JP7243481B2 - Radiation detector - Google Patents
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Description
本発明は、放射線検出装置に関する。 The present invention relates to a radiation detection device.
従来、α線などの放射線の検出装置は、ケース部内に放射線検出素子を有しており、測定試料から放射される放射線を、ケース部に設けられた透明な保護膜を介して放射線検出素子に入射させている(例えば特許文献1参照)。また、この検出装置では、光源からの光をケース部内で放射線検出素子に照射することで動作チェックを行っている。
特許文献1 特許第4258145号公報
Conventionally, radiation detectors such as α-rays have a radiation detection element in a case, and the radiation emitted from a measurement sample is passed through a transparent protective film provided in the case to the radiation detection element. The light is made incident (see, for example, Patent Document 1). Further, in this detection device, the operation is checked by irradiating the radiation detection element within the case with light from the light source.
しかしながら、保護膜を介して放射線が放射線検出素子に入射すると、放射線のエネルギーが減衰して検出精度が低下する。一方、放射線検出素子をケース部の外部に配置すると、放射線検出素子に動作チェック用の光を当てることができない。 However, when radiation enters the radiation detection element through the protective film, the energy of the radiation is attenuated and the detection accuracy is lowered. On the other hand, if the radiation detection element is arranged outside the case, the radiation detection element cannot be illuminated with light for operation check.
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様においては、放射線検出装置が提供される。放射線検出装置は、内部を密閉するケース部を備えてよい。放射線検出装置は、表面の少なくとも一部がケース部の外部に露出される半導体式の放射線検出素子を備えてよい。放射線検出装置は、動作チェック用の光パルスを出射する光源を備えてよい。ケース部は、放射線検出素子の表面よりも測定試料の側に突出して設けられる突出部を有してよい。ケース部は、突出部に設けられ、光源からの光パルスを放射線検出素子に向けて透過させる透光部を有してよい。 In order to solve the above problems, a first aspect of the present invention provides a radiation detection apparatus. The radiation detection device may include a case portion that seals the inside. The radiation detection device may include a semiconductor-type radiation detection element having at least a portion of its surface exposed to the outside of the case. The radiation detection apparatus may include a light source that emits light pulses for operation check. The case part may have a protruding part that protrudes toward the measurement sample from the surface of the radiation detection element. The case part may have a translucent part that is provided on the protruding part and transmits a light pulse from the light source toward the radiation detection element.
透光部は、放射線検出素子の表面のうち、ケース部の外部に露出された領域に向けて光パルスを透過させてよい。 The translucent portion may transmit the light pulse toward a region of the surface of the radiation detecting element exposed to the outside of the case portion.
突出部は、放射線検出素子の側周面の少なくとも一部の領域の側方に設けられてよい。透光部は、突出部における放射線検出素子の側の部分に設けられてよい。 The projecting portion may be provided laterally in at least a partial region of the side peripheral surface of the radiation detecting element. The translucent portion may be provided on a portion of the projecting portion on the side of the radiation detecting element.
突出部は、放射線検出素子の周囲に環状に設けられてよい。透光部は、突出部の内周部の全周に亘って設けられてよい。 The projecting portion may be annularly provided around the radiation detecting element. The translucent portion may be provided along the entire inner peripheral portion of the projection.
透光部は、筒状の部材であってよい。光源は、突出部内で透光部の外周面に向けて配置されてよい。 The translucent part may be a cylindrical member. The light source may be arranged in the projecting portion toward the outer peripheral surface of the translucent portion.
透光部は、入射面から入射される光パルスを導光して、放射線検出素子に対向した出射面から出射する環状のライトガイドであってよい。光源は、入射面に向けて配置されてよい。 The translucent part may be an annular light guide that guides a light pulse incident from the entrance surface and emits it from the exit surface facing the radiation detection element. The light source may be arranged facing the plane of incidence.
出射面は、突出部の内周部に設けられてよい。入射面は、測定試料とは反対側に向くよう突出部の基端部に設けられてよい。 The exit surface may be provided on the inner periphery of the protrusion. The incident surface may be provided at the proximal end of the protrusion so as to face the side opposite to the measurement sample.
