JP7281887B2 - ポリイミド前駆体及びポリイミド - Google Patents
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Description
しかし、熱膨張係数(CTE)が40ppm/Kを超えているため、ガラス基板等の無機基板とのCTEの差が大きい。そのため、反りが発生しやすく、デバイス形成後に剥離やクラックが発生するなど、形状安定性に優れたフレキシブルデバイスを得るのが難しくなる。
しかし、得られるポリイミドフィルムは、透明性(光透過率)が低く、また、耐熱性が低いという問題があった。
しかし、このポリイミドは、溶剤に対する溶解性が低く、フィルムの光透過率が低い。さらに、長鎖のシロキサン骨格を有するジアミンは、不純物として環状シロキサン化合物を含有するが、この環状シロキサン化合物は揮発性が高いため、アウトガスが多い、という重大な問題がある。アウトガスが多い場合、例えば有機EL装置の製造工程において、ポリイミド基板上に各種機能層を形成する際に、アウトガス成分により十分減圧することができず、機能層の形成不良を起こす恐れがある。
しかし、このポリイミドは、透明性が十分でない。
(式中、Z1及びZ2は、それぞれ独立して、炭素数1~3のアルキル基又は炭素数1~3のフッ素置換アルキル基である。)
(式中、R1及びR2は、それぞれ独立に、炭素数3~20の二価の脂肪族炭化水素基、又は炭素数6~20の二価の芳香族炭化水素基であり、R3、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、炭素数1~3の一価の脂肪族炭化水素基、又は炭素数6~10の芳香族炭化水素基であり、mは、1~2の整数である。)
なお、ポリイミド前駆体及びポリイミドの構造単位とその割合は、ジアミンと酸二無水物の種類と使用割合によって定まるので、構造単位の説明はジアミンと酸二無水物により説明する。ジアミンと酸二無水物の使用割合は、それぞれに由来する構造単位の存在割合とする。
Z1及びZ2は、それぞれ独立して、炭素数1~3のアルキル基又は炭素数1~3のフッ素置換アルキル基である。好ましくは、2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、または2,2’-ビス(トリメチル)ベンジジンに由来する構造単位である。
R1及びR2は、それぞれ独立に、炭素数3~20の二価の脂肪族炭化水素基、又は6~20の二価の芳香族炭化水素基である。好ましくは炭素数1~6のアルキレン基、特にメチレン基、エチレン基又はプロピレン基である。R3、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、炭素数1~3の一価の脂肪族炭化水素基、又は炭素数6~10の芳香族炭化水素基である。好ましくは、メチル基又はフェニル基である。mは、1~2の整数である。mが3を超えると、リタデーション及び弾性率が高くなり、黄色度(YI)が悪化し、透明度が低下し、アウトガスの発生が多くなるので好ましくない。好ましくは、m=1である。
また、4,4’-(2,2’-ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、又は4,4’-オキシジフタル酸二無水物は、耐熱性、透明性に優れ、CTEを適切な範囲に制御できることから好ましい。より好ましくは、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物である。
フレキシブルデバイス用基板の耐熱性の観点から、ガラス転移温度(Tg)が200℃以上、好ましくは250℃以上であることがよい。また、熱分解温度(1%重量減少温度、Td1)が350℃以上であることが良い。
弾性率(E’)が4GPa以下であることがよい。好ましくは3.5GPa以下である。ここで、弾性率は、別段の断りがない限り、室温での引張弾性率である。この範囲であれば、有機EL装置用TFT基板、タッチパネル基板、カラーフィルター等における機能層積層等のフレキシブルデバイスの製造時に、基板の残存応力が少なく、フレキシブルデバイスの製造歩留まりに優れる。
厚み方向のリタデーションRthは、フィルム厚み10μmで換算した値(Rth10)で800nm以下が好ましく、より好ましくは500nmであり、さらに好ましくは、200nm以下である。この範囲であれば、例えば、タッチパネル基板として使用した場合、視認性等の光学特性に優れる。
フレキシブルデバイス用基板の透明性の観点から、厚さ10~15μmのフィルムの状態において、可視領域の全光線透過率が70%以上、好ましくは80%以上であることがよい。厚さ10~15μmのポリイミドフィルムの状態において、450nmの光透過率70%以上が好ましく、より好ましくは80%以上である。さらに好ましくは、これに加え、308nmの光透過率が3%以下であり、さらに好ましくは1%未満であり、さらに好ましくは0.1%未満である。この範囲であれば、近紫外領域の光線を吸収し、かつ、紫外領域光線の透過率が高い。可視光領域の透明性を保持しながら、エキシマレーザー等による308nmレーザー光を吸収することができる。その結果、有機EL装置用基板、タッチパネル基板、トップエミッション構造を有するカラーフィルター基板等のフレキシブルデバイスの製造工程において、フレキシブル基板にレーザー照射することにより、ポリイミドフィルム層の上の表示装置にダメージを与えることなく、支持基材のガラスを剥離させることができる。つまり、レーザーリフトオフ法を好ましく適用することができる。
