JP7249924B2 - センサ及び検査装置 - Google Patents
センサ及び検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7249924B2 JP7249924B2 JP2019192658A JP2019192658A JP7249924B2 JP 7249924 B2 JP7249924 B2 JP 7249924B2 JP 2019192658 A JP2019192658 A JP 2019192658A JP 2019192658 A JP2019192658 A JP 2019192658A JP 7249924 B2 JP7249924 B2 JP 7249924B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- film
- along
- sensor
- membrane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K9/00—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
- G10K9/18—Details, e.g. bulbs, pumps, pistons, switches or casings
- G10K9/22—Mountings; Casings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
- G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/11—Analysing solids by measuring attenuation of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/221—Arrangements for directing or focusing the acoustical waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/32—Arrangements for suppressing undesired influences, e.g. temperature or pressure variations, compensating for signal noise
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/22—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound for conducting sound through hollow pipes, e.g. speaking tubes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/40—Caliper-like sensors
- G01B2210/42—Caliper-like sensors with one or more detectors on a single side of the object to be measured and with a backing surface of support or reference on the other side
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/40—Caliper-like sensors
- G01B2210/44—Caliper-like sensors with detectors on both sides of the object to be measured
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/023—Solids
- G01N2291/0237—Thin materials, e.g. paper, membranes, thin films
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02809—Concentration of a compound, e.g. measured by a surface mass change
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02854—Length, thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/048—Transmission, i.e. analysed material between transmitter and receiver
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/10—Number of transducers
- G01N2291/105—Number of transducers two or more emitters, two or more receivers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/26—Scanned objects
- G01N2291/263—Surfaces
- G01N2291/2632—Surfaces flat
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2437—Piezoelectric probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2462—Probes with waveguides, e.g. SAW devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/34—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
