JP7256978B2 - 硬質被覆層がすぐれた耐溶着性と耐異常損傷性を発揮する表面被覆切削工具 - Google Patents

硬質被覆層がすぐれた耐溶着性と耐異常損傷性を発揮する表面被覆切削工具 Download PDF

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Description

本発明は、切刃に対して衝撃的な高負荷が作用する鋼の高送り断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐溶着性および耐異常損傷性を備えることにより、長期の使用に亘り、すぐれた切削性能を有する表面被覆工具に関するものである。
従来、一般に、各種の鋼の切削加工においては、炭化タングステン基等の超硬合金基体表面に、下部層として化学蒸着形成されたTiの炭窒化物(TiCN)層等のTi化合物層を有し、上部層として化学蒸着形成された酸化アルミニウム層を有する硬質被覆層が形成された被覆工具が用いられている。
しかしながら、近年、鋼の断続切削においては、高能率化が求められる中、従来の前記被覆工具では、溶着や異常損傷による工具寿命の短命化が問題となっている。
これに対して、例えば、特許文献1では、切削工具等において、スパッタリング法あるいはプラズマCVD法を用いて高硬度で耐摩耗性に優れたTiZrN硬質被覆層を形成させることにより、長寿命化を図ることが提案されている。
また、特許文献2では、鋼管の切断時に用いるカッターとして、硬質相がWC、金属結合相がCo、Ni、Crからなる超硬合金母材にTiZrNなどからなるセラミックス被覆層を設けることにより、被加工物とカッターとの拡散を防止し、従来、鋼管の切断時において刃先に発生していた溶着や刃こぼれなどによる生産性や製品の品質の低下を改善することが提案されている。
また、特許文献3では、基体にCVD法によりfcc構造のTiZrN、TiHfN、TiZrHfNを成膜された切削工具を用いることにより、特に、工具寿命が延びることが提案されている。
特開平3-267361号公報 特開平7-237030号公報 米国特許公開第2016/0298233号明細書
近年の切削加工における省力化および省エネ化への要求は強く、これに伴い、被覆工具は一段と過酷な条件下にて使用されるようになってきているため、鋼の高送り断続切削においても、すぐれた耐溶着性と耐異常損傷性を有することが求められている。
しかしながら、前記特許文献1乃至特許文献3にて提案されている、TiZrN、TiHfNやTiZrHfNを有する被覆層からなる被覆工具を鋼の高送り断続切削に用いた場合においても、これらの被覆層が塑性変形に耐えられず、被覆層から粒子が脱落するため、異常摩耗が進行し、依然として、早期に寿命に至るという問題を有していた。
そこで、本発明者らは、前述の観点から、前記被覆工具において、切れ刃に断続的・衝撃的な高負荷が作用する鋼の高送り断続切削に用いた場合であっても、長期の使用にわたり、すぐれた耐溶着性と耐異常損傷性を兼ね備え、工具寿命の向上をもたらす、被覆工具について、鋭意研究を行った結果、以下の知見を得た。
すなわち、本発明者らは、限定された条件にて、TiZrHfNからなる窒化物層を成膜することにより、縦長結晶組織を有する窒化物層が得られ、かかる窒化物層では、基体と並行な方向の粒界が少なくなるため、結晶粒の脱落が生じにくくなること、さらに、窒化物中の塩素量をきわめて微少量、例えば、その上限を0.030at%程度に限定して含有させることにより、被覆層の脆化を生じることなく、潤滑効果を発揮でき、切削中の摩擦による発熱を抑制できるため、被覆層の塑性変形を生じ難くし、前記結晶粒の脱落を一層抑制できることを見出したものである。
そして、かかる窒化物層を硬質被覆層として有する被覆切削工具は、すぐれた耐溶着性と耐異常損傷性を兼ね備えているため、鋼の高送り断続切削加工用として、長期の使用にわたり、工具寿命の向上をもたらすことを見出したものである。
本発明は、前記知見に基づいてなされたものであって、
「(1)WC基超硬合金またはTiCN基サーメットからなる工具基体の表面に少なくとも一層の硬質被覆層を有する表面被覆切削工具であって、
1)前記硬質被覆層は、組成式(Ti(1-x)ZrxyHfx(1-y))Nにて表わした場合、