なお、レーサーリフトオフ法とは、例えば、支持基材のガラス上にポリイミドフィルム層を形成し、次いでこのポリイミドフィルム層上に後述する機能層を形成することで積層体とする。この積層体のガラスを通して、ポリイミドフィルムの底面にレーザーを照射することにより、ガラスとポリイミドフィルム層を剥離する技術である。
好ましくは、ポリイミド前駆体を含む樹脂溶液(樹脂組成物)を、基板上に塗布した後、乾燥、熱処理するか、液相中でイミド化まで完了させた樹脂溶液を基材上に塗布乾燥するか、別途作成したポリイミドフィルムを別の基材上に張り付けることで、ポリイミド積層体を得ることができる。生産効率の観点からは、前記のように基材上でイミド化を行い、そのまま積層体とし、必要によりこれを剥離してフィルムとすることが望ましい。
(酸二無水物)
・PMDA: ピロメリット酸二無水物
・6FDA: 4,4'-(2,2'-ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物
・CBDA:1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物
(ジアミン)
・TFMB: 2,2'-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン
・AAPBZI:5-アミノ-2-(4-アミノフェニル)ベンゾイミダゾール
・BY16-871:ジアミノプロピルテトラメチルジシロキサン(東レ・ダウコーニング製、アミン当量125g/mol、式2のm=1)
・X-22-1660B-3:両末端アミノ変性メチルフェニルシリコーン(信越化学株式会社製、アミン当量2160g/mol、式2のm≧3)
(溶剤)
・NMP: N-メチル-2-ピロリドン
ポリイミドフィルム(50mm×50mm)をSHIMADZU UV-3600分光光度計にて、450nmにおける光透過率(T450)を求めた。
また、下式(5)で表される計算式に基づいてYI(黄色度)を算出した。
YI=100×(1.2879X-1.0592Z)/Y (5)
X, Y, Zは試験片の三刺激値、JIS Z 8722に規定する。
下式(6)で表される、厚み10μmに換算した値YI10を算出した。
YI10=YI/厚み*10 (6)
ポリイミドフィルム(3mm×15mm)を、熱機械分析(TMA)装置にて5.0gの荷重を加えながら一定の昇温速度(10℃/min)で30℃から220℃まで昇温し、次いで、200℃から100℃まで降温し、降温時におけるポリイミドフィルムの伸び量から熱膨張係数を測定した。
ポリイミドフィルム(10~20mg)を、SEIKO社製の熱重量分析(TG)装置TG/DTA6200にて、窒素雰囲気下、10℃/minの昇温速度で30℃から550℃まで昇温させたときの重量変化を測定し、200℃での重量をゼロとし、重量減少率が1%の時の温度を熱分解温度(Td1)とした。
ポリイミドフィルム(5mm×70mm)を動的熱機械分析装置にて23℃から400℃まで5℃/分で昇温させたときの動的粘弾性を測定し、tanδ極大値を示す温度を、ガラス転移温度(Tg)とした。
ポリイミドフィルム(12.4mm×160mm)を、テンションテスターを用い、10kgの荷重を加えながら50mm/minで引っ張り試験を行った。
ポリイミドフィルム(50mm×50mm)を、ヘイズメーターで全光線透過率を測定した。
ポリイミドフィルム(50mm×50mm)を、複屈折・位相差評価装置(株式会社フォトニックラティス社製、WPA-100)を用いて、試料に入射する光の入射角を変更するために試料を回転させる回転装置を付けて、波長543nmにて、ポリイミドフィルムのリタデーションの入射角依存性を測定した。測定値を前記リタデーションの入射角依存性の測定データを数値解析して、厚み方向のリタデーションRthを求めた。フィルム厚み10μmで換算後の値をRth10とした。
東邦テクノロジー株式会社製の薄膜ストレス測定装置FLX-2320を用いて測定した。6インチのシリコンウエハの上に、ポリイミドフィルム10μmを製膜し、製膜前後のシリコンウエハの反りを測定し、ポリイミドフィルムの残存応力を算出した。
窒素気流下で、100mlのセパラブルフラスコの中に、3.02gのBY16-871を、70gのNMPに溶解させた。次いで、この溶液に、9.04gのTFMBを加えた。10分間撹拌した後、17.93gの6FDAを加えた。なお、酸二無水物(a)とジアミン(b)のモル比(a/b)は、1.0とした。この溶液を、40℃で10分間加熱し、内容物を溶解させ、その後、溶液を室温で10時間攪拌を続けて重合反応を行い、高重合度のポリイミド(PI)前駆体A(粘稠な溶液)を得た。
窒素気流下で、100mlのセパラブルフラスコの中に、2.44gのBY16-871を、70gのNMPに溶解させた。次いで、この溶液に、11.44gのTFMBを加えた。10分間撹拌した後、12.14gの6FDAを加え、続いて、3.98gのPMDAを加えた。なお、酸二無水物(a)とジアミン(b)のモル比(a/b)は、1.0とした。この溶液を、40℃で10分間加熱し、内容物を溶解させ、その後、溶液を室温で10時間攪拌を続けて重合反応を行い、高重合度のポリイミド(PI)前駆体B(粘稠な溶液)を得た。