- G01N29/348—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor with frequency characteristics, e.g. single frequency signals, chirp signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/44—Processing the detected response signal, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
- G01N29/48—Processing the detected response signal, e.g. electronic circuits specially adapted therefor by amplitude comparison
-
- G—PHYSICS
- G07—CHECKING-DEVICES
- G07D—HANDLING OF COINS OR VALUABLE PAPERS, e.g. TESTING, SORTING BY DENOMINATIONS, COUNTING, DISPENSING, CHANGING OR DEPOSITING
- G07D7/00—Testing specially adapted to determine the identity or genuineness of valuable papers or for segregating those which are unacceptable, e.g. banknotes that are alien to a currency
- G07D7/06—Testing specially adapted to determine the identity or genuineness of valuable papers or for segregating those which are unacceptable, e.g. banknotes that are alien to a currency using wave or particle radiation
- G07D7/08—Acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G07—CHECKING-DEVICES
- G07D—HANDLING OF COINS OR VALUABLE PAPERS, e.g. TESTING, SORTING BY DENOMINATIONS, COUNTING, DISPENSING, CHANGING OR DEPOSITING
- G07D7/00—Testing specially adapted to determine the identity or genuineness of valuable papers or for segregating those which are unacceptable, e.g. banknotes that are alien to a currency
- G07D7/16—Testing the dimensions
- G07D7/164—Thickness
-
- G—PHYSICS
- G07—CHECKING-DEVICES
- G07D—HANDLING OF COINS OR VALUABLE PAPERS, e.g. TESTING, SORTING BY DENOMINATIONS, COUNTING, DISPENSING, CHANGING OR DEPOSITING
- G07D7/00—Testing specially adapted to determine the identity or genuineness of valuable papers or for segregating those which are unacceptable, e.g. banknotes that are alien to a currency
- G07D7/181—Testing mechanical properties or condition, e.g. wear or tear
- G07D7/189—Detecting attached objects, e.g. tapes or clips
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図1(a)は、図1(b)のA1-A2線断面図である。図1(b)は、平面図である。
図1(a)及び図1(b)に示すように、実施形態に係るセンサ110は、第1素子部31Eを含む。第1素子部31Eは、第1部材10及び第1素子31を含む。
図2(a)に例示するセンサ110a、及び、図2(b)に例示するセンサ110bにおいては、第1部材10の第1内側面10ifの形状は、多角形である。この例では、第1内側面10ifの形状は、八角形である。多角形における角の数は、任意である。例えば、第1方向(Z軸方向)に対して垂直な断面(X-Y平面)における、第1部材10の第1内側面10ifの形状は、多角形でも良い。
図3(a)は、図3(b)のB1-B2線断面図である。図3(b)は、平面図である。
図3(a)及び図3(b)に示すように、実施形態に係るセンサ111は、複数の第1素子部31Eを含む。複数の第1素子部31Eのそれぞれは、センサ110、センサ110aまたはセンサ110bに関して説明した構成を有する。複数の第1素子部31Eのそれぞれは、例えば、第1部材10及び第1素子31を含む。複数の第1素子部31Eは、例えば、X軸方向に沿って並ぶ。複数の第1素子部31Eは、例えば、X軸方向及びY軸方向に沿って並んでも良い。
図4(a)及び図4(b)は、第2実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図4(a)は、図4(b)のC1-C2線断面図である。図4(b)は、平面図である。
図4(a)及び図4(b)に示すように、実施形態に係るセンサ120は、第1素子部31Eを含む。第1素子部31Eは、第1部材10及び第1素子31を含む。この場合も、第1部材10は、第1方向(Z軸方向)に沿って延びる筒状である。第1部材10は、第1開口部11及び第2開口部12を含む。第2開口部12から第1開口部11への方向は、第1方向(Z軸方向)に沿う。第1素子31は、振動可能な第1膜31Fと、第1膜31Fを支持する第1支持部31Sと、を含む。第1方向(Z軸方向)において、第2開口部12は、第1開口部11と第1膜31Fとの間にある。