ZrとHfとの合量のTiとZrとHfとの合量に占める含有割合x、および、ZrのZrとHfとの合量に占める含有割合y(但し、x、yはいずれも原子比)が、それぞれ、0.05≦x≦0.95、および、0<y<1.0を満足する複合窒化物層を少なくとも一層含み、
2)前記複合窒化物層は、0.001~0.030原子%の塩素を含有し、
3)前記複合窒化物層は、縦断面にてアスペクト比2以上の縦長結晶粒が占める面積率が50%以上であり、
4)前記複合窒化物層は、ナノインデンテーション押込硬さが、押込荷重200mgfのとき、2600kgf/mm以上3810kgf/mm以下であり、その膜厚が1μm以上20μm以下であることを特徴とする表面被覆切削工具。」
を特徴とするものである。
つぎに、本発明の被覆工具について、詳細に説明する。
硬質被覆層:
本発明は、工具基体の表面に少なくとも一層の硬質被覆層を有する表面被覆切削工具であり、前記硬質被覆層は、TiZrHfN複合窒化物層を含み、必要に応じ、下部層および/または上部層を有するものである。
TiZrHfN複合窒化物層
(1)成分組成
本発明に係るTiZrHfN複合窒化物層を構成するTiZrHfN複合窒化物は、組成式(Ti(1-x)ZrxyHfx(1-y))Nにて表した場合、0.05≦x≦0.95、および、0<y<1.0をそれぞれ満足する。
ここで、xは、ZrとHfとの合量のTiとZrとHfとの合量に占める含有割合を表し、yはZrのZrとHfとの合量に占める含有割合yを表す。但し、x、yはいずれも原子比である。
以下、前記複合窒化物層を、TiZrHfN窒化物層、あるいは、TiZrHfN層ともいう。
さらに、TiZrHfN層は、0.001~0.030原子%のきわめて微量の塩素を含有させることにより、塩素の潤滑効果によって、切削中の摩耗による発熱が低減され、塑性変形を生じ難くする。
なお、ここで塩素の原子%とは、TiZrHfN層における塩素(Cl)のTiとZrとHfとNとO(前記複合窒化物層は不可避不純物として1.5原子%以下の酸素を含有している)とClの合量に対して占める原子%をいい、0.030原子%を超える場合には、被覆層の脆化の原因となるため、0.030原子%以下と限定した。
(2)縦長結晶組織
前記のとおり、本発明に係る硬質被覆層を構成するTiZrHfN
は、縦長結晶組織を有するものである。TiZrHfN層を縦長結晶組織とすることにより、被覆層からの粒子の脱落が抑制され、前述のきわめて微量の塩素を含有させた効果を併せて、耐溶着性および耐異常損傷性にすぐれた特性を発揮する。なお、ここでいう縦長結晶組織とは、窒化物層の縦断面にてアスペクト比が2以上の縦長結晶粒の占める面積率が50%以上である組織を指すものとする。
ここでいうアスペクト比とは、具体的には、窒化物層の縦断面について、層中の個々の結晶粒の粒子幅および粒子長さを測定し、最大粒子幅Wと最大粒子長さLを求めた場合のL/Wをいう。
アスペクト比が2未満の場合、十分な縦長組織となっておらず、アスペクト比の小さな等軸結晶の脱落を招き、その結果、十分な耐摩耗性を発揮することができないため、2以上と規定した。
そして、アスペクト比が2以上となるものについての面積率が50%以上であるものと規定することにより、靱性および耐摩耗性が向上する効果を発揮させることができる。
(3)平均層厚および硬度
TiZrHfN窒化物層は、硬さが高く、すぐれた耐摩耗性
を有するが、特に、平均層厚が0.2μm~20μmであるときに硬度および耐摩耗性の観点からすぐれた効果を発揮する。
さらに、その平均層厚が1μm~20μm、かつナノインデンテーション押込硬さ(押込荷重200mgf)が2600kgf/mm以上の場合、よりすぐれた効果を発揮することができる。
なお、窒化物層の平均層厚は、走査型電子顕微鏡(倍率5000倍)を用いて、工具基体に垂直な方向の断面の観察視野内の5点の層厚を測り、これらを平均して平均層厚を求めることができる。
また、ナノインデンテーション硬さについては、ナノインデンテーション試験法(ISO 14577)に基づき、前記TiZrHfN層の表面を研磨し、ダイヤモンド製のBerkovich圧子を用いて、押込荷重200mgfで測定を行なった。
TiZrHfN層の成膜方法:
本発明にて規定する成分組成を有し、特定の縦長組織を有するTiZrHfN層は、例えば、以下の化学蒸着法を用い、以下の各工程に示す条件にて順次処理を行うことにより形成することができる。
