JP7260959B2 - リソグラフィ装置、照明装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
2次元的に配列された複数のミラー素子を含み、前記複数のミラー素子のそれぞれで反射された光を選択的に前記基板に照射して前記パターンを形成するデジタルミラーデバイスと、
前記複数のミラー素子から前記基板に照射される複数の光が結像するそれぞれの位置と前記基板の表面位置とのそれぞれのずれ量に関するデフォーカス情報を取得する取得部と、
前記基板に前記パターンを形成する際に、前記取得部で取得されたデフォーカス情報に基づいて前記複数のミラー素子のそれぞれを個別に制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記複数のミラー素子のそれぞれについて、当該ミラー素子から前記基板に照射される光の前記基板に対する入射角度を制御することを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記制御部は、前記複数のミラー素子のそれぞれについて、前記基板に対するミラー素子の反射面の角度を制御することを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記デジタルミラーデバイスと前記基板との間に配置され、前記デジタルミラーデバイスからの光を前記基板に投影する投影光学系を更に有することを特徴とする請求項1又は2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記デジタルミラーデバイスは、前記投影光学系を介して前記基板と光学的に共役な位置に配置されていることを特徴とする請求項3に記載のリソグラフィ装置。
- 前記投影光学系は、前記複数のミラー素子の数及び位置に対応して設けられた複数の開口を含む開口板を含み、
前記取得部は、前記投影光学系から前記基板に投影されて前記基板で反射された光のうち、前記複数の開口を通過した光の光量を計測する計測器を含み、該計測器で計測された光量に基づいて前記デフォーカス情報を取得することを特徴とする請求項3又は4に記載のリソグラフィ装置。 - 前記取得部は、前記複数の開口を通過する光の光量と前記ずれ量との相関関係に基づいて、前記計測器で計測された光量に対応する前記ずれ量を特定することで前記デフォーカス情報を取得することを特徴とする請求項5に記載のリソグラフィ装置。
- 前記取得部は、前記基板の表面位置を計測するフォーカス計測系を含み、前記フォーカス計測系で計測された前記基板の表面位置に基づいて前記デフォーカス情報を取得することを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記フォーカス計測系は、前記基板に前記パターンを形成する前に、前記基板の表面位置を計測することを特徴とする請求項7に記載のリソグラフィ装置。
- 被照明面を照明する照明装置であって、
2次元的に配列された複数のミラー素子を含み、前記複数のミラー素子のそれぞれで反射された光を選択的に前記被照明面に照射するデジタルミラーデバイスと、
前記複数のミラー素子から前記被照明面に照射される複数の光が結像するそれぞれの位置と前記被照明面の位置とのそれぞれのずれ量に関するデフォーカス情報を取得する取得部と、
前記被照明面を照明する際に、前記取得部で取得されたデフォーカス情報に基づいて前記複数のミラー素子のそれぞれを個別に制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記複数のミラー素子のそれぞれについて、当該ミラー素子から前記被照明面に照射される光の前記被照明面に対する入射角度を制御することを特徴とする照明装置。 - 請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、
処理された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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