JP7258272B2 - 熱伝導率測定装置、加熱装置、熱伝導率測定方法、及び品質保証方法 - Google Patents

熱伝導率測定装置、加熱装置、熱伝導率測定方法、及び品質保証方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7258272B2
JP7258272B2 JP2018167064A JP2018167064A JP7258272B2 JP 7258272 B2 JP7258272 B2 JP 7258272B2 JP 2018167064 A JP2018167064 A JP 2018167064A JP 2018167064 A JP2018167064 A JP 2018167064A JP 7258272 B2 JP7258272 B2 JP 7258272B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
heat source
thermal conductivity
temperature
sample container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018167064A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020041811A (ja
Inventor
陽平 藤川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Showa Denko Materials Co Ltd
Resonac Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd, Showa Denko Materials Co Ltd, Resonac Corp filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP2018167064A priority Critical patent/JP7258272B2/ja
Priority to CN201910832994.6A priority patent/CN110879235A/zh
Priority to US16/559,746 priority patent/US11454599B2/en
Publication of JP2020041811A publication Critical patent/JP2020041811A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7258272B2 publication Critical patent/JP7258272B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/20Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/18Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating thermal conductivity
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G01J5/12Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/14Supports; Fastening devices; Arrangements for mounting thermometers in particular locations
    • G01K1/143Supports; Fastening devices; Arrangements for mounting thermometers in particular locations for measuring surface temperatures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/12Thermometers specially adapted for specific purposes combined with sampling devices for measuring temperatures of samples of materials
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/02Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
    • G01K7/08Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples the object to be measured forming one of the thermoelectric materials, e.g. pointed type