すなわち、TiZrHfN層の成膜方法は、第1工程(初期核形成工程)、すなわち、TiZrHfN膜を形成するための初期核となるTiZrHfN膜を形成する工程と、第2工程(結晶成長工程)すなわち、TiZrHfN膜の初期核を成長させ、TiZrHfN膜を形成するための工程とからなり、さらに、前記第1工程は、順に、a工程、すなわち、種膜であるZrHfN膜を短時間にて成膜する種膜形成工程、および、b工程、すなわち、a工程にて、成膜されたZrHfN膜の表面を均一にエッチングして微細な凹凸を形成するとともに、Zrの一部をTiに置換し、微細なTiZrHfN初期核を得るエッチング工程の二つの工程からなるものである。
以下に、各成膜工程における成膜条件の概要を示すが、特に、前述のa工程とb工程からなる第1工程における、微細なTiZrHfN初期核の形成工程はきわめて重要な工程であり、引き続いて実施する第2工程において、初期核の結晶成長により、縦長結晶組織が成長するとともに、被覆層への適量の塩素の導入がなされる。
他方、縦長結晶組織を有するTiZrHfN層を得るためには、気相中にて粒成長が生じるような気相反応を抑制することがきわめて重要であり、例えば、第1工程のa工程などにおいて、ZrClとNが混合された状態で長時間高温に曝されると、気相中にて粒成長した粒が基体上に堆積し、縦長結晶組織の成長に対し阻害要因となる。このため、CVD装置としては、ZrClおよびHfClとNとの反応時間を短くするために、例えば、ZrClおよびHfClとNとを周期供給し、基体表面近傍で混合させるようなCVD装置、もしくはこれらのガスを基体に十分近い位置(ガス流速の値にもよるが、長くとも30cm)まで分離して供給し、基体表面近傍で混合させるようなCVD装置を用いたものとする等の対応が必要である。
また、気相反応を促進させるようなプラズマCVD法では塩素の含有量が高くなりやすく、縦長結晶の組織を得にくいため、本発明の被覆層を作製することは困難である。
また、NHガスを用いた場合には、低温では塩素の含有量が高くなりすぎ、高温では気相反応が活発になりすぎるために縦長組織を得にくく、本発明の被覆層を作製することは困難である。本発明の被覆層を得るには、N源としてNガスのみを用いた熱CVD法を用いることが好ましい。
[成膜条件]
1)第1工程(初期核形成工程)
a)種膜(ZrHfN膜)形成工程
処理方法:CVD法を用いた成膜
反応ガス組成(容量%):
ガス群A:ZrCl:0.1~2.0、HfCl:0.0~2.0、
ただし、ZrCl+HfCl:1.0~2.0、
HCl:0.1~0.4、H:40~85、
ガス群B:N:残、
(ここで、ガス群Aおよびガス群Bのガス組成は、1周期あたりに供給される、ガス群Aとガス群Bの合計容量を100%とした場合の個々のガス成分の容量%を示す。)
反応雰囲気圧力:16kPa以上35kPa未満
反応雰囲気温度:1000℃以上1100℃未満
供給周期 :2~10秒
1周期当たりのガス供給時間:0.15~0.60秒
ガス群Aの供給とガス群Bの供給の位相差:0.15~0.60秒
b)エッチング工程
処理方法:乾式エッチング
反応ガス組成(容量%):
ガス群C:TiCl:2.0~4.0、H:残、
反応雰囲気圧力:6kPa以上12kPa未満
反応雰囲気温度:1000℃以上1100℃未満
処理時間 :100~250秒
2)第2工程(結晶成長工程)
処理方法:CVD法を用いた成膜
反応ガス組成(容量%):
ガス群D:TiCl:0.2~0.7、
ZrCl:0.1~2.0、HfCl:0.0~2.0、
ただし、ZrCl+HfCl:1.0~2.0、
HCl:0.1~0.4、
:40~85、
ガス群E:N:残、
(ここで、ガス群Dおよびガス群Eのガス組成は、1周期あたりに供給される、ガス群Dとガス群Eの合計容量を100%とした場合の個々のガス成分の容量%を示す。)
反応雰囲気圧力:16kPa以上35kPa未満
反応雰囲気温度:1000℃以上1080℃未満
供給周期 :2~10秒
1周期当たりのガス供給時間:0.15~0.60秒
ガス群Dの供給とガス群Eの供給の位相差:0.15~0.60秒
下部層および上部層:
本発明に係る硬質被覆層は、前記TiZrHfNからなる窒化物層を有することにより十分な効果を奏するものであるが、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層等のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなる下部層を設けた場合、工具基体と前記TiZrHfNからなる窒化物層の密着性を高めることができるため、より欠損、剥離等の異常損傷の発生を抑制することができる。
