JP7238340B2 - 光送受信器、これを用いた光トランシーバモジュール、及び光送受信器の試験方法 - Google Patents
光送受信器、これを用いた光トランシーバモジュール、及び光送受信器の試験方法 Download PDFInfo
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Description
信号光の入出力ポートに接続される第1の光導波路と、
テスト光を入出力する第2の光導波路と、
光電気変換または電気光変換を行う光回路と、
前記光回路と、前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路の間に配置されて、前記第1の光導波路と前記光回路を接続する第1パスと、前記第2の光導波路と前記光回路を接続する第2パスを切り替える光スイッチと、
を有し、
前記光スイッチは、前記光スイッチに電圧が印加されるオン状態で前記第2パスを選択し、前記光スイッチに電圧が印加されないオフ状態で前記第1パスを選択する。
図3は、図1Aと図1Bの変形例である光送受信器10Aの模式図である。図示の便宜上、光スイッチ13Rと13Tの光導波路131、132に設けられる電極141,142は省略されている。光送受信器10Aでは、光スイッチ13Rへの電圧印加に用いられる電極パッド18r、19r、及び光スイッチ13Tへの電圧印加に用いられる電極パッド18t、19tが、互いに隣接して一列に配置され、試験後に電極パッド間が導電性接着剤41で短絡されている。
図4は、さらに別の変形例として、光送受信器10Bを示す。光送受信器10Bでは、光回路11が形成された基板101は、グランド端子203とともにパッケージ201内に配置される。基板101上に一列に配置された電極パッド18r、18t、19r、19tのそれぞれ、ボンディングワイヤ235によってグランド端子203に接続されている。
図5は、さらに別の変形例として、光送受信器10Cを示す。光送受信器10Cでは、
光スイッチ13Rの電極パッド18r、19rと、光スイッチ13Tの電極パッド18t、19tは、グランドパッド108とともに、互いに隣接して一列に配置される。電極パッド18r、18t、19r、19tは、導電性接着剤でグランドパッド108に電気的に接続されている。グランドパッド108は、基板202に設けられたグランド端子203にボンディングワイヤ235で接続されている。
図6は、光送受信器10の試験方法のフローチャートである。試験は、図1Aのようにウェハ状態で行われる。ウェハの所定の領域に、光回路11、光スイッチ13、光導波路121、122、123、124等を有する光送受信器10が形成されている。
図7は、光スイッチ13の駆動電圧を光回路11の駆動電圧よりも大きくするときの構成例を示す。上述のように、光回路11に入力される高周波の電気駆動信号の光スイッチ13へのクロストークを低減するために、光スイッチ13の駆動電圧を、光回路11の駆動電圧よりも大きく設定するのが望ましい。これを実現するために、たとえば、光スイッチ13の電極長L1を、光回路11内の光スイッチの電極長L2よりも小さくする。光回路11内のスイッチは、たとえば、光変調器や光路を切り替えるスイッチ等を含む。
図10は、実施形態の光送受信器10の適用例である光トランシーバモジュール100の模式図である。光トランシーバモジュール100は、パッケージ120内に、光送受信フロントエンド回路チップである光送受信器10と、光源(「LD」と表記)150と、デジタル信号プロセッサ(「DSP」と表記)160が配置されている。
(付記1)
信号光の入出力ポートに接続される第1の光導波路と、
テスト光を入出力する第2の光導波路と、
光電気変換または電気光変換を行う光回路と、
前記光回路と、前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路の間に配置されて、前記第1の光導波路と前記光回路を接続する第1パスと、前記第2の光導波路と前記光回路を接続する第2パスを切り替える光スイッチと、
を有し、
前記光スイッチは、前記光スイッチに電圧が印加されるオン状態で前記第2パスを選択し、前記光スイッチに電圧が印加されないオフ状態で前記第1パスを選択することを特徴とする光送受信器。
(付記2)
前記光スイッチはマッハツェンダ型、ダブルリング型、マルチモード干渉型、または全反射型の光スイッチであることを特徴とする付記1に記載の光送受信器。
(付記3)
前記光スイッチは、前記オフ状態でクロス出力が選択され、前記オン状態でバー出力が選択されることを特徴とする付記1または2に記載の光送受信器。
(付記4)
前記光スイッチには電極パッドが設けられており、前記電極パッドは電気的に短絡されていることを特徴とする付記1~3のいずれかに記載の光送受信器。
(付記5)
前記光スイッチの前記電極パッドはワイヤボンディングにより短絡されることを特徴とする付記4に記載の光送受信器。
(付記6)
前記光スイッチに複数の前記電極パッドが設けられ、複数の前記電極パッドは互いに隣接して配列され、導電性接着剤で短絡されていることを特徴とする付記4に記載の光送受信器。
(付記7)
グランド端子が設けられた基板、
をさらに有し、
前記光スイッチの前記電極パッドは前記グランド端子に接続されていることを特徴とする付記4に記載の光送受信器。
(付記8)
前記光スイッチの前記電極パッドに隣接して配置されるグランドパッドと、
グランド端子が形成された基板と、
をさらに有し、
前記電極パッドと前記グランドパッドは導電性接着剤で接続されており、前記グランドパッドと前記グランド端子はワイヤボンディングで接続されていることを特徴とする付記4に記載の光送受信器。
(付記9)
前記光スイッチのオン電圧は、前記光回路の駆動電圧よりも高く設定されていることを特徴とする付記1~8のいずれか記載の光送受信器。
(付記10)
前記光スイッチの電極長は、前記光回路で用いられるスイッチの電極長よりも短いことを特徴とする付記9に記載の光送受信器。