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Description

本発明は、熱伝導率測定装置、加熱装置、熱伝導率測定方法、及び品質保証方法に関する。
熱伝導率測定方法には、主に定常法と非定常法がある。定常法は、試料に定常的な温度勾配を与え、熱伝導率を測定する方法である。非定常法は、試料に過渡的な熱流エネルギーを加え、試料の温度応答から熱伝導率を算出する方法である。
ここで、2000℃程度の高温が必要とされる場面、例えば炭化珪素(SiC)の結晶成長のための装置などでは、一般に、装置内の温度は精密に制御することが望ましい。従って、上記装置で使用される断熱材等の材料の熱伝導率を事前に把握しておくことは重要である。
2000℃程度の高温において材料の熱伝導率を求めるには、一般に、非定常法であるレーザフラッシュ法を使用できる。しかしながら、レーザフラッシュ法では、試料は均質で緻密であることが要求されるため、繊維や粒状物質の複合材料や積層材料など、測定に適さないものが存在する。また、複数の試料を同時に測定することができないため、同一環境下で複数の試料の熱伝導率を簡単に求めることはできない。
複数の試料の相対比較により熱伝導率を測定する方法としては、例えば特許文献1において、試料が埋め込まれた銅ブロックの裏面を加熱し、試料及び銅ブロックの表面の温度分布を熱画像装置によって測定し、その温度差から試料の熱伝導率を所定の式を用いて算出する方法が開示されている。
特公平7-18826号公報
しかしながら、特許文献1では、2000℃程度の高温において材料の熱伝導率を精度良く測定することは開示されていない。また、銅ブロックの温度と試料の温度は異なる位置で測定されていたため、それらの温度の比較では精度が低かった。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、2000℃程度の高温において相対比較により材料の熱伝導率を精度良く測定する熱伝導率測定装置、加熱装置、熱伝導率測定方法、及び品質保証方法を提供することを目的とする。
本発明者等は鋭意検討の結果、複数の格納部を有するサンプル容器を準備し、サンプル容器の複数の格納部を移動させ、所定の位置において複数の格納部内のサンプルの温度を測定することで、2000℃程度の高温において相対比較によりサンプルの熱伝導率を精度良く測定できることを見出した。すなわち、本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
(1)第1の態様にかかる熱伝導率測定装置は、複数の格納部を有するサンプル容器と、前記サンプル容器の前記複数の格納部を移動させる駆動部と、前記サンプル容器の所定の位置の温度を測定する放射温度計と、を有する。
(2)上記態様にかかる熱伝導率測定装置において、前記駆動部は、前記サンプル容器を回転させてもよい。
(3)第2の態様にかかる加熱装置は、熱源と、前記熱源の上面又は側面に設けられ、複数の格納部を有するサンプル容器と、前記熱源を回転させ、前記熱源と共に前記サンプル容器を回転させる駆動部と、前記サンプル容器の所定の位置の温度を測定する放射温度計と、を有する。
(4)上記態様にかかる加熱装置は、前記熱源を覆う断熱材をさらに有し、前記サンプル容器の前記熱源と反対側の面は、前記断熱材に囲まれた空間に露出してもよい。
(5)第3の態様にかかる熱伝導率測定方法は、標準サンプル及び対象サンプルを移動させて、同じ位置で前記標準サンプル及び前記対象サンプルの温度を計測する計測工程と、前記計測工程で測定されたそれぞれの温度に基づいて、前記対象サンプルの測定環境中における熱伝導率を求める導出工程と、を有する。
(6)上記態様にかかる熱伝導率測定方法において、前記計測工程は、前記標準サンプル及び前記対象サンプルを回転させて、同じ位置で前記標準サンプル及び前記対象サンプルの温度を計測してもよい。
(7)第4の態様にかかる品質保証方法は、第1の熱伝導率値を有する第1標準サンプルと、第2の熱伝導率値を有する第2標準サンプルと、対象サンプルとを移動させて、同じ位置で前記第1標準サンプル、前記第2標準サンプル、及び前記対象サンプルの温度をそれぞれ計測する計測工程と、計測された前記第1標準サンプルの第1温度と前記第2標準サンプルの第2温度との間に、計測された前記対象サンプルの第3温度が入るか否かを判定する判定工程と、を有する。
上記態様にかかる熱伝導率測定装置を用いることで、2000℃程度の高温において相対比較により材料の熱伝導率を精度良く求めることができる。
本実施形態にかかる熱伝導率測定装置の模式図である。 本実施形態にかかる加熱装置の断面模式図である。 本実施形態にかかる加熱装置の別の例の断面模式図である。 本実施形態にかかる加熱装置の別の例からサンプル容器を抜き出した模式図である。 第2の方法を用いた熱伝導率測定方法に用いるサンプル容器の模式図である。 第2の方法を用いた熱伝導率測定方法を説明するための模式図である。 定常状態シミュレーションによる、アルゴン(標準サンプルA)充填したサンプル容器頂部の温度と各材料を充填した容器頂部の温度との差と熱伝導率との関係の検量線を示す図である。 放射温度計によって測定された各サンプルの温度を時間に対してプロットしたグラフを示す図である。 図8において定常状態となった部分(矢印より後の部分)を拡大したグラフを示す図である。
以下、本実施形態について、図を適宜参照しながら詳細に説明する。以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などは実際とは異なっていることがある。以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