なお、前記Ti化合物層からなる下部層の合計平均層厚は、0.1μm未満では、下部層の効果が十分に奏されず、一方、20μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなるので、0.1~20μmとすることが望ましい。
一方、前記TiZrHfNからなる窒化物層の上にTiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層等のうちの1層または2層以上のTi化合物層、もしくは前記Ti化合物層とAl酸化物層からなる上部層を設けた場合には、耐摩耗性を向上させることができる。
なお、前記Ti化合物層とAl酸化物層からなる上部層の合計平均膜厚は、0.5μm未満では、耐摩耗性向上の効果が十分に奏されず、一方、20μmを超えると結晶粒が粗大化しやすくなり、チッピングを発生しやすくなるので、0.5~20μmとすることが望ましい。
また、下部層と上部層の両方を設ける場合には、下部層の合計平均膜厚と上部層の合計平均膜厚の和は25μm以下とすることが望ましい。25μm以上の膜厚の場合には、工具基体と表面被覆層の間の密着力が不足し、剥離を生じやすくなるためである。
本発明に係る表面被覆切削工具は、工具基体の表面に形成されている硬質被覆層として、縦長結晶組織を有し、塩素を0.030原子%までの範囲にて含有するTiZrHfN層からなる窒化物層を有することから、高硬度であり、耐溶着性にすぐれ、耐異常損傷性が付与されたことで、鋼の高送り断続切削加工において、すぐれた特性を発揮し、工具寿命の向上をもたらすものである。
本発明の表面被覆層の断面組織SEM写真の全体模式図を示す。
つぎに、本発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
原料粉末として、いずれも1~3μmの平均粒径を有するWC粉末、TiC粉末、ZrC粉末、TaC粉末、NbC粉末、Cr粉末、TiN粉末、およびCo粉末を用意し、これら原料粉末を、表1に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で24時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、98MPaの圧力で所定形状の圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を5Paの真空中、1370~1470℃の範囲内の所定の温度に1時間保持の条件で真空焼結し、焼結後、ISO規格CNMG120408のインサート形状をもったWC基超硬合金製の工具基体A~Cをそれぞれ製造した。
また、原料粉末として、いずれも0.5~2μmの平均粒径を有するTiCN(質量比でTiC/TiN=50/50)粉末、ZrC粉末、TaC粉末、NbC粉末、Mo2C粉末、WC粉末、Co粉末およびNi粉末を用意し、これら原料粉末を、表2に示される配合組成に配合し、ボールミルで24時間湿式混合し、乾燥した後、98MPaの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を1.3kPaの窒素雰囲気中、温度:1500℃に1時間保持の条件で焼結し、焼結後、ISO規格CNMG120408のインサート形状をもったTiCN基サーメット製の工具基体D~Eを作製した。
ついで、これらの工具基体A~Eのそれぞれを、化学蒸着装置に装入し、以下の手順で本発明被覆工具2、3、5、10、12、参考例被覆工具1、4、6~9、11、13、14をそれぞれ製造した。
(a)まず、工具基体に下部層を設ける本発明被覆工具10、12については、表3に示される条件にて、表4に示される目標層厚の下部層としてのTi化合物層および/またはAl酸化物層を蒸着形成した。
(b)次に、表6に基づいて、工具基体記号に示される表1もしくは表2の工具基体に対し、表5に示される本発明成膜工程のTiZrN層・TiZrHfN層の形成記号の成膜条件により成膜を行い、得られた、本発明被覆工具2、3、5、10、12、参考例被覆工具1、4、6~9、11、13、14のTiZrN層・TiZrHfN層の成分組成、アスペクト比、膜厚、および、ナノインデンテーション硬さを表6に示す。