図5(a)は、図5(b)のD1-D2線断面図である。図5(b)は、平面図である。
図5(a)及び図5(b)に示すように、実施形態に係るセンサ121は、複数の第1素子部31Eを含む。複数の第1素子部31Eのそれぞれは、センサ120に関して説明した構成を有する。例えば、複数の第1素子31のそれぞれに第1部材10が設けられる。これにより、例えば、複数の第1素子31の間のクロストークが抑制できる。
第3実施形態においては、第2素子部が設けられる。以下、第2素子部の例について説明する。
図6(a)及び図6(b)は、第3実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図6(a)は、図6(b)のE1-E2線断面図である。図6(b)は、平面図である。
図6(a)及び図6(b)に示すように、実施形態に係るセンサ130は、第2素子部32Eを含む。第2素子部32Eは、第2部材20及び第2素子32を含む。
図7(a)は、図7(b)のF1-F2線断面図である。図7(b)は、平面図である。
図7(a)及び図7(b)に示すように、実施形態に係るセンサ131は、複数の第2素子部32Eを含む。センサ131は、第2連結部材25をさらに含む。第2連結部材25は、複数の第2素子部32Eの1つの第2部材20と、複数の第2素子部32Eの別の1つの第2部材20と、を連結する。第2連結部材25と、複数の第2素子部32Eの1つの第2部材20の第3開口部23と、の間の第1方向(Z軸方向)に沿う距離を距離d25とする。距離d25は、複数の第2素子部32Eの1つの第2素子32の第2膜32Fから出射される音波の波長の5倍以上である。これにより、第2連結部材25により反射した音波が対象物50などに向かって進行したときのノイズなどが抑制できる。
図8に示すように、実施形態に係るセンサ132は、第1素子部31E及び第2素子部32Eを含む。この例では、複数の第1素子部31E及び複数の第2素子部32Eが設けられる。
図9(a)及び図9(b)は、第4実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図9(a)は、図9(b)のG1-G2線断面図である。図9(b)は、平面図である。
図9(a)及び図9(b)に示すように、実施形態に係るセンサ140は、第2素子部32Eを含む。第2素子部32Eは、第2部材20及び第2素子32を含む。第2部材20は、第1方向(Z軸方向)に沿って延びる筒状である。第2部材20は、第3開口部23及び第4開口部24を含む。第3開口部23から第4開口部24への方向は、第1方向(Z軸方向)に沿う。第2素子32は、振動可能な第2膜32Fと、第2膜32Fを支持する第2支持部32Sと、を含む。第1方向(Z軸方向)において、第4開口部24は、第3開口部23と第2膜32Fとの間にある。
図10(a)は、図10(b)のH1-H2線断面図である。図10(b)は、平面図である。
図10(a)及び図10(b)に示すように、実施形態に係るセンサ141は、複数の第2素子部32Eを含む。センサ141は、第2連結部材25をさらに含む。第2連結部材25は、複数の第2素子部32Eの1つの第2部材20と、複数の第2素子部32Eの別の1つの第2部材20と、を連結する。第2連結部材25と、複数の第2素子部32Eの1つの第2部材20の第3開口部23と、の間の第1方向(Z軸方向)に沿う距離d25は、複数の第2素子部32Eの1つの第2素子32の第2膜32Fから出射される音波の波長の5倍以上である。これにより、第2連結部材25により反射した音波が対象物50などに向かって進行したときのノイズなどが抑制できる。
図11に示すように、実施形態に係るセンサ142は、第1素子部31E及び第2素子部32Eを含む。この例では、複数の第1素子部31E及び複数の第2素子部32Eが設けられる。
図12及び図13に示すように、実施形態に係るセンサ150及び151において、第1素子部31E及び第2素子部32Eが設けられる。この例では、複数の第1素子部31E及び複数の第2素子部32Eが設けられる。センサ150及び151においては、第1素子31に接続された第1回路31cと、光学素子35と、が設けられる。第1回路31cは、第1膜31Fを振動させる。光学素子35は、第2膜32Fの振動に応じた信号を出力可能である。光学素子35は、例えば、第2膜32Fの表面で反射する光35Lを検出する。光学素子35は、第2膜32Fに向けて光35Lを出射しても良い。例えば、第2素子部32Eにおいて、第2膜32Fの振動を検出する任意の構成が適用できる。光学素子35は、例えば、干渉光を用いた変位計等を含んでも良い。
本実施形態は、検査装置に係る。
図14は、第5実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
図14に示すように、検査装置210は、第1素子部31E、第2素子部32E及び搬送部40を含む。搬送部40は、第1部材10と第2部材20との間で対象物50(被検査体)を移動させる。検査装置210は、対象物50を検査する。
第1方向に沿って延びる筒状の第1部材であって、前記第1部材は、第1開口部及び第2開口部を含み、前記第2開口部から前記第1開口部への方向は、前記第1方向に沿う、前記第1部材と、
第1素子と、
を含む第1素子部を備え、
前記第1素子は、
振動可能な第1膜と、
前記第1膜を支持する第1支持部と、
を含み、
前記第1方向において、前記第2開口部は、前記第1開口部と前記第1膜との間にある、センサ。
前記第1部材は、前記第1開口部に対応する第1端部と、第1他部と、を含み、前記第1他部の前記第1方向における位置は、前記第1端部の前記第1方向における位置と、前記第1素子の前記第1方向における位置と、の間にあり、
前記第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1端部の第1厚さは、前記第2方向に沿う前記第1他部の厚さよりも薄い、構成1記載のセンサ。
前記第1部材は、前記第1開口部に対応する第1端部を含み、
