JP7247397B2 - ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 - Google Patents
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Description
[2] 上記トリミング砥石と上記ウェーハとの回転方向が同方向であることを特徴とする[1]に記載のウェーハ面取り装置。
[3] 上記トリミング砥石が、メタルボンドとされたことを特徴とする、[1]又は[2]に記載のウェーハ面取り装置。
[4] ウェーハを載置してXYZ方向に移動及び回転させるウェーハ送りユニットと、回転して上記ウェーハの外周部を加工するトリミング砥石と、によってウェーハの外周部を研削するウェーハ面取り方法であって、上記トリミング砥石の回転軸と平行な軸周りに回転するドレス砥石を上記トリミング砥石の回転円周状に配置し、上記ウェーハの外周部を上記トリミング砥石で加工しながら上記ドレス砥石でドレッシングすることを特徴とするウェーハ面取り方法。
[5] 上記トリミング砥石と上記ウェーハとの回転方向が同方向であることを特徴とする[4]に記載のウェーハ面取り方法。
[6] 上記トリミング砥石が、メタルボンドとされたことを特徴とする、[4]又は[5]に記載のウェーハ面取り方法。
200 ドレスユニット、201 ドレス案内ガイド、202 ドレスアーム、203 ドレス砥石、204 マスタ砥石、205 ボールネジ機構、206 ドレスモータ
Claims (6)
- ウェーハの外周部を研削するウェーハ面取り装置において、
前記ウェーハを載置してXYZ方向に移動及び回転させるウェーハ送りユニットと、
回転して前記ウェーハの外周部を加工するトリミング砥石と、
前記トリミング砥石の回転軸と平行な軸周りに回転するドレス砥石と、
を備え、前記ドレス砥石は前記トリミング砥石の回転円周状に配置され、前記ウェーハの外周部を前記トリミング砥石で加工しながら前記ドレス砥石でドレッシングを可能としたことを特徴とするウェーハ面取り装置。 - 前記トリミング砥石と前記ウェーハとの回転方向が同方向であることを特徴とする請求項1に記載のウェーハ面取り装置。
- 前記トリミング砥石が、メタルボンドとされたことを特徴とする、請求項1又は2に記載のウェーハ面取り装置。
- ウェーハを載置してXYZ方向に移動及び回転させるウェーハ送りユニットと、回転して前記ウェーハの外周部を加工するトリミング砥石と、によってウェーハの外周部を研削するウェーハ面取り方法であって、
前記トリミング砥石の回転軸と平行な軸周りに回転するドレス砥石を前記トリミング砥石の回転円周状に配置し、前記ウェーハの外周部を前記トリミング砥石で加工しながら前記ドレス砥石でドレッシングすることを特徴とするウェーハ面取り方法。 - 前記トリミング砥石と前記ウェーハとの回転方向が同方向であることを特徴とする請求項4に記載のウェーハ面取り方法。
- 前記トリミング砥石が、メタルボンドとされたことを特徴とする、請求項4又は5に記載のウェーハ面取り方法。
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JP2010182839A (ja) | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 積層ウエーハのエッジ面取り方法 |
JP2010207984A (ja) | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 面取り加工装置及び面取り加工方法 |
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