酸二無水物(a)及びジアミン(b)を表1に示す質量(g)組成に変更した以外は、合成例1と同様にしてポリイミド前駆体溶液を調製し、ポリイミド(PI)前駆体C~Kを得た。
合成例1で得られたポリイミド前駆体溶液Aに、溶剤NMPを加えて、粘度が4000cPになるように希釈した上で、75μmのユーピレックス-Sフィルムの支持基材上に、バーコーターを用いて、硬化後のポリイミド厚みが約10μmになるように塗工した。続いて、100℃で15分間加熱を行った。そして、窒素雰囲気中で、一定の昇温速度(3℃/min)で室温から340℃まで昇温させ、・BR>R中130℃で10MIN保持し、支持基材の上にポリイミド層(ポリイミドA)を形成し、ポリイミド積層フィルムAを得た。それから、ポリイミド基材を剥離し、ポリイミド(PI)フィルムAを得た。上記剥離は、形成されたポリイミド層だけを、カッターで切り口を1周作って、剥離する範囲を決めてから、ピンセットで基板から剥離することによって行った。なお、これらのフィルムの厚みは、厚みの項に示した。
合成例2~5、7、8で得られたポリイミド前駆体をポリイミド(PI)前駆体B~E、G、Hのいずれかに代えた他は、実施例1と同様にして操作を行い、ポリイミドフィルムB~E、G、Hを得た。
合成例6で得られたポリイミド前駆体溶液Fに、溶剤NMPを加えて、粘度が4000cPになるように希釈した上で、ガラス基板(旭硝子製AN100、サイズ=150mm×150mm、厚み=0.7mm)上に、スピンコーターを用いて、硬化後のポリイミド厚みが約10μmになるように塗工した。続いて、100℃で15分間加熱を行った。そして、窒素雰囲気中で、一定の昇温速度(3℃/min)で室温から340℃まで昇温させ、途中130℃で10min保持し、ガラス基板上に150mm×150mmのポリイミド層(ポリイミドF)を形成し、ポリイミド積層体Fを得た。
得られたポリイミド積層体Fについて、エキシマレーザー加工機(波長308nm)を用いて、ビームサイズ14mm×1.2mm、移動速度6mm/sのレーザーを300mJ/cm2のエネルギー密度で支持基材のガラス基板側から照射し、支持基材とポリイミド層が完全に分離された状態にさせ、カッターで剥離範囲を決め、切り口を1周入れてからポリイミドフィルムがガラスから自然剥離して、ポリイミドフィルムFを得た。
合成例9で得られたポリイミド前駆体溶液Iに、溶剤NMPを加えて、粘度が4000cPになるように希釈した上で、75μmのユーピレックス-Sフィルムの支持基材上に、バーコーターを用いて、硬化後のポリイミド厚みが約10μmになるように塗工した。続いて、100℃で15分間加熱を行った。そして、窒素雰囲気中で、一定の昇温速度(3℃/min)で室温から300℃まで昇温させ、途中130℃で10min保持し、支持基材の上にポリイミド層(ポリイミドA)を形成し、ポリイミド積層フィルムIを得た。それから、ポリイミド基材を実施例1と同様の方法で剥離し、ポリイミドフィルムIを得た。
合成例10、11で得られたポリイミド前駆体J、Kのいずれかに代えた他は、実施例1と同様にして操作を行い、ポリイミドフィルムJ、Kを得た。
Claims (6)
- ジアミンに由来する構造単位と酸二無水物に由来する構造単位とを有するポリイミド前駆体であって、
ジアミンに由来する構造単位として、i)下記式(1)で表される芳香族ジアミンに由来する構造単位を全ジアミンの50モル%以上含有し、かつ、ii)下記式(2)で表される珪素含有ジアミンに由来する構造単位を全ジアミンの20モル%超50モル%以下含有し、
酸二無水物に由来する構造単位として、i)4,4’-(2,2’-ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物及びピロメリット酸二無水物、ii)1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、iii)4,4’-オキシジフタル酸二無水物よりなる群から選ばれる酸二無水物に由来する構造単位を含有することを特徴とするポリイミド前駆体。
- ジアミンに由来する構造単位と酸二無水物に由来する構造単位とを有するポリイミドであって、
ジアミンに由来する構造単位として、i)下記式(1)で表される芳香族ジアミンに由来する構造単位を全ジアミンの50モル%以上含有し、かつ、ii)下記式(2)で表される珪素含有ジアミンに由来する構造単位を全ジアミンの20モル%超50モル%以下含有し、
酸二無水物に由来する構造単位として、i)4,4’-(2,2’-ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物及びピロメリット酸二無水物、ii)1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、iii)4,4’-オキシジフタル酸二無水物よりなる群から選ばれる酸二無水物に由来する構造単位を含有することを特徴とするポリイミド。
- 黄色度(YI)が10以下である請求項2に記載のポリイミド。
- フレキシブルデバイス用基板に使用する請求項2に記載のポリイミド。
- 支持体の表面上に、請求項4に記載のポリイミドの層が形成されてなる積層体。
- 請求項4に記載のポリイミドの層の表面上に機能層が形成されてなるフレキシブルデバイス。
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