(付記11)
付記1~10のいずれかに記載の光送受信器と、
前記光送受信器を収容するパッケージと、
前記パッケージ内に配置される光源と、
前記パッケージ内で前記光送受信器に接続されるデジタル信号プロセッサと、
を有することを特徴とする光トランシーバモジュール。
(付記12)
ウェハ上の所定の領域に、光回路と、信号光の入出力ポートに接続される第1の光導波路と、テスト光を入出力する入出力インタフェースに接続される第2の光導波路と、前記光回路と前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路の間に配置される光スイッチとを有する光送受信器を形成し、
前記入出力インタフェースを用いて前記テスト光を入出力し、
前記光スイッチに電圧を印加してスイッチをオン状態にして、前記第2の光導波路を前記光回路に接続して前記テスト光を測定し、
前記測定の後に、前記光スイッチに印加される前記電圧をオフにする、
ことを特徴とする光送受信器の試験方法。
(付記13)
前記電圧をオフにした後に、前記光スイッチに設けられている電極パッドを電気的に短絡することを特徴とする付記12に記載の光送受信器の試験方法。
11 光回路
13、13A~13C 光スイッチ
13R 受信側の光スイッチ
13T 送信側の光スイッチ
14、16 グレーティングカプラ(入出力インタフェース)
18、18r、18t、19、19r、19t 電極パッド
35、35r、35t、235 ボンディングワイヤ
41 導電性接着剤
100 光トランシーバモジュール
108 グランドパッド
121、122、123、124 光導波路
131、131r、131t、132、132r、132t 光スイッチの光導波路
133、133r、133t、134、134r、134t 光カプラ
141、142 電極
143、144 配線
203 グランド端子
Claims (8)
- 受信信号光を入力する入力ポートに接続される第1導波路と、送信信号光を出力する出力ポートに接続される第2導波路とを含む第1の光導波路と、
外部のテスト用光源で生成されたテスト光を入力する第3導波路と、前記テスト光を変調した変調テスト光を出力する第4導波路とを含む第2の光導波路と、
光電気変換または電気光変換を行い、前記変調テスト光を生成する光回路と、
前記光回路と前記第1導波路及び前記第3導波路の間に配置されて、前記第1導波路と前記光回路を接続する第1パスと、前記第3導波路と前記光回路を接続する第2パスを切り替える第1の光スイッチと、前記光回路と前記第2導波路及び前記第4導波路の間に配置されて、前記第2導波路と前記光回路を接続する第3パスと、前記第4導波路と前記光回路を接続する第4パスを切り替える第2の光スイッチと、
を有し、
前記第1の光スイッチは、前記第1の光スイッチに第1電圧が印加されるオン状態で前記第2パスを選択し、前記第1の光スイッチに前記第1電圧が印加されないオフ状態で前記第1パスを選択し、前記第2の光スイッチは、前記第2の光スイッチに第2電圧が印加されるオン状態で前記第4パスを選択し、前記第2の光スイッチに前記第2電圧が印加されないオフ状態で前記第3パスを選択することを特徴とする光送受信器。 - 前記第1の光スイッチ及び前記第2の光スイッチはマッハツェンダ型、ダブルリング型、マルチモード干渉型、または全反射型の光スイッチであることを特徴とする請求項1に記載の光送受信器。
- 前記第1の光スイッチ及び前記第2の光スイッチは、前記オフ状態でクロス出力が選択され、前記オン状態でバー出力が選択されることを特徴とする請求項1または2に記載の光送受信器。
- 前記第1の光スイッチ及び前記第2の光スイッチには電極パッドが設けられており、前記電極パッドは前記第2の光導波路を用いた試験後に電気的に短絡されて前記第1の光スイッチ及び前記第2の光スイッチへの電圧印加をオフにすることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の光送受信器。
- 前記第1の光スイッチ及び前記第2の光スイッチのオン電圧は、前記光回路の駆動電圧よりも高く設定されていることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の光送受信器。
- 請求項1~5のいずれか1項に記載の光送受信器と、
前記光送受信器を収容するパッケージと、
前記パッケージ内に配置される光源と、
前記パッケージ内で前記光送受信器に接続されるデジタル信号プロセッサと、
を有することを特徴とする光トランシーバモジュール。 - ウェハ上の所定の領域に、光回路と、受信信号光を入力する入力ポートに接続される第1導波路と送信信号光を出力する出力ポートに接続される第2導波路とを含む第1の光導波路と、外部のテスト用光源で生成されたテスト光を入力する第3導波路と前記テスト光を変調した変調テスト光を出力する第4導波路とを含む第2の光導波路と、前記光回路と前記第1導波路及び前記第3導波路の間に配置されて前記第1導波路と前記光回路を接続する第1パスと前記第3導波路と前記光回路を接続する第2パスを切り替える第1の光スイッチと、前記光回路と前記第2導波路及び前記第4導波路の間に配置されて前記第2導波路と前記光回路を接続する第3パスと前記第4導波路と前記光回路を接続する第4パスを切り替える第2の光スイッチと、を有する光送受信器を形成し、
前記第3導波路を用いて前記テスト光を入力し、前記第4導波路を用いて前記変調テスト光を出力し、
前記第1の光スイッチ及び前記第2の光スイッチに電圧を印加してスイッチをオン状態にして、前記第2の光導波路を前記光回路に接続して前記テスト光及び前記変調テスト光を測定し、
前記測定の後に、前記第1の光スイッチ及び前記第2の光スイッチに印加される前記電圧をオフにする、
ことを特徴とする光送受信器の試験方法。 - 前記電圧をオフにした後に、前記第1の光スイッチ及び前記第2の光スイッチに設けられている電極を電気的に短絡することを特徴とする請求項7に記載の光送受信器の試験方法。