[熱伝導率測定装置]
図1は、本実施形態にかかる熱伝導率測定装置1の模式図である。図1に示すように、熱伝導率測定装置1は、サンプル容器10と、駆動部20と、放射温度計30と、を有する。
(サンプル容器)
サンプル容器10は、複数の格納部を有する。図1には例として3つの格納部10A、10B、10Cが示されているが、格納部の数は問わない。格納部には、既知の熱伝導率を有する1つ又は複数の標準サンプルと、熱伝導率を求める必要がある1つ又は複数の対象サンプルとを設置する。例えば、格納部10Aに標準サンプル、格納部10Bに第1の対象サンプル、格納部10Cに第2の対象サンプルを設置する。サンプルの形態は問わず、粒子形態であってもフィラー形態であってもよい。標準サンプルは熱伝導率が既知のものであれば何でもよく、例えばアルゴン等の気体を使用することができる。対象サンプルは、熱伝導率を測定したいものであり、例えば炭素繊維を3次元的に配向させた炭素繊維フェルトが挙げられる。
サンプル容器は、格納部にサンプルSを充填したのち、黒鉛製の蓋をすることが望ましい。放射温度計で測温する表面の放射率を一定とすることで、測定精度を高めることができる。
サンプル容器10の形状は、図1では円形として示されているが、放射温度計30によって各格納部内のサンプルの温度が順番に一定時間に亘って測定されるものであれば特に問わず、楕円形でも矩形でも多角形でもよい。また、サンプル容器10は、その内部に駆動部20が嵌合されるように、図1に示すようなドーナツ形状であってもよい。
(駆動部)
駆動部20は、各格納部内のサンプルを放射温度計の下に移動させることができるものであれば、特に問わない。例えば、サンプル容器10の中心軸に設けられた回転する回転軸を駆動部20として用いることができる。駆動部20はサンプル容器10の格納部10A、10B、10Cを回転により移動させてもよいし、サンプル容器10の格納部10A、10B、10Cを並進により移動させてもよい。図1に示す駆動部20は、円形のサンプル容器10を回転させて、各格納部内のサンプルを放射温度計30の下に移動させる。駆動部20は、ドーナツ形状のサンプル容器10の穴に嵌合する形状であってもよい。
(放射温度計)
放射温度計30は、サンプル容器10の所定の位置の温度を測定する。放射温度計30は、所定の位置に固定されている。図1に示すサンプル容器10は回転により、各格納部10A、10B、10Cの位置が変化する。放射温度計30の測定点に対して各格納部10A、10B、10Cの位置が相対的に変化することで、各格納部10A、10B、10Cの温度がそれぞれ測定される。放射温度計30は、2000℃程度の高温を測定できるものであれば、特に問わない。
このような熱伝導率測定装置1を用いることにより、標準サンプルの温度及び対象サンプルの温度を全く同一環境下において測定できる。また測定された標準サンプルと対象サンプルの温度差から精度良く熱伝導率を求めることができる。さらに、実際に対象サンプルが使用される環境に熱伝導率測定装置1を設置することで、実環境下における熱伝導率を精密に計測できる。
[加熱装置]
図2は、本実施形態にかかる加熱装置の断面模式図である。図2に示す加熱装置2は、熱源40と、サンプル容器10と、駆動部20と、加熱手段50と、放射温度計30と、断熱材60と、を有する。
(熱源)
熱源40には、黒鉛を用いることができる。熱源40は、後述する加熱手段50からの誘導電流によって加熱される。また、加熱手段50を使用せず、熱源40として抵抗加熱ヒーターなどのヒーターを使用してもよい。
(サンプル容器)
サンプル容器10は、熱源40の上面に設置されている。サンプル容器10は、上述の熱伝導率測定装置1におけるサンプル容器10と同様のものである。サンプル容器10には、複数の格納部が設けられている。図2に示すサンプル容器10は、熱源40の回転軸と回転軸が一致している。回転軸が一致することで、熱源40及びサンプル容器10を共に回転させる場合にサンプル容器10の位置がずれない。熱源40が駆動部20によって回転することで、サンプル容器10も熱源40と共に回転する。サンプル容器10の格納部10A、10B、10Cについては、上述の通りであるため、詳細な説明を省略する。
(駆動部)
駆動部20は、熱源40及びサンプル容器10を共に回転させる。駆動部20の構成は特に問わない。例えば、図2に示すように熱源40に接続された回転する回転軸でもよい。回転軸が回転することで、熱源40が回転し、サンプル容器10も回転する。
(加熱手段)
加熱手段50は、コイル51を備える。加熱手段50は、コイル51に交流電流を印加することで、熱源40が発熱する直接加熱方式の高周波誘導加熱方式である。加熱装置2では、コイル51に交流電流を印加することで、熱源40が発熱する。
コイル51は、熱源40を囲繞する。コイル51には、誘導加熱に用いられる誘導コイルを用いることができる。
(断熱材)
断熱材60は、熱源40の周囲を取り囲む。断熱材60は、加熱された熱源40が冷えることを防ぐ。断熱材60は、放射温度計30による測温孔60aが設けられている。
図2に示す断熱材60は、第1部分60Aと第2部分60Bと第3部分60Cとを有する。第1部分60Aは、熱源40の側方を囲む。第2部分60Bは、熱源40の上方を覆う。第3部分60Cは、熱源40の下方を覆う。第1部分60A及び第3部分60Cは、第1空間A1を形成する。第2部分60Bは、第2空間A2を形成する。第1空間A1内には熱源40が収容され、第2空間A2内にはサンプル容器10が収容される。第1部分60Aと第3部分60Cとは、熱源40を回転可能にするために分離されている。