ケース部は、放射線検出素子を裏面側から支持する支持板を有してよい。ケース部は、透光部および支持板の間に介在する環状のシーリング部材とを有してよい。透光部は、測定試料側で内径が小さくなるように屈曲した形状を有してよい。透光部は、支持板の側周面と、支持板の表面の外周部とに対向して配置されてよい。 The case part may have a support plate that supports the radiation detection element from the back side. The case portion may have an annular sealing member interposed between the translucent portion and the support plate. The translucent part may have a bent shape so that the inner diameter becomes smaller on the side of the measurement sample. The translucent portion may be arranged to face the side peripheral surface of the support plate and the outer peripheral portion of the surface of the support plate.
透光部は、シーリング部材としてのパッキンが着脱可能に嵌め込まれる溝部を有してよい。 The translucent part may have a groove into which a packing as a sealing member is detachably fitted.
放射線検出装置は、ケース部の内部に配置され、放射線検出素子から出力される電気パルスを増幅するアンプ回路をさらに備えてよい。 The radiation detection apparatus may further include an amplifier circuit that is arranged inside the case and that amplifies the electric pulse output from the radiation detection element.
放射線検出素子はα線を検出してよい。 The radiation detection element may detect alpha rays.
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 It should be noted that the above summary of the invention does not list all the necessary features of the invention. Subcombinations of these feature groups can also be inventions.
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. Also, not all combinations of features described in the embodiments are essential for the solution of the invention.
[1.放射線検出装置1]
図1は、本実施形態に係る放射線検出装置1を示す。
[1. Radiation detection device 1]
FIG. 1 shows a
放射線検出装置1は、測定試料から放射される放射線(本実施形態では一例としてα線)を計測・監視する装置であってよく、例えば原子力発電所などの施設において排ガスなどに含まれる放射線核種を検出するのに用いられてよい。測定試料は、環境の単位体積の空気であってもよいし、単位体積の空気を濾紙に通して濾紙上に捕集される塵埃(ダスト)であってもよい。放射線検出装置1は、放射線検出素子10と、アンプ回路11と、制御回路12と、コネクタ13と、ケース部14と、光源15と、を備える。
The
[1-1.放射線検出素子10]
放射線検出素子10は、表面(図中上側の面)に入射する放射線(本実施形態では一例としてα線)を検出する。
[1-1. Radiation detection element 10]
The radiation detection element 10 detects radiation (α-rays as an example in this embodiment) incident on the surface (upper surface in the figure).
放射線検出素子10は、表面の少なくとも一部(本実施形態では一例として全体)がケース部14の外部に露出される。外部への露出領域には、測定試料からのα線が空気層のみを介して入射してよい。放射線検出素子10と測定試料との間には、放射線検出素子10の表面の汚染を防ぐための保護膜(一例としてPET膜)が設けられなくてよい。放射線検出素子10は、外部への露出領域で測定試料に対向し、測定試料から放射されるα線を受けてよい。