前記第1支持部の少なくとも一部の前記第1方向における位置は、前記第1膜の前記第1方向における位置と、前記第1端部の前記第1方向における位置と、の間にあり、
第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1端部の第1厚さは、前記第2方向に沿う前記第1支持部の厚さよりも薄い、構成1記載のセンサ。
前記第1厚さは、前記第1膜から出射される音波の波長よりも小さい、構成1~3のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1部材の前記第1方向に沿う長さは、前記波長の5倍以上である、構成4記載のセンサ。
前記第1部材の外側面の少なくとも一部は、前記第1方向に対して傾斜した、構成1~5のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1部材は、内側面と、外側面と、を含み、
前記外側面の少なくとも一部と、前記第1方向と、の間の角度は、前記内側面と、前記第1方向と、の間の角度よりも大きい、構成1~6のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1部材の外径の前記第1方向の位置の変化に対する変化率は、前記第1部材の内径の前記第1方向の前記位置の変化に対する変化率よりも高い、構成1~7のいずれか1つに記載のセンサ。
第1連結部材をさらに備え、
複数の前記第1素子部と、が設けられ、
前記第1連結部材は、前記複数の第1素子部の1つの前記第1部材と、前記複数の第1素子部の別の1つの前記第1部材と、を連結し、
前記第1連結部材と、前記複数の第1素子部の前記1つの前記第1部材の前記第1端部と、の間の前記第1方向に沿う距離は、前記複数の第1素子部の前記1つの前記第1素子の前記第1膜から出射される音波の波長の5倍以上である、構成1~8のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1部材の音響インピーダンスは、空気の音響インピーダンスの1000倍以上である、構成1~9のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1部材は、鉄、アルミニウム、紙、及び、樹脂よりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1~10のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1部材と前記第1素子との間に間隙がある、構成1~11のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1膜は、たわみ振動する、構成1~12のいずれか1つに記載のセンサ。
第2素子部をさらに備え、
前記第2素子部は、第2部材及び第2素子を含み、
前記第1方向において、前記第1素子と前記第2素子との間に前記第1部材があり、
前記第1方向において、前記第1部材と前記第2素子との間に前記第2部材があり、
前記第2部材は、前記第1方向に沿って延びる筒状であり、前記第2部材は、第3開口部及び第4開口部を含み、前記第3開口部から前記第4開口部への方向は、前記第1方向に沿い、
前記第2素子は、
振動可能な第2膜と、
前記第2膜を支持する第2支持部と、
を含み、
前記第1方向において、前記第4開口部は、前記第3開口部と前記第2膜との間にある、構成1~13のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第2部材は、前記第3開口部に対応する第2端部と、第2他部と、を含み、前記第2他部の前記第1方向における位置は、前記第2端部の前記第1方向における位置と、前記第2素子の前記第1方向における位置と、の間にあり、
前記第2方向に沿う前記第2端部の第2厚さは、前記第2方向に沿う前記第2他部の厚さよりも薄い、構成14記載のセンサ。
前記第2部材は、前記第3開口部に対応する第2端部を含み、
前記第2支持部の少なくとも一部の前記第1方向における位置は、前記第2膜の前記第1方向における位置と、前記第2端部の前記第1方向における位置と、の間にあり、
前記第2方向に沿う前記第2端部の第2厚さは、前記第2方向に沿う前記第2支持部の厚さよりも薄い、構成14記載のセンサ。
前記第1素子は、第1音波を出射し、
前記第2素子は、前記第1部材の中及び前記第2部材の中を通過した前記第1音波を受信する、構成14~16のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1素子に接続された第1回路と、
前記第2素子に接続された第2回路と、
をさらに備え、
前記第1回路は、前記第1膜を振動させ、
前記第2回路は、前記第2膜の振動に応じた信号を出力可能である、構成14~17のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1素子に接続された第1回路と、
光学素子と、
をさらに備え、
前記第1回路は、前記第1膜を振動させ、
前記光学素子は、前記第2膜の振動に応じた信号を出力可能である、構成14~17のいずれか1つに記載のセンサ。
構成14~19のいずれか1つに記載のセンサと、
前記第1部材と前記第2部材との間で対象物を移動させる搬送部と、
を備えた、検査装置。
Claims (10)
- 第1方向に沿って延びる筒状の第1部材であって、前記第1部材は、第1開口部及び第2開口部を含み、前記第2開口部から前記第1開口部への方向は、前記第1方向に沿う、前記第1部材と、
第1素子と、
を含む第1素子部と、
第2素子部と、
を備え、
前記第1素子は、
振動可能な第1膜と、
前記第1膜を支持する第1支持部と、
を含み、
前記第1方向において、前記第2開口部は、前記第1開口部と前記第1膜との間にあり、
前記第2素子部は、第2部材及び第2素子を含み、
前記第1方向において、前記第1素子と前記第2素子との間に前記第1部材があり、
前記第1方向において、前記第1部材と前記第2素子との間に前記第2部材があり、
前記第2部材は、前記第1方向に沿って延びる筒状であり、前記第2部材は、第3開口部及び第4開口部を含み、前記第3開口部から前記第4開口部への方向は、前記第1方向に沿い、