第1部分60Aの厚みは、第2部分60Bの厚みより厚い。第2部分60Bより第1部分60Aから相対的に熱が逃げにくくなり、第1空間A1の温度が第2空間A2の温度より高くなる。その結果、熱の流れが、第1空間A1から第2空間A2に向かう方向となる。換言すると、サンプル容器10における温度分布は、高温となる熱源40側から低温となる第2空間A2に向かって、サンプル容器10の厚み方向に形成される。温度分布が一方向となると、サンプル容器10の格納部10A、10B、10C内に格納された対象サンプルの熱伝導率を正確に計測できる。
(放射温度計)
放射温度計30は、上述の熱伝導率測定装置1と同様のものが用いられる。放射温度計30は、サンプル容器10の所定の位置と測温孔60aとを結ぶ直線上に位置する。放射温度計は1500℃以上の高温環境の測定においては、その個体差が大きく、異なる温度計を用いた場合に、その温度表示値に差があることがあった。加熱装置2では、複数のサンプルの測定を同じ温度計で測定できるため、相対比較の測定精度が高い。
加熱装置2では、サンプル容器10が回転することで、サンプル容器10の測温される部分は時間と共に変化する。一方で、放射温度計30の測定位置は変化しない。つまり、加熱装置2は、サンプル容器10に格納された標準サンプルの温度及び対象サンプルの温度を全く同一環境下において測定できる。また加熱装置2は、標準サンプルと対象サンプルの温度差から、精度良く対象サンプルの熱伝導率を求めることができる。ここで、同一材料であっても周囲の系、例えば、使用する不活性ガス種や雰囲気圧力等が変化すると様々な要因で熱伝導率等の性能が異なる場合がある。加熱装置2では、複数のサンプルを同時に同一環境下において測定することが可能であり、実際に使用される系における熱伝導率を同時に相対比較して求めることができるため、断熱性能の比較などに非常に有用である。
図3は、本実施形態にかかる加熱装置の別の例の断面模式図である。図2と同様に、加熱装置2’は、熱源40と、サンプル容器10’と、駆動部20と、加熱手段50と、放射温度計30と、断熱材60’とを有する。図2に示す加熱装置2と同一の構成については同一の符号を付す。
図3に示す加熱装置2’は、熱源40の外側面にサンプル容器10’が設置されている。図4は、本実施形態にかかる加熱装置2’の別の例からサンプル容器10’を抜き出した模式図である。図4に示すサンプル容器10’は円環状である。サンプル容器10’は、周方向に複数の格納部10A’、10B’、10C’を備える。複数の格納部10A’、10B’、10C’には、標準サンプル又は対象サンプルが格納される。
図3に示す断熱材60’は、熱源40の側方に測温孔60a’を有する。断熱材60’は、第1部分60A’と第2部分60B’と第3部分60C’とを有する。第1部分60A’は、熱源40の側方を囲む。第2部分60B’は、熱源40の上方を覆う。第3部分60C’は、熱源40の下方を覆う。第1部分60A’と、第2部分60B’及び第3部分60C’とは、熱源40を回転可能にするために分離されている。熱源40の側方には、サンプル容器10’を収容するための第1空間A1’が形成されている。
熱源40の上方及び下方は、第2部分60B’及び第3部分60C’で覆われ、側方には第1空間A1’がある。その結果、熱の流れは、熱源40から側方に向かう。換言すると、サンプル容器10’における温度分布は、高温となる熱源40側から低温となる第1空間A1’に向かって、サンプル容器10’の厚み方向に形成される。温度分布が一方向となると、サンプル容器10’の格納部10A’、10B’、10C’内に格納された対象サンプルの熱伝導率を正確に計測できる。
加熱装置2’では、サンプル容器10’が回転することで、サンプル容器10’の測温される部分は時間と共に変化する。一方で、放射温度計30の測定位置は変化しない。つまり、加熱装置2’は、標準サンプルの温度及び対象サンプルの温度を全く同一環境下において測定できる。また加熱装置2’は、標準サンプルと対象サンプルの温度差から、精度良く対象サンプルの熱伝導率を求めることができる。また、加熱装置2’では、サンプル容器10’が熱源40の外側面に設置されていることから、実際に巻き付けるように使用する断熱材等の熱伝導率を求める際に非常に有用である。
[熱伝導率測定方法]
本実施形態にかかる熱伝導率測定方法は、標準サンプル及び対象サンプルを移動させて、同じ位置で標準サンプル及び対象サンプルの温度を計測する計測工程と、計測工程で測定されたそれぞれの温度に基づいて、対象サンプルの測定環境中における熱伝導率を求める導出工程と、を有する。
計測工程では、標準サンプル及び対象サンプルを移動させて、同じ位置で標準サンプル及び対象サンプルの温度を計測する。例えば、図1に示すような熱伝導率測定装置1を用いて、温度の測定点を固定し、測定点に対して標準サンプル及び対象サンプルを相対的に移動させる。標準サンプル及び対象サンプルの移動は、並進でも回転でもよい。標準サンプル及び対象サンプルを回転させると、同じ系で複数回に亘って連続的に温度を計測できる。計測工程では、同一環境下における標準サンプルと対象サンプルの温度差が求められる。
導出工程では、計測工程で測定されたそれぞれの温度に基づいて、対象サンプルの測定環境中における熱伝導率を求める。
(シミュレーションを使用する方法)
熱伝導率を導出する第1の方法として、シミュレーションの結果を併用する方法がある。まず、実際の系を想定したシミュレーションモデルを作成する。次に、このシミュレーションモデルの格納部に標準サンプル及び様々な熱伝導率を有する材料を入れて、各サンプルの位置の頂部の温度を計算する。そして、その計算結果を使用して、熱伝導率を横軸に、標準サンプルの位置の頂部温度からの温度差を縦軸にして、検量線を作成する。最後に、実際の装置において、標準サンプル及び対象サンプルを用いてそれぞれの温度を測定し、作成した検量線を使用して、その温度差から熱伝導率を求める。