At least part of the surface of the radiation detection element 10 (the entire surface as an example in this embodiment) is exposed to the outside of the
放射線検出素子10は、半導体式の検出素子であり、板状に形成されてよい。なお、本実施形態では一例として放射線検出素子10は円板状であるが、他の形状であってもよい。放射線検出素子10は、高抵抗率の単結晶シリコンウェハの片面にpn接合またはヘテロ接合を形成され、この接合に逆方向バイアスが印加されて、接合の両側に空乏層を形成されたものであってよい。空乏層の形成領域は放射線の有感領域であってよく、ケース部14の外部に露出されてよい。なお、放射線検出素子10がpn接合型である場合には、pn接合を形成されている領域がこの有感領域であってよく、放射線検出素子10が非晶質シリコンによるヘテロ接合型である場合には、非晶質シリコン上に形成された電極の領域が概ね有感領域であってよい。
The
有感領域は平面視において放射線検出素子10の中央部に形成されてよく、例えば円形状(一例としてφ50mmの円形状)であってよい。放射線検出素子10は、放射線検出装置1の動作チェックのために光源15から出射される光パルスの受光領域を有感領域内に有してよい。別言すれば、放射線検出素子10は、有感領域とは別個に動作チェック用の光パルスの受光領域を有さなくてよい。
The sensitive area may be formed in the central portion of the
ここで、α線が物質中(放射線検出素子10の場合はシリコン中)を移動すると、その物質とα線との相互作用によってその移動経路に高密度の電子-正孔対が生成される。この電子-正孔対の生成領域が空乏層のような高電界領域であると、電子-正孔対はその高電界によって電子と正孔とに分離されて、負電極側に正孔が取り出され、正電極側に電子が取り出される。取り出された正孔および電子は荷電粒子であるから、電極から取り出された電荷量を計測すると取り出された正孔または電子の数、ひいては物質中で失われたα線のエネルギーが算出される。放射線検出素子10の空乏層の厚さは、計測対象となるα線の飛程よりも大きく(厚く)設計されているので、電極から取り出される電荷量は、空乏層に入射したα線のエネルギーに対応する。電極から取り出される電荷は、電気パルスとしてアンプ回路11に供給されてよい。
Here, when α-rays move in a substance (in silicon in the case of the radiation detecting element 10), interaction between the substance and α-rays generates high-density electron-hole pairs in the movement path. If the electron-hole pair generation region is a high electric field region such as a depletion layer, the electron-hole pairs are separated into electrons and holes by the high electric field, and the holes are extracted to the negative electrode side. electrons are extracted to the positive electrode side. Since the holes and electrons taken out are charged particles, the number of holes or electrons taken out and the energy of α-rays lost in the substance can be calculated by measuring the amount of charge taken out from the electrode. Since the thickness of the depletion layer of the
[1-2.アンプ回路11]
アンプ回路11は、ケース部14の内部に配置され、放射線検出素子10から出力される電気パルスを増幅する。アンプ回路11は、入力される電気パルスの電荷量に比例した波高値の電圧パルスを生成してよい。なお、アンプ回路11に入力される電気パルスは微小な電流パルスであるため、増幅の精度を高める観点から、アンプ回路11は高インピーダンス回路で構成されてよい。アンプ回路11は、電圧パルスを制御回路12に供給してよい。
[1-2. amplifier circuit 11]
The
[1-3.制御回路12]
制御回路12は、放射線検出装置1の各部を制御する。制御回路12は、アンプ回路11からの電圧パルスに基づいて種々の演算を行ってよい。例えば、制御回路12は、アンプ回路11からの電圧パルスに基づいてα線のエネルギーを算出してよい。制御回路12は、基準時間内に基準エネルギー幅内に入るパルス数をヒストグラムとしてエネルギースペクトラムを生成してよい。制御回路12は、エネルギースペクトラムから、測定試料に含まれる放射性核種及びその濃度を算出してよい。制御回路12は、コネクタ13を介して演算結果を放射線検出装置1の外部に出力してよい。