前記第2素子は、
振動可能な第2膜と、
前記第2膜を支持する第2支持部と、
を含み、
前記第1方向において、前記第4開口部は、前記第3開口部と前記第2膜との間にあり、
前記第1素子は、第1音波を出射し、
前記第2素子は、前記第1部材の中及び前記第2部材の中を通過した前記第1音波を受信し、
前記第1部材は、前記第1開口部に対応する第1端部と、第1他部と、を含み、前記第1他部の前記第1方向における位置は、前記第1端部の前記第1方向における位置と、前記第1素子の前記第1方向における位置と、の間にあり、
前記第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1端部の第1厚さは、前記第2方向に沿う前記第1他部の厚さよりも薄い、センサ。 - 第1方向に沿って延びる筒状の第1部材であって、前記第1部材は、第1開口部及び第2開口部を含み、前記第2開口部から前記第1開口部への方向は、前記第1方向に沿う、前記第1部材と、
第1素子と、
を含む第1素子部と、
第2素子部と、
を備え、
前記第1素子は、
振動可能な第1膜と、
前記第1膜を支持する第1支持部と、
を含み、
前記第1方向において、前記第2開口部は、前記第1開口部と前記第1膜との間にあり、
前記第2素子部は、第2部材及び第2素子を含み、
前記第1方向において、前記第1素子と前記第2素子との間に前記第1部材があり、
前記第1方向において、前記第1部材と前記第2素子との間に前記第2部材があり、
前記第2部材は、前記第1方向に沿って延びる筒状であり、前記第2部材は、第3開口部及び第4開口部を含み、前記第3開口部から前記第4開口部への方向は、前記第1方向に沿い、
前記第2素子は、
振動可能な第2膜と、
前記第2膜を支持する第2支持部と、
を含み、
前記第1方向において、前記第4開口部は、前記第3開口部と前記第2膜との間にあり、
前記第1素子は、第1音波を出射し、
前記第2素子は、前記第1部材の中及び前記第2部材の中を通過した前記第1音波を受信し、
前記第1部材は、前記第1開口部に対応する第1端部を含み、
前記第1支持部の少なくとも一部の前記第1方向における位置は、前記第1膜の前記第1方向における位置と、前記第1端部の前記第1方向における位置と、の間にあり、
前記第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1端部の第1厚さは、前記第2方向に沿う前記第1支持部の厚さよりも薄い、センサ。 - 前記第1厚さは、前記第1膜から出射される音波の波長よりも小さい、請求項1または2に記載のセンサ。
- 前記第1部材の前記第1方向に沿う長さは、前記波長の5倍以上である、請求項3記載のセンサ。
- 第1方向に沿って延びる筒状の第1部材であって、前記第1部材は、第1開口部及び第2開口部を含み、前記第2開口部から前記第1開口部への方向は、前記第1方向に沿う、前記第1部材と、
第1素子と、
を含む第1素子部と、
第2素子部と、
を備え、
前記第1素子は、
振動可能な第1膜と、
前記第1膜を支持する第1支持部と、
を含み、
前記第1方向において、前記第2開口部は、前記第1開口部と前記第1膜との間にあり、
前記第2素子部は、第2部材及び第2素子を含み、
前記第1方向において、前記第1素子と前記第2素子との間に前記第1部材があり、
前記第1方向において、前記第1部材と前記第2素子との間に前記第2部材があり、
前記第2部材は、前記第1方向に沿って延びる筒状であり、前記第2部材は、第3開口部及び第4開口部を含み、前記第3開口部から前記第4開口部への方向は、前記第1方向に沿い、
前記第2素子は、
振動可能な第2膜と、
前記第2膜を支持する第2支持部と、
を含み、
前記第1方向において、前記第4開口部は、前記第3開口部と前記第2膜との間にあり、
前記第1素子は、第1音波を出射し、
前記第2素子は、前記第1部材の中及び前記第2部材の中を通過した前記第1音波を受信し、
前記第1部材は、前記第1開口部に対応する第1端部を含み、
前記第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1端部の第1厚さは、前記第1膜から出射される音波の波長よりも小さい、センサ。 - 第1連結部材をさらに備え、
複数の前記第1素子部と、が設けられ、
前記第1連結部材は、前記複数の第1素子部の1つの前記第1部材と、前記複数の第1素子部の別の1つの前記第1部材と、を連結し、
前記第1連結部材と、前記複数の第1素子部の前記1つの前記第1部材の前記第1端部と、の間の前記第1方向に沿う距離は、前記複数の第1素子部の前記1つの前記第1素子の前記第1膜から出射される音波の波長の5倍以上である、請求項1または2に記載のセンサ。 - 第1方向に沿って延びる筒状の第1部材であって、前記第1部材は、第1開口部及び第2開口部を含み、前記第2開口部から前記第1開口部への方向は、前記第1方向に沿う、前記第1部材と、
第1素子と、
を含む第1素子部と、
第2素子部と、
を備え、
前記第1素子は、
振動可能な第1膜と、
前記第1膜を支持する第1支持部と、
を含み、
前記第1方向において、前記第2開口部は、前記第1開口部と前記第1膜との間にあり、
前記第2素子部は、第2部材及び第2素子を含み、
前記第1方向において、前記第1素子と前記第2素子との間に前記第1部材があり、
前記第1方向において、前記第1部材と前記第2素子との間に前記第2部材があり、
前記第2部材は、前記第1方向に沿って延びる筒状であり、前記第2部材は、第3開口部及び第4開口部を含み、前記第3開口部から前記第4開口部への方向は、前記第1方向に沿い、
前記第2素子は、
振動可能な第2膜と、
前記第2膜を支持する第2支持部と、
を含み、
前記第1方向において、前記第4開口部は、前記第3開口部と前記第2膜との間にあり、
前記第1素子は、第1音波を出射し、
前記第2素子は、前記第1部材の中及び前記第2部材の中を通過した前記第1音波を受信し、
前記第1部材の一部と、前記第1素子と、の間に間隙が設けられ、
前記第1部材の別の一部は、前記第1素子と接する、センサ。 - 前記第1素子に接続された第1回路と、
前記第2素子に接続された第2回路と、
をさらに備え、
前記第1回路は、前記第1膜を振動させ、
