、#5405A等がある。
本発明にかかる放射線検出器の第2の態様を、図3(a)~(e)に示す。
図3(a)に示されるように、第2の態様では、防湿材料が、シンチレータパネル表面の防湿層(A)と、受光素子およびスイッチング素子の支持体と素子の間の防湿層(B)とから構成される。
なお、防湿層(A)は前記第1の態様と同様の構成を採用できる。
さらに、第1の態様と同様に防湿層(A)が、接着層を介してシンチレータパネルに貼り合されるもの一態様である。さらに、防湿層(A)及び防湿層(B)の少なくとも一方または両方が、導電機能を具備していてもよい。導電機能を備えさせると、市場環境内で内部に静電気を逃すことが可能となり、静電気によるムラを解消できる。
本発明にかかる放射線検出器の第3の態様を、図4(a)~(d)に示す。
図4(a)に示されるように、第3の態様では、シンチレータパネルの表面の防湿層(A)と、
光電変換パネルのシンチレータと反対側の表面の防湿層(B)とから構成される。
なお、防湿層(A)は前記第1および第2の態様と同様の構成を採用できる。
さらに、防湿層(A)及び防湿層(B)の少なくとも一方または両方が、導電機能を具備していてもよい。導電機能を備えさせると、市場環境内で内部に静電気を逃すことが可能となり、静電気によるムラを解消できる。
本発明では、さらに光電変換パネルのシンチレータ側と反対の面に、剛性板を有するのも一態様である。
薄層樹脂基板から構成されるフレキシブルな放射線検出器は、使用中の衝撃によりズレを発生させることがある。そこで、剛性板で固定することによって、部材の密着性を増し、ズレや欠陥の増加のない放射線検出器を得ることができる。
剛性板を用いた態様を図5(a)~(f)に示す。
たとえば、図5(a)に示されるように、該光電変換パネルのシンチレータ側と反対の面に、剛性板を有するのが一態様である。
さらに図5(f)に示すように、剛性板が防湿層(A)の機能を備えてもよい。
剛性板が放射線検出器を収める筐体の天板であってもよい。
5・・・走査線
6・・・信号線
7・・・フォトダイオード
8・・・TFT
Claims (5)
- 第1のポリイミドフィルム上に、柱状結晶で構成されたシンチレータ層を有するシンチレータパネルと、
前記第1のポリイミドフィルムとは異なる第2のポリイミドフィルム上に受光素子及びスイッチング素子を有する光電変換パネルであって、前記受光素子が前記シンチレータ層
と対向している前記光電変換パネルと、
前記シンチレータパネルと前記光電変換パネルを接着する粘着層と、
少なくとも前記シンチレータ層を封止する金属箔と、
前記金属箔を剛性板である筐体に接着する接着剤層と、
を備えた放射線検出器。 - 前記粘着層は、感圧性粘着層であることを特徴とする請求項1に記載の放射線検出器。
- 前記金属箔はアルミニウムであることを特徴とする請求項1または2に記載の放射線検出器。
- 前記光電変換パネルは可撓性を有することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の放射線検出器。
- 前記感圧性粘着層の膜厚は、1~100μmであることを特徴とする請求項2に記載の放射線検出器。
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