(複数の標準サンプルを使用する方法)
熱伝導率を導出する第2の方法として、複数の標準サンプルと対象サンプルとの温度測定の結果から対象サンプルの熱伝導率を求める方法がある。図5は、第2の方法を用いた熱伝導率測定方法に使用するサンプル容器10の模式図である。図5に示すサンプル容器10は、複数の格納部10A~10Nを有する。
図6は、第2の方法を用いた熱伝導率測定方法を説明するための模式図である。図5に示すサンプル容器10の複数の格納部10A、10B・・・に、既知の熱伝導率を有する標準サンプル(ref1、ref2・・・)を複数個準備する。次いで、サンプル容器10の格納部10Nに、対象サンプル(sam1)を設置する。対象サンプル(sam1)は、1つでも複数でもよい。
サンプル容器10を回転させながら、放射温度計を用いてそれぞれの温度を測定する。そして、各温度が定常状態になった後、対象サンプルの温度を複数個の標準サンプルの温度と比較する。対象サンプル(sam1)の温度が、例えば1番目の標準サンプル(ref1)の温度と2番目の標準サンプル(ref2)の温度との間に入れば、対象サンプル(sam1)の熱伝導率は、1番目の標準サンプル(ref1)の熱伝導率と2番目の標準サンプル(ref2)の熱伝導率との間であると判断する。本方法では、標準サンプル数を増やすことで、対象サンプルの熱伝導率をさらに正確に求めることができる。
またこの熱伝導率測定方法を利用して、例えば、断熱性能スペック等の品質保証に使用することができる。
本実施形態にかかる品質保証方法は、計測工程と、判定工程とを有する。計測工程では、第1の熱伝導率値を有する第1標準サンプルと、第2の熱伝導率値を有する第2標準サンプルと、対象サンプルとを移動させて、同じ位置で第1標準サンプル、第2標準サンプル、及び対象サンプルの温度をそれぞれ計測する。判定工程では、計測された第1標準サンプルの第1温度と第2標準サンプルの第2温度との間に、計測された対象サンプルの第3温度が入るか否かを判定する。
具体的に、まず、必要とされる断熱性能の上限の熱伝導率値を有する標準サンプルAと、必要とされる断熱性能の下限の熱伝導率値を有する標準サンプルBとを準備する。次いで、サンプル容器の各格納部に、標準サンプルA、標準サンプルB、及び1つ又は複数の対象サンプルを設置し、放射温度計を用いてそれぞれの温度を測定する。そして、各温度が定常状態になった後、対象サンプルの温度Tを標準サンプルAの温度T及び標準サンプルBの温度Tと比較する。TがTとTの間に入れば合格、入らなければ不合格と判断する。
このように、本実施形態にかかる熱伝導率測定方法では、標準サンプルの温度及び対象サンプルの温度を全く同一環境下において測定する。そのため、標準サンプルと対象サンプルの温度差から精度良く熱伝導率を求めることができる。
以上、本実施形態について図面を参照して詳述したが、各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、及びその他の変更が可能である。
(実施例1)
まず、実際の系を想定したシミュレーションモデルを作成した。次に、このシミュレーションモデルの格納部に標準サンプルA(アルゴン、700Torr)、及び熱伝導率が0.1、0.5、1、2及び5W/mKである材料を入れて、各サンプルの位置の容器頂部の温度を計算した。その計算結果を表1に示す。そして、表1を使用して、熱伝導率を横軸に、標準サンプルAの頂部温度からの温度差を縦軸にして、指数近似を用いて検量線を作成した。作成した検量線を図7に示す。
Figure 0007258272000001
次に、実際の装置において、サンプル容器の各格納部に、アルゴン(標準サンプルA)、第1の対象サンプル、及び第2の対象サンプルを設置した。そして、サンプル容器を熱源の上面に設置し、駆動部を用いてサンプル容器を0.25rpmで回転させ、放射温度計を用いて10秒毎に各格納部内のサンプルの温度を測定した。放射温度計によって測定された各サンプルの温度を時間に対してプロットしたグラフを、図8に示す。
図8において定常状態となった部分(矢印より後の部分)の拡大図を図9に示す。図9より、アルゴン(標準サンプルA)の温度、第1の対象サンプルの温度、及び第2の対象サンプルの温度はそれぞれ異なっていることが分かる。図9のプロットの値から平均温度を決定し、アルゴン(標準サンプルA)の温度と第1の対象サンプルの温度との温度差、及びアルゴン(標準サンプルA)の温度と第2の対象サンプルの温度との温度差を算出した。そして、算出された温度差を用いて、図7のグラフから第1の対象サンプル及び第2の対象サンプルの熱伝導率を求めた。結果を表2に示す。
Figure 0007258272000002
表2に示すように、シミュレーションを使用して、アルゴン(標準サンプルA)の温度と第1の対象サンプルの温度との温度差、及びアルゴン(標準サンプルA)の温度と第2の対象サンプルの温度との温度差から、第1の対象サンプル及び第2の対象サンプルの熱伝導率を求めることができた。
1 熱伝導率測定装置
2、2’ 加熱装置
10、10’ サンプル容器
10A、10B、10C、10A’、10B’、10C’ 格納部
20 駆動部
30 放射温度計
40 熱源
50 加熱手段
51 コイル
60 断熱材
60A、60A’ 第1部分
60B、60B’ 第2部分
60C、60C’ 第3部分
60a、60a’ 測温孔
A1、A1’ 第1空間
A2 第2空間