前記第2回路は、前記第2膜の振動に応じた信号を出力可能である、請求項1~7のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記第1素子に接続された第1回路と、
光学素子と、
をさらに備え、
前記第1回路は、前記第1膜を振動させ、
前記光学素子は、前記第2膜の振動に応じた信号を出力可能である、請求項1~7のいずれか1つに記載のセンサ。 - 請求項8または9に記載のセンサと、
前記第1部材と前記第2部材との間で対象物を移動させる搬送部と、
を備えた、検査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019192658A JP7249924B2 (ja) | 2019-10-23 | 2019-10-23 | センサ及び検査装置 |
US17/012,338 US11692819B2 (en) | 2019-10-23 | 2020-09-04 | Acoustic sensor having waveguide and inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019192658A JP7249924B2 (ja) | 2019-10-23 | 2019-10-23 | センサ及び検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021067543A JP2021067543A (ja) | 2021-04-30 |
JP7249924B2 true JP7249924B2 (ja) | 2023-03-31 |
Family
ID=75586955
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019192658A Active JP7249924B2 (ja) | 2019-10-23 | 2019-10-23 | センサ及び検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11692819B2 (ja) |
JP (1) | JP7249924B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7249924B2 (ja) | 2019-10-23 | 2023-03-31 | 株式会社東芝 | センサ及び検査装置 |
JP7388996B2 (ja) | 2020-09-03 | 2023-11-29 | 株式会社東芝 | 検査装置及び検査方法 |
JP7482067B2 (ja) | 2021-03-10 | 2024-05-13 | 株式会社東芝 | 検査装置及び検査方法 |
JP7520782B2 (ja) | 2021-08-17 | 2024-07-23 | 株式会社東芝 | 検査装置、処理装置及び検査方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001351141A (ja) | 2000-06-09 | 2001-12-21 | Toshiba Corp | 紙葉類の異物検知装置 |
JP2005241337A (ja) | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Fuji Heavy Ind Ltd | 超音波非破壊検査装置の超音波センサヘッド |
WO2007132671A1 (ja) | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | 音波式煙感知器 |
JP2013127400A (ja) | 2011-12-19 | 2013-06-27 | Toyota Central R&D Labs Inc | 超音波検査装置 |
JP2014186349A (ja) | 2008-06-13 | 2014-10-02 | Canon Inc | 記録媒体の坪量検知センサ、及び画像形成装置 |
JP2017208596A (ja) | 2016-05-16 | 2017-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、超音波プローブおよび超音波測定装置 |
JP2019156772A (ja) | 2018-03-14 | 2019-09-19 | ロート製薬株式会社 | 外用組成物 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60252284A (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-12 | Nissan Motor Co Ltd | 超音波センサ |
JPH0921631A (ja) * | 1995-07-04 | 1997-01-21 | Suzuki Motor Corp | 超音波センサ |
FR2742047B1 (fr) * | 1995-12-06 | 1998-01-16 | Oreal | Compositions de teinture des fibres keratiniques contenant des derives n-substitues de la 4-hydroxy indoline, nouveaux derives, leur procede de synthese, leur utilisation pour la teinture, et procede de teinture |
JP2000025988A (ja) | 1998-07-14 | 2000-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波を利用したシート材の重送検知方法 |
DE19844447B4 (de) | 1998-09-28 | 2009-04-09 | Giesecke & Devrient Gmbh | Vorrichtung zur Prüfung von Blattgut mittels Schallwandlern |
US7130245B2 (en) | 2003-01-31 | 2006-10-31 | Canon Denshi Kabushiki Kaisha | Ultrasonic double feed detecting device |