[1-3. control circuit 12]
The
[1-4.コネクタ13]
コネクタ13は、放射線検出装置1を外部機器に接続するためのインタフェースである。コネクタ13は、ケース部14の外部に設けられてよい。
[1-4. connector 13]
The
[1-5.ケース部14]
ケース部14は、内部を密閉する。ケース部14は、少なくともアンプ回路11を内部に収容してよい。これにより、上述のようにアンプ回路11が高インピーダンス回路で構成される場合であっても、雰囲気中の湿度の変動による絶縁性能の低下、ひいては特性変化が防止される。本実施形態では一例として、ケース部14は制御回路12および光源15を内部にさらに収容してよい。
[1-5. case portion 14]
The
ケース部14は、ケース部本体140と、支持板141と、突出部142と、透光部143とを有する。このうち、ケース部本体140、支持板141および突出部142は、真鍮またはアルミで形成されてよい。この場合、ケース部14は、外部からのノイズの侵入を防止するシールドボックスの機能を有してよい。
The
[1-5-1.ケース部本体140]
ケース部本体140は、測定試料の側(図中の上側)に開口部1400を、測定試料とは反対の側(図中の下側)に底部1401を有する筒状の部材であり、内部にアンプ回路11等の収容空間を形成している。底部1401にはコネクタ13が設けられてよい。
[1-5-1. Case portion main body 140]
The
[1-5-2.支持板141]
支持板141は、放射線検出素子10を裏面側(図中下側)から支持する。支持板141は、ケース部本体140の開口部1400の中央に配置され、突出部142および透光部143を介してケース部本体140に支持されてよい。支持板141には、放射線検出素子10とアンプ回路11との間との間を電気的に接続する配線が貫通して設けられてよい。
[1-5-2. support plate 141]
The
[1-5-3.突出部142]
突出部142は、支持板141に支持された放射線検出素子10の表面よりも測定試料の側(図中上側)に突出して設けられる。突出部142は、放射線検出素子10の周囲に環状に設けられてよい。例えば、突出部142は、測定試料側のケース部本体140の縁部、つまり開口部1400の周縁部から測定試料の側に突出し、測定試料側の端部で内径が小さくなるように屈曲した形状を有してよい。
[1-5-3. protrusion 142]
The
[1-5-4.透光部143]
透光部143は、突出部142に設けられ、光源15からの光パルスを放射線検出素子10に向けて透過させる(図中の白抜き矢印参照)。透光部143は、放射線検出素子10の表面のうち、ケース部14の外部に露出された領域に向けて光パルスを透過させてよい。
[1-5-4. Translucent portion 143]
The
透光部143は、突出部142の内周部の全周に亘って設けられてよい。透光部143は、筒状の部材であってよく、突出部142の先端部(ケース部本体140とは反対側の端部)の内周縁部と、支持板141の外周縁部とに密着して設けられてよい。本実施形態では一例として、透光部143は、突出部142における先端部の内周縁部の底面に密着して設けられているが、内周縁部の内周面に密着してもよい。また、本実施形態では一例として、透光部143は支持板141の表面に密着して設けられているが、支持板141の側周面に密着してもよい。透光部143は、シーリング剤や接着剤を介して突出部142および支持板141に密着してよい。
The
透光部143は、光パルスを透過させる透明な材料で形成されればよく、本実施形態では一例として、PETやアクリル樹脂等の透明なプラスチックで形成されるが、ガラスなどの他の材料で形成されてもよい。
The
[1-6.光源15]
光源15は、動作チェック用の光パルスを出射する。光源15から出射される光パルスは、α線と同様に放射線検出素子10に入射した場合に電子-正孔対を形成してよい。これにより、放射線検出素子10の空乏層内で生成された電子-正孔対に相当する電荷の電気パルスが放射線検出素子10からアンプ回路11に出力され、放射線検出装置1の動作チェックが行われる。
[1-6. light source 15]
The
光源15は、突出部142内で、筒状の透光部143の外周面に向けて配置されてよい。さらに、光源15は、放射線検出素子10の表面に光パルスが照射されるように、測定試料とは反対の側(図中の下側)に向けて傾斜して配置されてよい。
The
光源15は、自身で発光を行う発光器,発光体であってよく、制御回路12から供給されるパルス状の入力信号に応じて発光してよい。なお、図1では光源15を1つのみ図示しているが、複数の光源15が突出部142内で周方向に並んで配置されてもよい。
The