Claims (9)

  1. 熱源と、
    複数の格納部を有し、前記熱源と接する第1面と、前記第1面と対向する第2面と、を有するサンプル容器と、
    前記サンプル容器の前記複数の格納部を移動させる駆動部と、
    前記サンプル容器の前記第2面の表面の温度を測定する放射温度計と、を有し、
    前記複数の格納部を移動させて同じ位置で前記サンプル容器の表面温度を測定する、熱伝導率測定装置。
  2. 前記駆動部は、前記サンプル容器を回転させる、請求項1に記載の熱伝導率測定装置。
  3. 熱源と、
    前記熱源の上面又は側面に設けられ、複数の格納部を有し、前記熱源と接する第1面と、前記第1面と対向する第2面と、を有するサンプル容器と、
    前記熱源を回転させ、前記熱源と共に前記サンプル容器を回転させる駆動部と、
    前記サンプル容器の第2面の表面の温度を測定する放射温度計と、を有し、
    前記複数の格納部のそれぞれは、前記熱源と接する前記第1面と、前記第1面と対向する前記第2面との間に定常的な温度勾配を有し、
    前記複数の格納部を移動させて同じ位置で前記サンプル容器の表面温度を測定する、加熱装置。
  4. 前記熱源を覆う断熱材をさらに有し、
    前記サンプル容器の前記熱源と反対側の面は、前記断熱材に囲まれた空間に露出している、請求項3に記載の加熱装置。
  5. 前記サンプル容器は、前記熱源の上面に設けられ、
    前記断熱材は、前記熱源の側方を囲む第1部分と、前記熱源の上方を覆う第2部分と、前記熱源の下方を覆う第3部分と、を有し、
    前記第1部分の厚みは、前記第2部分の厚みより厚い、請求項4に記載の加熱装置。
  6. 前記サンプル容器は、前記熱源の側面に設けられ、
    前記断熱材は、前記熱源の側方を囲む第1部分と、前記熱源の上方を覆う第2部分と、前記熱源の下方を覆う第3部分と、を有し、
    前記第1部分と前記サンプル容器との間に、前記空間がある、請求項4に記載の加熱装置。
  7. 熱源に接するサンプル容器内に格納された標準サンプル及び対象サンプルを移動させて、同じ位置で前記標準サンプル及び前記対象サンプルの温度を計測する計測工程と、
    前記計測工程で測定されたそれぞれの温度に基づいて、前記対象サンプルの測定環境中における熱伝導率を求める導出工程と、を有し、
    前記導出工程では、前記標準サンプルと前記対象サンプルとの温度差から、前記対象サンプルの熱伝導率を求める、熱伝導率測定方法。
  8. 前記計測工程は、前記標準サンプル及び前記対象サンプルを回転させて、同じ位置で前記標準サンプル及び前記対象サンプルの温度を計測する、請求項7に記載の熱伝導率測定方法。
  9. 請求項7に記載の熱伝導率測定方法を用いた品質保証方法であって、
    前記計測工程において、第1の熱伝導率値を有する第1標準サンプルと、第2の熱伝導率値を有する第2標準サンプルと、対象サンプルとを移動させて、同じ位置で前記第1標準サンプル、前記第2標準サンプル、及び前記対象サンプルの温度をそれぞれ計測し、
    前記導出工程において、計測された前記第1標準サンプルの第1温度と前記第2標準サンプルの第2温度との間に、計測された前記対象サンプルの第3温度が入るか否かを判定し、前記対象サンプルの熱伝導率を導出する、品質保証方法。
JP2018167064A 2018-09-06 2018-09-06 熱伝導率測定装置、加熱装置、熱伝導率測定方法、及び品質保証方法 Active JP7258272B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018167064A JP7258272B2 (ja) 2018-09-06 2018-09-06 熱伝導率測定装置、加熱装置、熱伝導率測定方法、及び品質保証方法
CN201910832994.6A CN110879235A (zh) 2018-09-06 2019-09-04 热导率测定装置、加热装置、热导率测定方法和品质保证方法
US16/559,746 US11454599B2 (en) 2018-09-06 2019-09-04 Thermal conductivity measuring device, heating device, thermal conductivity measuring method, and quality assurance method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018167064A JP7258272B2 (ja) 2018-09-06 2018-09-06 熱伝導率測定装置、加熱装置、熱伝導率測定方法、及び品質保証方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020041811A JP2020041811A (ja) 2020-03-19
JP7258272B2 true JP7258272B2 (ja) 2023-04-17