JP3860126B2 (ja) | 2003-01-31 | 2006-12-20 | キヤノン電子株式会社 | 重送検知装置及び重送検知方法 |
US7775110B2 (en) * | 2006-09-22 | 2010-08-17 | Denso Corporation | Ultrasonic sensor |
KR20080094426A (ko) * | 2007-04-20 | 2008-10-23 | 기산전자 주식회사 | 초음파를 이용한 테이프권 검출장치 및 그 방법 |
JP2013217926A (ja) * | 2008-06-13 | 2013-10-24 | Canon Inc | 記録媒体判別装置および画像形成装置 |
JP5274370B2 (ja) * | 2008-06-13 | 2013-08-28 | キヤノン株式会社 | 記録媒体判別装置および画像形成装置 |
JP5561954B2 (ja) * | 2008-06-13 | 2014-07-30 | キヤノン株式会社 | 記録媒体の坪量検知センサ、及び画像形成装置 |
KR100984767B1 (ko) * | 2008-12-22 | 2010-10-01 | 주식회사 카스모아이티 | 지폐계수기 및 지폐정사기에 적용되는 온도제어가 가능한 테이프권 검지장치 |
JP2011145280A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-07-28 | Canon Inc | 記録媒体判別装置および画像形成装置 |
US10539487B2 (en) | 2010-03-04 | 2020-01-21 | Ventana Medical Systems, Inc. | Systems and methods for monitoring tissue sample processing |
JP2012063276A (ja) | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Toshiba Corp | 超音波検査装置、及び超音波検査装置を備える紙葉類処理装置 |
US20120061901A1 (en) * | 2010-09-10 | 2012-03-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic detecting device and sheet handling apparatus comprising ultrasonic detecting device |
JP5505251B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2014-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | 血管径測定装置 |
US9561522B2 (en) | 2011-03-28 | 2017-02-07 | Helmut Knorr | Ultrasonic transmitting and receiving device for thickness and/or grammage measurement |
US20140216158A1 (en) | 2011-08-17 | 2014-08-07 | Sergio José Sanabria Martin | Air coupled ultrasonic contactless method for non-destructive determination of defects in laminated structures |
US9542787B2 (en) * | 2013-03-15 | 2017-01-10 | De La Rue North America Inc. | Systems and methods for detecting a document attribute using acoustics |
JP6463920B2 (ja) * | 2013-08-05 | 2019-02-06 | キヤノン株式会社 | 超音波発信装置、超音波受信装置、シート判別装置及び画像形成装置 |
JP6581712B2 (ja) * | 2013-08-05 | 2019-09-25 | キヤノン株式会社 | 超音波発信装置、超音波受信装置、シート判別装置及び画像形成装置 |
JP2015097733A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイスおよびその製造方法並びに電子機器および超音波画像装置 |
BR112016021289B1 (pt) | 2014-03-17 | 2021-07-06 | Sonimex B.V. | sistema para inspeção de trilho ultrassônico |
JP2017021255A (ja) * | 2015-07-13 | 2017-01-26 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
JP6685982B2 (ja) | 2017-09-20 | 2020-04-22 | 株式会社東芝 | トランスデューサおよび検査装置 |
JP6757350B2 (ja) | 2018-03-15 | 2020-09-16 | 株式会社東芝 | 検査装置及び検査方法 |
JP7110719B2 (ja) * | 2018-05-17 | 2022-08-02 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー、及び電子機器 |
JP7176286B2 (ja) * | 2018-08-09 | 2022-11-22 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス及び超音波センサー |
JP6862398B2 (ja) | 2018-09-11 | 2021-04-21 | 株式会社東芝 | 超音波装置及び検査装置 |