(c)さらに、本発明被覆工具10については、TiZrHfN層の上に上部層を設けた。表3に示される条件にて、表6に示される目標層厚の上部層としてのAl酸化物層を蒸着形成した。
また、比較の目的で、本発明被覆工具2、3、5、10、12、参考例被覆工具1、4、6~9、11、13、14と同様の手順で比較例被覆工具1~16をそれぞれ製造した。すなわち、
(a)工具基体に下部層を設ける比較例被覆工具6~16については、表3に示される条件にて、表4に示される目標層厚の下部層としてのTi化合物層および/またはAl酸化物層を蒸着形成した。(比較例被覆工具15、16は、下部層については、参考例被覆工具9および比較例被覆工具9と同一成膜条件、同一膜厚)
(b)次に、表7に基づいて、工具基体記号に示される表1もしくは表2の工具基体に対し、表5に示される比較例成膜工程のTiZrN層・TiZrHfN層の形成記号の成膜条件により成膜を行い、得られた、比較例被覆工具1~16のTiZrN層・TiZrHfN層の成分組成、アスペクト比、膜厚、および、ナノインデンテーション硬さを表7に示す。(ここで、比較例被覆工具15、16と参考例被覆工具9を対比すると、同一基体かつ同一の成膜条件であるが、TiZrHfN膜の成膜時間が異なっている。)
(c)さらに、比較例被覆工具10、11については、TiZrN層・TiZrHfN層の上に上部層を設けた。表3に示される条件にて、表7に示される目標層厚の上部層としてTi化合物層および/またはAl酸化物層を蒸着形成した。
なお、ここで、本発明被覆工具2、3、5、10、12、参考例被覆工具1、4、6~9、11、13、14および、比較例被覆工具1~16のTiZrN層およびTiZrHfN層の膜厚の測定は、走査型電子顕微鏡(倍率5000倍)を用いた。まず、刃先近傍のすくい面のうち、刃先から100μm離れた位置において、工具基体に垂直な方向の断面が露出するように研磨を施した。次に刃先近傍のすくい面の刃先から100μm離れた位置を含むように、5000倍の視野でTiZrN層およびTiZrHfN層を観察し、観察視野内の5点の層厚を測って平均して平均層厚とし、表6および表7に示した。
また、本発明被覆工具2、3、5、10、12、参考例被覆工具1、4、6~9、11、13、14、および、比較例被覆工具1~16における、TiZrN層およびTiZrHfN層の全金属元素(すなわちTi、Zr、Hf)に占めるZrの平均含有割合、Hfの平均含有割合、および、Tiの平均含有割合については、電子線マイクロアナライザ(EPMA,Electron-Probe-Micro-Analyser)を用い、前述の研磨した面において、刃先近傍のすくい面の刃先から90から110μm離れた位置で10点測定し、その平均から求めた。
次に、全金属元素(すなわちTi、Zr、Hf)に占めるZrの平均含有割合、Hfの平均含有割合、および、Tiの平均含有割合から前記組成式
(Ti(1-x)ZrxyHfx(1-y))N
におけるxおよびyを求めた。さらに、電子線マイクロアナライザによってTiZrN層およびTiZrHfN層における塩素(Cl)について、TiとZrとHfとNとOとClとの合量に対して占める割合(原子%)を測定した。
また、本発明被覆工具2、3、5、10、12、参考例被覆工具1、4、6~9、11、13、14、および、比較例被覆工具1~16の前記TiZrN層またはTiZrHfN層について、走査型電子顕微鏡(倍率5000倍)を用い、刃先近傍のすくい面において、刃先から幅100μmにわたって、TiZrN層またはTiZrHfN層全体を含む範囲でTiZrN層またはTiZrHfN層の縦断面観察を行い、工具基体表面と垂直な縦断面側から観察し、個々の結晶粒について、基体表面と平行な方向の結晶粒の最大粒子幅Wと基体表面に垂直な方向の最大粒子長さLを測定し、L/Wにより、アスペクト比を算出した。
また、本発明被覆工具2、3、5、10、12、参考例被覆工具1、4、6~9、11、13、14、および、比較例被覆工具1~16の前記TiZrN層またはTiZrHfN層のナノインデンテーション硬さについては、ISO 14577に基づき、前記TiZrN層またはTiZrHfN層の表面を研磨し、ダイヤモンド製のBerkovich圧子を用いて、押込荷重200mgfで測定をおこない、表6および表7に示した。
Figure 0007256978000001


Figure 0007256978000002


Figure 0007256978000003

Figure 0007256978000004
Figure 0007256978000005

Figure 0007256978000006

Figure 0007256978000007

つぎに、前記各種の被覆工具を工具鋼製バイト先端部に固定治具にてクランプした状態で、本発明被覆工具2、3、5、10、12、参考例被覆工具1、4、6~9、11、13、14、比較例工具1~16について、以下に示す、高速高送り断続切削試験を実施し、切刃の逃げ面摩耗幅を測定するとともに、溶着の発生等の有無について観察を行い、結果を表8に示す。
≪切削条件A≫
切削試験:合金鋼乾式高速高送り断続切削試験
被削材: JIS・SCM439の長さ方向等間隔8本縦溝入り丸棒
切削速度:220m/min、
切り込み:2.0mm、
一刃送り量:0.75mm/刃、
切削時間:5分、
≪切削条件B≫
切削試験:炭素鋼乾式高速高送り断続切削試験
被削材: JIS・S45Cの長さ方向2本縦溝入り丸棒
切削速度:275m/min、
切り込み:2.0mm、
一刃送り量:0.75mm/刃、
切削時間:10分、
Figure 0007256978000008
表8の切削加工試験結果からも明らかなように、本発明被覆工具は、表6において示す、塩素を含む所望組成および縦長結晶組織を有するTiZrHfN複合窒化物から成る複合窒化物層を硬質被覆層として含むことにより、鋼の高速高送り断続切削加工において、剥離、チッピングの発生はなく、逃げ面最大摩耗幅も小さく、すぐれた耐剥離性、耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する。
これに対し、比較例被覆工具は、硬質被覆層として含まれる複合窒化物層が、所望の組成を満たしていない、あるいは、縦長結晶組織を有していないなどの理由により、所望の特性を有しておらず、摩耗の進展、溶着の発生、チッピングの発生等により、短時間で寿命に至るものであった。
前述のとおり、本発明の被覆工具は、高能率の高速高送り断続切削条件による鋼の切削加工にすぐれ、耐溶着性、耐チッピング性、耐摩耗性を発揮するものであるから、切削装置の高性能化並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに、低コスト化に十分満足するものである。

Claims (1)