Family

ID=69720699

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018167064A Active JP7258272B2 (ja) 2018-09-06 2018-09-06 熱伝導率測定装置、加熱装置、熱伝導率測定方法、及び品質保証方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11454599B2 (ja)
JP (1) JP7258272B2 (ja)
CN (1) CN110879235A (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115244204B (zh) 2020-03-11 2023-05-12 日本制铁株式会社 热轧钢板
CN114577844A (zh) * 2022-02-23 2022-06-03 四川纳川致远新能源科技有限公司 模拟地层应力的岩石热导率各向异性实验装置
CN114354687B (zh) * 2022-03-21 2022-06-14 深圳市贝加电子材料有限公司 一种石墨烯材料的检测方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004125397A (ja) 2001-11-05 2004-04-22 Chikayoshi Sumi 熱伝導率推定方法及び装置
JP2005315762A (ja) 2004-04-30 2005-11-10 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 熱物性測定方法及び装置
JP2008202961A (ja) 2007-02-16 2008-09-04 Japan Atomic Energy Agency 加熱炉および加熱炉を使用した熱物性値測定装置
JP2013076653A (ja) 2011-09-30 2013-04-25 Ulvac-Riko Inc 熱定数測定装置
JP2017125842A (ja) 2015-12-17 2017-07-20 ネッチ ゲレーテバウ ゲーエムベーハー 試料の熱分析及び/又は温度測定機器の較正をするための方法及び装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0718826B2 (ja) 1990-02-14 1995-03-06 工業技術院長 熱伝導率測定方法
JP3079216B2 (ja) * 1996-02-19 2000-08-21 工業技術院長 比熱容量測定方法
US6406539B1 (en) * 1999-04-28 2002-06-18 Showa Denko K.K, Process for producing silicon carbide single crystal and production apparatus therefor
CN101308107B (zh) * 2007-05-16 2011-10-12 比亚迪股份有限公司 一种测定热传导率的方法
CN101470088B (zh) * 2007-12-28 2011-04-20 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 一种流体低温热导率的测试方法
JP5250321B2 (ja) * 2008-07-04 2013-07-31 昭和電工株式会社 炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法並びに炭化珪素単結晶の製造方法
CN201666887U (zh) * 2010-08-19 2010-12-08 东北农业大学 小型热电材料样品热传导性能测试仪
CA2827517C (en) * 2011-02-17 2015-07-21 Champion Technologies, Inc. Thermal phase separation simulator
CN103149233B (zh) * 2013-01-28 2016-02-24 中国科学院工程热物理研究所 测试材料热物性参数的装置及方法
CN103175865A (zh) * 2013-04-10 2013-06-26 大连理工大学 一种硬质碳毡有效热导率的测试装置
JP2016041636A (ja) * 2014-08-18 2016-03-31 信越化学工業株式会社 多結晶シリコン棒の製造方法および多結晶シリコン棒

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004125397A (ja) 2001-11-05 2004-04-22 Chikayoshi Sumi 熱伝導率推定方法及び装置
JP2005315762A (ja) 2004-04-30 2005-11-10 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 熱物性測定方法及び装置
JP2008202961A (ja) 2007-02-16 2008-09-04 Japan Atomic Energy Agency 加熱炉および加熱炉を使用した熱物性値測定装置
JP2013076653A (ja) 2011-09-30 2013-04-25 Ulvac-Riko Inc 熱定数測定装置
JP2017125842A (ja) 2015-12-17 2017-07-20 ネッチ ゲレーテバウ ゲーエムベーハー 試料の熱分析及び/又は温度測定機器の較正をするための方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20200080952A1 (en) 2020-03-12
US11454599B2 (en) 2022-09-27
CN110879235A (zh) 2020-03-13
JP2020041811A (ja) 2020-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7258272B2 (ja) 熱伝導率測定装置、加熱装置、熱伝導率測定方法、及び品質保証方法
CN108303443B (zh) 一种薄片材料面向导热性能稳态测试方法
Harris et al. Measuring the thermal conductivity of heat transfer fluids via the modified transient plane source (MTPS)
KR102556434B1 (ko) 열 전도율 추정 방법, 열 전도율 추정 장치, 반도체 결정 제품의 제조 방법, 열 전도율 연산 장치, 열 전도율 연산 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 기록 매체 및, 열 전도율 연산 방법
JPH01299449A (ja) 部品の表面上の熱流束および熱伝達係数の分布を測定する方法および装置
CN110873730B (zh) 用于确定流体的热导率的测量设备
JP2014122843A (ja) 熱伝導率測定装置及び測定方法
CN113092523A (zh) 薄膜材料导热性能测试装置及测试方法
JP6382863B2 (ja) 三次元的な熱拡散率
CN110988027A (zh) 页岩热传导参数的测试装置及其测试方法
Zhang et al. A high-precision method to measure thermal conductivity of solids using reversible heat flux
Hahn Robinson line-heat-source guarded hot plate apparatus
US10302379B1 (en) Apparatus of heat pipe quality detection using infrared thermal imager and method thereof
JP5856534B2 (ja) 熱流束測定装置及び熱流束測定方法
KR102257190B1 (ko) 열전도율 측정시스템 및 이를 이용한 열전도율 측정방법
Eithun Development of a thermal conductivity apparatus: Analysis and design
JP2004061302A (ja) 熱伝導率計測装置及びそれに用いる熱特性測定装置
CN110376244B (zh) 一种导热系数测量装置
KR20070024060A (ko) 열 차폐용 코팅층의 열전도도 측정방법 및 그 장치
RU2495409C1 (ru) Устройство для определения коэффициента теплопроводности материала
JP2006071565A (ja) 断熱材における断熱性能の検査方法と検査装置
CN114424035A (zh) 非侵入式温度计
Korycki et al. Numerical and experimental analysis of the thermal profile of printed layers during selective laser sintering process of poly (etheretherketone)
JP2006078185A (ja) 断熱性能検査方法と検査装置
Thomas et al. Transient thermal response of a guarded-hot-plate apparatus for operation over an extended temperature range

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210624

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220519

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220607

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220802

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221206

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230117

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20230131

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20230201

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230228

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20230307

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230313

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7258272

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350