JP7216324B2 (ja) * | 2019-01-29 | 2023-02-01 | セイコーエプソン株式会社 | 種別判定装置、電子機器、及び種別判定方法 |
JP7249924B2 (ja) | 2019-10-23 | 2023-03-31 | 株式会社東芝 | センサ及び検査装置 |
-
2019
- 2019-10-23 JP JP2019192658A patent/JP7249924B2/ja active Active
-
2020
- 2020-09-04 US US17/012,338 patent/US11692819B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001351141A (ja) | 2000-06-09 | 2001-12-21 | Toshiba Corp | 紙葉類の異物検知装置 |
JP2005241337A (ja) | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Fuji Heavy Ind Ltd | 超音波非破壊検査装置の超音波センサヘッド |
WO2007132671A1 (ja) | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | 音波式煙感知器 |
JP2014186349A (ja) | 2008-06-13 | 2014-10-02 | Canon Inc | 記録媒体の坪量検知センサ、及び画像形成装置 |
JP2013127400A (ja) | 2011-12-19 | 2013-06-27 | Toyota Central R&D Labs Inc | 超音波検査装置 |
JP2017208596A (ja) | 2016-05-16 | 2017-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、超音波プローブおよび超音波測定装置 |
JP2019156772A (ja) | 2018-03-14 | 2019-09-19 | ロート製薬株式会社 | 外用組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11692819B2 (en) | 2023-07-04 |
JP2021067543A (ja) | 2021-04-30 |
US20210123796A1 (en) | 2021-04-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7249924B2 (ja) | センサ及び検査装置 | |
US9258650B2 (en) | Capacitive electromechanical transducer | |
US8991255B2 (en) | Grammage detection sensor of recording medium and image forming apparatus | |
US8931777B2 (en) | Multi-feed detection apparatus, sheet conveyance apparatus, and sheet processing apparatus | |
JP7110719B2 (ja) | 超音波センサー、及び電子機器 | |
FI79410C (fi) | Foerfarande och anordning foer kontaktloes maetning av spaenningen hos en plan folie och isynnerhet en pappersbana. | |
JP6757350B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP5755993B2 (ja) | 超音波センサ | |
US10950655B2 (en) | Transducer and inspection device | |
JP4917438B2 (ja) | 平面物体の非接触検出のための方法およびデバイス | |
CN110787982B (zh) | 超声波装置 | |
JP5214757B2 (ja) | 状態判定装置 | |
CN109142537B (zh) | 一种质点偏振方向控制与扫描检测方法 | |
JP2012057842A (ja) | 超音波乾燥装置及び基板処理方法 | |
US11448622B2 (en) | Ultrasonic device and inspection device | |
JP7180129B2 (ja) | 超音波装置および電子機器 | |
CN112469999A (zh) | 一维超声换能器单元 | |
JP2010223925A (ja) | 紙葉類の弾性率計測装置及び紙葉類処理装置 | |
JP3341091B2 (ja) | 超音波変位センサ | |
JP3851994B2 (ja) | 超音波紙枚数測定装置 | |
JP2013160685A (ja) | 超音波出力装置、超音波検査装置、及び紙葉類処理装置 | |
JP7147534B2 (ja) | 超音波装置 | |
JP4185777B2 (ja) | シート材判別装置、及びシート材判別方法 | |
JP2020141270A (ja) | 超音波ユニットおよび超音波装置 | |
FI62419C (fi) | Maetare foer att maeta spaenningen av membraner eller pappersband utan kontakt |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210119 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230221 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230320 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7249924 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |