JP7222660B2 - ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
前記第2ステージに対する前記第1ステージの位置ずれを検出する検出部と、前記保持機構に前記第1ステージの保持を開始させた後、前記保持機構の保持力が閾値に達する前に前記第2ステージを移動させる処理を制御する制御部と、を含み、前記制御部は、前記検出部での検出結果と、前記第2ステージに対して前記第1ステージに任意の位置ずれを生じさせたときの前記第2ステージの姿勢の誤差成分を示す情報とに基づいて、前記処理時の前記第2ステージの変形に起因する前記第2ステージの姿勢誤差の推定を行い、当該推定に基づいて、前記姿勢誤差を低減するように前記第2ステージの姿勢を制御する、ことを特徴とする。
図2は、本実施形態の露光装置10の構成を示す概略図である。露光装置10は、例えば、照明光学系1と、アライメント検出部2と、原版ステージ3と、投影光学系4と、基板ステージ5(ステージ装置)と、制御部9とを含みうる。制御部9は、例えばCPUやメモリなどを有するコンピュータによって構成されるとともに、装置内の各部に電気的に接続され、装置全体の動作を統括して制御する(即ち、基板Wの露光処理を制御する)。
次に、基板ステージ5(ステージ装置)の具体的な構成について説明する。図3は、基板ステージ5の構成を示す概略図である。図3(a)は、基板ステージ5を上方(Z方向)から見た図であり、図3(b)は、基板ステージ5を側方(Y方向)から見た図である。基板ステージ5は、基板Wを保持する粗θステージ51(第1ステージ)と、粗θステージ51が回転可能に取り付けられるとともに、6軸方向に移動可能なXYステージ52(第2ステージ)とを含みうる。また、基板ステージ5は、XYステージ52に対する粗θステージ51の位置ずれ(粗θステージ51とXYステージ52との相対位置)を検出する検出部53を含みうる。
半導体デバイスや液晶パネルなどの製造では、露光装置10などのリソグラフィ装置を用いて、基板Wにおける複数のショット領域の各々に対し、複数のパターンを転写する工程が行われうる。この際、層ごとの位置がずれると、製品としての所望の機能が得られなくなるため、複数の層を基板W上に精度よく重ね合わせることが重要である。したがって、露光装置10では、2層目以降の基板露光時に、マスクMのマーク(アライメントマーク)と基板Wのマーク(アライメントマーク)との相対位置を計測し、その計測結果に基づいてマスクMと基板Wとの位置合わせを行う。マスクMのマークと基板Wのマークとの相対位置は、アライメント検出部2によりマスクMおよび投影光学系4を介して基板Wを観察して得られた画像から計測されうる。
[タクトタイムの改善]
露光装置10では、タクトタイム(スループット)を改善させることが求められている。上述した従来のアライメント処理では、保持機構52dの保持力が第2閾値に達するまでの待機時間(S207)がタクトタイムを低下させる1つの要因であり、当該待機時間を低減させればタクトタイムを改善することができる。しかしながら、保持機構52dの保持力が第2閾値に達する前にXYステージ52を移動させてしまうと、XYステージ52の加減速によって粗θステージ51がXYステージ52に対して位置ずれを起こしうる(図6(b)参照)。そして、そのような位置ずれが生じた状態で保持機構52dの保持力が第2閾値に達すると、XYステージ52に変形(弾性変形)が生じうる(図6(c)参照)。なお、図6は、基板ステージ5の状態遷移を示す図であり、図6(a)は、保持機構52dによる粗θステージ51の保持を開始する前の状態を示している。
本実施形態の露光装置10(制御部9)は、タクトタイムを改善させるため、保持機構52dに粗θステージ51の保持を開始させた後、保持機構52dの保持力が第2閾値に達する前にXYステージ52を移動させる処理を行う。そして、本実施形態では、更に、当該処理時のXYステージ52の変形に起因するXYステージ52の姿勢誤差の推定を行い、当該推定に基づいて、XYステージ52の姿勢誤差を低減するようにXYステージ52の姿勢を制御する。以下に、本実施形態の処理フローについて説明する。
次に、XYステージ52の姿勢誤差を推定する方法、即ち、XYステージ52の姿勢誤差を低減するための補正値を求める方法(図1のS113)について説明する。XYステージ52の姿勢誤差は、XYステージ52に対して粗θステージ51に任意(所定)の位置ずれを生じさせたときのXYステージ52の姿勢の誤差成分を示す情報を基準値として求め、当該基準値に係数を乗ずることにより推定される。
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像(加工)する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (8)
- 基板を移動させるステージ装置であって、
前記基板を保持する第1ステージと、
前記第1ステージが回転可能に取り付けられるとともに、回転角が調整された前記第1ステージを保持する保持機構を有する移動可能な第2ステージと、
前記第2ステージに対する前記第1ステージの位置ずれを検出する検出部と、
前記保持機構に前記第1ステージの保持を開始させた後、前記保持機構の保持力が閾値に達する前に前記第2ステージを移動させる処理を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記検出部での検出結果と、前記第2ステージに対して前記第1ステージに任意の位置ずれを生じさせたときの前記第2ステージの姿勢の誤差成分を示す情報とに基づいて、前記処理時の前記第2ステージの変形に起因する前記第2ステージの姿勢誤差の推定を行い、当該推定に基づいて、前記姿勢誤差を低減するように前記第2ステージの姿勢を制御する、ことを特徴とするステージ装置。 - 前記制御部は、前記検出部で検出された前記位置ずれと前記情報における前記任意の位置ずれとの比率を算出し、前記情報における前記誤差成分に前記比率を乗ずることにより前記姿勢誤差を推定する、ことを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記閾値は、前記第2ステージを移動させても、前記第2ステージに対する前記第1ステージの位置ずれを許容範囲に収めることができる保持力の値に設定される、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のステージ装置。
- 前記ステージ装置は、前記保持機構の保持力が前記閾値に達した後に前記第2ステージを移動させる第1モードと、前記保持機構の保持力が前記閾値に達する前に前記第2ステージを移動させる第2モードとを含む、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記第2ステージにおける複数個所の位置を計測する計測部を更に含み、
前記制御部は、前記計測部での計測結果に基づいて前記第2ステージの姿勢を制御する、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のステージ装置。 - 前記検出部は、前記第1ステージと前記第2ステージとの間に配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 基板上にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
請求項1乃至6のいずれか1項に記載のステージ装置を含む、ことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項7に記載のリソグラフィ装置を用いて基板上にパターンを形成する形成工程と、
前記形成工程でパターンを形成された前記基板を加工する加工工程と、を含み、
前記加工工程で加工された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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