以上の放射線検出装置1によれば、半導体式の放射線検出素子10の表面の少なくとも一部がケース部の外部に露出されるので、放射線検出素子10がケース部14の内部に収容されて透明な保護膜などで覆われる場合と異なり、測定試料からの放射線(本実施形態では一例としてα線)のエネルギーが保護膜で減衰してしまうのを防止することができる。従って、エネルギーの分解能を高めて、放射線源の核種の識別精度(本実施形態では一例としてα線源であるプルトニウム核種(Pu-239)と、他のα線源であるウラン核種(U-238)やアメリシウム核種(Am-241)との識別精度)を向上させることができる。
また、ケース部14には、放射線検出素子10の表面よりも測定試料の側に突出した突出部142が設けられ、突出部142には光源15からの光パルスを放射線検出素子10に向けて透過させる透光部143が設けられるので、放射線検出素子10がケース部14の外部に設けられる場合であっても、放射線検出装置1の動作チェックを行うことができる。
According to the
Further, the
また、透光部143は放射線検出素子10の表面のうちケース部14の外部に露出された領域に向けて光パルスを透過させるので、動作チェック用の光パルスの受光領域を、放射線検出素子10における放射線の有感領域内にすることができる。従って、有感領域と受光領域とが別々の領域である場合と異なり、動作チェックの精度を高めることができる。また、有感領域とは別個に光パルスの受光領域を設ける必要が無い分、放射線検出素子10、ひいては放射線検出装置1を小型化することができる。
In addition, since the light-transmitting
また、突出部142は放射線検出素子10の周囲に環状に設けられ、透光部143は突出部142の内周部の全周に亘って設けられるので、透光部143が内周部の一部のみに設けられる場合と比較して、ケース部14の密閉を容易化して放射線検出装置1の製造を容易化することができる。
In addition, since the projecting
また、透光部143は筒状の部材であり、光源15は突出部142内で透光部143の外周面に向けて配置されるので、光源15からの光パルスを確実に放射線検出素子10に照射することができる。
In addition, since the
また、放射線検出素子10から出力される電気パルスを増幅するアンプ回路11がケース部14の内部に配置されるので、アンプ回路11の周囲の湿度を一定に維持することができる。従って、湿度変動によってアンプ回路11の電気特性が変化してしまうのを防止し、放射線の測定精度を高めることができる。
Further, since the
[1-7.透光部143の外観]
図2は、透光部143の外観を示す。この図に示すように、透光部143は、筒状に形成されてよい。
[1-7. Appearance of Translucent Portion 143]
FIG. 2 shows the appearance of the
[2.変形例]
図3は、変形例に係る放射線検出装置1Aを示す。
[2. Modification]
FIG. 3 shows a
放射線検出装置1Aは、ケース部14Aおよび光源15Aを備える。
ケース部14Aは、ライトガイド144と、パッキン145とを有する。
The
ライトガイド144は、透光部の一例であり、突出部142に設けられ、光源15Aからの光パルスを放射線検出素子10に向けて透過させる(図中の白抜き矢印参照)。ライトガイド144は、環状に形成されており、入射面1441から入射される光パルスを導光して、放射線検出素子10に対向した出射面1442から出射する。出射面1442は突出部142の内周部に設けられてよく、入射面1441は測定試料とは反対側に向くよう突出部142の基端部(図中下側の端部)に設けられてよい。ライトガイド144は、少なくとも1つの反射面を内部に有してよい。ライトガイド144は、測定試料側で内径が小さくなるように屈曲した形状を有してよく、測定試料側の端部の内周に出射面1442を有してよい。ライトガイド144は、支持板141の側周面と、支持板141の表面の外周部とに対向して配置されてよい。一例として、ライトガイド144は、支持板141と同型の孔部を有して支持板141を内部に嵌め込ませてよい。
The
ライトガイド144は、パッキン145が着脱可能に嵌め込まれる溝部1440を有してよい。本実施形態では一例として、ライトガイド144は、支持板141の表面との対向面に溝部1440を有しているが、これに加えて/代えて、支持板141の側周面との対向面に溝部1440を有してもよいし、突出部142やケース部本体140の内周面との対向面に溝部1440を有してもよい。
The
ライトガイド144は、光パルスを透過させる透明な材料で形成されればよく、本実施形態では一例として、PETやアクリル樹脂等の透明なプラスチックで形成されるが、ガラスなどの他の材料で形成されてもよい。
The
パッキン145は、シーリング部材の一例であり、環状に形成される。パッキン145は、Oリングであってよく、一例として55mmφ程度の大きさであってよい。パッキン145は、支持板141と、ライトガイド144との間に介在してよい。ライトガイド144に溝部1440が設けられている場合には、パッキン145は当該溝部1440に嵌め込まれてシーリングを行ってよい。
光源15Aは、ライトガイド144の入射面1441に向けて配置される。本実施形態では一例として、光源15Aは、ケース部本体140の内部に配置されてよい。なお、図3では光源15Aを1つのみ図示しているが、複数の光源15Aがケース部本体140の内部で周方向に配置されてもよい。