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US11463173B1 (en) * | 2021-07-26 | 2022-10-04 | Alpine Optoelectronics, Inc. | Systems and methods for wafer-level testing of transmitter-receiver links |
US20230063481A1 (en) * | 2021-09-01 | 2023-03-02 | Mellanox Technologies, Ltd. | Intelligent Wafer-Level Testing of Photonic Devices |
WO2023042320A1 (ja) * | 2021-09-15 | 2023-03-23 | 日本電信電話株式会社 | 検査用光回路および光回路チップの製造方法 |
WO2023243019A1 (ja) * | 2022-06-15 | 2023-12-21 | 日本電信電話株式会社 | 光半導体集積回路 |
WO2024116388A1 (ja) * | 2022-12-01 | 2024-06-06 | 日本電信電話株式会社 | 光回路の測定回路、光回路の測定方法 |
WO2024120738A1 (en) * | 2022-12-08 | 2024-06-13 | Asml Netherlands B.V. | Systems and methods for sequential and parallel optical detection of alignment marks |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006178225A (ja) | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Advantest Corp | 光スイッチ及び光試験装置 |
JP2015055840A (ja) | 2013-09-13 | 2015-03-23 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光モジュールおよび光送信機 |
JP2015533259A (ja) | 2012-08-10 | 2015-11-19 | スコーピオズ テクノロジーズ インコーポレイテッド | フォトニックデバイスの試験の実行方法及びシステム |
JP2018042104A (ja) | 2016-09-07 | 2018-03-15 | 富士通株式会社 | 光通信システム |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2804633B2 (ja) * | 1991-02-12 | 1998-09-30 | 日本電信電話株式会社 | 光折り返し/媒体試験器 |
JPH0682847A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-03-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波路型光スイッチ |
US6567573B1 (en) * | 1997-02-12 | 2003-05-20 | Digilens, Inc. | Switchable optical components |
US6734453B2 (en) * | 2000-08-08 | 2004-05-11 | Translucent Photonics, Inc. | Devices with optical gain in silicon |
US6999652B2 (en) * | 2002-11-06 | 2006-02-14 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical module and optical switch constituting the same |
US8345335B2 (en) * | 2008-06-02 | 2013-01-01 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | All-optical reconfigurable cascadable logic with linear preprocessing by lightwave interference and post-processing by nonlinear phase erasure |
CN201742409U (zh) * | 2010-04-26 | 2011-02-09 | 东莞市铭普实业有限公司 | 一种用于无源光网络pon的光收发模块测试电路板 |
JP5735755B2 (ja) * | 2010-05-17 | 2015-06-17 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置及び試験方法 |
CN101902272A (zh) * | 2010-07-07 | 2010-12-01 | 东莞市铭普实业有限公司 | 一种光收发模块sfp测试仪 |
US8625997B2 (en) * | 2010-12-30 | 2014-01-07 | Infinera Corporation | Method and apparatus for local optimization of an optical transmitter |
US8725004B1 (en) * | 2012-01-26 | 2014-05-13 | Sandia Corporation | Optical domain analog to digital conversion methods and apparatus |