  1. WC基超硬合金またはTiCN基サーメットからなる工具基体の表面に少なくとも一層の硬質被覆層を有する表面被覆切削工具であって、
    1)前記硬質被覆層は、組成式(Ti(1-x)ZrxyHfx(1-y))Nにて表わした場合、
    ZrとHfとの合量のTiとZrとHfとの合量に占める含有割合x、および、ZrのZrとHfとの合量に占める含有割合y(但し、x、yはいずれも原子比)が、それぞれ、0.05≦x≦0.95、および、0<y<1.0を満足する複合窒化物層を少なくとも一層含み、
    2)前記複合窒化物層は、0.001~0.030原子%の塩素を含有し、
    3)前記複合窒化物層は、縦断面にてアスペクト比2以上の縦長結晶粒が占める面積率が50%以上であり、
    4)前記複合窒化物層は、ナノインデンテーション押込硬さが、押込荷重200mgfのとき、2600kgf/mm以上3810kgf/mm以下であり、その膜厚が1μm以上20μm以下であることを特徴とする表面被覆切削工具。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115124348B (zh) * 2022-05-31 2023-07-11 西北工业大学 一种单相(HfxZr1-x)N固溶体超高温抗烧蚀陶瓷涂层及制备方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001170804A (ja) 1999-12-14 2001-06-26 Hitachi Tool Engineering Ltd ジルコニウム含有膜被覆工具
JP2002192401A (ja) 2000-12-26 2002-07-10 Hitachi Tool Engineering Ltd 被覆工具及びその製造方法
JP2005297141A (ja) 2004-04-13 2005-10-27 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆スローアウェイチップ
JP2006037152A (ja) 2004-07-26 2006-02-09 Hitachi Tool Engineering Ltd 硬質皮膜被覆部材の製造方法及びその製法による皮膜
JP2006082207A (ja) 2004-09-17 2006-03-30 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆切削工具
JP2009148856A (ja) 2007-12-20 2009-07-09 Sumitomo Electric Ind Ltd 表面被覆切削工具
JP2013139065A (ja) 2012-01-04 2013-07-18 Mitsubishi Materials Corp 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP2013193171A (ja) 2012-03-21 2013-09-30 Mitsubishi Materials Corp 高速断続切削加工においてすぐれた潤滑性、耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
WO2017090540A1 (ja) 2015-11-25 2017-06-01 三菱日立ツール株式会社 窒化チタンアルミニウム硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具、及びそれらの製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3198636B2 (ja) * 1992-06-30 2001-08-13 三菱マテリアル株式会社 傾斜硬質層被覆超硬合金製切削工具
JPH0615505A (ja) * 1992-07-03 1994-01-25 Mitsubishi Materials Corp 複合傾斜硬質層被覆超硬合金製切削工具
SE523826C2 (sv) * 2002-03-20 2004-05-25 Seco Tools Ab Skär belagt med TiAIN för bearbetning med hög hastighet av legerade stål, sätt att framställa ett skär och användning av skäret
EP3034652A1 (en) * 2014-12-19 2016-06-22 Sandvik Intellectual Property AB CVD coated cutting tool

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001170804A (ja) 1999-12-14 2001-06-26 Hitachi Tool Engineering Ltd ジルコニウム含有膜被覆工具
JP2002192401A (ja) 2000-12-26 2002-07-10 Hitachi Tool Engineering Ltd 被覆工具及びその製造方法
JP2005297141A (ja) 2004-04-13 2005-10-27 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆スローアウェイチップ
JP2006037152A (ja) 2004-07-26 2006-02-09 Hitachi Tool Engineering Ltd 硬質皮膜被覆部材の製造方法及びその製法による皮膜
JP2006082207A (ja) 2004-09-17 2006-03-30 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆切削工具
JP2009148856A (ja) 2007-12-20 2009-07-09 Sumitomo Electric Ind Ltd 表面被覆切削工具
JP2013139065A (ja) 2012-01-04 2013-07-18 Mitsubishi Materials Corp 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP2013193171A (ja) 2012-03-21 2013-09-30 Mitsubishi Materials Corp 高速断続切削加工においてすぐれた潤滑性、耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
WO2017090540A1 (ja) 2015-11-25 2017-06-01 三菱日立ツール株式会社 窒化チタンアルミニウム硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具、及びそれらの製造方法

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