The
以上の放射線検出装置1Aによれば、透光部としての環状のライトガイド144は入射面1441から入射される光パルスを導光して、放射線検出素子10に対向した出射面1442から出射するので、光源15Aからの光パルスを確実に放射線検出素子10に照射することができる。
According to the
また、出射面1442は突出部142の内周部に設けられ、入射面1441は測定試料とは反対側に向くよう突出部142の基端部に設けられるので、光源15Aを突出部142の内部に設ける必要が無い分、光源15Aの配置の自由度を高めることができる。
In addition, the
また、ライトガイド144と支持板141との間に環状のパッキン145が介在するので、ケース部14の内部を確実に密閉することができる。
Further, since the
また、ライトガイド144にはパッキン145が着脱可能に嵌め込まれる溝部1440が設けられるので、ケース部14の密閉を容易化することができる。
Further, since the
[2-1.ライトガイド144の外観]
図4は、ライトガイド144の外観を示す。この図に示すように、ライトガイド144は、環状に形成されて、一方の側(図中上側)で内径が小さくなるように屈曲した形状を有してよい。ライトガイド144は、当該一方の側の内周部に出射面1442を有し、他方の側に入射面1441を有してよい。
[2-1. Appearance of light guide 144]
FIG. 4 shows the appearance of the
[3.その他の変形例]
なお、上記の実施形態においては、突出部142は放射線検出素子10の周囲に環状に設けられることとして説明したが、放射線検出素子10の側周面の少なくとも一部の領域の側方に設けられてもよい。この場合には、透光部143(またはライトガイド144)は、突出部142における放射線検出素子10の側の部分に設けられてよい。この場合であっても、光パルスを放射線検出素子10に確実に照射して動作チェックを行うことができる。突出部142が環状に設けられない場合には、ケース部本体140の開口部1400のうち、突出部142が設けられていない部分において、支持板141がケース部本体140と一体的に設けられてもよい。
[3. Other Modifications]
In the above embodiment, the projecting
また、光源15から出射される光パルスが透光部143やライトガイド144を通って放射線検出素子10に入射することとして説明したが、光源15から放射線検出素子10までの光路上には、コリメータやミラーなどの他の光学部材が更に配置されてもよい。
Further, although the light pulse emitted from the
また、光源15,15Aを発光体として説明したが、発光体から供給された光を出射する光ファイバの端部でもよい。この場合には、発光体はケース部14,14Aの外部に設けられてもよい。これにより、ケース部14,14Aの内部を簡素化して誤動作や故障を低減することができる。また、光源15,15Aとして発光体を用いる場合と比較して、光源15,15Aを小型化することができる分、配置の自由度を高めることができる。一例として、図3を用いて説明した変形例における光源15Aが光ファイバの端部である場合には、当該光源15Aは支持板141の側周面と、突出部142の内周面との間に設けられてもよい。
Also, although the
また、パッキン145が嵌め込まれる溝部1440がライトガイド144に設けられることとして説明したが、支持板141や突出部142、ケース部本体140におけるライトガイド144との対向面に設けられてもよい。
Further, although the
また、放射線検出装置1がアンプ回路11、制御回路12およびコネクタ13を備えることとして説明したが、これらの少なくとも1つは放射線検出装置1に接続される外部機器に具備されてもよい。
Also, although the
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 Although the present invention has been described above using the embodiments, the technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above embodiments. It is obvious to those skilled in the art that various modifications and improvements can be made to the above embodiments. It is clear from the description of the scope of claims that forms with such modifications or improvements can also be included in the technical scope of the present invention.