US10012563B1 (en) * | 2012-07-18 | 2018-07-03 | Alliance Fiber Optic Products, Inc. | Polarity test of fiber arrays based on electronically switched optical signals |
CN203661063U (zh) * | 2014-01-08 | 2014-06-18 | 大连藏龙光电子科技有限公司 | 一种光收发一体模块的性能测试*** |
JP2015169524A (ja) * | 2014-03-06 | 2015-09-28 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、キャリブレーションデバイス、キャリブレーション方法、および試験方法 |
JP6290741B2 (ja) | 2014-07-24 | 2018-03-07 | 日本電信電話株式会社 | グレーティングカプラ形成方法 |
EP3234670A1 (en) * | 2014-12-19 | 2017-10-25 | CommScope Connectivity Belgium BVBA | Integrated optical switching and splitting for optical networks |
US10110318B2 (en) * | 2015-02-19 | 2018-10-23 | Elenion Technologies, Llc | Optical delay lines for electrical skew compensation |
US10110302B2 (en) * | 2015-09-28 | 2018-10-23 | Huawai Technologies Co., Ltd. | Optical network monitoring with a photonic switch |
CN105553544A (zh) * | 2015-12-08 | 2016-05-04 | 中国航空工业集团公司西安航空计算技术研究所 | 一种afdx光电转换测试方法 |
US9941957B2 (en) * | 2016-01-07 | 2018-04-10 | Luxtera, Inc. | Method and system for connectionless integrated optical receiver and transmitter test |
US9909952B2 (en) * | 2016-04-29 | 2018-03-06 | Panduit Corp. | Optical fibers and methods associated therewith |
US10439734B2 (en) * | 2016-07-01 | 2019-10-08 | Luxtera, Inc. | Method and system for waveguide delay based equalization with summing at single-ended to differential converters in optical communication |
US20190049666A1 (en) * | 2017-08-12 | 2019-02-14 | Luxtera, Inc. | Method And Systems For All Optical Tunable Equalizers |
CN108173593A (zh) * | 2017-12-30 | 2018-06-15 | 武汉凌科通光电科技有限公司 | 光电转换器集成检测方法及*** |
JP7056247B2 (ja) * | 2018-03-08 | 2022-04-19 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光送受信デバイスおよび光送受信モジュール |
US10928585B2 (en) * | 2018-10-26 | 2021-02-23 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor devices having electro-optical substrates |
-
2018
- 2018-10-30 JP JP2018204258A patent/JP7238340B2/ja active Active
-
2019
- 2019-09-30 US US16/587,822 patent/US10938481B2/en active Active
- 2019-10-22 CN CN201911004796.7A patent/CN111123447B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006178225A (ja) | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Advantest Corp | 光スイッチ及び光試験装置 |
JP2015533259A (ja) | 2012-08-10 | 2015-11-19 | スコーピオズ テクノロジーズ インコーポレイテッド | フォトニックデバイスの試験の実行方法及びシステム |
JP2015055840A (ja) | 2013-09-13 | 2015-03-23 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光モジュールおよび光送信機 |
JP2018042104A (ja) | 2016-09-07 | 2018-03-15 | 富士通株式会社 | 光通信システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US10938481B2 (en) | 2021-03-02 |
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