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。 The execution order of each process such as actions, procedures, steps, and stages in the devices, systems, programs, and methods shown in the claims, the specification, and the drawings is particularly "before", "before etc., and it should be noted that they can be implemented in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the specification, and the drawings, even if the description is made using "first," "next," etc. for the sake of convenience, it means that it is essential to carry out in this order. not a thing
1 放射線検出装置、10 放射線検出素子、11 アンプ回路、12 制御回路、13 コネクタ、14 ケース部、15 光源、140 ケース部本体、141 支持板、142 突出部、143 透光部、144 ライトガイド、145 パッキン、1400 開口部、1401 底部、1440 溝部、1441 入射面、 1442 出射面
1
Claims (11)
表面の少なくとも一部が前記ケース部の外部に露出される半導体式の放射線検出素子と、
動作チェック用の光パルスを出射する光源と、
を備え、
前記ケース部は、
前記放射線検出素子の表面よりも測定試料の側に突出して設けられる突出部と、
前記突出部に設けられ、前記光源からの前記光パルスを前記放射線検出素子に向けて透過させる透光部と、
を有する放射線検出装置。 a case portion that seals the inside;
a semiconductor-type radiation detection element having at least a portion of its surface exposed to the outside of the case;
a light source that emits light pulses for operation check;
with
The case part is
a protruding portion provided protruding toward the measurement sample side from the surface of the radiation detection element;
a translucent portion provided in the protruding portion and transmitting the light pulse from the light source toward the radiation detection element;
A radiation detection device having
前記透光部は、前記突出部における前記放射線検出素子の側の部分に設けられる、請求項1または2に記載の放射線検出装置。 the projecting portion is provided on the side of at least a partial region of the side peripheral surface of the radiation detection element,
3. The radiation detecting device according to claim 1, wherein said translucent portion is provided in a portion of said projecting portion on the side of said radiation detecting element.
前記透光部は、前記突出部の内周部の全周に亘って設けられる、請求項1から3のいずれか一項に記載の放射線検出装置。 The protrusion is provided in a ring shape around the radiation detection element,
The radiation detecting device according to any one of claims 1 to 3, wherein the translucent portion is provided along the entire circumference of the inner peripheral portion of the protruding portion.
前記光源は、前記突出部内で前記透光部の外周面に向けて配置される、請求項4に記載の放射線検出装置。 The translucent part is a cylindrical member,
5. The radiation detecting device according to claim 4, wherein said light source is arranged within said projecting portion so as to face an outer circumferential surface of said translucent portion.
前記光源は、前記入射面に向けて配置される、請求項4に記載の放射線検出装置。 The light transmitting portion is an annular light guide that guides the light pulse incident from the incident surface and emits it from an output surface facing the radiation detection element,
5. The radiation detection apparatus according to claim 4, wherein said light source is arranged to face said incident surface.
前記入射面は、測定試料とは反対側に向くよう前記突出部の基端部に設けられる、請求項6に記載の放射線検出装置。 The exit surface is provided on the inner periphery of the protrusion,
7. The radiation detection apparatus according to claim 6, wherein said incident surface is provided at the base end of said projecting portion so as to face the side opposite to the measurement sample.
前記透光部および前記支持板の間に介在する環状のシーリング部材とを有し、
前記透光部は、測定試料側で内径が小さくなるように屈曲した形状を有し、前記支持板の側周面と、前記支持板の表面の外周部とに対向して配置される、請求項6または7に記載の放射線検出装置。 The case portion includes a support plate that supports the radiation detection element from the back side;
an annular sealing member interposed between the translucent portion and the support plate;
The light-transmitting part has a shape bent so that the inner diameter becomes smaller on the side of the measurement sample, and is arranged so as to face the side peripheral surface of the support plate and the outer peripheral part of the surface of the support plate. Item 8. The radiation detection device according to Item 6 or 7.
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